JPH0565671A - 非晶質合金層を有する積層構造体及びその製造方法 - Google Patents
非晶質合金層を有する積層構造体及びその製造方法Info
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- JPH0565671A JPH0565671A JP3224392A JP22439291A JPH0565671A JP H0565671 A JPH0565671 A JP H0565671A JP 3224392 A JP3224392 A JP 3224392A JP 22439291 A JP22439291 A JP 22439291A JP H0565671 A JPH0565671 A JP H0565671A
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Landscapes
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 強固に接合できるとともに組成の変化のない
非晶質合金層を形成できる非晶質合金層を有する積層構
造体及びその製造方法を提供することにある。 【構成】 ステンレス鋼板3上にはステンレス鋼板3よ
りも低融点である銀ロウ材2が加熱により接合されてい
る。この銀ロウ材2上には銀ロウ材2よりも高融点であ
る合金薄帯1が加熱により接合され、合金薄帯1の表面
にはレーザビームの照射による非晶質合金層5が形成さ
れている。
非晶質合金層を形成できる非晶質合金層を有する積層構
造体及びその製造方法を提供することにある。 【構成】 ステンレス鋼板3上にはステンレス鋼板3よ
りも低融点である銀ロウ材2が加熱により接合されてい
る。この銀ロウ材2上には銀ロウ材2よりも高融点であ
る合金薄帯1が加熱により接合され、合金薄帯1の表面
にはレーザビームの照射による非晶質合金層5が形成さ
れている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、非晶質合金層を有す
る積層構造体及びその製造方法に関するものである。
る積層構造体及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】非晶質合金層は各種の優れた特性を有し
ていることから、例えば、トルクセンサ等の磁気式セン
サの表面磁性層に、それを用いる試みや、各種摺動部品
等の表面層を、強度に優れた特性を有する非晶質合金で
形成する試みがなされている。しかし、非晶質合金を金
属表面に層状に形成するのは非常に困難である。その形
成方法の1つとして、母材上に非晶質合金層薄帯を樹脂
接着する方法があるが、必要な接合強度や耐熱性が得ら
れない。又、非晶質合金層薄帯を加熱して母材に接合す
る方法があるが、加熱の際に結晶化してしまい優れた特
性は失われる。
ていることから、例えば、トルクセンサ等の磁気式セン
サの表面磁性層に、それを用いる試みや、各種摺動部品
等の表面層を、強度に優れた特性を有する非晶質合金で
形成する試みがなされている。しかし、非晶質合金を金
属表面に層状に形成するのは非常に困難である。その形
成方法の1つとして、母材上に非晶質合金層薄帯を樹脂
接着する方法があるが、必要な接合強度や耐熱性が得ら
れない。又、非晶質合金層薄帯を加熱して母材に接合す
る方法があるが、加熱の際に結晶化してしまい優れた特
性は失われる。
【0003】そこで、結晶合金表面を非晶質化すること
により非晶質合金層の形成が行われる。その方法は、高
エネルギー密度ビームの照射で表面を局所的に溶融し、
母材への熱伝導で溶融部を急冷凝固して非晶質化するも
のである。この方法を適用するには金属表面を非晶質形
成能の高い組成の材料で被覆する必要があり、これまで
いくつかの被覆法が提案されている。この被覆法として
は、金属母材と合金材料とを直接接触した状態で高温加
熱して接合する方法や溶射法(特開平1−117378
号公報)、レーザクラッディング法等がある。
により非晶質合金層の形成が行われる。その方法は、高
エネルギー密度ビームの照射で表面を局所的に溶融し、
母材への熱伝導で溶融部を急冷凝固して非晶質化するも
のである。この方法を適用するには金属表面を非晶質形
成能の高い組成の材料で被覆する必要があり、これまで
いくつかの被覆法が提案されている。この被覆法として
は、金属母材と合金材料とを直接接触した状態で高温加
熱して接合する方法や溶射法(特開平1−117378
号公報)、レーザクラッディング法等がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、金属母材と
非晶質形成能の高い組成の合金材料とを直接接触した状
態で高温加熱して接合すると、拡散により合金材料の組
成に変化が生じ、又、レーザクラッディング法では合金
材料の組成が不均一になり、両方法とも非晶質形成能が
低下するか、あるいは、非晶質化した時の優れた特性が
失われる問題があった。一方、溶射法では、接合の強度
が弱いといった問題があった。
非晶質形成能の高い組成の合金材料とを直接接触した状
態で高温加熱して接合すると、拡散により合金材料の組
成に変化が生じ、又、レーザクラッディング法では合金
材料の組成が不均一になり、両方法とも非晶質形成能が
低下するか、あるいは、非晶質化した時の優れた特性が
失われる問題があった。一方、溶射法では、接合の強度
が弱いといった問題があった。
【0005】この発明の目的は、強固に接合できるとと
もに組成の変化のない均一な非晶質合金層を形成できる
非晶質合金層を有する積層構造体及びその製造方法を提
供することにある。
もに組成の変化のない均一な非晶質合金層を形成できる
非晶質合金層を有する積層構造体及びその製造方法を提
供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】第1の発明は、金属母材
と、前記金属母材上において加熱により同金属母材と接
合され、同金属母材よりも低融点である低融点材料と、
前記低融点材料上において加熱により同低融点材料と接
合され、同低融点材料よりも高融点であり、かつ、その
表面に高エネルギー密度ビームの照射による非晶質合金
層が形成された合金材料とを備えた非晶質合金層を有す
る積層構造体をその要旨とする。
と、前記金属母材上において加熱により同金属母材と接
合され、同金属母材よりも低融点である低融点材料と、
前記低融点材料上において加熱により同低融点材料と接
合され、同低融点材料よりも高融点であり、かつ、その
表面に高エネルギー密度ビームの照射による非晶質合金
層が形成された合金材料とを備えた非晶質合金層を有す
る積層構造体をその要旨とする。
【0007】第2の発明は、金属母材上に、同金属母材
よりも低融点の低融点材料を配置し、その低融点材料上
に同低融点材料よりも高融点で、かつ非晶質形成能の高
い組成の合金材料を配置する第1工程と、前記金属母材
と低融点材料と合金材料との三層構造体を加熱して金属
母材と低融点材料と合金材料とを接合する第2工程と、
前記合金材料に高エネルギー密度ビームを照射して合金
材料の表面を非晶質合金層にする第3工程とを備えた非
晶質合金層を有する積層構造体の製造方法をその要旨と
する。
よりも低融点の低融点材料を配置し、その低融点材料上
に同低融点材料よりも高融点で、かつ非晶質形成能の高
い組成の合金材料を配置する第1工程と、前記金属母材
と低融点材料と合金材料との三層構造体を加熱して金属
母材と低融点材料と合金材料とを接合する第2工程と、
前記合金材料に高エネルギー密度ビームを照射して合金
材料の表面を非晶質合金層にする第3工程とを備えた非
晶質合金層を有する積層構造体の製造方法をその要旨と
する。
【0008】
【作用】第1の発明は、金属母材と合金材料とが低融点
材料を介在させた状態で接合されている。このとき、金
属母材と低融点材料、及び合金材料と低融点材料は、加
熱により接合されており、低融点材料の融点は金属母材
の融点及び合金材料の融点よりも低いので、金属母材と
合金材料とを直接接触させて加熱して接合したものに比
べ低い温度で強固に接合でき、拡散が抑制され合金材料
の組成変化が抑制される。
材料を介在させた状態で接合されている。このとき、金
属母材と低融点材料、及び合金材料と低融点材料は、加
熱により接合されており、低融点材料の融点は金属母材
の融点及び合金材料の融点よりも低いので、金属母材と
合金材料とを直接接触させて加熱して接合したものに比
べ低い温度で強固に接合でき、拡散が抑制され合金材料
の組成変化が抑制される。
【0009】第2の発明は、第1工程により金属母材上
に、同母材よりも低融点の低融点材料が配置され、その
低融点材料上に同低融点材料よりも高融点で、かつ非晶
質形成能の高い組成の合金材料が配置される。第2工程
により、金属母材と低融点材料と合金材料との三層構造
体が加熱されて金属母材と低融点材料と合金材料とが接
合され、第3工程により合金材料に高エネルギー密度ビ
ームが照射されて合金材料の表面が非晶質合金層にな
る。その結果、第1の発明の非晶質合金層を有する積層
構造体が製造される。
に、同母材よりも低融点の低融点材料が配置され、その
低融点材料上に同低融点材料よりも高融点で、かつ非晶
質形成能の高い組成の合金材料が配置される。第2工程
により、金属母材と低融点材料と合金材料との三層構造
体が加熱されて金属母材と低融点材料と合金材料とが接
合され、第3工程により合金材料に高エネルギー密度ビ
ームが照射されて合金材料の表面が非晶質合金層にな
る。その結果、第1の発明の非晶質合金層を有する積層
構造体が製造される。
【0010】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面に
従って説明する。図1には非晶質合金層5を有する積層
構造体6を示す。又、図2〜図6にはその製造工程を示
す。
従って説明する。図1には非晶質合金層5を有する積層
構造体6を示す。又、図2〜図6にはその製造工程を示
す。
【0011】まず、図2に示すように、厚さ25μmの
F78B13Si9 合金組成を有する非晶質の合金薄帯1を
用意するとともに、図3に示すように、低融点材料とし
て厚さ50μmの銀ロウ材2を用意する。さらに、図4
に示すように、金属母材としての厚さ5mmのステンレ
ス鋼板(SUS304)3を用意する。このステンレス
鋼板3は表面粗さ6.5Zに加工されている。尚、ステ
ンレス鋼板3の融点は約1400〜1450℃であり、
合金薄帯1の融点は1000〜1200℃である。又、
銀ロウ材2は銀と銅とチタンよりなり、その融点は約7
80〜800℃である。
F78B13Si9 合金組成を有する非晶質の合金薄帯1を
用意するとともに、図3に示すように、低融点材料とし
て厚さ50μmの銀ロウ材2を用意する。さらに、図4
に示すように、金属母材としての厚さ5mmのステンレ
ス鋼板(SUS304)3を用意する。このステンレス
鋼板3は表面粗さ6.5Zに加工されている。尚、ステ
ンレス鋼板3の融点は約1400〜1450℃であり、
合金薄帯1の融点は1000〜1200℃である。又、
銀ロウ材2は銀と銅とチタンよりなり、その融点は約7
80〜800℃である。
【0012】そして、図5に示すように、ステンレス鋼
板3の上に銀ロウ材2を配置し、さらにその上に合金薄
帯1を配置する。そして、この三層構造体4の各材料が
外れないようにバイスを用いて固定する。このとき、バ
イスはトルクレンチを用いて15N・mで締め付ける。
このバイスに固定した三層構造体4を電気炉に入れて1
0-3Paの真空下で770℃に加熱し、その後、直ちに
冷却する。この770℃はステンレス鋼板3と銀ロウ材
2と合金薄帯1との接合が完成する最低温度である。
板3の上に銀ロウ材2を配置し、さらにその上に合金薄
帯1を配置する。そして、この三層構造体4の各材料が
外れないようにバイスを用いて固定する。このとき、バ
イスはトルクレンチを用いて15N・mで締め付ける。
このバイスに固定した三層構造体4を電気炉に入れて1
0-3Paの真空下で770℃に加熱し、その後、直ちに
冷却する。この770℃はステンレス鋼板3と銀ロウ材
2と合金薄帯1との接合が完成する最低温度である。
【0013】そして、室温まで冷却した後、バイスに固
定した三層構造体4を電気炉から取り出し、バイスを取
り外す。その結果、F78B13Si9 の合金組成を有する
合金薄帯1とステンレス鋼板3とが銀ロウ材2を介して
接合された積層構造体となる。尚、F78B13Si9 の合
金組成を有する合金薄帯1は、その結晶化温度が約40
0〜550℃なので770℃の加熱により結晶化してい
る。
定した三層構造体4を電気炉から取り出し、バイスを取
り外す。その結果、F78B13Si9 の合金組成を有する
合金薄帯1とステンレス鋼板3とが銀ロウ材2を介して
接合された積層構造体となる。尚、F78B13Si9 の合
金組成を有する合金薄帯1は、その結晶化温度が約40
0〜550℃なので770℃の加熱により結晶化してい
る。
【0014】このようにして作成した積層構造体の断面
をEPMA(X線マイクロアナライザ)で組成分析した
結果を図7に示す。この図から、接合した界面付近以外
は各層の組成に変化はなく、F78B13Si9 合金組成が
保たれ、その非晶質形成能は変化していないことが確認
できた。
をEPMA(X線マイクロアナライザ)で組成分析した
結果を図7に示す。この図から、接合した界面付近以外
は各層の組成に変化はなく、F78B13Si9 合金組成が
保たれ、その非晶質形成能は変化していないことが確認
できた。
【0015】引き続き、図6に示すように、この積層構
造体6の合金薄帯1の表面にQスイッチ・パルスYAG
レーザビームLb を照射する。このレーザビームLb
は、出力5Wで、ビーム径が100μmであり、照射時
間0.1msの照射条件でArガスを吹きつけながら1
パルス毎にレーザビームLbを20μmずつ移動してオ
ーバーラップ照射する。その結果、図1に示すように、
合金薄帯1の表面に非晶質合金層5が形成される。つま
り、ステンレス鋼板3上に銀ロウ材2が配置されるとと
もに、銀ロウ材2上に表面に高エネルギー密度ビームの
照射による非晶質合金層5が形成された合金薄帯1が配
置される。
造体6の合金薄帯1の表面にQスイッチ・パルスYAG
レーザビームLb を照射する。このレーザビームLb
は、出力5Wで、ビーム径が100μmであり、照射時
間0.1msの照射条件でArガスを吹きつけながら1
パルス毎にレーザビームLbを20μmずつ移動してオ
ーバーラップ照射する。その結果、図1に示すように、
合金薄帯1の表面に非晶質合金層5が形成される。つま
り、ステンレス鋼板3上に銀ロウ材2が配置されるとと
もに、銀ロウ材2上に表面に高エネルギー密度ビームの
照射による非晶質合金層5が形成された合金薄帯1が配
置される。
【0016】このレーザ照射した積層構造体6の表面
(非晶質合金層5)をX線回折で分析した結果を図8に
示す。この図から、2θが40°〜50°の領域におい
て合金薄帯1の非晶質化を示すブロードなパターンが得
られた。
(非晶質合金層5)をX線回折で分析した結果を図8に
示す。この図から、2θが40°〜50°の領域におい
て合金薄帯1の非晶質化を示すブロードなパターンが得
られた。
【0017】又、その積層構造体6を縦横が8mm×5
mmに裁断して、試料を立てた状態(非晶質合金層5が
側面になるような状態)で上下方向に圧縮力を加える圧
縮試験を行った。その結果、ステンレス鋼板3が塑性変
形を起こす50kg重/mm 2 でも合金薄板1(非晶質
合金層5)の剥離は生じなかった。
mmに裁断して、試料を立てた状態(非晶質合金層5が
側面になるような状態)で上下方向に圧縮力を加える圧
縮試験を行った。その結果、ステンレス鋼板3が塑性変
形を起こす50kg重/mm 2 でも合金薄板1(非晶質
合金層5)の剥離は生じなかった。
【0018】以上のようにして金属母材としてのステン
レス鋼板(SUS304)3上に強固に接合した非晶質
合金層5が形成される。この非晶質合金層5は結晶化が
無く、割れも無かった。割れは顕微鏡にて確認した。
レス鋼板(SUS304)3上に強固に接合した非晶質
合金層5が形成される。この非晶質合金層5は結晶化が
無く、割れも無かった。割れは顕微鏡にて確認した。
【0019】このように本実施例では、ステンレス鋼板
3(金属母材)上に、ステンレス鋼板3よりも融点の低
い銀ロウ材2(低融点材料)を配置し、その銀ロウ材2
上に銀ロウ材2よりも高融点で、かつ非晶質形成能の高
い組成の合金薄帯1(合金材料)を配置し(第1工
程)、ステンレス鋼板3と銀ロウ材2と合金薄帯1との
三層構造体4を、銀ロウ材2の融点の780〜800℃
より僅かに低い770℃に加熱してステンレス鋼板3と
銀ロウ材2と合金薄帯1とを接合し(第2工程)、合金
薄帯1にレーザビームLb (高エネルギー密度ビーム)
を照射して合金薄帯1の表面を非晶質合金層5にした
(第3工程)。その結果、ステンレス鋼板3上に銀ロウ
材2が加熱により接合され、その銀ロウ材2上に合金薄
帯1が加熱により接合され、銀ロウ材2の表面にレーザ
ビームLb の照射による非晶質合金層5を有する積層構
造体6が製造される。
3(金属母材)上に、ステンレス鋼板3よりも融点の低
い銀ロウ材2(低融点材料)を配置し、その銀ロウ材2
上に銀ロウ材2よりも高融点で、かつ非晶質形成能の高
い組成の合金薄帯1(合金材料)を配置し(第1工
程)、ステンレス鋼板3と銀ロウ材2と合金薄帯1との
三層構造体4を、銀ロウ材2の融点の780〜800℃
より僅かに低い770℃に加熱してステンレス鋼板3と
銀ロウ材2と合金薄帯1とを接合し(第2工程)、合金
薄帯1にレーザビームLb (高エネルギー密度ビーム)
を照射して合金薄帯1の表面を非晶質合金層5にした
(第3工程)。その結果、ステンレス鋼板3上に銀ロウ
材2が加熱により接合され、その銀ロウ材2上に合金薄
帯1が加熱により接合され、銀ロウ材2の表面にレーザ
ビームLb の照射による非晶質合金層5を有する積層構
造体6が製造される。
【0020】この積層構造体6は、ステンレス鋼板3と
合金薄帯1とが銀ロウ材2を介在させた状態で接合され
ており、ステンレス鋼板3と銀ロウ材2、及び合金薄帯
1と銀ロウ材2は、加熱により接合されている。よっ
て、銀ロウ材2の融点はステンレス鋼板3の融点及び合
金薄帯1の融点よりも低いので、図9に示すように、ス
テンレス鋼板3と合金薄帯1とを直接接触させて加熱し
て接合する場合には約1050℃に加熱する必要がある
が、本実施例では770℃と低い温度で強固に接合で
き、拡散が抑制され合金薄帯1の組成変化が抑制され
る。このようにして、強固に接合できるとともに組成の
変化のない非晶質合金層5を有する積層構造体6とする
ことができる。
合金薄帯1とが銀ロウ材2を介在させた状態で接合され
ており、ステンレス鋼板3と銀ロウ材2、及び合金薄帯
1と銀ロウ材2は、加熱により接合されている。よっ
て、銀ロウ材2の融点はステンレス鋼板3の融点及び合
金薄帯1の融点よりも低いので、図9に示すように、ス
テンレス鋼板3と合金薄帯1とを直接接触させて加熱し
て接合する場合には約1050℃に加熱する必要がある
が、本実施例では770℃と低い温度で強固に接合で
き、拡散が抑制され合金薄帯1の組成変化が抑制され
る。このようにして、強固に接合できるとともに組成の
変化のない非晶質合金層5を有する積層構造体6とする
ことができる。
【0021】さらに、接合温度を銀ロウ材2の融点より
僅かに低い温度とし、銀ロウ材2を完全に溶融させずに
熱伝導のよい銀ロウ材2に厚みを残すことにより、ステ
ンレス鋼板3が熱伝導の悪い材料であってもレーザビー
ムLb (高エネルギー密度ビーム)の照射時に、熱伝導
による溶融部の急冷効果を保つことができる。さらに、
ステンレス鋼板3に強固に接合した合金薄帯1を簡便か
つ実用的な製法で、しかも任意の面積で形成でき、又、
棒材や複雑な形状のステンレス鋼板3の表面にも形成す
ることが可能となり応用の範囲を広めることができる。
僅かに低い温度とし、銀ロウ材2を完全に溶融させずに
熱伝導のよい銀ロウ材2に厚みを残すことにより、ステ
ンレス鋼板3が熱伝導の悪い材料であってもレーザビー
ムLb (高エネルギー密度ビーム)の照射時に、熱伝導
による溶融部の急冷効果を保つことができる。さらに、
ステンレス鋼板3に強固に接合した合金薄帯1を簡便か
つ実用的な製法で、しかも任意の面積で形成でき、又、
棒材や複雑な形状のステンレス鋼板3の表面にも形成す
ることが可能となり応用の範囲を広めることができる。
【0022】尚、この発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、例えば、高エネルギー密度ビームはパルス
YAGレーザビームの他にも、連続CO2 レーザビーム
や電子ビームでもよい。又、低融点材料としては、銀ロ
ウ材の他にも銅ロウ材等を使用してもよい。さらに、接
合の際の温度は、低融点材料の融点より高い温度に加熱
してもよい。さらには、合金薄帯は非晶質でなくてもよ
い。
のではなく、例えば、高エネルギー密度ビームはパルス
YAGレーザビームの他にも、連続CO2 レーザビーム
や電子ビームでもよい。又、低融点材料としては、銀ロ
ウ材の他にも銅ロウ材等を使用してもよい。さらに、接
合の際の温度は、低融点材料の融点より高い温度に加熱
してもよい。さらには、合金薄帯は非晶質でなくてもよ
い。
【0023】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明によれば、
強固に接合できるとともに組成の変化のない非晶質合金
層を有する積層構造体とすることができる優れた効果を
発揮する。
強固に接合できるとともに組成の変化のない非晶質合金
層を有する積層構造体とすることができる優れた効果を
発揮する。
【図1】実施例の非晶質合金層を有する積層構造体の断
面図である。
面図である。
【図2】合金薄帯の断面図である。
【図3】銀ロウ材の断面図である。
【図4】ステンレス鋼板の断面図である。
【図5】三層構造体の断面図である。
【図6】レーザビームの照射処理を説明するための図で
ある。
ある。
【図7】積層構造体の断面のEPMAでの組成分析した
結果を示す図である。
結果を示す図である。
【図8】非晶質合金層をX線回折で分析した結果を示す
図である。
図である。
【図9】比較例を説明するための図である。
1 合金材料としての合金薄帯 2 低融点材料としての銀ロウ材 3 金属母材としてのステンレス鋼板 4 三層構造体 5 非晶質合金層 6 積層構造体 Lb 高エネルギー密度ビームとしてのレーザビーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 奥村 望 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装 株式会社内
Claims (4)
- 【請求項1】 金属母材と、 前記金属母材上において加熱により同金属母材と接合さ
れ、同金属母材よりも低融点である低融点材料と、 前記低融点材料上において加熱により同低融点材料と接
合され、同低融点材料よりも高融点であり、かつ、その
表面に高エネルギー密度ビームの照射による非晶質合金
層が形成された合金材料とを備えたことを特徴とする非
晶質合金層を有する積層構造体。 - 【請求項2】 前記金属母材と低融点材料、及び低融点
材料と合金材料とは、低融点材料の融点より僅かに低い
温度に加熱して接合されているものである請求項1に記
載の非晶質合金層を有する積層構造体。 - 【請求項3】 金属母材上に、同金属母材よりも低融点
の低融点材料を配置し、その低融点材料上に同低融点材
料よりも高融点で、かつ非晶質形成能の高い組成の合金
材料を配置する第1工程と、 前記金属母材と低融点材料と合金材料との三層構造体を
加熱して金属母材と低融点材料と合金材料とを接合する
第2工程と、 前記合金材料に高エネルギー密度ビームを照射して合金
材料の表面を非晶質合金層にする第3工程とを備えたこ
とを特徴とする非晶質合金層を有する積層構造体の製造
方法。 - 【請求項4】 前記第2工程は、金属母材と低融点材料
と合金材料との三層構造体を、低融点材料の融点より僅
かに低い温度に加熱して金属母材と低融点材料と合金材
料とを接合するものである請求項3に記載の非晶質合金
層を有する積層構造体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3224392A JPH0565671A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 非晶質合金層を有する積層構造体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3224392A JPH0565671A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 非晶質合金層を有する積層構造体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0565671A true JPH0565671A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=16813032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3224392A Pending JPH0565671A (ja) | 1991-09-04 | 1991-09-04 | 非晶質合金層を有する積層構造体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0565671A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103590036A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-02-19 | 青岛云路新能源科技有限公司 | 带材的制造方法 |
| WO2019240455A1 (ko) * | 2018-06-15 | 2019-12-19 | 주식회사 엘지화학 | 비정질 박막의 제조방법 |
-
1991
- 1991-09-04 JP JP3224392A patent/JPH0565671A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103590036A (zh) * | 2013-11-25 | 2014-02-19 | 青岛云路新能源科技有限公司 | 带材的制造方法 |
| WO2019240455A1 (ko) * | 2018-06-15 | 2019-12-19 | 주식회사 엘지화학 | 비정질 박막의 제조방법 |
| US11680311B2 (en) | 2018-06-15 | 2023-06-20 | Lg Chem, Ltd. | Method for producing amorphous thin film |
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