JPH056845U - ウエーハ引きのばしテープ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】ウェーハを貼り付け引きのばすウェーハ引きの
ばしテープであって、ウェーハ引きのばしテープ１のの
り付け部分２がメッシュ状に構成されている。 【効果】テープにのりがメッシュ状に付着され、そのメ
ッシュ状ののりにウェーハが貼り付けてあり、ペレット
の裏面全面にのりがつかないためペレットをとるとき容
易にテープからとれるので、ペレットのカケ，クラッ
ク，キズの発生を防ぐことができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はウェーハ引きのばしテープに関し、特に前記ウェーハ引きのばしテー プののり付け部分がメッシュ状になっている構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来この種のウェーハ引きのばしテープは、図３に示すようにウェーハ引きの ばしテープは、ウェーハ引きのばしテープ１の表面にのり２が付着しており表面 全面がのりづけされていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

この従来のウェーハ引きのばしテープは図３に示すように、表面全面がのり付 けされており、ウェーハをウェーハ引きのばしテープに貼り付けペレッタイズ後 にペレットをとる際貼り付け強度が強かったりすると、ペレットがウェーハ引き のばしテープからとれず、ペレットカケ，クラック，キズが生じるという問題が あった。

【０００４】 本考案の目的は、のり付け貼り付け強度が過度になることを避け、ペレットの カケ，クラック，キズの発生をなくすことができるウェーハ引きのばしテープを 提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案のウェーハ引きのばしテープは、ウェーハ引きのばしテープの表面のの り付け部がメッシュ状になっており、ペレットとウェーハ引きのばしテープが全 面のり付けされないことにより、ウェーハ引きのばしテープ貼り付け強度大によ るペレットカケ，クラック，キズが生じないという機能を備えている。

【０００６】

【実施例】 次に本考案について図面を参照して説明する。図１は本考案の一実施例の使用 例を示す引きのばし状態を示す模式的上面図、Ａ部拡大図および側面図であり、 図２は本考案の一実施例の模式的上面図および側面図である。図１に示すように 、ウェーハ引きのばしテープ１とのり２が交互になっており網の目状になってい る。

【０００７】 図１は図２のテープを使用しウェーハを引きのばし、ペレットに分離した状態 を示すが、のりの幅及びウェーハ引きのばしテープの幅が交互になっており、ど ちらの幅もペレット幅の１／３〜１／２０倍になっており、引きのばしに対しペ レット裏面に必ずのり２がつくような構造となっている。すなわち拡大図から明 らかなようにペレットの裏面は網の部分ののりで貼りつけられているので貼りつ け強度が過度に大とならず分離に対しカケ，クラック，キズを発生させることを なくすことができる。

【０００８】

【考案の効果】

以上説明したように本考案はウェーハ引きのばしテープののり付け部をメッシ ュ状にすることにより、従来あったのり付け強度大をなくし、ペレットのカケ， クラック，キズをなくすという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の使用例を示す模式的上面
図，Ａ部拡大図および側面図である。

【図２】本考案の一実施例の模式的上面図および側面図
である。

【図３】従来のウェーハ引きのばしテープの模式的上面
図および側面図である。

【符号の説明】

１ ウェーハ引きのばしテープ ２ のり ３ ペレット ４ リング

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 ウェーハを貼り付け引き伸すウェーハ引
   きのばしテープにおいて、前記ウェーハ引きのばしテー
   プののり付け部分がメッシュ状になっていることを特徴
   とするウェーハ引きのばしテープ。