JPH0563722B2 - - Google Patents
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- JPH0563722B2 JPH0563722B2 JP22113188A JP22113188A JPH0563722B2 JP H0563722 B2 JPH0563722 B2 JP H0563722B2 JP 22113188 A JP22113188 A JP 22113188A JP 22113188 A JP22113188 A JP 22113188A JP H0563722 B2 JPH0563722 B2 JP H0563722B2
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- JP
- Japan
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- wall thickness
- measured
- nozzle
- water
- point
- Prior art date
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices Characterised By Use Of Acoustic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はクラツド管等の肉厚を超音波と渦電流
とを併用して測定する肉厚測定装置に関する。
とを併用して測定する肉厚測定装置に関する。
クラツド管は母材の外周又は内周にクラツド材
を冶金的に接合せしめた積層構造を有しており、
用途に応じたクラツド材を選択することにより材
料強度を維持出来、特殊雰囲気下での耐酸性等に
優れ、しかも管材コストの低減を図り得るものと
して広く使用されている。このようなクラツド材
の厚さはクラツド管の性能、寿命を保証するうえ
で極めて重要な管理項目であり、従来より肉厚測
定のための装置、例えば超音波のみを利用する装
置、或いは超音波と渦電流とを組合せ使用する装
置等が提案されている（特開昭59−54902号）。
を冶金的に接合せしめた積層構造を有しており、
用途に応じたクラツド材を選択することにより材
料強度を維持出来、特殊雰囲気下での耐酸性等に
優れ、しかも管材コストの低減を図り得るものと
して広く使用されている。このようなクラツド材
の厚さはクラツド管の性能、寿命を保証するうえ
で極めて重要な管理項目であり、従来より肉厚測
定のための装置、例えば超音波のみを利用する装
置、或いは超音波と渦電流とを組合せ使用する装
置等が提案されている（特開昭59−54902号）。
しかし、超音波のみを用いる装置では母材とク
ラツド材との境界面からの反射波を検出する必要
があるが、母材とクラツド材との音響インピーダ
ンスが近似した値となつている場合には測定自体
極めて困難であるという欠点があつた。
ラツド材との境界面からの反射波を検出する必要
があるが、母材とクラツド材との音響インピーダ
ンスが近似した値となつている場合には測定自体
極めて困難であるという欠点があつた。
一方、超音波と渦電流とを組合せ利用する装置
はクラツド管の母材とクラツド材との全肉厚を測
定する超音波肉厚測定系と、クラツド材の肉厚を
測定する渦電流肉厚測定系とを備えており、クラ
ツド管表面に定めた測定点に夫々測定ヘツド部を
接触させて、全肉厚、クラツド材肉厚を測定する
構成となつている。
はクラツド管の母材とクラツド材との全肉厚を測
定する超音波肉厚測定系と、クラツド材の肉厚を
測定する渦電流肉厚測定系とを備えており、クラ
ツド管表面に定めた測定点に夫々測定ヘツド部を
接触させて、全肉厚、クラツド材肉厚を測定する
構成となつている。
ところで、このような従来装置では、測定ヘツ
ド部を測定点に接触させて逐次測定を行う接触式
となつているため、例えばクラツド管等について
その長手方向各部においてクラツド材の肉厚分布
を知る場合の如く測定回数が多くなると測定作業
が極めて煩わしく、連続測定が困難である。ま
た、非接触でクラツド管の肉厚を連続測定する場
合、通常超音波肉厚測定系の測定ヘツド部と、渦
電流肉厚測定系の測定ヘツド部とを所要の間隔を
おいて並置し、クラツド管をスパイラル状に移動
させながら測定するため、両測定ヘツド部による
測定値を位置同期させる手段が必要となり、装置
が複雑となる。更に、クラツド管の移動時にスリ
ツプが生じると両測定値の位置同期が不正確とな
り十分な測定精度が得られないという問題があつ
た。
ド部を測定点に接触させて逐次測定を行う接触式
となつているため、例えばクラツド管等について
その長手方向各部においてクラツド材の肉厚分布
を知る場合の如く測定回数が多くなると測定作業
が極めて煩わしく、連続測定が困難である。ま
た、非接触でクラツド管の肉厚を連続測定する場
合、通常超音波肉厚測定系の測定ヘツド部と、渦
電流肉厚測定系の測定ヘツド部とを所要の間隔を
おいて並置し、クラツド管をスパイラル状に移動
させながら測定するため、両測定ヘツド部による
測定値を位置同期させる手段が必要となり、装置
が複雑となる。更に、クラツド管の移動時にスリ
ツプが生じると両測定値の位置同期が不正確とな
り十分な測定精度が得られないという問題があつ
た。
本発明は斯かる事情に鑑みなされたものであつ
て、その目的とするところは母材とクラツド材と
の音響インピーダンスが近似している場合におい
ても、超音波特性と電磁気的特性の差異を利用し
て効果的に、しかも正確に連続的な肉厚測定を行
い得る肉厚測定装置を提供するにある。
て、その目的とするところは母材とクラツド材と
の音響インピーダンスが近似している場合におい
ても、超音波特性と電磁気的特性の差異を利用し
て効果的に、しかも正確に連続的な肉厚測定を行
い得る肉厚測定装置を提供するにある。
本発明に係る肉厚測定装置にあつてはクラツド
材の肉厚と母材の肉厚とを加えた全肉厚を測定す
る超音波肉厚測定系と、クラツド材の肉厚を測定
する渦電流肉厚測定系とを具備する肉厚測定装置
において、内部に水室を有し、先端に前記水室に
供給される水を被測定点表面に向けて噴射するノ
ズルを有するハウジングと、該ハウジングの基端
側に設けられ、前記水室中の水及びノズルから噴
射される水流を通じて被測定点との間で、その伝
播方向が被測定点表面と直交する向きの超音波を
送受信する超音波肉厚測定系のプローブと、前記
ハウジング内であつてその先端に設けたノズルと
同心状にその外周に配設され、前記プローブによ
る被測定点と同一の被測定点表面に対し、これと
直交する向きに磁界を形成する渦電流肉厚測定系
のコイルとを具備する測定ヘツド部を、クラツド
材の表面と間隔を隔てて対向配置したことを特徴
とする。
材の肉厚と母材の肉厚とを加えた全肉厚を測定す
る超音波肉厚測定系と、クラツド材の肉厚を測定
する渦電流肉厚測定系とを具備する肉厚測定装置
において、内部に水室を有し、先端に前記水室に
供給される水を被測定点表面に向けて噴射するノ
ズルを有するハウジングと、該ハウジングの基端
側に設けられ、前記水室中の水及びノズルから噴
射される水流を通じて被測定点との間で、その伝
播方向が被測定点表面と直交する向きの超音波を
送受信する超音波肉厚測定系のプローブと、前記
ハウジング内であつてその先端に設けたノズルと
同心状にその外周に配設され、前記プローブによ
る被測定点と同一の被測定点表面に対し、これと
直交する向きに磁界を形成する渦電流肉厚測定系
のコイルとを具備する測定ヘツド部を、クラツド
材の表面と間隔を隔てて対向配置したことを特徴
とする。
本発明装置にあつては、これによつてクラツド
材の同一被測定点における超音波肉厚測定系の測
定値と渦電流肉厚測定系の測定値とを同時に得ら
れることとなる。
材の同一被測定点における超音波肉厚測定系の測
定値と渦電流肉厚測定系の測定値とを同時に得ら
れることとなる。
以下、本発明をその実施例を示す図面に基づき
具体的に説明する。
具体的に説明する。
第１図は本発明装置の模式図であり、図中Ｐは
クラツド管、１は測定ヘツド部を示している。
クラツド管、１は測定ヘツド部を示している。
クラツド管Ｐは、例え炭素鋼製の母材P1の外
周にオーステナイト系等のステンレス鋼製のクラ
ツド材P2を冶金接合せしめてある。測定ヘツド
部１は水室２ａを備えたハウジング２に管全肉厚
を測定するためのプローブである超音波用発受信
器３、クラツド材肉厚を測定するための電磁誘導
用の第１のコイル４、超音波の伝播媒質である水
の温度補正を行なうための電磁誘導用の第２のコ
イル５とを備えており、測定対象物であるクラツ
ド管Ｐ表面と所定の間隔を隔ててこれと対向して
配置され、クラツド管Ｐをスパイラル状に移動さ
せつつ測定を連続的に行なうようになつている。
周にオーステナイト系等のステンレス鋼製のクラ
ツド材P2を冶金接合せしめてある。測定ヘツド
部１は水室２ａを備えたハウジング２に管全肉厚
を測定するためのプローブである超音波用発受信
器３、クラツド材肉厚を測定するための電磁誘導
用の第１のコイル４、超音波の伝播媒質である水
の温度補正を行なうための電磁誘導用の第２のコ
イル５とを備えており、測定対象物であるクラツ
ド管Ｐ表面と所定の間隔を隔ててこれと対向して
配置され、クラツド管Ｐをスパイラル状に移動さ
せつつ測定を連続的に行なうようになつている。
ハウジング２はその内部中央に上、下方向に長
い水室２ａを備えており、水室２ａの側部には２
本の給水管２ｂが連結され、また水室２ａの下端
にはクラツド管Ｐに面して開口するノズル２ｃを
形成してある。発受信器３は水室２ａの上部壁
に、超音波の伝播方向がノズル２ｃの中心を通し
てクラツド管Ｐの表面と直交するよう配設され、
また第１のコイル４はノズル２ｃの外周にこれと
同心に、更に第２のコイル５は第１のコイル４に
近い下方の給水管２ｂの外周に、これと同心状に
夫々配設されており、前記プローブ３には超音波
肉厚測定系Ａが、また第１、第２コイル４，５に
は渦電流肉厚測定系Ｂが夫々接続せしめられてい
る。
い水室２ａを備えており、水室２ａの側部には２
本の給水管２ｂが連結され、また水室２ａの下端
にはクラツド管Ｐに面して開口するノズル２ｃを
形成してある。発受信器３は水室２ａの上部壁
に、超音波の伝播方向がノズル２ｃの中心を通し
てクラツド管Ｐの表面と直交するよう配設され、
また第１のコイル４はノズル２ｃの外周にこれと
同心に、更に第２のコイル５は第１のコイル４に
近い下方の給水管２ｂの外周に、これと同心状に
夫々配設されており、前記プローブ３には超音波
肉厚測定系Ａが、また第１、第２コイル４，５に
は渦電流肉厚測定系Ｂが夫々接続せしめられてい
る。
（超音波肉厚測定系Ａ）
クロツク回路１１から発せられたクロツクパル
スがゲート回路１２に入力されるとゲート回路１
２は切替手段を構成するフリツプフロツプ回路３
１から入力される信号に基づいてオン／オフ制御
されており、クロツクパルスを渦電流肉厚測定系
Ｂの出力と互い違いとなるよう所定のタイミング
で発振回路１３に出力するようにしてある。発振
回路１３は指令信号に基づいて発受信器３に発振
信号を出力し、発受信器３から超音波を発せしめ
る。超音波は水室２ａ内の水柱内を伝播して被検
物たるクラツド管Ｐのクラツド材P2表面の直径
略１mmの領域内に直角に入射する。
スがゲート回路１２に入力されるとゲート回路１
２は切替手段を構成するフリツプフロツプ回路３
１から入力される信号に基づいてオン／オフ制御
されており、クロツクパルスを渦電流肉厚測定系
Ｂの出力と互い違いとなるよう所定のタイミング
で発振回路１３に出力するようにしてある。発振
回路１３は指令信号に基づいて発受信器３に発振
信号を出力し、発受信器３から超音波を発せしめ
る。超音波は水室２ａ内の水柱内を伝播して被検
物たるクラツド管Ｐのクラツド材P2表面の直径
略１mmの領域内に直角に入射する。
クラツド材P2に入射された超音波はクラツド
管Ｐにおけるクラツド材P2の表面及び母材P1の
内面にて夫々一部が反射され、第２図イに示す如
き夫々の反射波Ｓ，B1は再び水室２ａ内の水中
を伝播して発受信器３にて捉えられる。
管Ｐにおけるクラツド材P2の表面及び母材P1の
内面にて夫々一部が反射され、第２図イに示す如
き夫々の反射波Ｓ，B1は再び水室２ａ内の水中
を伝播して発受信器３にて捉えられる。
発受信器３で捉えられた反射波は電気信号に変
換されて増幅器１４で増幅された後、比較器１５
に入射され、予め定めてある基準値と比較され、
クラツド材P2の外表面及び母材P1の内表面から
の反射波Ｓ，B1のみを抽出しこれをタイミング
発生回路１６に入力する。
換されて増幅器１４で増幅された後、比較器１５
に入射され、予め定めてある基準値と比較され、
クラツド材P2の外表面及び母材P1の内表面から
の反射波Ｓ，B1のみを抽出しこれをタイミング
発生回路１６に入力する。
タイミング発生回路１６は第２図ロに示す如く
反射波Ｓ，B1間の両立上がり間の時間ｔに相当
する長さのゲート信号としてＴ／Ａ（タイミン
グ・アナログ）変換器１７に出力し、ここでアナ
ログ信号に変換された後、Ａ／Ｄ（アナログ・デ
イジタル）変換器１８でデイジタル信号に変換さ
れ、中央制御装置（CPU）３０へ出力する。
反射波Ｓ，B1間の両立上がり間の時間ｔに相当
する長さのゲート信号としてＴ／Ａ（タイミン
グ・アナログ）変換器１７に出力し、ここでアナ
ログ信号に変換された後、Ａ／Ｄ（アナログ・デ
イジタル）変換器１８でデイジタル信号に変換さ
れ、中央制御装置（CPU）３０へ出力する。
（渦電流肉厚測定系Ｂ）
２１は発振器であつて、その発振信号はゲート
回路２２に入力される。ゲート回路２２はフリツ
プフロツプ回路３１から入力された信号に基づい
てオン／オフ制御され、超音波による肉厚測定信
号とタイミングをずらして発振器２１からの信号
を増幅器２３、ブリツジ回路２４を経て第１、第
２のコイル４，５に出力する。
回路２２に入力される。ゲート回路２２はフリツ
プフロツプ回路３１から入力された信号に基づい
てオン／オフ制御され、超音波による肉厚測定信
号とタイミングをずらして発振器２１からの信号
を増幅器２３、ブリツジ回路２４を経て第１、第
２のコイル４，５に出力する。
コイル４に電流が通流されると被検物であるク
ラツド材P2の表面と直交する向きの磁界が形成
され、これによつてクラツド材P2の表面に渦電
流が誘起され、またコイル５に電流が通流される
と給水管２ｂ内の水の流動方向と同じ向きの磁界
が形成される。
ラツド材P2の表面と直交する向きの磁界が形成
され、これによつてクラツド材P2の表面に渦電
流が誘起され、またコイル５に電流が通流される
と給水管２ｂ内の水の流動方向と同じ向きの磁界
が形成される。
リフトオフ量及びクラツド材P2の肉厚が変化
すると第１のコイル４のインピーダンスが変化
し、また水温が変化すると、第１及び第２のコイ
ル４，５の温度が変化してインピーダンスが変化
する。第１、第２のコイル４，５はブリツジ回路
２４における相隣する２辺に相互に直列状態とな
るよう接続せしめられ、測定ヘツド部１の直前に
設けた図示しないフオトセンサ等の検出器によつ
てクラツド管Ｐの先端が検出され、しかも第１の
コイル４が空芯状態、即ち第１のコイル４にクラ
ツド管Ｐが対向しない状態のときに給水管２ｂに
水を流し、ノズル２ｃから水を噴射しながらブリ
ツジ回路２４が平衡状態となるよう調整される。
すると第１のコイル４のインピーダンスが変化
し、また水温が変化すると、第１及び第２のコイ
ル４，５の温度が変化してインピーダンスが変化
する。第１、第２のコイル４，５はブリツジ回路
２４における相隣する２辺に相互に直列状態とな
るよう接続せしめられ、測定ヘツド部１の直前に
設けた図示しないフオトセンサ等の検出器によつ
てクラツド管Ｐの先端が検出され、しかも第１の
コイル４が空芯状態、即ち第１のコイル４にクラ
ツド管Ｐが対向しない状態のときに給水管２ｂに
水を流し、ノズル２ｃから水を噴射しながらブリ
ツジ回路２４が平衡状態となるよう調整される。
従つて、ブリツジ回路２４からは第１及び第２
のコイル４，５の水温によるインピーダンス変化
が相殺された信号、即ち超音波伝播媒質である水
の温度変化に影響されない信号のみが出力され
る。換言すれば、第１のコイル４にクラツド管Ｐ
を対向させ、第１のコイル４のインピーダンスが
変化したときのみ、ブリツジ回路が非平衡状態と
なり、第１のコイル４とクラツド管Ｐとの離間寸
法及びクラツド材P2の厚さに応じた非平衡信号
が増幅器２５を経て同期検波回路２６へ出力され
る。
のコイル４，５の水温によるインピーダンス変化
が相殺された信号、即ち超音波伝播媒質である水
の温度変化に影響されない信号のみが出力され
る。換言すれば、第１のコイル４にクラツド管Ｐ
を対向させ、第１のコイル４のインピーダンスが
変化したときのみ、ブリツジ回路が非平衡状態と
なり、第１のコイル４とクラツド管Ｐとの離間寸
法及びクラツド材P2の厚さに応じた非平衡信号
が増幅器２５を経て同期検波回路２６へ出力され
る。
同期検波回路２６は入力信号を位相解析してＸ
軸方向及びＹ軸方向の２つの信号に分けて位相回
転器２７へ出力し、位相回転器２７からは第３図
に示す如く予め位相回転器２７、増幅器２５を基
準片を用いて調整することにより、リフトオフ量
の振幅をＹ軸方向信号VYとして、また予め発振
器２１の周波数を調整してクラツド材P2の肉厚
変化によるインピーダンス変化をＸ軸方向信号
VXとして表すように設定してある。
軸方向及びＹ軸方向の２つの信号に分けて位相回
転器２７へ出力し、位相回転器２７からは第３図
に示す如く予め位相回転器２７、増幅器２５を基
準片を用いて調整することにより、リフトオフ量
の振幅をＹ軸方向信号VYとして、また予め発振
器２１の周波数を調整してクラツド材P2の肉厚
変化によるインピーダンス変化をＸ軸方向信号
VXとして表すように設定してある。
位相回転器２７のＸ，Ｙ軸方向の各信号はＡ／
Ｄ変換器２８にてデイジタル信号に変換され、中
央制御装置３０へ出力される。中央制御装置３０
は超音波肉厚測定系Ａからの入力に基づいてクラ
ツド管Ｐの全肉厚Ｄを算出し、また渦電流肉厚測
定系Ｂからの入力に基づいてクラツド管Ｐにおけ
るクラツド材P2の肉厚DP2を算出し、全肉厚Ｄか
らクラツド材P2の肉厚DP2を減算して母材P1の肉
厚DP1を算出し、これらをＤ／Ａ変換器３２を通
じてアナログ信号として図示しないチヤートにデ
ータ出力することとなる。
Ｄ変換器２８にてデイジタル信号に変換され、中
央制御装置３０へ出力される。中央制御装置３０
は超音波肉厚測定系Ａからの入力に基づいてクラ
ツド管Ｐの全肉厚Ｄを算出し、また渦電流肉厚測
定系Ｂからの入力に基づいてクラツド管Ｐにおけ
るクラツド材P2の肉厚DP2を算出し、全肉厚Ｄか
らクラツド材P2の肉厚DP2を減算して母材P1の肉
厚DP1を算出し、これらをＤ／Ａ変換器３２を通
じてアナログ信号として図示しないチヤートにデ
ータ出力することとなる。
中央制御装置３０により演算過程の概略を示す
と次のとおりである。
と次のとおりである。
クラツド管Ｐの全肉厚Ｄは第２図ロに示す如く
反射波Ｓ，B1間の時間ｔと伝播媒質中の音速と
の積として求められる。またクラツド管Ｐにおけ
るクラツド材P2の肉厚DP2は第３図にしめされる
信号VXに相応する値ｄと、リフトオフ補正量Δd
との和として下記(1)式の如く表される。
反射波Ｓ，B1間の時間ｔと伝播媒質中の音速と
の積として求められる。またクラツド管Ｐにおけ
るクラツド材P2の肉厚DP2は第３図にしめされる
信号VXに相応する値ｄと、リフトオフ補正量Δd
との和として下記(1)式の如く表される。
DP2＝ｄ＋Δd ……(1)
いま厚さｄと信号VXとの換算式を下記(2)式の
如く表すとすると ｄ＝AVX 2＋BVX＋Ｃ ……(2) 但しＡ，Ｂ，Ｃ……係数 補正量Δdは厚さｄの値の範囲で夫々異なり、
次の如く定められる。
如く表すとすると ｄ＝AVX 2＋BVX＋Ｃ ……(2) 但しＡ，Ｂ，Ｃ……係数 補正量Δdは厚さｄの値の範囲で夫々異なり、
次の如く定められる。
第４図はリフトオフ量と、補正値との関係を異
なるクラツド厚さについて夫々示したグラフであ
り、横軸にリフトオフ量を、また縦軸に補正値を
採つて示してある。
なるクラツド厚さについて夫々示したグラフであ
り、横軸にリフトオフ量を、また縦軸に補正値を
採つて示してある。
このグラフから明らかなように、基準肉厚に対
し、これよりも測定対象物の肉厚が小さくなると
補正値は大きく、逆に測定対象物の肉厚が大きく
なると補正値は小さくなる関係にあることが解
る。従つて測定対象物の肉厚をd1〜d2，d2〜d3，
……do-1〜doの如くに分けて夫々の領域において
下式に示す如き補正値Δd1，Δd2……Δdnを求め、
リフトオフ補正を行えばよいこととなる。
し、これよりも測定対象物の肉厚が小さくなると
補正値は大きく、逆に測定対象物の肉厚が大きく
なると補正値は小さくなる関係にあることが解
る。従つて測定対象物の肉厚をd1〜d2，d2〜d3，
……do-1〜doの如くに分けて夫々の領域において
下式に示す如き補正値Δd1，Δd2……Δdnを求め、
リフトオフ補正を行えばよいこととなる。
即ち
d1≦ｄ＜d2では Δd1＝A1VY 2＋B1VY＋C1
d2≦ｄ＜d3では Δd2＝A2VY 2＋B2VY＋C2
〓 〓 〓
do-1≦ｄ＜doではΔdn＝AnVY 2＋BnVY＋Cn
なお、本実施例では給水管２ｂの外周に第２の
コイル５を設け、肉厚測定用の第１のコイル４の
水温による温度変化に伴うインピーダンス変化を
補正するようにしてあるが、これに替えて水温を
一定範囲内に制御し、第２のコイル５を省略し、
ブリツジ回路２４の相隣する２辺のうち第２のコ
イル５に相当する部分に第１のコイル４と同一の
インピーダンスを持つ素子を接続してもよい。ま
た、水温変化が無視できる場合は、水温制御をも
省略することができる。更に、本実施例ではフリ
ツプフロツプ回路３１とゲート回路１２，２２と
により超音波肉厚測定系と渦電流肉厚測定系とを
交互に切換えて測定するようにしてあるが、両測
定系の測定周波数が大きく異なつたり、渦電流肉
厚測定系で得られる信号が大きく、両測定系の相
互干渉が発生しないときはこれらの回路を省略
し、常時両測定系で測定するようにしてもよい。
コイル５を設け、肉厚測定用の第１のコイル４の
水温による温度変化に伴うインピーダンス変化を
補正するようにしてあるが、これに替えて水温を
一定範囲内に制御し、第２のコイル５を省略し、
ブリツジ回路２４の相隣する２辺のうち第２のコ
イル５に相当する部分に第１のコイル４と同一の
インピーダンスを持つ素子を接続してもよい。ま
た、水温変化が無視できる場合は、水温制御をも
省略することができる。更に、本実施例ではフリ
ツプフロツプ回路３１とゲート回路１２，２２と
により超音波肉厚測定系と渦電流肉厚測定系とを
交互に切換えて測定するようにしてあるが、両測
定系の測定周波数が大きく異なつたり、渦電流肉
厚測定系で得られる信号が大きく、両測定系の相
互干渉が発生しないときはこれらの回路を省略
し、常時両測定系で測定するようにしてもよい。
以上の如き本発明装置にあつては、内部に水室
を有し、先端に前記水室に供給される水を被測定
点表面に向けて噴射するノズルを有するハウジン
グ内に、前記ノズルと同心状にその外周に配設さ
れ、超音波肉厚測定系のプローブによる被測定点
と同一の被測定点表面に対し、これと直交する向
きに磁界を形成する渦電流肉厚測定系のコイルを
設けてあるから、同一被測定点におけるクラツド
材、母材夫々の肉厚及び全肉厚を同時に測定する
ことが出来、また両測定系相互の影響を排除出来
て測定精度の大幅な向上が図れ、更に測定ヘツド
自体も小型コンパクト化出来る等、本発明は優れ
た効果を奏するものである。
を有し、先端に前記水室に供給される水を被測定
点表面に向けて噴射するノズルを有するハウジン
グ内に、前記ノズルと同心状にその外周に配設さ
れ、超音波肉厚測定系のプローブによる被測定点
と同一の被測定点表面に対し、これと直交する向
きに磁界を形成する渦電流肉厚測定系のコイルを
設けてあるから、同一被測定点におけるクラツド
材、母材夫々の肉厚及び全肉厚を同時に測定する
ことが出来、また両測定系相互の影響を排除出来
て測定精度の大幅な向上が図れ、更に測定ヘツド
自体も小型コンパクト化出来る等、本発明は優れ
た効果を奏するものである。
第１図は本発明装置の測定ヘツド部と共に示す
測定系のブロツク図、第２図は超音波測定系によ
る全肉厚測定の説明図、第３図はリフトオフ量と
クラツド材肉厚の変化による出力信号を位相解析
した態様を示す説明図、第４図はリフトオフ量と
補正値との関係を示す説明図である。 １……測定ヘツド、２……ハウジング、２ａ…
…水室、３……超音波発受信器、４……第１のコ
イル、５……第２のコイル、１５……比較器、２
６……同期検波回路、２７……位相回転器、３０
……中央制御装置、Ｐ……クラツド管、P1……
母材、P2……クラツド材、Ａ……超音波肉厚測
定系、Ｂ……渦電流肉厚測定系。
測定系のブロツク図、第２図は超音波測定系によ
る全肉厚測定の説明図、第３図はリフトオフ量と
クラツド材肉厚の変化による出力信号を位相解析
した態様を示す説明図、第４図はリフトオフ量と
補正値との関係を示す説明図である。 １……測定ヘツド、２……ハウジング、２ａ…
…水室、３……超音波発受信器、４……第１のコ
イル、５……第２のコイル、１５……比較器、２
６……同期検波回路、２７……位相回転器、３０
……中央制御装置、Ｐ……クラツド管、P1……
母材、P2……クラツド材、Ａ……超音波肉厚測
定系、Ｂ……渦電流肉厚測定系。
Claims (1)
- １ クラツド材の肉厚と母材の肉厚とを加えた全
肉厚を測定する超音波肉厚測定系と、クラツド材
の肉厚を測定する渦電流肉厚測定系とを具備する
肉厚測定装置において、内部に水室を有し、先端
に前記水室に供給される水を被測定点表面に向け
て噴射するノズルを有するハウジングと、該ハウ
ジングの基端側に設けられ、前記水室中の水及び
ノズルから噴射される水流を通じて被測定点との
間で、その伝播方向が被測定点表面と直交する向
きの超音波を送受信する超音波肉厚測定系のプロ
ーブと、前記ハウジング内であつてその先端に設
けたノズルと同心状にその外周に配設され、前記
プローブによる被測定点と同一の被測定点表面に
対し、これと直交する向きに磁界を形成する渦電
流肉厚測定系のコイルとを具備する測定ヘツド部
を、クラツド材の表面と間隔を隔てて対向配置し
たことを特徴とする肉厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22113188A JPH0267909A (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 肉厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22113188A JPH0267909A (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 肉厚測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0267909A JPH0267909A (ja) | 1990-03-07 |
| JPH0563722B2 true JPH0563722B2 (ja) | 1993-09-13 |
Family
ID=16761941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22113188A Granted JPH0267909A (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | 肉厚測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0267909A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5113358A (en) * | 1990-03-28 | 1992-05-12 | Barber-Colman Company | Web caliper measuring system |
| WO2001046684A1 (en) * | 1999-12-23 | 2001-06-28 | Kla-Tencor Corporation | In-situ metalization monitoring using eddy current measurements and optical measurements |
-
1988
- 1988-09-02 JP JP22113188A patent/JPH0267909A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0267909A (ja) | 1990-03-07 |
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