JPH0567310A - 薄膜磁気ヘツドの絶縁検査方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘツドの絶縁検査方法Info
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- JPH0567310A JPH0567310A JP2892591A JP2892591A JPH0567310A JP H0567310 A JPH0567310 A JP H0567310A JP 2892591 A JP2892591 A JP 2892591A JP 2892591 A JP2892591 A JP 2892591A JP H0567310 A JPH0567310 A JP H0567310A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 21
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄膜磁気ヘッドの磁気コアに簡易かつ適当な
絶縁検査用電極を設け、磁気コアとコイルの絶縁性を検
査する。 【構成】 ウエハ上で、磁気コアから引出線を延出し、
その先端でかつ各チップの間であるチップ外部に絶縁検
査用電極を薄膜プロセスで形成し、チップのボンディン
グパッドと絶縁検査用電極の間に電圧を印加してコアと
コイル間の絶縁性を検査する。
絶縁検査用電極を設け、磁気コアとコイルの絶縁性を検
査する。 【構成】 ウエハ上で、磁気コアから引出線を延出し、
その先端でかつ各チップの間であるチップ外部に絶縁検
査用電極を薄膜プロセスで形成し、チップのボンディン
グパッドと絶縁検査用電極の間に電圧を印加してコアと
コイル間の絶縁性を検査する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は磁気ディスク装置等に
用いられて、バルクによる磁気ヘッドでは実現できなか
った大幅な記録密度の向上を可能にする薄膜磁気ヘッド
のコアとコイルの絶縁検査方法に関するものである。
用いられて、バルクによる磁気ヘッドでは実現できなか
った大幅な記録密度の向上を可能にする薄膜磁気ヘッド
のコアとコイルの絶縁検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドは半導体製造プロセスに
使用される薄膜技術を利用して製造される磁気ヘッドで
あって、半導体プロセスレベルのパターン精度で磁気ギ
ャップを形成できるので、記録密度を格段に高くできる
特徴をもっている。
使用される薄膜技術を利用して製造される磁気ヘッドで
あって、半導体プロセスレベルのパターン精度で磁気ギ
ャップを形成できるので、記録密度を格段に高くできる
特徴をもっている。
【０００３】このような薄膜磁気ヘッドの一例を図３に
示す。薄膜磁気ヘッド１０はその本体を形成するスライ
ダ１２と、このスライダ１２の下方側に長手方向に形成
された突起状の２つの浮上レール１４,１６とを有して
いる。浮上レール１４,１６は、例えば磁気ディスクの
ような回転する磁気記録媒体(図示せず)に対向し、記録
再生時には浮上関係になるようになっている。またスラ
イダ１２の一側面には電磁変換素子１８,１８が形成さ
れている。そして電磁変換素子１８,１８から導出され
た各引出端子２０,２０,２０,２０は同一平面上に形成
された複数のワイヤ接続部すなわちボンディングパッド
２２,２２,２２,２２に接続されている。尚、電磁変換
素子１８,１８とボンディングパッド２２,２２,２２,２
２はスライダ１２の同一側面に形成され、この側面の中
央を境として左右対象に配置された構成となっている。
示す。薄膜磁気ヘッド１０はその本体を形成するスライ
ダ１２と、このスライダ１２の下方側に長手方向に形成
された突起状の２つの浮上レール１４,１６とを有して
いる。浮上レール１４,１６は、例えば磁気ディスクの
ような回転する磁気記録媒体(図示せず)に対向し、記録
再生時には浮上関係になるようになっている。またスラ
イダ１２の一側面には電磁変換素子１８,１８が形成さ
れている。そして電磁変換素子１８,１８から導出され
た各引出端子２０,２０,２０,２０は同一平面上に形成
された複数のワイヤ接続部すなわちボンディングパッド
２２,２２,２２,２２に接続されている。尚、電磁変換
素子１８,１８とボンディングパッド２２,２２,２２,２
２はスライダ１２の同一側面に形成され、この側面の中
央を境として左右対象に配置された構成となっている。
【０００４】電磁変換素子１８は図４に示すように、基
板となるスライダ１２上に形成されたパーマロイ等から
なる下部コア２４と上部コア３０とからなり、下部コア
２４と上部コア３０の間には非磁性体からなる絶縁体２
８が形成されている。そして絶縁体２８の先端が磁気ギ
ャップ３２を規定している。また下部コア２４と上部コ
ア３０の間にはコイル２６が形成され、下部コア２４と
上部コア３０を電磁結合する。絶縁体２８はコイル２６
と下部コア２４および上部コア３０とを離すとともに、
コイル２６を外包している。
板となるスライダ１２上に形成されたパーマロイ等から
なる下部コア２４と上部コア３０とからなり、下部コア
２４と上部コア３０の間には非磁性体からなる絶縁体２
８が形成されている。そして絶縁体２８の先端が磁気ギ
ャップ３２を規定している。また下部コア２４と上部コ
ア３０の間にはコイル２６が形成され、下部コア２４と
上部コア３０を電磁結合する。絶縁体２８はコイル２６
と下部コア２４および上部コア３０とを離すとともに、
コイル２６を外包している。
【０００５】このように構成された薄膜磁気ヘッドにあ
っては、例えば各引出端子２０,２０を導通させて電磁
変換素子１８の先端の磁気ギャップ３２から発生する磁
界によって磁気記録媒体に情報の記録を行い、また磁気
記録媒体から発生する磁界を電磁変換素子１８で拾いあ
げ、情報の再生が行なわれる。またこの時の情報は電磁
変換素子１８から各引出端子２０,２０を経てボンディ
ングパッド２２,２２に通じ、さらにボンディングパッ
ド２２,２２から外部回路にリード線等で送られる。
っては、例えば各引出端子２０,２０を導通させて電磁
変換素子１８の先端の磁気ギャップ３２から発生する磁
界によって磁気記録媒体に情報の記録を行い、また磁気
記録媒体から発生する磁界を電磁変換素子１８で拾いあ
げ、情報の再生が行なわれる。またこの時の情報は電磁
変換素子１８から各引出端子２０,２０を経てボンディ
ングパッド２２,２２に通じ、さらにボンディングパッ
ド２２,２２から外部回路にリード線等で送られる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来、上記のような薄
膜磁気ヘッドのコアとコイルの間の絶縁検査方法は、コ
ア側からの簡易で適当な電極の取り方がなく、十分な検
査ができなかった。
膜磁気ヘッドのコアとコイルの間の絶縁検査方法は、コ
ア側からの簡易で適当な電極の取り方がなく、十分な検
査ができなかった。
【０００７】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、簡易な方法でコア側からの電極を形成し、容
易にコアとコイル間の絶縁検査を行うものである。
たもので、簡易な方法でコア側からの電極を形成し、容
易にコアとコイル間の絶縁検査を行うものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の薄膜磁気
ヘッドの絶縁検査方法は、ウエハ上に、多数の電磁変換
素子とボンディングパッドを形成し複数のチップを形成
して薄膜磁気ヘッドを作成する薄膜プロセスにおいて、
電磁変換素子のコアから引出線を導出し、この引出線の
先端でチップ外部上に露出する絶縁検査用電極を形成
し、前記ボンディングパッドと前記絶縁検査用電極の間
に電圧を印加して絶縁性を検査することを特徴とするも
のである。
ヘッドの絶縁検査方法は、ウエハ上に、多数の電磁変換
素子とボンディングパッドを形成し複数のチップを形成
して薄膜磁気ヘッドを作成する薄膜プロセスにおいて、
電磁変換素子のコアから引出線を導出し、この引出線の
先端でチップ外部上に露出する絶縁検査用電極を形成
し、前記ボンディングパッドと前記絶縁検査用電極の間
に電圧を印加して絶縁性を検査することを特徴とするも
のである。
【０００９】請求項２記載の薄膜磁気ヘッドの絶縁検査
方法は、請求項１記載の薄膜磁気ヘッドの絶縁検査方法
であって、ウエハ上で隣合うチップからの絶縁検査用電
極が互いに共用であることを特徴とするものである。
方法は、請求項１記載の薄膜磁気ヘッドの絶縁検査方法
であって、ウエハ上で隣合うチップからの絶縁検査用電
極が互いに共用であることを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】スライダ１２を製造するには、一般に図２に示
すようなウエハ３４に、薄膜プロセスにて電磁変換素子
１８やボンディングパッド２２等の形成されたチップ３
６を複数形成し、これをスライス及び切断工程にて切り
出して個々のスライダ１２が製造される。
すようなウエハ３４に、薄膜プロセスにて電磁変換素子
１８やボンディングパッド２２等の形成されたチップ３
６を複数形成し、これをスライス及び切断工程にて切り
出して個々のスライダ１２が製造される。
【００１１】本発明はウエハ３４に各チップ３６,３６,
・・・,を形成する際に、電磁変換素子１８中の上部コア３
０の先端から引出線を延長し、ウエハ３４のチップ外部
３８上で引出線の先端に絶縁検査用電極を形成したもの
である。
・・・,を形成する際に、電磁変換素子１８中の上部コア３
０の先端から引出線を延長し、ウエハ３４のチップ外部
３８上で引出線の先端に絶縁検査用電極を形成したもの
である。
【００１２】そして絶縁検査時には、ボンディングパッ
ド２２であるコイル電極と絶縁検査用電極の間に電圧を
印加し、その絶縁性を検査する。
ド２２であるコイル電極と絶縁検査用電極の間に電圧を
印加し、その絶縁性を検査する。
【００１３】また絶縁検査用電極はウエハ３４上で隣合
う２つのチップ３６,３６の共用とすることができる。
う２つのチップ３６,３６の共用とすることができる。
【００１４】
【実施例】図１と図２を参照して本実施例の薄膜磁気ヘ
ッドの絶縁検査方法を説明する。本実施例の薄膜磁気ヘ
ッドの絶縁検査方法では、スライダ１２の製造過程にて
絶縁検査用電極を作り、検査時にはコイル電極(ボンデ
ィングパッド２２)と絶縁検査用電極の間に電圧を印加
して検査するものである。
ッドの絶縁検査方法を説明する。本実施例の薄膜磁気ヘ
ッドの絶縁検査方法では、スライダ１２の製造過程にて
絶縁検査用電極を作り、検査時にはコイル電極(ボンデ
ィングパッド２２)と絶縁検査用電極の間に電圧を印加
して検査するものである。
【００１５】スライダ１２を製造するには、薄膜プロセ
スとスライス工程等を経る。薄膜プロセスは図２のよう
に薄膜技術にて電磁変換素子１８やボンディングパッド
２２などの形成されたチップ３６を複数個ウエハ３４上
に作る。その後のスライス工程ではウエハ３４をチップ
３６,３６,・・・,ごとに切断してスライダ１２を切り出
し、さらに研摩工程等を経て薄膜磁気ヘッドを製造す
る。
スとスライス工程等を経る。薄膜プロセスは図２のよう
に薄膜技術にて電磁変換素子１８やボンディングパッド
２２などの形成されたチップ３６を複数個ウエハ３４上
に作る。その後のスライス工程ではウエハ３４をチップ
３６,３６,・・・,ごとに切断してスライダ１２を切り出
し、さらに研摩工程等を経て薄膜磁気ヘッドを製造す
る。
【００１６】本実施例では、薄膜プロセス中で上部コア
３０の先端から引出線４０を延長して形成する。さらに
引出線４０の先端にはボンディングパッドを形成し、こ
れを絶縁検査用電極４２とした。この絶縁検査用電極４
２であるボンディングパッドとコイル電極であるボンデ
ィングパッド２２は同時に形成することができる。
３０の先端から引出線４０を延長して形成する。さらに
引出線４０の先端にはボンディングパッドを形成し、こ
れを絶縁検査用電極４２とした。この絶縁検査用電極４
２であるボンディングパッドとコイル電極であるボンデ
ィングパッド２２は同時に形成することができる。
【００１７】尚、絶縁検査用電極４２,４２,・・・,は各チ
ップ３６,３６,・・・,の間(後のスライス工程における切
断代)のチップ外部３８上に形成する。
ップ３６,３６,・・・,の間(後のスライス工程における切
断代)のチップ外部３８上に形成する。
【００１８】そして絶縁検査時には、コイル電極(ボン
ディングパッド２２)と絶縁検査用電極４２の間に電圧
を印加し、その絶縁性を検査する。この絶縁検査は薄膜
プロセスの終了時、即ちスライス工程の前に行う。そし
て絶縁検査後のスライス工程で、絶縁検査用電極４２,
４２,・・・,はチップ３６,３６,・・・,から切り取られる。
さらに引出線４０,４０,・・・,も研摩等で削り取られる。
ディングパッド２２)と絶縁検査用電極４２の間に電圧
を印加し、その絶縁性を検査する。この絶縁検査は薄膜
プロセスの終了時、即ちスライス工程の前に行う。そし
て絶縁検査後のスライス工程で、絶縁検査用電極４２,
４２,・・・,はチップ３６,３６,・・・,から切り取られる。
さらに引出線４０,４０,・・・,も研摩等で削り取られる。
【００１９】また絶縁検査用電極４２はウエハ３４上で
隣合うチップ３６,３６で互いに共用することができ
る。即ち、チップ３６aの電磁変換素子１８aからの引出
線４０の先端にある絶縁検査用電極４２に、チップ３６
aの隣のチップ３６bの電磁変換素子１８cからの引出線
４０を接続して共用とし、また同様に、チップ３６aの
電磁変換素子１８bからの引出線４０の先端にある絶縁
検査用電極４２に、チップ３６aの隣のチップ３６cの電
磁変換素子１８dからの引出線４０を接続して共用とす
ることができる。
隣合うチップ３６,３６で互いに共用することができ
る。即ち、チップ３６aの電磁変換素子１８aからの引出
線４０の先端にある絶縁検査用電極４２に、チップ３６
aの隣のチップ３６bの電磁変換素子１８cからの引出線
４０を接続して共用とし、また同様に、チップ３６aの
電磁変換素子１８bからの引出線４０の先端にある絶縁
検査用電極４２に、チップ３６aの隣のチップ３６cの電
磁変換素子１８dからの引出線４０を接続して共用とす
ることができる。
【００２０】本実施例の薄膜磁気ヘッドの絶縁検査方法
では、薄膜プロセスにて電磁変換素子１８やボンディン
グパッド２２の形成と共に引出線４０や絶縁検査用電極
４２を形成するものなので、全く工程増になることな
く、コア側からの電極を設けることができ、容易にコア
とコイル間の絶縁検査ができる。
では、薄膜プロセスにて電磁変換素子１８やボンディン
グパッド２２の形成と共に引出線４０や絶縁検査用電極
４２を形成するものなので、全く工程増になることな
く、コア側からの電極を設けることができ、容易にコア
とコイル間の絶縁検査ができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明の薄膜磁気ヘッドの絶縁検査方法
は、ウエハ上でチップ外部にコアから延出した引出線を
介した絶縁検査用電極を設け、コイル電極であるボンデ
ィングパッドと絶縁検査用電極の間に電圧を印加して、
コアとコイルの間の絶縁性を検査するものであり、引出
線はコアの形成と同時に、また絶縁検査用電極はボンデ
ィングパッドと同時に形成することができるので、極め
て容易にかつ低コストで絶縁検査用の電極を設けること
ができ、また絶縁検査も簡易にできるものである。
は、ウエハ上でチップ外部にコアから延出した引出線を
介した絶縁検査用電極を設け、コイル電極であるボンデ
ィングパッドと絶縁検査用電極の間に電圧を印加して、
コアとコイルの間の絶縁性を検査するものであり、引出
線はコアの形成と同時に、また絶縁検査用電極はボンデ
ィングパッドと同時に形成することができるので、極め
て容易にかつ低コストで絶縁検査用の電極を設けること
ができ、また絶縁検査も簡易にできるものである。
【００２２】特に絶縁検査用電極を隣合う各チップで互
いに共用とすることにより、より簡易に絶縁検査用電極
を設けることができるとともに、絶縁検査が容易になる
ものである。
いに共用とすることにより、より簡易に絶縁検査用電極
を設けることができるとともに、絶縁検査が容易になる
ものである。
【図１】本実施例の薄膜磁気ヘッドのチップ及び絶縁検
査用電極を示す平面図である。
査用電極を示す平面図である。
【図２】図２(a)はウエハの平面図であり、図２(b)は複
数のチップの形成されていることを示す図２(a)の拡大
平面図である。
数のチップの形成されていることを示す図２(a)の拡大
平面図である。
【図３】薄膜磁気ヘッドの斜視図である。
【図４】電磁変換素子の断面図である。
１０ 薄膜磁気ヘッド １２ スライダ １８ 電磁変換素子 ２０ 引出端子 ２２ ボンディングパッド ３０ 上部コア ４０ 引出線 ４２ 絶縁検査用電極
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエハ上に、多数の電磁変換素子とボン
ディングパッドを形成し複数のチップを形成して薄膜磁
気ヘッドを作成する薄膜プロセスにおいて、電磁変換素
子のコアから引出線を導出し、この引出線の先端でチッ
プ外部上に露出する絶縁検査用電極を形成し、前記ボン
ディングパッドと前記絶縁検査用電極の間に電圧を印加
して絶縁性を検査することを特徴とする薄膜磁気ヘッド
の絶縁検査方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の薄膜磁気ヘッドの絶縁検
査方法であって、ウエハ上で隣合うチップからの絶縁検
査用電極が互いに共用であることを特徴とする薄膜磁気
ヘッドの絶縁検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2892591A JPH0567310A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | 薄膜磁気ヘツドの絶縁検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2892591A JPH0567310A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | 薄膜磁気ヘツドの絶縁検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0567310A true JPH0567310A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=12261984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2892591A Withdrawn JPH0567310A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | 薄膜磁気ヘツドの絶縁検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0567310A (ja) |
-
1991
- 1991-02-22 JP JP2892591A patent/JPH0567310A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |