JPH0564729B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はガスのサンプリング、稀釈等の操作を
自動的におこなうガス稀釈装置に関する。

〔従来の技術〕

第２図ａ，ｂに活性炭吸着フイルタ等の吸着性
能測定時に使用するガスの稀釈、分析をおこなう
従来の装置を示す。サンプリング装置１００には
低濃度ガス入口１０１と高濃度ガス入口１０７が
設けられている。低濃度ガス入口１０１には、流
路１０２、手動操作バルブ１０３、流路１０４、
試料採取口１０５がこの順で設けられている。試
料採取口１０５とガスサンプラ１１７は流路１０
６で接続されている。高濃度ガス入口１０７に
は、流路１０８、試料採取口１０９、流路１１
０、手動操作バルブ１１１、流路１１２、排気ポ
ンプ１１３がこの順で設けられている。流路１１
２からは流路１１４が分岐しており、この流路１
１４にはＴ字型の手動操作バルブ１１５を介して
排気口１１９が接続されている。この手動操作バ
ルブ１１５とガスサンプラ１１７とは流路１１６
により接続されている。ガスサンプラ１１７には
所定量のガスを計量する計量管１１８が設けられ
ている。

ガスクロマトグラフ１２０にはチツ素ガス入口
１２１と、試料注入口１２８とが設けられてい
る。チツ素ガス入口１２１には、流路１２２、弁
１２３、流路１２４、弁１２５、流路１２６がこ
の順で設けられており、流路１２６はガスサンプ
ラ１１７に接続されている。ガスサンプラ１１７
と試料注入口１２８とは流路１２７で接続されて
いる。試料注入口１２８には分離カラム１２９が
接続されており、この分離カラム１２９には電子
補獲型検出器（Electron Capture Detector
（ECD））１３０が接続されている。この電子補
獲型検出器１３０には流路１３１を介して排気口
１３２が設けられている。電子補獲型検出器１３
０の検出信号増幅器１３３で増幅され記録計１３
４で記録される。

マグネチツクスターラ１５０上にはガス稀釈の
ための稀釈容器１４５が設けられている。稀釈容
器１４５への試料の注入および試料の採取は試料
採取口１４４でなされる。また、稀釈容器１４５
には流路１４６、手動操作バルブ１４７、流路１
４９を介して排気ポンプ１４８が接続されてい
る。さらに、稀釈容器１４５には活性炭フイルタ
１４０、流路１４１、手動操作バルブ１４２、流
路１４３が設けられている。

かかる従来の装置でガスのサンプリング、稀
釈、分析をおこなう場合には、注射器（図示せ
ず）を用いてオペレータがガスの採取、注入をお
こなうとともに、手動操作バルブ１０３，１１
１，１１５，１４２，１４７を手動操作する。例
えば、上流側の高濃度ガスの分析をおこなう場合
には次のような手順でおこなう。まず、手動操作
バルブ１４２，１４７を開き排気ポンプ１４８で
排気して稀釈容器１４５をクリーニングする。次
に、手動操作バルブ１１１を開き排気ポンプ１１
３で高濃度ガスを吸引しながら、試料採取口１０
９からガスを所定量（例えば１ml）注射器で採取
する。採取した高濃度ガスを試料採取口１４４か
ら、手動操作バルブ１４２，１４７を閉じて密封
された稀釈容器１４５中に注射器で注入する。稀
釈容器１４５では１mlの高濃度ガスを、例えば
1000倍に稀釈する。次に稀釈されたガス試料採取
口１４４から別の注射器で採取し、試料採取口１
０５から所定量（例えば20ml）注入する。これに
より、稀釈されたガスはガスサンプラ１１７の計
量管１１８に満たされる。次にガスサンプラ１１
７を60度回転させ、チツ素ガスを流入させること
により、計量管１１８中の試料ガスをガスクロマ
トグラフ１２０に導入する。試料ガスは分離カラ
ム１２９を経て電子補獲型検出器１３０で検出、
分析され、その後排気される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記のような従来の装置では、注射器による試
料の採取、注入、手動操作バルブ１０３，１１
１，１１５，１４２，１４７やガスサンプラ１１
７の操作は、定められた順番に従つてオペレータ
がする必要がある。しかしながら、これら操作は
極めて複雑であり、熟練したオペレータでも操作
ミスをすることがあり、作業効率が悪いという問
題点があつた。

本発明は、かかる問題点を解決するためになさ
れたので、未熟なオペレータでも簡単に操作で
き、作業効率が良いガス稀釈装置を提供すること
を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明による稀釈装置は、第１のガスサンプラ
でサンプリングされた高濃度ガスを圧縮気体によ
り稀釈容器中に高圧封入して稀釈し、稀釈された
ガスを稀釈容器内の気圧により第２のガスサンプ
ラに流入させてサンプリングするようにしてい
る。

〔作用〕

本発明のガス稀釈装置においては、ガスのサン
プリング、稀釈、稀釈のガスのサンプリング等の
操作がオペレータの操作を煩わせることなくすべ
て自動的におこなわれる。これにより、操作ミス
がなくなるとともに作業効率も極めて上昇する。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例によるガス稀釈装置
を示す。活性炭フイルタ上流側からの高濃度ガス
入口１２にはエアフイルタ７−１が設けられ、こ
のエアフイルタ７−１からは流路５０が延びてい
る。流路５０は流路５１と流路５２に分岐し、流
路５１の下流側には圧力調整のためのニードルバ
ルブ１０−１が設けられている。ニードルバルブ
１０−１の下流側には流路５５を介して電磁弁９
−１が設けられている。電磁弁９−１を開閉する
ためにソレノイド２１−１が設けられている。電
磁弁９−１は吸引ポンプ接続口１５を介して吸引
ポンプ（図示せず）に接続されている。

流路５０から分岐した流路５２は自動ガスサン
プラ１−１の入口ａに接続されている。自動ガス
サンプラ１−１は、３つの入口ａ，ｂ，ｃと３つ
の出口ｄ，ｅ，ｆを有し、さらに、これら入口
ａ，ｂ，ｃと出口ｄ，ｅ，ｆ間を連通させるため
の流路ｇ，ｈ，ｉを有している。出口ｄと入口ｂ
間には、一定量のガスを計量するための計量管２
０−１が設けられている。流路ｇ，ｈ，ｉは一体
的に回転可能であり、隣接する任意の入口と出口
間を連通させる。流路ｇ，ｈ，ｉの回転は、全体
の制御をつかさどるシーケンスコントローラ（図
示せず）からの指示により、図示しない駆動手段
によりなされる。出口ｅには流路５３が接続さ
れ、この流路５３にはニードルバルブ付の流量計
６−１が設けられている。流量計６−１にはさら
に流路５４が設けられ、ニードルバルブ１０−１
と電磁弁９−１間の流路５５に合流している。

圧縮空気または圧縮ガスが流入する圧縮空気
（または圧縮ガス）入口１４にはエアフイルタ７
−２が設けられ、このエアフイルタ７−２には流
路６０を経て減圧弁１１が設けられている。さら
に、この減圧弁１１には流路６１を経て活性炭フ
イルタ８−１が設けられており、この活性炭フイ
ルタ８−１には流路６２を介して電磁弁９−３が
設けられている。電磁弁９−３はソレノイド２１
−３により開閉される。電磁弁９−３の下流側に
は流路６３が設けられ、この流路６３は自動ガス
サンプラ１−１の第３の入口ｃに接続されてい
る。自動ガスサンプラ１−１の第３の出口ｆは流
路６４により稀釈容器２の試料注入口３に接続さ
れている。

稀釈容器２の下にはマグネチツクスターラ４が
設けられている。マグネチツクスターラ４は、モ
ータ４ａに連結された磁石４ｂを回転させること
により、稀釈容器２中の撹拌子２ａを回転させて
撹拌し、ガスを均一に稀釈する。稀釈容器２に
は、さらに圧力変換器５が設けられる。この圧力
変換器５は稀釈容器２内の圧力を検出する。

稀釈容器２から下側側には流路６５を経て電磁
弁９−４が設けられている。電磁弁９−４はソレ
ノイド２１−４により開閉される。電磁弁９−４
の下流側には自動ガスサンプラ１−２が設けられ
ている。電磁弁９−４と自動ガスサンプラ１−２
の入口ｅが流路６６により接続されている。自動
ガスサンプラ１−２は入口（または出口）ａ，
ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆと流路ｇ，ｈ，ｉを有してい
る。また、出口ｂと入口ｄ間には計量管２０−２
が設けられている。出口ａには流路６７が接続さ
れ、流路６７の下流側には活性炭フイルタ８−２
が設けられている。活性炭フイルタ８−２には排
気口１７が設けられている。

活性炭フイルタ下流側よりの低濃度ガスが流入
する低濃度ガス入口１３にはエアフイルタ７−３
が設けられ、このエアフイルタ７−３からは流路
７０が延びている。流路７０は流路７１と流路７
６とに分岐し、流路７１の下流側には圧力調整の
ためのニードルバルブ１０−２が設けられてい
る。ニードルバルブ１０−２には流路７２を介し
て電磁弁９−２が設けられている。電磁弁９−２
はソレノイド２１−２で開閉される。電磁弁９−
２は吸引ポンプ接続口１６を介して吸引ポンプ
（図示せず）に接続されている。

流路７０より分岐した流路７６の下流側には自
動ガスサンプラ１−３が設けられている。流路７
６は自動ガスサンプラ１−３の入口ａに接続され
ている。自動ガスサンプラ１−３は入口（または
出口）ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆと流路ｇ，ｈ，ｉ
を有し、出口ｄと入口ｄ間には計量管２０−３が
設けられている。出口ｅには流路７７が接続さ
れ、この流路７７にはニードルバルブ付の流量計
６−２が設けられている。流量計６−２にはさら
に流路７８が設けられ、ニードルバルブ１０−２
と電磁弁９−２間の流路７２に合流している。

チツ素ガスを流入するチツ素ガス入口１８は流
路７３を経て、自動ガスサンプラ１−２の入口ｃ
に接続されている。自動ガスサンプラ１−２の出
口ｆと自動ガスサンプラ１−３の入口ｃとは流路
７４で接続され、自動ガスサンプラ１−３の出口
ｆは流路７５、チツ素ガス出口１９を経てガス分
析をおこなうガスクロマトグラフ（図示せず）に
接続されている。

電磁弁９−１，２，３，４のソレノイド２１−
１，２，３，４、自動ガスサンプラ１−１，２，
３、マグネチツクスターラ４のモータ４ａは、図
示しないシーケンスコントローラの制御下におか
れ、所定のシ−ケンスでオン、オフ制御される。

次に動作を説明する。このガス稀釈装置には(A)
待機モード、(B)高濃度ガス測定モード、(C)低濃度
ガス測定モード、(D)交互測定モード、(E)交互測
定モード、(F)校正モードの６つの運転モードが
ある。以下これら各運転モードについて詳細に説
明する。

(A) 待機モード 待機モードは、稀釈容器２のクリーニングをお
こない、他の運転モードに移るのを待つているモ
ードである。

ステツプA1 電磁弁９−３と９−４を開き、マグネチツクス
ターラ４をオンにする。自動ガスサンプラ１−
１，２，３は第１図の状態にする。これにより、
圧縮空気が、圧縮空気入口１４→エアフイルタ７
−２→流路６０→減圧弁１１→流路６１→活性炭
フイルタ８−１→流路６２→電磁弁９−３→流路
６３→自動ガスサンプラ１−１（流路ｉ）→流路
６４→試料注入口３の経路により稀釈容器２に流
入する。活性炭フイルタ８−１で清浄にされた圧
縮空気により稀釈容器２がクリーニングされる。
クリーニング後の圧縮空気は、稀釈容器２→流路
６５→電磁弁９−４→流路６６→自動ガスサンプ
ラ１−２の流路ｈ→計量管２０−２→自動ガスサ
ンプラ１−２の流路ｇ→流路６７→活性炭フイル
タ８−２→排気口１７の経路により排気される。
この稀釈容器２のクリーニングは約２分間おこな
われる。

ステツプA2 次に電磁弁９−３を閉じると、稀釈容器２内の
圧力が徐々に減少する。圧力変換器５で稀釈容器
２内の圧力を検出し、内圧がゼロになるのを待
つ。

ステツプA3 内圧がゼロになつたことが検出されると、電磁
弁９−４を閉じるとともにマグネチツクスターラ
４をオフにする。これらにより稀釈容器２がクリ
ーニングされ、他の運転モードへ移る準備が完了
する。

(B) 高濃度ガス測定モード 高濃度ガス測定モードは、活性炭フイルタ上流
側からの高濃度ガスを稀釈して繰り返し測定する
運転モードである。スタートボタンを押すと、高
濃度ガスを繰り返し測定し、ストツプボタンを押
すとその回の測定を終了するとともに停止する。

ステツプB1 電磁弁９−３と９−４を閉じ、電磁弁９−１と
９−２を開く。これにより高濃度ガスが、高濃度
ガス入口１２→エアフイルタ７−１→流路５０→
流路５１→ニードルバルブ１０−１→流路５５→
電磁弁９−１→吸引ポンプ接続口１５の経路によ
りポンプ（図示せず）で吸引される。また、流路
５０から分岐された高濃度ガスは、流路５２→自
動ガスサンプラ１−１の流路ｇ→計量管２０−１
→自動ガスサンプラ１−１の流路ｈ→流路５３→
流量計６−１→流路５４の経路により流路５５に
合流する。

低濃度ガスは、低濃度ガス入口１３→エアフイ
ルタ７−３→流路７０→流路７１→ニードルバル
ブ１０−２→流路７２→電磁弁９−２→吸引ポン
プ接続口１６の経路により、ポンプ（図示せず）
で吸引される。また、流路７０から流路７６に分
岐された低濃度ガスは、流路７６→自動ガスサン
プラ１−３の流路ｇ→計量管２０−３→自動ガス
サンプラ１−３の流路ｈ→流路７７→流量計６−
２→流路７８の経路により流路７２に合流する。

またチツ素ガスは、チツ素ガス入口１８→流路
７３→自動ガスサンプラ１−２の流路ｉ→流路７
４→自動ガスサンプラ１−３の流路ｉ→流路７５
→チツ素ガス出口１９の経路により、ガスクロマ
トグラフイへ送られている。

なお、ニードルバルブ１０−１と１０−２は自
動ガスサンプラ１−１と１−３に適切な量（約50
〜100ml／mm程度）の空気が流れるように調節し
ている。

ステツプB2 スタートボタンを押すと、電磁弁９−１が閉じ
る。自動ガスサンプラ１−１の計量管２０−１内
の空気圧力が、活性炭フイルタ上流側空気の圧力
と等しくなるのを待つ。かかる均圧化のために
は、数秒から10秒程度の時間が必要である。

ステツプB3 次に自動ガスサンプラ１−１を時計方向に60度
回転させ、流路ｇが入口ｃと出口ｄ間を接続し、
流路ｉが入口ｂと出口ｆ間を接続する。すると、
流路６３→自動ガスサンプラ１−１の流路ｇ→計
量管２０−１→流路ｉ→流路６４の流通経路がで
きる。続いて電磁弁９−３を開き、計量管２０−
１中の高濃度ガスを、活性炭フイルタ８−１で清
浄にされた圧縮空気で稀釈容器２へ送入する。

稀釈容器２内の圧力Ｐは圧力変換器５で検出さ
れ、このＰが次の(1)式で示された値になると電磁
弁９−３を閉じる。同時に、自動ガスサンプラ１
−１を反時計方向に60°回転させて第１図の状態
にもどす。

Ｐ＝ｄ・ｖ／Ｖ−１ ……(1) ただし、Ｐ：稀釈容器２内の圧力（Vg／cm²Ｇ） ｄ：稀釈倍率 ｖ：計量器２０−１の容積（ml） Ｖ：稀釈容器２の容積（ml） ステツプB4 マグネチツクスターラ４をオンにし、稀釈容器
２内の撹拌子２ａを回転させて、高濃度ガスと清
浄空気を30秒程度混合する。

ステツプB5 電磁弁９−４を開くと、稀釈容器２内の稀釈ガ
スは、流路６５→電磁弁９−４→流路６６→自動
ガスサンプラ１−２の流路ｈ→計量管２０−２→
自動ガスサンプラ１−２の流路ｇ→流路６７→活
性炭フイルタ８−２→排気口１７の経路を通つて
排出される。そして、稀釈容器２の内圧がゼロに
なるまで待つ。

ステツプB6 圧力変換器５により稀釈容器２内の圧力がゼロ
になると、自動ガスサンプラ１−２が時計方向に
60度回転する。すると、流路ｇが入口ｃと出口ｄ
間を接続し、流路ｉが入口ｂと出口ｆ間を接続す
る。したがつてチツ素ガス入口１８からのチツ素
ガスが、流路７３→自動ガスサンプラ１−２の流
路ｇ→計量管２０−２→流路ｉ→流路７４→自動
ガスサンプラ１−３の流路ｉ→流路７５→チツ素
ガス出口１９の経路を流れ、計量管２０−２中の
試料ガスをガスクロマトグラフに送り込む。ガス
クロマトグラフでは送り込まれたガスの分析がお
こなわれる。

ステツプB7 自動ガスサンプラ１−２の計量管２０−２中の
試料ガスがガスクロマトグラフに送り込まれた
後、自動ガスサンプラ１−２を反時計方向に60度
回転して第１図の状態にもどす。次に電磁弁９−
３を開くと、ステツプA1と同じ状態になり、稀
釈容器２が清浄な圧縮空気でクリーニングされ
る。

ステツプB8 分析所要時間（例えば２分間）を設定したタイ
マ（図示せず）がタイムアツプすると、電磁弁９
−３を閉じ（ステツプA1）、稀釈容器２中の内圧
がゼロになるのを待つて電磁弁９−４を閉じる
（ステツプA2）。

ステツプB9 ストツプボタンが押されていればそのまま停止
する。ストツプボタンが押されていなければ再び
ステツプB1からステツプB8を繰り返し、高濃度
ガスを測定する。

(C) 低濃度ガス測定モード 低濃度ガス測定モードは、活性炭フイルタ下流
側からの低濃度ガスを繰り返し測定する運転モー
ドである。スタートボタンを押すと低濃度ガスを
繰り返し測定し、ストツプボタンを押すとその回
の測定を終らするとともに停止する。

ステツプC1 電磁弁９−３と９−４を閉じ、電磁弁９−１と
９−２を開く。これによりステツプB1と同じ状
態になる。

ステツプC2 スタートボタンを押すと電磁弁９−２が閉じ
る。自動ガスサンプラ１−３の計量管２０−３内
の空気圧力が、活性炭フイルタ下流側空気の圧力
と等しくなるのを待つ。かかる均圧化のために
は、数秒から10秒程度の時間が必要である。

ステツプC3 次に自動ガスサンプラ１−３を時計方向に60度
回転させ、流路ｇが入口ｅと出口ｄ間を接続し、
流路ｉが入口ｂと出口ｆ間を接続する。すると、
流路７４→自動ガスサンプラ１−３の流路ｇ→計
量管２０−３→流路ｉ→流路７５の流通経路がで
きる。したがつてチツ素ガス入口１８からのチツ
素ガスが、計量管２０−３内の低濃度ガスクロマ
トグラフに送り込む。ガスクロマトグラフでは送
り込まれたガスの分析がおこなわれる。自動ガス
サンプラ１−３の計量管２０−３中の試料ガスが
ガスクロマトグラフに送り込まれた後、自動ガス
サンプラ１−３を反時計方向に60度回転して第１
図の状態にもどす。

ステツプC4 ストツプボタンが押されていればそのまま停止
する。ストツプボタンが押されていなければ再び
ステツプC1からステツプC3を繰り返し、低濃度
ガスを測定する。

(D) 交互測定モード 交互測定モードは、上流側からの高濃度ガス
の測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交互に
おこなう運転モードである。ステツプB1からス
テツプB8により高濃度ガスの採取、稀釈測定を
した後、ステツプC1からステツプC3により低濃
度ガスの採取、測定をおこない、これを繰り返
す。

(E) 交互測定モード 交互測定モードと同様、上流側からの高濃度
ガスの測定と下流側からの低濃度ガスの測定を交
互におこなう運転モードである。しかしこの運転
モードでは、ステツプB1からステツプB4により
高濃度ガスの採取、稀釈をおこなつている間に、
ステツプC1からステツプC3を実行して低濃度ガ
スの採取、測定をおこなう。低濃度ガスの測定
後、ステツプB5からステツプB8を実行して高濃
度ガスの測定をおこなう。この運転モードは、先
の交互測定モードより高速で測定できる。

(F) 校正モード 校正モードは、比較的高濃度の標準ガスサンプ
ル、または液体サンプルを稀釈して測定する運転
モードである。

ステツプF1 標準サンプルを注射器で稀釈容器２の試料注入
口３から注入する。なお、液体サンプルの場合、
試料注入口３を外側からヒータで加熱しておけ
ば、液体サンプルは気化されてガスになり稀釈容
器２中に注入可能となる。

ステツプF2 スタートボタンを押すと、標準サンプルは清浄
な圧縮空気で稀釈容器２中に送り込まれる。その
後はステツプB3からステツプB8により、標準サ
ンプルの稀釈、採取、測定をおこなう。

このような本実施例によれば、高濃度ガスの稀
釈は稀釈容器内で加圧状態で行なつているので、
混合、稀釈後は稀釈容器の出口側の電磁弁を開く
と稀釈サンプルは内圧によつて出てくる。したが
つて、稀釈後のサンプルを吸引するための真空ポ
ンプや注射器を必要としない。

また、ガスの稀釈倍率は(1)式で決定されるの
で、計量器の容積ｖと稀釈容器の容積Ｖを変えな
くとも、稀釈容器内の圧力Ｐを変化させるだけ
で、稀釈倍率ｄを容易に変更することができる。

したがつて、稀釈圧力を検出する圧力変換器か
ら信号をデイジタルメータリレーを用いて数値変
換をおこなえば、稀釈倍率を直読することができ
る。

また、モード選択スイツチにより選択するだけ
で、高濃度ガス測定、低濃度ガス測定、高濃度／
低濃度ガス交互測定等の運転モードを容易に変更
することができる。

さらに、操作はシーケンスコントローラにより
自動的におこなわれるので、オペレータによる操
作ミスが発生せず、高精度の測定をおこなうこと
ができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されず種々の
変更が可能である。

〔発明の効果〕

本発明は以上説明したとおり、ガスのサンプリ
ング、稀釈、測定等の操作をすべて自動的におこ
なうようにしたので、操作ミスがなくなるととも
に作業効率が極めて良くなるという優れた効果を
奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるガス稀釈装置
の構成図、第２図ａ，ｂは従来のガス稀釈分析装
置の構成図である。 図において、１−１〜３……自動ガスサンプ
ラ、２……稀釈容器、２ａ……撹拌子、３……試
料注入口、４……マグネチツクスターラ、４ａ…
…モータ、４ｂ……磁石、５……圧力変換器、６
−１，２……ニードルバルブ付の流量計、７−１
〜３……エアフイルタ、８−１，２……活性炭フ
イルタ、９−１〜４……電磁弁、１０−１，２…
…ニードルバルブ、１１……減圧弁、１２……高
濃度ガス入口、１３……低濃度ガス入口、１４…
…圧縮空気（または圧縮ガス）入口、１５，１６
……吸引ポンプ接続口、１７……排気口、１８…
…チツ素ガス入口、１９……チツ素ガス出口、２
０−１〜３……計量管、２１−１〜４……ソレノ
イド、１０１……低濃度ガス入口、１０３，１１
１，１１５……手動操作バルブ、１０５，１０９
……試料採取口、１０７……高濃度ガス入口、１
１３……排気ポンプ、１１７……ガスサンプラ、
１１８……計量管、１２１……チツ素ガス入口、
１２３，１２５……弁、１２８……試料注入口、
１２９……分離カラム、１３０……電子補獲型検
出器、１３１……排気口、１３３……増幅器、１
３４……記録計、１４０……活性炭フイルタ、１
４２，１４７……手動操作バルブ、１４４……試
料採取口、１４５……稀釈容器、１４８……排気
ポンプ、１５０……マグネチツクスターラであ
る。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 高濃度ガス入口と、低濃度ガス入口と、圧縮
   空気入口と、前記高濃度ガスの一定量を前記圧縮
   空気で稀釈する撹拌機付き稀釈容器と、この稀釈
   容器で稀釈されたガスの一定量を送出する送出路
   と、前記低濃度ガスの一定量を前記稀釈容器を経
   由せずして前記送出路に合流せしめる流路とを具
   備し、さらに、前記稀釈容器のクリーニングを行
   いつつ他の運転モードに移るのを待つ待機モード
   と、前記高濃度ガスを稀釈して繰り返し測定する
   高濃度ガス測定モードと、前記低濃度ガスを繰り
   返し測定する低濃度ガス測定モードと、前記高濃
   度ガスと低濃度ガスを交互に測定する交互測定モ
   ードとに分け、前記各モードを切替スイツチ等に
   より選択して制御する手段を備えたことを特徴と
   するガス稀釈装置。