JPH0567705B2 - - Google Patents
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- JPH0567705B2 JPH0567705B2 JP88278324A JP27832488A JPH0567705B2 JP H0567705 B2 JPH0567705 B2 JP H0567705B2 JP 88278324 A JP88278324 A JP 88278324A JP 27832488 A JP27832488 A JP 27832488A JP H0567705 B2 JPH0567705 B2 JP H0567705B2
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Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Description
［産業上の利用分野］
本発明は、フライス加工工具等の表面に、密着
性の優れた耐摩耗性皮膜を効率良く形成する方法
に関するものである。 ［従来の技術］ 高速度工具鋼や超硬合金工具鋼等を製作する場
合は、耐摩耗性等の性能をより優れたものとする
ことを目的として、工具基材の表面にTi等の窒
化物や炭化物よりなる耐摩耗性皮被膜を形成する
ことが行なわれている。 基材表面に耐摩耗性皮膜を形成する方法として
は、従来よりCVD法（化学的蒸着法）及びPVD
法（物理的蒸着法）が知られている。しかし前者
の方法では母材が高温処理に曝される為母材特性
が劣化するおそれがあり、母材特性も重要視され
る工具の場合は後者の方法が好まれ、例えば
PVD法によるTiN皮膜等が汎用されていた。Ti
皮膜は耐熱性が良好であつて、切削時の加工熱や
摩擦熱による工具すくい面のクレータ摩耗を抑制
する機能を発揮する。 しかしながら近年、切削速度の一層の高速化が
要望されており、切削条件がより過酷化する傾向
にある為、上記した様な従来のTiN皮膜程度で
はこの要請に応えきれなくなつている。 そこで耐熱性や硬度が更に優れた皮膜として、
イオンプレーテイング法やスパツタリング法によ
るTiAlN、TiAlC、或はTiAlCN等の皮膜が提案
された［特開昭62−56565、ジヤーナル・バキユ
ーム・ソサエテイ・テクノロジー（J.Vac.Sci.
Technol.）Ａ第４(6)巻、1986年、第2717頁、J.of
Solid State Chemistry、70、1987年、第318〜
322頁］。 ［発明が解決しようとする課題］ しかしながらこの様な従来方法による皮膜の形
成には、次の様な問題があつた。 (イ) イオンプレーテイングの場合 従来のイオンプレーテイング法は、蒸着金属
をるつぼ内で溶融・蒸発させる方式である為、
蒸発源の設置位置が制約される。この為複雑な
形状の基材を被覆する場合は生産性が低い。ま
た複数の金属を蒸発させて基材表面上で合金化
させたい場合が多いにもかかわらず、個々の蒸
発金属には蒸気圧差があり、皮膜の合金組成を
安定的にコントロールすることが困難であつ
た。 (ロ) スパツタリング法の場合 皮膜の密着性が必らずしも良好でなく、また
複雑な形状の基材を被覆する場合の生産性も低
い。更にターゲツトとしてAlxTi1-xや（Alx
Ti1-x）Ｎ等を使用する場合は、スパツタ率が
経時的に変化し易いためこの変化を見込んだ組
成のターゲツトを要する。またスパツタ粒子の
イオン化率が低いため、基板に突入するイオン
量が少なく、従つて十分な膜密着性が得られな
いという欠点があつた。しかも成膜速度が遅く
量産化が困難である。 次に組成に関する問題点について述べる。 (ハ) 特開昭62−56565には（Ti、A1）Ｃ、（Ti、
Al）Ｎおよび（Ti、Al）CNと記述されている
に止まり、TiとAlの比率またＣとＮの比率に
ついて明確な記述がなく、すべての組成が適用
できるものでない。 (ニ) さらにJ.Vac.Sci.Technol.、A4(6)、1986年の
論文には（Ti、Al）ＮにおいてTi：Al＝75：
25、Ti：Al＝50：50の組成が記述されている
にすぎない。これらの組成を固溶体成分で記述
すれば、TiN−AlN固溶体と表現でき、TiN
を基本組成としてAlNが最高50モル％固溶し
たものと言える。 (ホ) J.of Solid State Chemistry、70（1987年）
の論文には（Ti、Al）Ｎにおいて、全組成中
Alが30at％固溶できると記述されている。 しかし上記(ハ)〜(ホ)の組成では、AlNの高熱伝
導性、耐酸化性が十分発揮できるものとはいえな
いものである。 本発明は、AlN−TiN系全組成域について詳
細に調べ、AlNを基本組成としてAlN単組成の
弱点をTiNの固溶により改善し、その組成域を
特定したものであつて、耐摩耗性及び密着性に優
れた皮膜を効率よく形成することのできる様な皮
膜形成方法を提供しようとするものである。 ［課題を解決する為の手段］ 本発明は基材表面に耐摩耗性皮膜を形成するに
当たり、化学組成が （AlxTi1-x（NyC1-y） 但し 0.56≦ｘ≦0.75 0.6≦ｙ≦１ 膜厚：0.8〜10μｍ で示される耐摩耗性皮膜を、蒸発源としてカソー
ドを用いるアーク放電方式によつて形成すること
を要旨とするものである。 ［作用］ 本発明においては、カソードを蒸発源とするア
ーク放電によつて金属成分をイオン化するもので
あつて、イオンプレーテイング法やスパツタリン
グ法等に代表されるPVD法によつて行なうこと
ができるものである。これらのうち例えばイオン
プレーテイング法で行なう場合を代表的に取り上
げて説明すると、前記の様にイオン化した金属成
分をN2雰囲気又はN2／CH4雰囲気中で反応させ
る。カソードとしてはTi及びAlをそれぞれ個別
に使用することもできるが、目的組成そのものか
らなるAlxTi1-xをターゲツトとすれば、皮膜組成
のコントロールが容易である。この場合の各合金
成分の蒸発は、数十アンペア以上の大電流域で行
なわれるため、カソード物質の組成ずれは殆んど
生じない。しかもイオン化効率が高く反応性に富
み、基板にバイアス電圧を印加することによつて
密着性の優れた皮膜が得られる。 この様にして得られる皮膜の組成は （AlxTi1-x（NyC1-y） 但し 0.56≦ｘ≦0.75 0.6≦ｙ≦１ であることが必要であり、好ましくは0.6≦ｘ≦
0.7である。 上記皮膜組成からなる本発明の固溶体は、これ
を窒化物系で代表して説明すると、AlN−TiN
を端組成とする固溶体であり、種々の成分範囲に
ついて調べた結果、第１図Ａ及びＢに示すような
結晶構造を有することが明らかとなつた。第１図
ＡにおいてＰはNaC1型（B1構造）領域、Ｑは
ZnS型（ウルツアイト型）領域である。即ち本発
明の成分範囲は、第１図Ａ，Ｂから明らかなよう
に、B1構造を有する組成範囲内で、AlNにTiN
が25〜44モル％固溶した固溶体である。この範囲
に限定した理由を以下に述べる。 第１図Ｂから明らかな様にAl量ｘが0.75を超え
る場合は、皮膜組成がAlNに近似してくる結果、
皮膜の軟質化を招き、十分な硬度が得られなくな
り、フランク摩耗を容易に引き起す。一方ｘが
0.75以下になると、皮膜は高硬度化し、フランク
摩耗量は減少する。しかしAlNの高耐酸化特性
を有効に発揮する下限として以下のように決め
た。 即ち（AlxTi1-x）Ｎ［但しｘ＝０、0.25、0.5、
0.6］を大気中、昇温速度５℃／分で昇温酸化し
た場合の温度変化に対する酸化量の変化を測定し
たところ、第２図に示す結果が得られた。第２図
よりAl量が増加するにつれて酸化開始温度が上
昇することがわかる。一方工具切削中の刃先温度
の上昇による皮膜の酸化を十分に抑制する為に
は、切削熱によるクレータ摩耗量を低下させる必
要がある。この様な観点から第２図を見ると、で
きる限りAlN成分に富んだ組成範囲とすること
が有効であることがわかる。したがつて、工具刃
先温度が切削中に800℃以上になることを考慮し
て、酸化開始温度が800℃以上の組成をｘ＝0.56
と決めた。 又本発明では炭窒化物を形成することによつて
TiCの高硬度性（常温硬度Hv：約3100Kg／mm2）
を発揮させるものである。即ち本発明の組成式に
おいてｙの値が減少するにつれて硬度が大となり
耐摩耗性は向上する。第３図は、超硬チツプ
（WC−10％Coを主成分とする）に（Al0.65Ti0.35）
NyC1-y）［但しｙ＝0.4、0.6、0.8、0.9、１］を3μ
ｍ被覆し、被削材S50Cを切削速度170ｍ／min、
送り速度0.25mm／rev、切り込み0.1mmで切削した
時の15分後のクレータ摩耗量を測定した結果を示
す。この結果にみられるようにｙが0.6未満にな
ると耐酸化性が低下してクレータ摩耗を起こし易
くなる。ｙ≧0.6の範囲では耐酸化性の顕著な低
下はみられない。 尚後述する実施例及び比較例から明らかな様
に、膜厚が0.8μｍ未満の場合は耐摩耗性が不十分
となり、一方10μｍを超えると膜自体にクラツク
が入り易く、強度が不十分となる。 以下実施例について説明するが、本発明は下記
の実施例に限定されるものではなく、前・後記の
趣旨に徴して適宜設計変更することは本発明の技
術的範囲に含まれる。 ［実施例］ 実施例 １ Al0.6Ti0.4をカソード電極とするカソードアー
ク方式イオンプレーテイング装置の基板ホルダー
に超硬合金製チツプ（WC−10％Coを主成分とす
る）を取付けた。尚本装置には、耐摩耗性皮膜形
成状態の均一性を確保する為の基材回転機構等及
びヒータを設置した。 皮膜に当たつては、ヒータによつて基材温度を
400℃に加熱保持したまま、基材に−70Vのバイ
アス電圧を印加すると共に、装置内に高純度N2
ガスを７×10-3Torrまで導入し、アーク放電を
開始して基材表面に膜厚4μｍの皮膜を形成した。
膜厚の測定は、基板ホルダーに同時に取り付けた
基材の内の１個を破断し、膜断面を走査型電子顕
微鏡で観察して測定したものである。さらに膜組
成の定量は、同じく同時に取り付けた基材につき
オージエ分光分析法により膜深さ方向の分析を行
なつた。その結果Al、Ti、Ｎの膜厚さ方向には
濃度変化がなく一定で、各成分元素のピーク高さ
から、膜組成は（Al0.62Ti0.38）Ｎであつた。膜中
の金属成分比Ti／Alはカソード成分比とずれが
なく殆んど同一といえる。 実施例 ２ Al0.7Ti0.3カソードを用いた以外は、実施例１
と同一条件で成膜を行なつた。成膜した膜厚は
3.8μｍであり、膜組成は（Al0.7Ti0.33）Ｎであつ
た。 実施例 ３ 反応性ガスとしてはN2／CH4混合ガスを用い
た以外は実施例１と同一条件で成膜を行なつた。
成膜した膜厚は4.3μｍであり、膜組成は（Al0.61
Ti0.39）（N0.7C0.3）であつた。 比較例 比較の為次の試料を用意した。 比較例 １ 実施例１の基材に皮膜を形成しない試料 比較例 ２ Tiカソードを用いてN2ガスを７×10-3Torrま
で導入し実施例１と同一条件でTiNの成膜を行
なつた。成膜した膜厚は4.3μｍであつた。 比較例 ３ 蒸発器の加熱源として電子ビーム（E.B.）を使
用したイオンプレーテイング装置を用いて、るつ
ぼに実施例１で使用したカソード物質と同一の
Al0.6Ti0.4固溶体を装入し、基板ホルダーには超
硬合金製チツプを取り付けた。膜の均一性及び膜
の密着性を確保するため、基板回転機構等を設置
すると共にヒーターを設置した。成膜にあたつて
はヒーターにより基材温度を400℃に加熱保持し
たまま、基材に−600Vのバイアス電圧を印加し、
装置内に高純度N2を７×10-4Torrまで導入しイ
オンプレーテイング法により基材に成膜を行なつ
た。膜厚は4μｍとした。さらに実施例１と同様
の分析方法により皮膜を分析した結果、AlとTi
の濃度比が膜厚方向に不均一で膜の成分比は規定
できなかつた。特に基材との界面にはAlの濃縮
が観察され、E.B.溶解の初期にAlが優先的に蒸
発付着したものと考えられる。 比較例 ４ 実施例１と同一のカソード物質であるAl0.6
Ti0.4ターゲツトを製作し、スパツタリング装置
を用いてAr／N2混合ガスによる反応性スパツタ
リング法にて超硬チツプに成膜を行なつた。得ら
れた膜厚は3μｍであつた。膜を分析した結果、
平均として（Al0.78Ti0.22）Ｎと判定された。Al
成分が優先的にスパツタされたものと考えられ
る。 比較例 ５ カソード物質としてAl0.45Ti0.55ターゲツトを製
作し、実施例１と同一条件で成膜を行なつた。成
膜した膜厚は4μｍであり、膜組成は（Al0.42
Ti0.58）Ｎであつた。 比較例 ６ 実施例１と同一のカソード、同一条件で成膜を
行なつた。膜厚は0.7μｍとし、膜組成は（Al0.64
Ti0.36）Ｎであつた。 比較例 ７ 実施例１と同一カソード、同一条件で成膜を行
なつた。膜厚は12μｍとし、膜組成は（Al0.64
Ti0.36）Ｎであつた。 実施例１〜３及び比較例１〜７によつて得られ
た試料を、下記切削条件により10分間の切削試験
に供したフランク摩耗幅及ひクレータ摩耗深さを
第１表に示す。 切削条件： 被削材 S50C 切削速度 170ｍ／min 送り速度 0.25mm／rev 切り込み 0.1mm
性の優れた耐摩耗性皮膜を効率良く形成する方法
に関するものである。 ［従来の技術］ 高速度工具鋼や超硬合金工具鋼等を製作する場
合は、耐摩耗性等の性能をより優れたものとする
ことを目的として、工具基材の表面にTi等の窒
化物や炭化物よりなる耐摩耗性皮被膜を形成する
ことが行なわれている。 基材表面に耐摩耗性皮膜を形成する方法として
は、従来よりCVD法（化学的蒸着法）及びPVD
法（物理的蒸着法）が知られている。しかし前者
の方法では母材が高温処理に曝される為母材特性
が劣化するおそれがあり、母材特性も重要視され
る工具の場合は後者の方法が好まれ、例えば
PVD法によるTiN皮膜等が汎用されていた。Ti
皮膜は耐熱性が良好であつて、切削時の加工熱や
摩擦熱による工具すくい面のクレータ摩耗を抑制
する機能を発揮する。 しかしながら近年、切削速度の一層の高速化が
要望されており、切削条件がより過酷化する傾向
にある為、上記した様な従来のTiN皮膜程度で
はこの要請に応えきれなくなつている。 そこで耐熱性や硬度が更に優れた皮膜として、
イオンプレーテイング法やスパツタリング法によ
るTiAlN、TiAlC、或はTiAlCN等の皮膜が提案
された［特開昭62−56565、ジヤーナル・バキユ
ーム・ソサエテイ・テクノロジー（J.Vac.Sci.
Technol.）Ａ第４(6)巻、1986年、第2717頁、J.of
Solid State Chemistry、70、1987年、第318〜
322頁］。 ［発明が解決しようとする課題］ しかしながらこの様な従来方法による皮膜の形
成には、次の様な問題があつた。 (イ) イオンプレーテイングの場合 従来のイオンプレーテイング法は、蒸着金属
をるつぼ内で溶融・蒸発させる方式である為、
蒸発源の設置位置が制約される。この為複雑な
形状の基材を被覆する場合は生産性が低い。ま
た複数の金属を蒸発させて基材表面上で合金化
させたい場合が多いにもかかわらず、個々の蒸
発金属には蒸気圧差があり、皮膜の合金組成を
安定的にコントロールすることが困難であつ
た。 (ロ) スパツタリング法の場合 皮膜の密着性が必らずしも良好でなく、また
複雑な形状の基材を被覆する場合の生産性も低
い。更にターゲツトとしてAlxTi1-xや（Alx
Ti1-x）Ｎ等を使用する場合は、スパツタ率が
経時的に変化し易いためこの変化を見込んだ組
成のターゲツトを要する。またスパツタ粒子の
イオン化率が低いため、基板に突入するイオン
量が少なく、従つて十分な膜密着性が得られな
いという欠点があつた。しかも成膜速度が遅く
量産化が困難である。 次に組成に関する問題点について述べる。 (ハ) 特開昭62−56565には（Ti、A1）Ｃ、（Ti、
Al）Ｎおよび（Ti、Al）CNと記述されている
に止まり、TiとAlの比率またＣとＮの比率に
ついて明確な記述がなく、すべての組成が適用
できるものでない。 (ニ) さらにJ.Vac.Sci.Technol.、A4(6)、1986年の
論文には（Ti、Al）ＮにおいてTi：Al＝75：
25、Ti：Al＝50：50の組成が記述されている
にすぎない。これらの組成を固溶体成分で記述
すれば、TiN−AlN固溶体と表現でき、TiN
を基本組成としてAlNが最高50モル％固溶し
たものと言える。 (ホ) J.of Solid State Chemistry、70（1987年）
の論文には（Ti、Al）Ｎにおいて、全組成中
Alが30at％固溶できると記述されている。 しかし上記(ハ)〜(ホ)の組成では、AlNの高熱伝
導性、耐酸化性が十分発揮できるものとはいえな
いものである。 本発明は、AlN−TiN系全組成域について詳
細に調べ、AlNを基本組成としてAlN単組成の
弱点をTiNの固溶により改善し、その組成域を
特定したものであつて、耐摩耗性及び密着性に優
れた皮膜を効率よく形成することのできる様な皮
膜形成方法を提供しようとするものである。 ［課題を解決する為の手段］ 本発明は基材表面に耐摩耗性皮膜を形成するに
当たり、化学組成が （AlxTi1-x（NyC1-y） 但し 0.56≦ｘ≦0.75 0.6≦ｙ≦１ 膜厚：0.8〜10μｍ で示される耐摩耗性皮膜を、蒸発源としてカソー
ドを用いるアーク放電方式によつて形成すること
を要旨とするものである。 ［作用］ 本発明においては、カソードを蒸発源とするア
ーク放電によつて金属成分をイオン化するもので
あつて、イオンプレーテイング法やスパツタリン
グ法等に代表されるPVD法によつて行なうこと
ができるものである。これらのうち例えばイオン
プレーテイング法で行なう場合を代表的に取り上
げて説明すると、前記の様にイオン化した金属成
分をN2雰囲気又はN2／CH4雰囲気中で反応させ
る。カソードとしてはTi及びAlをそれぞれ個別
に使用することもできるが、目的組成そのものか
らなるAlxTi1-xをターゲツトとすれば、皮膜組成
のコントロールが容易である。この場合の各合金
成分の蒸発は、数十アンペア以上の大電流域で行
なわれるため、カソード物質の組成ずれは殆んど
生じない。しかもイオン化効率が高く反応性に富
み、基板にバイアス電圧を印加することによつて
密着性の優れた皮膜が得られる。 この様にして得られる皮膜の組成は （AlxTi1-x（NyC1-y） 但し 0.56≦ｘ≦0.75 0.6≦ｙ≦１ であることが必要であり、好ましくは0.6≦ｘ≦
0.7である。 上記皮膜組成からなる本発明の固溶体は、これ
を窒化物系で代表して説明すると、AlN−TiN
を端組成とする固溶体であり、種々の成分範囲に
ついて調べた結果、第１図Ａ及びＢに示すような
結晶構造を有することが明らかとなつた。第１図
ＡにおいてＰはNaC1型（B1構造）領域、Ｑは
ZnS型（ウルツアイト型）領域である。即ち本発
明の成分範囲は、第１図Ａ，Ｂから明らかなよう
に、B1構造を有する組成範囲内で、AlNにTiN
が25〜44モル％固溶した固溶体である。この範囲
に限定した理由を以下に述べる。 第１図Ｂから明らかな様にAl量ｘが0.75を超え
る場合は、皮膜組成がAlNに近似してくる結果、
皮膜の軟質化を招き、十分な硬度が得られなくな
り、フランク摩耗を容易に引き起す。一方ｘが
0.75以下になると、皮膜は高硬度化し、フランク
摩耗量は減少する。しかしAlNの高耐酸化特性
を有効に発揮する下限として以下のように決め
た。 即ち（AlxTi1-x）Ｎ［但しｘ＝０、0.25、0.5、
0.6］を大気中、昇温速度５℃／分で昇温酸化し
た場合の温度変化に対する酸化量の変化を測定し
たところ、第２図に示す結果が得られた。第２図
よりAl量が増加するにつれて酸化開始温度が上
昇することがわかる。一方工具切削中の刃先温度
の上昇による皮膜の酸化を十分に抑制する為に
は、切削熱によるクレータ摩耗量を低下させる必
要がある。この様な観点から第２図を見ると、で
きる限りAlN成分に富んだ組成範囲とすること
が有効であることがわかる。したがつて、工具刃
先温度が切削中に800℃以上になることを考慮し
て、酸化開始温度が800℃以上の組成をｘ＝0.56
と決めた。 又本発明では炭窒化物を形成することによつて
TiCの高硬度性（常温硬度Hv：約3100Kg／mm2）
を発揮させるものである。即ち本発明の組成式に
おいてｙの値が減少するにつれて硬度が大となり
耐摩耗性は向上する。第３図は、超硬チツプ
（WC−10％Coを主成分とする）に（Al0.65Ti0.35）
NyC1-y）［但しｙ＝0.4、0.6、0.8、0.9、１］を3μ
ｍ被覆し、被削材S50Cを切削速度170ｍ／min、
送り速度0.25mm／rev、切り込み0.1mmで切削した
時の15分後のクレータ摩耗量を測定した結果を示
す。この結果にみられるようにｙが0.6未満にな
ると耐酸化性が低下してクレータ摩耗を起こし易
くなる。ｙ≧0.6の範囲では耐酸化性の顕著な低
下はみられない。 尚後述する実施例及び比較例から明らかな様
に、膜厚が0.8μｍ未満の場合は耐摩耗性が不十分
となり、一方10μｍを超えると膜自体にクラツク
が入り易く、強度が不十分となる。 以下実施例について説明するが、本発明は下記
の実施例に限定されるものではなく、前・後記の
趣旨に徴して適宜設計変更することは本発明の技
術的範囲に含まれる。 ［実施例］ 実施例 １ Al0.6Ti0.4をカソード電極とするカソードアー
ク方式イオンプレーテイング装置の基板ホルダー
に超硬合金製チツプ（WC−10％Coを主成分とす
る）を取付けた。尚本装置には、耐摩耗性皮膜形
成状態の均一性を確保する為の基材回転機構等及
びヒータを設置した。 皮膜に当たつては、ヒータによつて基材温度を
400℃に加熱保持したまま、基材に−70Vのバイ
アス電圧を印加すると共に、装置内に高純度N2
ガスを７×10-3Torrまで導入し、アーク放電を
開始して基材表面に膜厚4μｍの皮膜を形成した。
膜厚の測定は、基板ホルダーに同時に取り付けた
基材の内の１個を破断し、膜断面を走査型電子顕
微鏡で観察して測定したものである。さらに膜組
成の定量は、同じく同時に取り付けた基材につき
オージエ分光分析法により膜深さ方向の分析を行
なつた。その結果Al、Ti、Ｎの膜厚さ方向には
濃度変化がなく一定で、各成分元素のピーク高さ
から、膜組成は（Al0.62Ti0.38）Ｎであつた。膜中
の金属成分比Ti／Alはカソード成分比とずれが
なく殆んど同一といえる。 実施例 ２ Al0.7Ti0.3カソードを用いた以外は、実施例１
と同一条件で成膜を行なつた。成膜した膜厚は
3.8μｍであり、膜組成は（Al0.7Ti0.33）Ｎであつ
た。 実施例 ３ 反応性ガスとしてはN2／CH4混合ガスを用い
た以外は実施例１と同一条件で成膜を行なつた。
成膜した膜厚は4.3μｍであり、膜組成は（Al0.61
Ti0.39）（N0.7C0.3）であつた。 比較例 比較の為次の試料を用意した。 比較例 １ 実施例１の基材に皮膜を形成しない試料 比較例 ２ Tiカソードを用いてN2ガスを７×10-3Torrま
で導入し実施例１と同一条件でTiNの成膜を行
なつた。成膜した膜厚は4.3μｍであつた。 比較例 ３ 蒸発器の加熱源として電子ビーム（E.B.）を使
用したイオンプレーテイング装置を用いて、るつ
ぼに実施例１で使用したカソード物質と同一の
Al0.6Ti0.4固溶体を装入し、基板ホルダーには超
硬合金製チツプを取り付けた。膜の均一性及び膜
の密着性を確保するため、基板回転機構等を設置
すると共にヒーターを設置した。成膜にあたつて
はヒーターにより基材温度を400℃に加熱保持し
たまま、基材に−600Vのバイアス電圧を印加し、
装置内に高純度N2を７×10-4Torrまで導入しイ
オンプレーテイング法により基材に成膜を行なつ
た。膜厚は4μｍとした。さらに実施例１と同様
の分析方法により皮膜を分析した結果、AlとTi
の濃度比が膜厚方向に不均一で膜の成分比は規定
できなかつた。特に基材との界面にはAlの濃縮
が観察され、E.B.溶解の初期にAlが優先的に蒸
発付着したものと考えられる。 比較例 ４ 実施例１と同一のカソード物質であるAl0.6
Ti0.4ターゲツトを製作し、スパツタリング装置
を用いてAr／N2混合ガスによる反応性スパツタ
リング法にて超硬チツプに成膜を行なつた。得ら
れた膜厚は3μｍであつた。膜を分析した結果、
平均として（Al0.78Ti0.22）Ｎと判定された。Al
成分が優先的にスパツタされたものと考えられ
る。 比較例 ５ カソード物質としてAl0.45Ti0.55ターゲツトを製
作し、実施例１と同一条件で成膜を行なつた。成
膜した膜厚は4μｍであり、膜組成は（Al0.42
Ti0.58）Ｎであつた。 比較例 ６ 実施例１と同一のカソード、同一条件で成膜を
行なつた。膜厚は0.7μｍとし、膜組成は（Al0.64
Ti0.36）Ｎであつた。 比較例 ７ 実施例１と同一カソード、同一条件で成膜を行
なつた。膜厚は12μｍとし、膜組成は（Al0.64
Ti0.36）Ｎであつた。 実施例１〜３及び比較例１〜７によつて得られ
た試料を、下記切削条件により10分間の切削試験
に供したフランク摩耗幅及ひクレータ摩耗深さを
第１表に示す。 切削条件： 被削材 S50C 切削速度 170ｍ／min 送り速度 0.25mm／rev 切り込み 0.1mm
【表】
第１表より明らかな様に、比較例に比べて本発
明例はいずれも耐摩耗性に優れていた。 次に超硬ドリルへの適用例を以下に示す。 実施例 ４ ６mmφの（WC−８％Coを主成分とする）超硬
ドリルに実施例１と同一条件にて成膜を形成し
た。このときの膜組成は（Al0.65Ti0.35）Ｎであ
り、膜厚は4.5μｍであつた。 比較例として次の試料を用意した。 比較例 ８ ６mmφの超硬ドリルに比較例５と同一条件にて
成膜を形成した。このときの膜組成は（Al0.46
Ti0.54）Ｎであり、膜厚は4μｍであつた。 比較例 ９ ６mmφの超硬ドリルに比較例２と同一条件で
TiNを成膜した。膜厚は5μｍであつた。 比較例 10 ６mmφの超硬ドリルに実施例と同一条件で成膜
を形成した。膜組成は（Al0.64Ti0.36）Ｎであり、
膜厚を0.7μｍとした。 比較例 11 ６mmφの超硬ドリルに比較例10と同一条件にて
成膜し、膜組成は（Al0.64Ti0.35）Ｎで膜厚は12μ
ｍとした。 下記の切削条件で行なつた穴明け個数の結果を
第２表に示す。 切削条件： 被削材 S50C、13mmt 切削速度 50ｍ／min 送り速度 0.2mm／rev 潤滑 エマルジヨンによる
明例はいずれも耐摩耗性に優れていた。 次に超硬ドリルへの適用例を以下に示す。 実施例 ４ ６mmφの（WC−８％Coを主成分とする）超硬
ドリルに実施例１と同一条件にて成膜を形成し
た。このときの膜組成は（Al0.65Ti0.35）Ｎであ
り、膜厚は4.5μｍであつた。 比較例として次の試料を用意した。 比較例 ８ ６mmφの超硬ドリルに比較例５と同一条件にて
成膜を形成した。このときの膜組成は（Al0.46
Ti0.54）Ｎであり、膜厚は4μｍであつた。 比較例 ９ ６mmφの超硬ドリルに比較例２と同一条件で
TiNを成膜した。膜厚は5μｍであつた。 比較例 10 ６mmφの超硬ドリルに実施例と同一条件で成膜
を形成した。膜組成は（Al0.64Ti0.36）Ｎであり、
膜厚を0.7μｍとした。 比較例 11 ６mmφの超硬ドリルに比較例10と同一条件にて
成膜し、膜組成は（Al0.64Ti0.35）Ｎで膜厚は12μ
ｍとした。 下記の切削条件で行なつた穴明け個数の結果を
第２表に示す。 切削条件： 被削材 S50C、13mmt 切削速度 50ｍ／min 送り速度 0.2mm／rev 潤滑 エマルジヨンによる
【表】
第２表より明らかな様に本発明方法で得られた
工具は、比較例に比べて加工個数の大幅な増加が
認められ、耐摩耗性が良好であつた。 次にハイスドリルへの適用例を以下に示す。 実施例 ５ ６mmφハイスドリルに実施例１と同一条件にて
成膜を形成した。膜組成は（Al0.63Ti0.37）Ｎであ
り、膜厚を5.5μｍとした。 比較例として次の試料を用意した。 比較例 12 ６mmφハイスドリルに比較例２と同一条件で
TiNを成膜した。膜厚は5μｍであつた。 比較例 13 ６mmφハイスドリルに比較例５と同一条件にて
成膜を形成した。膜組成は（Al0.43Ti0.57）Ｎであ
り、膜厚を4.5μｍとした。 比較例 14 ６mmφハイスドリルに実施例４と同一条件で成
膜を形成した。膜組成は（Al0.63Ti0.37）Ｎであ
り、膜厚を13μｍとした。 下記の切削条件で行なつた穴明け個数の結果を
第３表に示す。 切削条件： 被削材 S50C、10mmt 切削速度 30ｍ／min 送り速度 0.15mm／rev 潤滑 エマルジヨンによる
工具は、比較例に比べて加工個数の大幅な増加が
認められ、耐摩耗性が良好であつた。 次にハイスドリルへの適用例を以下に示す。 実施例 ５ ６mmφハイスドリルに実施例１と同一条件にて
成膜を形成した。膜組成は（Al0.63Ti0.37）Ｎであ
り、膜厚を5.5μｍとした。 比較例として次の試料を用意した。 比較例 12 ６mmφハイスドリルに比較例２と同一条件で
TiNを成膜した。膜厚は5μｍであつた。 比較例 13 ６mmφハイスドリルに比較例５と同一条件にて
成膜を形成した。膜組成は（Al0.43Ti0.57）Ｎであ
り、膜厚を4.5μｍとした。 比較例 14 ６mmφハイスドリルに実施例４と同一条件で成
膜を形成した。膜組成は（Al0.63Ti0.37）Ｎであ
り、膜厚を13μｍとした。 下記の切削条件で行なつた穴明け個数の結果を
第３表に示す。 切削条件： 被削材 S50C、10mmt 切削速度 30ｍ／min 送り速度 0.15mm／rev 潤滑 エマルジヨンによる
【表】
第３表より明らかな様に本発明方法で得られた
工具は、比較例に比べて加工個数の大幅な増加が
みられ、耐摩耗性が良好であつた。 ［発明の効果］ 本発明は以上の様に構成されているので、
TiNを基本とした従来の（Ti、Al）Ｎと異なり、
b族の窒化物であるAlNにTiが固溶した皮膜で
ある為、耐熱性、熱伝導性等に関し、AlNに近
似した優れた特性が発揮されるばかりか、従来の
イオンプレーテイング法やスパツタリング法によ
つて製造する場合よりも密着性、膜組成の均一性
及び生産効率の各面において優れた皮膜形成方法
を提供することができる。
工具は、比較例に比べて加工個数の大幅な増加が
みられ、耐摩耗性が良好であつた。 ［発明の効果］ 本発明は以上の様に構成されているので、
TiNを基本とした従来の（Ti、Al）Ｎと異なり、
b族の窒化物であるAlNにTiが固溶した皮膜で
ある為、耐熱性、熱伝導性等に関し、AlNに近
似した優れた特性が発揮されるばかりか、従来の
イオンプレーテイング法やスパツタリング法によ
つて製造する場合よりも密着性、膜組成の均一性
及び生産効率の各面において優れた皮膜形成方法
を提供することができる。
第１図Ａ及びＢは本発明における（AlxTi1-x）
Ｎ組成（窒化物で代表）と結晶構造の関係を示す
図であり、又第２図は（AlxTi1-x）Ｎにおいてｘ
を変化させた場合の温度変化に対する酸化量の程
度を示すグラフ、第３図は（Al0.65Ti0.35）（Ny
C1-y）においてｙは変化させた時の超硬チツプの
切削時のクレータ摩耗量を示す図である。
Ｎ組成（窒化物で代表）と結晶構造の関係を示す
図であり、又第２図は（AlxTi1-x）Ｎにおいてｘ
を変化させた場合の温度変化に対する酸化量の程
度を示すグラフ、第３図は（Al0.65Ti0.35）（Ny
C1-y）においてｙは変化させた時の超硬チツプの
切削時のクレータ摩耗量を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 基材表面に耐摩耗性皮膜を形成するに当た
り、 （A1xTi1-x）（NyC1-y） 但し 0.56≦ｘ≦0.75 0.6≦ｙ≦１ で示される化学組成からなり、膜厚が0.8〜10μｍ
の耐摩耗性皮膜を、蒸発源としてカソードを用い
るアーク放電方式によつて形成することを特徴と
する耐摩耗性皮膜形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63278324A JPH02194159A (ja) | 1988-03-24 | 1988-11-02 | 耐摩耗性皮膜形成方法 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63-70956 | 1988-03-24 | ||
| JP7095688 | 1988-03-24 | ||
| JP25398088 | 1988-10-07 | ||
| JP63-253980 | 1988-10-07 | ||
| JP63278324A JPH02194159A (ja) | 1988-03-24 | 1988-11-02 | 耐摩耗性皮膜形成方法 |
Related Child Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18613794A Division JPH07197235A (ja) | 1994-08-08 | 1994-08-08 | 耐摩耗性皮膜被覆部材 |
| JP30621295A Division JPH08209332A (ja) | 1988-03-24 | 1995-11-24 | 耐摩耗性に優れた工具を製造する方法 |
| JP7306213A Division JP2644710B2 (ja) | 1988-03-24 | 1995-11-24 | 耐摩耗性皮膜被覆部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02194159A JPH02194159A (ja) | 1990-07-31 |
| JPH0567705B2 true JPH0567705B2 (ja) | 1993-09-27 |
Family
ID=26412070
Family Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63278324A Granted JPH02194159A (ja) | 1988-03-24 | 1988-11-02 | 耐摩耗性皮膜形成方法 |
| JP30621295A Pending JPH08209332A (ja) | 1988-03-24 | 1995-11-24 | 耐摩耗性に優れた工具を製造する方法 |
| JP7306213A Expired - Lifetime JP2644710B2 (ja) | 1988-03-24 | 1995-11-24 | 耐摩耗性皮膜被覆部材 |
Family Applications After (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30621295A Pending JPH08209332A (ja) | 1988-03-24 | 1995-11-24 | 耐摩耗性に優れた工具を製造する方法 |
| JP7306213A Expired - Lifetime JP2644710B2 (ja) | 1988-03-24 | 1995-11-24 | 耐摩耗性皮膜被覆部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (3) | JPH02194159A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6065910A (en) * | 1997-07-07 | 2000-05-23 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Gear shaper cutting method and apparatus |
| US6116828A (en) * | 1997-04-10 | 2000-09-12 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Gear cutting method and apparatus |
| US6254984B1 (en) | 1998-03-16 | 2001-07-03 | Hitachi Tool Engineering, Ltd. | Members with multi-layer coatings |
| US6309738B1 (en) | 1998-02-04 | 2001-10-30 | Osg Corporation | Hard multilayer coated tool having increased toughness |
| US7008688B2 (en) | 2001-03-13 | 2006-03-07 | Osg Corporation | Hard multilayer coating, hard multilayer coated tool including the hard multilayer coating, and method of forming the hard multilayer coating |
| JP2013116509A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
Families Citing this family (52)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02194159A (ja) * | 1988-03-24 | 1990-07-31 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性皮膜形成方法 |
| JPH04103755A (ja) * | 1990-08-23 | 1992-04-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 表面被覆鋼製品及びその製造方法 |
| JPH0634818B2 (ja) * | 1992-04-09 | 1994-05-11 | 大 山岡 | Ｔｉ−Ａｌ−Ｎ組成物の皮膜を備えた器具 |
| JP2999346B2 (ja) * | 1993-07-12 | 2000-01-17 | オリエンタルエンヂニアリング株式会社 | 基体表面被覆方法及び被覆部材 |
| JP2793772B2 (ja) * | 1994-05-13 | 1998-09-03 | 神鋼コベルコツール株式会社 | 密着性に優れた硬質皮膜被覆工具および硬質皮膜被覆部材 |
| EP1219723B1 (en) | 2000-12-28 | 2006-10-25 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Hard film for cutting tools |
| ES2252341T3 (es) * | 2001-06-11 | 2006-05-16 | Mitsubishi Materials Corporation | Herramienta de aleacion de carburo recubierto en superficie. |
| JP2003019605A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-21 | Mmc Kobelco Tool Kk | 硬質被覆層がすぐれた放熱性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| JP4216518B2 (ja) | 2002-03-29 | 2009-01-28 | 株式会社神戸製鋼所 | カソード放電型アークイオンプレーティング用ターゲットおよびその製造方法 |
| JP4609631B2 (ja) * | 2004-01-05 | 2011-01-12 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
| EP1757388B1 (en) | 2004-06-18 | 2015-11-04 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutware and process for producing the same |
| JP2006116831A (ja) | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Sony Corp | プリンタ及びプリンタの制御方法 |
| SE0402180D0 (sv) | 2004-09-10 | 2004-09-10 | Sandvik Ab | Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering |
| DE102006004394B4 (de) | 2005-02-16 | 2011-01-13 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.), Kobe-shi | Hartfilm, Mehrschichthartfilm und Herstellungsverfahren dafür |
| JP4824989B2 (ja) | 2005-11-02 | 2011-11-30 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜 |
| JP4950499B2 (ja) | 2006-02-03 | 2012-06-13 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜およびその成膜方法 |
| JP4713413B2 (ja) | 2006-06-30 | 2011-06-29 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜およびその製造方法 |
| JP5096715B2 (ja) | 2006-09-21 | 2012-12-12 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜および硬質皮膜被覆工具 |
| JP4540120B2 (ja) * | 2006-10-11 | 2010-09-08 | 日立ツール株式会社 | 多層皮膜被覆工具及びその被覆方法 |
| US8455116B2 (en) | 2007-06-01 | 2013-06-04 | Sandvik Intellectual Property Ab | Coated cemented carbide cutting tool insert |
| AT9999U1 (de) | 2007-06-29 | 2008-07-15 | Ceratizit Austria Gmbh | Al-ti-ru-n-c hartstoffschicht |
| JP4413958B2 (ja) | 2007-08-31 | 2010-02-10 | ユニオンツール株式会社 | 切削工具用硬質皮膜 |
| JP5383019B2 (ja) * | 2007-09-11 | 2014-01-08 | 京セラ株式会社 | エンドミル |
| AT506133B1 (de) | 2007-11-16 | 2009-11-15 | Boehlerit Gmbh & Co Kg | Reibrührschweisswerkzeug |
| KR101157347B1 (ko) * | 2007-12-26 | 2012-06-15 | 수미도모 메탈 인더스트리즈, 리미티드 | 피복 초경 플러그 및 그것을 이용한 냉간 인발 방법 |
| JP4440980B2 (ja) | 2008-01-31 | 2010-03-24 | ユニオンツール株式会社 | 切削工具用硬質皮膜 |
| JP5234925B2 (ja) | 2008-04-03 | 2013-07-10 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜およびその形成方法ならびに硬質皮膜被覆部材 |
| JP5234926B2 (ja) | 2008-04-24 | 2013-07-10 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜および硬質皮膜形成用ターゲット |
| WO2011016488A1 (ja) | 2009-08-04 | 2011-02-10 | 株式会社タンガロイ | 被覆部材 |
| US8277958B2 (en) * | 2009-10-02 | 2012-10-02 | Kennametal Inc. | Aluminum titanium nitride coating and method of making same |
| DE102009046667B4 (de) * | 2009-11-12 | 2016-01-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beschichtete Körper aus Metall, Hartmetal, Cermet oder Keramik sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper |
| US8701964B2 (en) | 2009-12-17 | 2014-04-22 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Coated rotary tool |
| JP5209011B2 (ja) | 2010-09-16 | 2013-06-12 | 株式会社東芝 | 磁気抵抗素子 |
| US8409702B2 (en) | 2011-02-07 | 2013-04-02 | Kennametal Inc. | Cubic aluminum titanium nitride coating and method of making same |
| JP2013048210A (ja) | 2011-07-22 | 2013-03-07 | Toshiba Corp | 磁気抵抗素子 |
| MY165165A (en) | 2011-09-30 | 2018-02-28 | Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon | Aluminum titanium nitride coating with adapted morphology for enhanced wear resistance in machining operations and method threof |
| US9103036B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-08-11 | Kennametal Inc. | Hard coatings comprising cubic phase forming compositions |
| WO2014208068A1 (ja) * | 2013-06-24 | 2014-12-31 | 兼房株式会社 | チップ付丸鋸の製造方法 |
| US9168664B2 (en) | 2013-08-16 | 2015-10-27 | Kennametal Inc. | Low stress hard coatings and applications thereof |
| US9896767B2 (en) | 2013-08-16 | 2018-02-20 | Kennametal Inc | Low stress hard coatings and applications thereof |
| JP6115824B2 (ja) * | 2013-09-06 | 2017-04-19 | 三菱マテリアル株式会社 | サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにサーミスタセンサ |
| WO2015052762A1 (ja) * | 2013-10-08 | 2015-04-16 | Ｔｐｒ株式会社 | ピストンリングおよびターボチャージャー用シールリング |
| WO2015052761A1 (ja) * | 2013-10-08 | 2015-04-16 | Ｔｐｒ株式会社 | ピストンリングおよびターボチャージャー用シールリング |
| JP6385243B2 (ja) * | 2013-11-05 | 2018-09-05 | 日立金属株式会社 | 被覆切削工具 |
| JP6349581B2 (ja) * | 2015-01-14 | 2018-07-04 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 硬質被膜、切削工具および硬質被膜の製造方法 |
| RU2613837C1 (ru) * | 2015-12-03 | 2017-03-21 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет" "МИСиС" | Способ получения ионно-плазменного вакуумно-дугового керамикометаллического покрытия TiN-Ni для твердосплавного режущего инструмента расширенной области применения |
| JP6844704B2 (ja) | 2017-08-15 | 2021-03-17 | 株式会社Ｍｏｌｄｉｎｏ | 被覆切削工具 |
| US10974323B2 (en) | 2017-08-15 | 2021-04-13 | Moldino Tool Engineering, Ltd. | Coated cutting tool |
| JP6765361B2 (ja) * | 2017-10-18 | 2020-10-07 | ユニオンツール株式会社 | 切削工具用硬質皮膜及びドリル |
| WO2020189252A1 (ja) | 2019-03-18 | 2020-09-24 | 株式会社Moldino | 被覆切削工具 |
| US12623292B2 (en) | 2020-02-21 | 2026-05-12 | Moldino Tool Engineering, Ltd. | Coated tool |
| JP7372002B1 (ja) | 2022-02-15 | 2023-10-31 | Ｓｅａｖａｃ株式会社 | 硬質皮膜 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51151277A (en) * | 1975-06-20 | 1976-12-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | A coated super hard alloy |
| JPS5240487A (en) * | 1975-09-26 | 1977-03-29 | Nobuo Nishida | Exterior parts for watch and its process for production |
| JPS6411961A (en) * | 1987-07-06 | 1989-01-17 | Nippon Light Metal Co | Formation of thin composite nitride film by ion plating |
| JPH02194159A (ja) * | 1988-03-24 | 1990-07-31 | Kobe Steel Ltd | 耐摩耗性皮膜形成方法 |
-
1988
- 1988-11-02 JP JP63278324A patent/JPH02194159A/ja active Granted
-
1995
- 1995-11-24 JP JP30621295A patent/JPH08209332A/ja active Pending
- 1995-11-24 JP JP7306213A patent/JP2644710B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6116828A (en) * | 1997-04-10 | 2000-09-12 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Gear cutting method and apparatus |
| US6065910A (en) * | 1997-07-07 | 2000-05-23 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Gear shaper cutting method and apparatus |
| US6309738B1 (en) | 1998-02-04 | 2001-10-30 | Osg Corporation | Hard multilayer coated tool having increased toughness |
| US6254984B1 (en) | 1998-03-16 | 2001-07-03 | Hitachi Tool Engineering, Ltd. | Members with multi-layer coatings |
| US7008688B2 (en) | 2001-03-13 | 2006-03-07 | Osg Corporation | Hard multilayer coating, hard multilayer coated tool including the hard multilayer coating, and method of forming the hard multilayer coating |
| JP2013116509A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
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