JPH0564467A - 振動波リニアモーター - Google Patents
振動波リニアモーターInfo
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- JPH0564467A JPH0564467A JP3226047A JP22604791A JPH0564467A JP H0564467 A JPH0564467 A JP H0564467A JP 3226047 A JP3226047 A JP 3226047A JP 22604791 A JP22604791 A JP 22604791A JP H0564467 A JPH0564467 A JP H0564467A
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- Japan
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- vibration wave
- linear motor
- rail
- wave linear
- guide means
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/08—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 振動波モータを駆動源とする振動波リニアモ
ーターにおいて、レール状固定子の取り付けられる底板
等の変形やそり等に影響されることなく、振動子とレー
ル状固定子との相対的位置を良好に保持する。 【構成】 レール状固定子８の２側面に夫々案内溝９
Ａ、９Ｂを予定移動方向に沿って形成し、一方振動子の
固定された移動台４の片側に、この案内溝９Ａに嵌合す
る第１コロ軸受１１を移動方向に沿って前後に設け、ま
た案内溝９Ｂに嵌合する第２コロ軸受１３を第１コロ軸
受１１の間に位置するように設ける。
ーターにおいて、レール状固定子の取り付けられる底板
等の変形やそり等に影響されることなく、振動子とレー
ル状固定子との相対的位置を良好に保持する。 【構成】 レール状固定子８の２側面に夫々案内溝９
Ａ、９Ｂを予定移動方向に沿って形成し、一方振動子の
固定された移動台４の片側に、この案内溝９Ａに嵌合す
る第１コロ軸受１１を移動方向に沿って前後に設け、ま
た案内溝９Ｂに嵌合する第２コロ軸受１３を第１コロ軸
受１１の間に位置するように設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、振動波モーター特に進
行波が形成される弾性体をレール状固定子に圧接し、弾
性体をレール状固定子に沿って移動させる方式の振動波
リニアモーターに関するものである。
行波が形成される弾性体をレール状固定子に圧接し、弾
性体をレール状固定子に沿って移動させる方式の振動波
リニアモーターに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の振動波リニアモーターと
しては、図６及び図７に示すものがある。
しては、図６及び図７に示すものがある。
【０００３】１は摺動面側に設けられた突起１ａを有す
る金属材料からなる長円形状の弾性体で、その上面に圧
電素子２が接合されて振動子を形成している。そして、
圧電素子２への交流電圧の印加により進行性振動波が形
成される。なお、進行性振動波の発生原理及び圧電素子
２の構造は公知なので詳述しないが、圧電素子の位置的
に９０度ずれた２群の駆動用圧電素子に９０度の時間的
位相を有する交流電圧を印加することにより、進行性振
動波は形成される。８は弾性体１と摩擦接触するレール
状固定子で、モーターケースの底板１０に固定されてい
て、振動絶縁材料５（例えばフェルト）を介して加圧バ
ネ３によって弾性体１と接触している。６は弾性体１に
固定された板状の支持板で、その中央をブロック状の支
持体７で固定され、弾性体１を支持している。
る金属材料からなる長円形状の弾性体で、その上面に圧
電素子２が接合されて振動子を形成している。そして、
圧電素子２への交流電圧の印加により進行性振動波が形
成される。なお、進行性振動波の発生原理及び圧電素子
２の構造は公知なので詳述しないが、圧電素子の位置的
に９０度ずれた２群の駆動用圧電素子に９０度の時間的
位相を有する交流電圧を印加することにより、進行性振
動波は形成される。８は弾性体１と摩擦接触するレール
状固定子で、モーターケースの底板１０に固定されてい
て、振動絶縁材料５（例えばフェルト）を介して加圧バ
ネ３によって弾性体１と接触している。６は弾性体１に
固定された板状の支持板で、その中央をブロック状の支
持体７で固定され、弾性体１を支持している。
【０００４】弾性体１はその支持板６及び支持体７を介
して載置台４に支持されており、載置台４は予定移動方
向ＢY 方向以外の変位を拘束する拘束部材９によって支
持されている。
して載置台４に支持されており、載置台４は予定移動方
向ＢY 方向以外の変位を拘束する拘束部材９によって支
持されている。
【０００５】弾性体１に進行性振動波が形成されると、
レール状固定子８と弾性体１との摩擦力により、弾性体
１がレール状固定子８の上を移動し、それに伴って載置
台４及びその他の部材３，５，６，７も拘束部材９に沿
ってＢY 方向に移動する。その際、発生する摩擦駆動力
は弾性体１の一部に作用し、それが支持部とずれている
ために弾性体１にモーメントが働き、ＢX ，ＢY 方向に
ずれようとする。
レール状固定子８と弾性体１との摩擦力により、弾性体
１がレール状固定子８の上を移動し、それに伴って載置
台４及びその他の部材３，５，６，７も拘束部材９に沿
ってＢY 方向に移動する。その際、発生する摩擦駆動力
は弾性体１の一部に作用し、それが支持部とずれている
ために弾性体１にモーメントが働き、ＢX ，ＢY 方向に
ずれようとする。
【０００６】支持板６は図８に示す様にＸ字の形状をし
ており、４つの先端は弾性体１の内側側面にスポット溶
接などによりしっかりと接合されている。また、支持板
６の中央部は支持体７でしっかりとクランプされ、かつ
支持体７は載置台４に固定されているので、弾性体１に
モーメントが働いても、弾性体１が回転したり、ガタつ
くこともなく、載置台４と共にスムーズに直線運動が可
能となる。
ており、４つの先端は弾性体１の内側側面にスポット溶
接などによりしっかりと接合されている。また、支持板
６の中央部は支持体７でしっかりとクランプされ、かつ
支持体７は載置台４に固定されているので、弾性体１に
モーメントが働いても、弾性体１が回転したり、ガタつ
くこともなく、載置台４と共にスムーズに直線運動が可
能となる。
【０００７】このモーターは、間欠的駆動の位置制御を
高精度に行えることから、例えばバブルジェット式のプ
リンターにおける印字ヘッド駆動用として用いることが
提案され、載置台４に取付けられた不図示のキャリッジ
に印字ヘッドが装着され、該印字ヘッドを直線往復移動
させる。
高精度に行えることから、例えばバブルジェット式のプ
リンターにおける印字ヘッド駆動用として用いることが
提案され、載置台４に取付けられた不図示のキャリッジ
に印字ヘッドが装着され、該印字ヘッドを直線往復移動
させる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例ではレール状固定子８と拘束部材９とが別体で加工さ
れており、またこれらの部材はＢY 方向に細長い形状を
しているため、レール及び拘束部材の変形が大きく、レ
ール摺動面の平面度及び拘束部材のキャリッジガイド部
の平面度を精度よく加工するのは困難である。
例ではレール状固定子８と拘束部材９とが別体で加工さ
れており、またこれらの部材はＢY 方向に細長い形状を
しているため、レール及び拘束部材の変形が大きく、レ
ール摺動面の平面度及び拘束部材のキャリッジガイド部
の平面度を精度よく加工するのは困難である。
【０００９】さらに、これらのレール及び拘束部材を取
り付ける底板１０も薄い板であるため、そりなどの変形
が大きく、この底板に前記拘束部材９及びレール８を取
り付けるとさらにこれらの部材の変形がひどくなる。
り付ける底板１０も薄い板であるため、そりなどの変形
が大きく、この底板に前記拘束部材９及びレール８を取
り付けるとさらにこれらの部材の変形がひどくなる。
【００１０】そのため、両側の拘束部材９のキャリッジ
ガイド面の平行度が悪くなり、キャリッジがＢY 方向に
移動する際に場所によってキャリッジの傾きが変化する
ため、レール摺動面とキャリッジ間のギャップも変化し
てしまう。
ガイド面の平行度が悪くなり、キャリッジがＢY 方向に
移動する際に場所によってキャリッジの傾きが変化する
ため、レール摺動面とキャリッジ間のギャップも変化し
てしまう。
【００１１】一方、前述のように、弾性体１はキャリッ
ジに支持部材を介して取り付けられており、また加圧バ
ネ３もキャリッジに取り付けられているので、レール摺
動面とキャリッジとのギャップがＢY 方向の場所によっ
て変化すると、弾性体１に加えられる加圧力が変動して
しまうため、モーターの安定した駆動力を得ることがで
きない。また、キャリッジの傾きが場所によって変化す
ると、振動子も連動して傾くため、レール摺動面と振動
子との接触状態が悪くなり、モーター性能が劣化すると
いう問題があった。
ジに支持部材を介して取り付けられており、また加圧バ
ネ３もキャリッジに取り付けられているので、レール摺
動面とキャリッジとのギャップがＢY 方向の場所によっ
て変化すると、弾性体１に加えられる加圧力が変動して
しまうため、モーターの安定した駆動力を得ることがで
きない。また、キャリッジの傾きが場所によって変化す
ると、振動子も連動して傾くため、レール摺動面と振動
子との接触状態が悪くなり、モーター性能が劣化すると
いう問題があった。
【００１２】
【課題を解決するための手段及び作用】本発明の目的を
実現するための具体的な構成は、特許請求の範囲におけ
る請求項に記載した通りであり、レール状固定子に対し
て加圧接触する振動子と共に一体に移動する移動体と、
レール状固定子とに案内手段を設けたことにより、底板
の変形やそり等に影響されることなく振動子の加圧力の
変動及び摺動部の接触状態の不安定を取り除くことがで
きる。
実現するための具体的な構成は、特許請求の範囲におけ
る請求項に記載した通りであり、レール状固定子に対し
て加圧接触する振動子と共に一体に移動する移動体と、
レール状固定子とに案内手段を設けたことにより、底板
の変形やそり等に影響されることなく振動子の加圧力の
変動及び摺動部の接触状態の不安定を取り除くことがで
きる。
【００１３】
【実施例】図１及び図２は本発明による振動波リニアモ
ーターの第１の実施例を示す断面図及び一部切欠き平面
図である。
ーターの第１の実施例を示す断面図及び一部切欠き平面
図である。
【００１４】本実施例に用いられる振動子は、従来例と
同様に長円形状の弾性体１の片面に圧電素子２が接合さ
れ、また圧電素子２とは反対側の駆動面側には櫛歯形状
の突起（不図示）を進行波の進行方向に沿って多数隔設
している。弾性体１の対向する直線部間には支持板６が
スポット溶接等の接合手段により接合されており、上方
に位置する載置台４から下方に垂下された支持部材７の
下端部がこの支持板６に取り付けられ、載置台４と振動
子とが一体に組み付けられている。また、載置台４と弾
性体１との間には、板状の加圧バネ３が図１に示すよう
に筋交い状に設けられ、加圧バネ３の下端部と弾性体１
との間に介装したフェルト等の振動絶縁体５を介して加
圧バネ３のバネ力により、駆動に供する弾性体１の直線
駆動部を後記するレール状固定子８のレール部８Ａに押
圧している。
同様に長円形状の弾性体１の片面に圧電素子２が接合さ
れ、また圧電素子２とは反対側の駆動面側には櫛歯形状
の突起（不図示）を進行波の進行方向に沿って多数隔設
している。弾性体１の対向する直線部間には支持板６が
スポット溶接等の接合手段により接合されており、上方
に位置する載置台４から下方に垂下された支持部材７の
下端部がこの支持板６に取り付けられ、載置台４と振動
子とが一体に組み付けられている。また、載置台４と弾
性体１との間には、板状の加圧バネ３が図１に示すよう
に筋交い状に設けられ、加圧バネ３の下端部と弾性体１
との間に介装したフェルト等の振動絶縁体５を介して加
圧バネ３のバネ力により、駆動に供する弾性体１の直線
駆動部を後記するレール状固定子８のレール部８Ａに押
圧している。
【００１５】本実施例のレール状固定子８は、上面と外
側面に夫々案内溝９Ａ、９Ｂを長さ方向に沿って凹設し
ており、また下面部には横溝８Ｂによって適度な弾性を
有するレール部８Ａが形成されている。
側面に夫々案内溝９Ａ、９Ｂを長さ方向に沿って凹設し
ており、また下面部には横溝８Ｂによって適度な弾性を
有するレール部８Ａが形成されている。
【００１６】一方、載置台４の片側からはレール状固定
子８を跨ぐようにブリッジ部４Ａが形成されており、こ
の載置台４の片側の前後には夫々軸棒１２が固定され、
これら両軸棒１２の先端部には回転自由で、且つＢY 方
向の変位が拘束されたコロ軸受１１が案内溝９Ａに嵌合
するように取り付けられている。
子８を跨ぐようにブリッジ部４Ａが形成されており、こ
の載置台４の片側の前後には夫々軸棒１２が固定され、
これら両軸棒１２の先端部には回転自由で、且つＢY 方
向の変位が拘束されたコロ軸受１１が案内溝９Ａに嵌合
するように取り付けられている。
【００１７】また、載置台４のブリッジ部４Ａにはコロ
加圧バネ１５がバネ支持板１６を介して取り付けられて
おり、このコロ加圧バネ１５の先端には軸棒１４が固定
されていて、この軸棒１４には、回転自在で且つＢZ 方
向に拘束されたコロ軸受１３が案内溝９Ｂに嵌合するよ
うに取り付けられると共にバネ５のバネ力によりＢX方
向に付勢されて載置台４のＢX 方向のガタをなくしてい
る。
加圧バネ１５がバネ支持板１６を介して取り付けられて
おり、このコロ加圧バネ１５の先端には軸棒１４が固定
されていて、この軸棒１４には、回転自在で且つＢZ 方
向に拘束されたコロ軸受１３が案内溝９Ｂに嵌合するよ
うに取り付けられると共にバネ５のバネ力によりＢX方
向に付勢されて載置台４のＢX 方向のガタをなくしてい
る。
【００１８】不図示の電源から圧電素子２に高周波電界
を印加すると、弾性体１に進行性振動波が励振され、弾
性体１とレール状固定子８との摩擦力により弾性体１と
載置台４及び載置台４に取りつけられた部材（３，５，
６，７，１１，１２，１３，１４，１５，１６）はレー
ル状固定子８に設けられた案内溝９Ａ，９Ｂに沿ってＢ
Y 方向に移動する。
を印加すると、弾性体１に進行性振動波が励振され、弾
性体１とレール状固定子８との摩擦力により弾性体１と
載置台４及び載置台４に取りつけられた部材（３，５，
６，７，１１，１２，１３，１４，１５，１６）はレー
ル状固定子８に設けられた案内溝９Ａ，９Ｂに沿ってＢ
Y 方向に移動する。
【００１９】この時コロ１１は、このコロの幅よりわず
かに幅の広い溝９Ａに係合し、この溝９Ａに沿って転が
るが、前記の様にバネ１５によりＢX 方向に付勢された
コロ１３が設置されているため、コロ１１は溝９Ａの内
側片側面に押しつけられながら転がるので、載置台４も
ＢX 方向にガタつくことなくスムーズにＢY 方向に移動
が可能になる。
かに幅の広い溝９Ａに係合し、この溝９Ａに沿って転が
るが、前記の様にバネ１５によりＢX 方向に付勢された
コロ１３が設置されているため、コロ１１は溝９Ａの内
側片側面に押しつけられながら転がるので、載置台４も
ＢX 方向にガタつくことなくスムーズにＢY 方向に移動
が可能になる。
【００２０】図３に本発明の第２の実施例を示す。
【００２１】上記した第１の実施例は、コロ軸受１１，
１３を夫々案内溝９Ａ，９Ｂに嵌合させているが、本実
施例はこのコロ軸受に代えて第１の球状コロ軸受１７、
第２の球状コロ軸受１８を設けたもので、レール状固定
子８の上部の内側角度には第１の球状コロ軸受１７が係
合する断面Ｌ字形状の切欠き部３０を、またこの切欠き
部とは反対側の側面には第２の球状コロ軸受１７が若干
の隙間を有して嵌合する凹溝３１を形成し、レール状固
定子８に対して前後方向（ＢY 方向）に２つ隔設されて
いる第１の球状コロ軸受１７と、これらの第１の球状コ
ロ軸受１７との中間に配置されている第２の球状コロ軸
受１８とをＢX 方向において挟持するようにしている。
また、第２の球状コロ軸受１８は加圧バネ１５により凹
溝３１の内壁面３１ｄに押圧され、第１の球状コロ軸受
１７は加圧バネ３の付勢圧力の反力により、切欠き部３
０のガイド面３０Ａに押し付けられ、載置台４及び振動
子１等の自重により図中Ｍ1 方向のモーメントが作用す
るため、前記コロ軸受１８がガイド面３１ｃに押しつけ
られて載置台４の姿勢を維持している。
１３を夫々案内溝９Ａ，９Ｂに嵌合させているが、本実
施例はこのコロ軸受に代えて第１の球状コロ軸受１７、
第２の球状コロ軸受１８を設けたもので、レール状固定
子８の上部の内側角度には第１の球状コロ軸受１７が係
合する断面Ｌ字形状の切欠き部３０を、またこの切欠き
部とは反対側の側面には第２の球状コロ軸受１７が若干
の隙間を有して嵌合する凹溝３１を形成し、レール状固
定子８に対して前後方向（ＢY 方向）に２つ隔設されて
いる第１の球状コロ軸受１７と、これらの第１の球状コ
ロ軸受１７との中間に配置されている第２の球状コロ軸
受１８とをＢX 方向において挟持するようにしている。
また、第２の球状コロ軸受１８は加圧バネ１５により凹
溝３１の内壁面３１ｄに押圧され、第１の球状コロ軸受
１７は加圧バネ３の付勢圧力の反力により、切欠き部３
０のガイド面３０Ａに押し付けられ、載置台４及び振動
子１等の自重により図中Ｍ1 方向のモーメントが作用す
るため、前記コロ軸受１８がガイド面３１ｃに押しつけ
られて載置台４の姿勢を維持している。
【００２２】また加圧バネ１５により前記コロ軸受１８
をＢX 方向に付勢し、ガイド面３１ｄに押しつけること
により、載置台４のＢX 方向自由度はコロ軸受１７を介
してガイド面３０Ｂに拘束される。
をＢX 方向に付勢し、ガイド面３１ｄに押しつけること
により、載置台４のＢX 方向自由度はコロ軸受１７を介
してガイド面３０Ｂに拘束される。
【００２３】従って不図示の電源から圧電素子２に高周
波電界を印加し、弾性体１に進行性振動波を励振する
と、弾性体１及び載置台４は前記ガイド３０Ａ，３０
Ｂ，３１ｃ〜３１ｅ及び前記コロ軸受１７，１８により
ＢX ，ＢZ 方向にガタつくことなくスムーズにＢY 方向
に往復駆動ができる。
波電界を印加し、弾性体１に進行性振動波を励振する
と、弾性体１及び載置台４は前記ガイド３０Ａ，３０
Ｂ，３１ｃ〜３１ｅ及び前記コロ軸受１７，１８により
ＢX ，ＢZ 方向にガタつくことなくスムーズにＢY 方向
に往復駆動ができる。
【００２４】図４は本発明による振動波リニアモーター
の第３の実施例を示す。
の第３の実施例を示す。
【００２５】本実施例は、上記した実施例とは逆に振動
子の駆動面を下向きに、レール状固定子８の下部に上向
きのレール面を形成し、また上記の第２の実施例と同様
に載置台４には第１の球状コロ軸受１７と第２の球状コ
ロ軸受１８とを設け、第２の球状コロ軸受１８をレール
状固定子８の凹溝３１に嵌合させているが、第１の球状
コロ軸受１７は同様の凹溝４０に若干の隙間の有して嵌
合させ、その内壁面に形成されているガイド面４０Ａ，
４０Ｂに第１の球状コロ軸受１７を当接させている。
子の駆動面を下向きに、レール状固定子８の下部に上向
きのレール面を形成し、また上記の第２の実施例と同様
に載置台４には第１の球状コロ軸受１７と第２の球状コ
ロ軸受１８とを設け、第２の球状コロ軸受１８をレール
状固定子８の凹溝３１に嵌合させているが、第１の球状
コロ軸受１７は同様の凹溝４０に若干の隙間の有して嵌
合させ、その内壁面に形成されているガイド面４０Ａ，
４０Ｂに第１の球状コロ軸受１７を当接させている。
【００２６】また本実施例は第２の実施例も同様である
が、第２の球状コロ軸受１８の外径は、凹溝３１の開口
幅よりも僅かに小径に形成し、コロ軸受１８が面３１ｃ
に当接している場合には面３１ｅとは僅かに離れるた
め、モーメントＭ2 がかかったような場合でも、載置台
４はＭ2 方向に殆ど傾かず、第２のコロ軸受１８がガイ
ド面３１ｅに接して載置台４の姿勢を維持するようにし
ている。
が、第２の球状コロ軸受１８の外径は、凹溝３１の開口
幅よりも僅かに小径に形成し、コロ軸受１８が面３１ｃ
に当接している場合には面３１ｅとは僅かに離れるた
め、モーメントＭ2 がかかったような場合でも、載置台
４はＭ2 方向に殆ど傾かず、第２のコロ軸受１８がガイ
ド面３１ｅに接して載置台４の姿勢を維持するようにし
ている。
【００２７】なお、第１，第２の球状コロ軸受１７，１
８に対して軸棒１２，１４は貫通しておらず、したがっ
て第１，第２の球状コロ軸受１７，１８のガイド面との
接触面は滑らかな球面となっている。
８に対して軸棒１２，１４は貫通しておらず、したがっ
て第１，第２の球状コロ軸受１７，１８のガイド面との
接触面は滑らかな球面となっている。
【００２８】図５は本発明による振動波リニアモーター
の第４の実施例を示しており、図にはレール状固定子８
のみを示している。
の第４の実施例を示しており、図にはレール状固定子８
のみを示している。
【００２９】上記した第２，第３の実施例は、第１の球
状コロ軸受１７及び第２の球状コロ軸受１８を断面凹形
状の溝や、断面Ｌ字形状の切欠き部に嵌合等させている
が、本実施例では断面楔形の溝部５０，５１に嵌合させ
ている。
状コロ軸受１７及び第２の球状コロ軸受１８を断面凹形
状の溝や、断面Ｌ字形状の切欠き部に嵌合等させている
が、本実施例では断面楔形の溝部５０，５１に嵌合させ
ている。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、底
板やレールのそりに影響されることなく振動子の加圧力
が一定に保持でき、安定したモーター出力が得られる効
果がある。
板やレールのそりに影響されることなく振動子の加圧力
が一定に保持でき、安定したモーター出力が得られる効
果がある。
【図１】本発明による振動波リニアモーターの第１の実
施例を示す側面図。
施例を示す側面図。
【図２】図１の一部切欠き平面図。
【図３】第２の実施例の断面図。
【図４】第３の実施例の断面図。
【図５】第４の実施例の断面図。
【図６】従来の振動波リニアモーターの断面図。
【図７】図６の平面図。
【図８】図６の支持板の平面図。
１…弾性体 １５…加圧バ
ネ ２…圧電素子 １６…取り付
け部材 ３…加圧バネ １７、１８…
球状コロ軸受 ４…載置台 ５…振動絶縁体 ６…弾性体支持板 ７…支持体 ８…レール状固定子 ９…拘束部材 ９Ａ、９Ｂ…案内溝 １０…底板 １１、１３…軸受コロ １２、１４…コロ軸棒
ネ ２…圧電素子 １６…取り付
け部材 ３…加圧バネ １７、１８…
球状コロ軸受 ４…載置台 ５…振動絶縁体 ６…弾性体支持板 ７…支持体 ８…レール状固定子 ９…拘束部材 ９Ａ、９Ｂ…案内溝 １０…底板 １１、１３…軸受コロ １２、１４…コロ軸棒
Claims (9)
- 【請求項１】 ループ形状に形成された振動弾性体に電
気−機械エネルギー変換素子を接合し、該電気−機械エ
ネルギー変換素子に駆動用信号を印加することにより該
振動弾性体の駆動面に進行性振動波を形成する振動子
と、該振動子における弾性振動体の駆動面に接触するレ
ール状固定子と、該振動子に取り付けられて該振動子と
共に該レール状固定子に沿って移動する移動体と、該振
動子を該レール状固定子に押圧する加圧手段と、該移動
体を予定の移動方向に沿って案内する案内手段とを有
し、該振動子の駆動によって該移動体を該レール状固定
子に沿った予定移動方向に移動させる振動波リニアモー
ターにおいて、 該案内手段は、該移動体に設けられた被規制部材と、該
レール状固定子に設けられ、該被規制部材の移動を予定
移動方向以外に対して規制する規制部とから構成したこ
とを特徴とする振動波リニアモーター。 - 【請求項２】 請求項１において、案内手段を構成する
被規制部材と規制部とからなる規制案内部は予定の移動
方向に沿った駆動に供する摺動面以外の２面に夫々設け
られ、付勢手段により双方の被規制部材を双方の規制部
の一側面に押圧したことを特徴とする振動波モータリニ
アモーター。 - 【請求項３】 請求項２において、案内手段は互いに直
交した２面に設けたことを特徴とする振動波リニアモー
ター。 - 【請求項４】 請求項２において、案内手段は対向した
２面に設けたことを特徴とする振動波リニアモーター。 - 【請求項５】 請求項１，２，３又は４において、案内
手段を構成する被規制部材は転動部材であることを特徴
とする振動波リニアモーター。 - 【請求項６】 請求項１，２，３，４又は５において、
案内手段の規制部は溝部であることを特徴とする振動波
リニアモーター。 - 【請求項７】 請求項１，２，３，４，５又は６におい
て、案内手段の規制部は凹溝であることを特徴とする振
動波リニアモーター。 - 【請求項８】 請求項１，２，３，４，５又は６におい
て、案内手段の規制部は断面楔形の溝であることを特徴
とする振動波リニアモーター。 - 【請求項９】 請求項３，４，５又は６において、一方
の案内手段の規制部はガイド面であることを特徴とする
振動波リニアモーター。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP3226047A JPH0564467A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 振動波リニアモーター |
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|---|---|---|---|
| JP3226047A JPH0564467A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 振動波リニアモーター |
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| JPH0564467A true JPH0564467A (ja) | 1993-03-12 |
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