JPH0569279A - 砥石異常振動監視装置 - Google Patents
砥石異常振動監視装置Info
- Publication number
- JPH0569279A JPH0569279A JP22604191A JP22604191A JPH0569279A JP H0569279 A JPH0569279 A JP H0569279A JP 22604191 A JP22604191 A JP 22604191A JP 22604191 A JP22604191 A JP 22604191A JP H0569279 A JPH0569279 A JP H0569279A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grindstone
- vibration
- metal strip
- frequency
- shaft
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 砥石軸の回転数の整数倍に共振によるビビリ
振動の周波数が一致した場合砥石回転数を変える機構を
持つ砥石異常振動監視装置を提供する。 【構成】 回転砥石の支持部材に加速度ピックアップ７
を取り付けると共に、回転砥石に回転計４１を取り付
け、砥石軸の回転数の整数倍と支持部材の共振によるビ
ビリ振動の周波数が一致した場合に、砥石軸の回転数を
変える機構を備えた装置。 【効果】 共振によるビビリ振動を回避して平滑な仕上
がり面の金属ストリップを得る。
振動の周波数が一致した場合砥石回転数を変える機構を
持つ砥石異常振動監視装置を提供する。 【構成】 回転砥石の支持部材に加速度ピックアップ７
を取り付けると共に、回転砥石に回転計４１を取り付
け、砥石軸の回転数の整数倍と支持部材の共振によるビ
ビリ振動の周波数が一致した場合に、砥石軸の回転数を
変える機構を備えた装置。 【効果】 共振によるビビリ振動を回避して平滑な仕上
がり面の金属ストリップを得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】回転砥石を用いる金属ストリップ
研削ラインの共振によるビビリ振動が発生した際の異常
振動防止装置に関する。
研削ラインの共振によるビビリ振動が発生した際の異常
振動防止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】回転砥石等をポリッシャーとして用いる
金属ストリップ研削ラインにおいて、むらの無い鏡面研
削を行う事を目的として、特開昭５３−４９２号公報に
提案がなされている。即ち砥石ロールを用いた研削装置
の制御装置としては、砥石の磨耗に応じて砥石ロールを
移動させ研削量を一定に保つ装置が提案されている。
金属ストリップ研削ラインにおいて、むらの無い鏡面研
削を行う事を目的として、特開昭５３−４９２号公報に
提案がなされている。即ち砥石ロールを用いた研削装置
の制御装置としては、砥石の磨耗に応じて砥石ロールを
移動させ研削量を一定に保つ装置が提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の技術に
は極めて高精度の研削が要求される場合、単に圧力を一
定に保つだけでは不十分であり、砥石の径の減少に伴う
微細な研削条件等の変化による共振の発生により金属ス
トリップの製品に板厚変動が生じるため、作業能率が低
いものであった。 本発明は、かかる事情にかんがみな
されたもので、研削ラインの共振によるビビリ振動の発
生を検知及び防止する事のできる装置を提供することを
目的とする。
は極めて高精度の研削が要求される場合、単に圧力を一
定に保つだけでは不十分であり、砥石の径の減少に伴う
微細な研削条件等の変化による共振の発生により金属ス
トリップの製品に板厚変動が生じるため、作業能率が低
いものであった。 本発明は、かかる事情にかんがみな
されたもので、研削ラインの共振によるビビリ振動の発
生を検知及び防止する事のできる装置を提供することを
目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明に係る砥石異常振
動監視装置は、回転砥石を用いる金属ストリップ研削ラ
インにおいて、砥石軸の軸受けに取り付けられた振動セ
ンサと、該振動センサにより検出した振動の信号を受信
して解析するための周波数解析機構と、砥石軸及びバッ
クアップロールの回転数を検知する回転計と、砥石軸の
回転数の整数倍と前記振動センサにより検出した振動の
周波数が一致し共振によるビビリ振動が発生して振動の
振幅が一定水準を超えている時に警報を発する演算装置
と、該警報を受信して砥石軸の回転数を変更する回転数
制御装置とを具備してなることを特徴とする。
動監視装置は、回転砥石を用いる金属ストリップ研削ラ
インにおいて、砥石軸の軸受けに取り付けられた振動セ
ンサと、該振動センサにより検出した振動の信号を受信
して解析するための周波数解析機構と、砥石軸及びバッ
クアップロールの回転数を検知する回転計と、砥石軸の
回転数の整数倍と前記振動センサにより検出した振動の
周波数が一致し共振によるビビリ振動が発生して振動の
振幅が一定水準を超えている時に警報を発する演算装置
と、該警報を受信して砥石軸の回転数を変更する回転数
制御装置とを具備してなることを特徴とする。
【０００５】
【作用】砥石軸の回転数の整数倍と共振によるビビリ振
動の周波数が一致し場合に砥石軸の回転数を変更を自動
的に行う本発明の砥石異常振動監視装置により、金属ス
トリップ研削ラインにおける共振現象による異常振動を
防止する事ができる。
動の周波数が一致し場合に砥石軸の回転数を変更を自動
的に行う本発明の砥石異常振動監視装置により、金属ス
トリップ研削ラインにおける共振現象による異常振動を
防止する事ができる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を、添付した図面を参
照して詳細に説明する。図１は本発明の砥石異常振動監
視装置が取り付けられる金属ストリップ研削ラインにお
ける、砥石及びバックアップロールと、金属ストリップ
との相対的位置関係を斜視しで示した説明図である。図
において１は回転する砥石である。２は研削される金属
ストリップである。３は金属ストリップを裏面から支持
するバックアップロールである。
照して詳細に説明する。図１は本発明の砥石異常振動監
視装置が取り付けられる金属ストリップ研削ラインにお
ける、砥石及びバックアップロールと、金属ストリップ
との相対的位置関係を斜視しで示した説明図である。図
において１は回転する砥石である。２は研削される金属
ストリップである。３は金属ストリップを裏面から支持
するバックアップロールである。
【０００７】図２は本発明の砥石異常振動監視装置が取
り付けられる金属ストリップ研削ラインの主要な機器が
配設されている状況を竪側面から眺めた説明図である。
図において１は砥石である。２は金属ストリップであ
る。３はバックアップロールである。７は回転する砥石
１の振動及びバックアップロール３の振動を検出する加
速度ピックアップである。加速度ピックアップ７は砥石
１及びバックアップロール３の回転軸の軸受箱を支持す
る部材に固定されている。加速度ピックアップ７は回転
する砥石１の振動及びバックアップロール３が振動する
と電荷に変化が生じる構造になっている。
り付けられる金属ストリップ研削ラインの主要な機器が
配設されている状況を竪側面から眺めた説明図である。
図において１は砥石である。２は金属ストリップであ
る。３はバックアップロールである。７は回転する砥石
１の振動及びバックアップロール３の振動を検出する加
速度ピックアップである。加速度ピックアップ７は砥石
１及びバックアップロール３の回転軸の軸受箱を支持す
る部材に固定されている。加速度ピックアップ７は回転
する砥石１の振動及びバックアップロール３が振動する
と電荷に変化が生じる構造になっている。
【０００８】４１は回転計である。３８は入側金属スト
リップコイルである。入側金属ストリップコイル３８は
ペイオフリール３１に支持されて巻き戻され金属ストリ
ップ研削ラインに送り込まれる。３２はパスラインロー
ルである。金属ストリップ２はパスラインロール３２に
巻き掛り正確なパスラインを構成する。３３はホールド
ダウンロールである。３４はピンチロールである。下側
のピンチロール３４も通常操業中は正確なパスラインを
構成する働きをしている。３５はパスラインロールであ
る。金属ストリップ２はパスラインロール３５に巻き掛
り正確なパスラインを構成する。テンションリール３６
によって金属ストリップ２は巻き取られて出側金属スト
リップコイル３７となる。
リップコイルである。入側金属ストリップコイル３８は
ペイオフリール３１に支持されて巻き戻され金属ストリ
ップ研削ラインに送り込まれる。３２はパスラインロー
ルである。金属ストリップ２はパスラインロール３２に
巻き掛り正確なパスラインを構成する。３３はホールド
ダウンロールである。３４はピンチロールである。下側
のピンチロール３４も通常操業中は正確なパスラインを
構成する働きをしている。３５はパスラインロールであ
る。金属ストリップ２はパスラインロール３５に巻き掛
り正確なパスラインを構成する。テンションリール３６
によって金属ストリップ２は巻き取られて出側金属スト
リップコイル３７となる。
【０００９】図３は、本発明の砥石異常振動監視装置の
信号等のフローを図示した流れ図である。図において７
は振動を検出する加速度ピックアップである。上述の通
り加速度ピックアップ７は砥石１及びバックアップロー
ル３の回転軸の軸受箱を支持する部材に固定されてい
て、振動の加速度に従って電荷が変化する機構を有して
いる。電荷−電圧変換器２１は加速度ピックアップ７に
電圧を印加しており、振動の加速度に伴って変化する電
荷を電圧に変換して、電圧信号としてアンプ２２に供給
する。アンプ２２は電圧信号を周波数解析演算器２３に
必要な電力信号に増幅する。周波数解析演算器２３はア
ンプ２２から受けた電力信号を周波数解析を行い振動の
周波数と振幅とを算出する。
信号等のフローを図示した流れ図である。図において７
は振動を検出する加速度ピックアップである。上述の通
り加速度ピックアップ７は砥石１及びバックアップロー
ル３の回転軸の軸受箱を支持する部材に固定されてい
て、振動の加速度に従って電荷が変化する機構を有して
いる。電荷−電圧変換器２１は加速度ピックアップ７に
電圧を印加しており、振動の加速度に伴って変化する電
荷を電圧に変換して、電圧信号としてアンプ２２に供給
する。アンプ２２は電圧信号を周波数解析演算器２３に
必要な電力信号に増幅する。周波数解析演算器２３はア
ンプ２２から受けた電力信号を周波数解析を行い振動の
周波数と振幅とを算出する。
【００１０】周波数解析演算器２３によって算出された
振動の周波数と振幅とが二次変換器２４を通し比較演算
器２５に入力される。しきい値設定器２６により予め設
定されたしきい値が比較演算器２５に入力されており、
比較演算器２５において振動の周波数と振幅としきい値
とが比較され周波数毎に振幅がしきい値を超える場合に
警報信号を警報処理演算器２７に送る。砥石１及びバッ
クアップロール３の回転と振動との共振現象が発生する
と必ず特定の周波数毎に振幅がしきい値を超えるので共
振現象を検出できる。
振動の周波数と振幅とが二次変換器２４を通し比較演算
器２５に入力される。しきい値設定器２６により予め設
定されたしきい値が比較演算器２５に入力されており、
比較演算器２５において振動の周波数と振幅としきい値
とが比較され周波数毎に振幅がしきい値を超える場合に
警報信号を警報処理演算器２７に送る。砥石１及びバッ
クアップロール３の回転と振動との共振現象が発生する
と必ず特定の周波数毎に振幅がしきい値を超えるので共
振現象を検出できる。
【００１１】ここに於いてファースト・フーリエ・トラ
ンスフォーマー２７と呼ばれている回路素子は、周波数
解析演算器２３と二次変換器２４と比較演算器２５とし
きい値設定器２６および警報処理演算器２７とをふくん
でいる。４１は回転計であリ、砥石１及びバックアップ
ロール３の回転軸に固定されていて、砥石１及びバック
アップロール３の回転数をアンプ４２を通して比較演算
器２５に信号として入力する。比較演算器２５において
受信した回転数の整数倍と、上記の受信したしきい値を
超えた場合の周波数が合致すると、砥石１又はバックア
ップロール３の回転数を変更するべき旨の指令を発す
る。
ンスフォーマー２７と呼ばれている回路素子は、周波数
解析演算器２３と二次変換器２４と比較演算器２５とし
きい値設定器２６および警報処理演算器２７とをふくん
でいる。４１は回転計であリ、砥石１及びバックアップ
ロール３の回転軸に固定されていて、砥石１及びバック
アップロール３の回転数をアンプ４２を通して比較演算
器２５に信号として入力する。比較演算器２５において
受信した回転数の整数倍と、上記の受信したしきい値を
超えた場合の周波数が合致すると、砥石１又はバックア
ップロール３の回転数を変更するべき旨の指令を発す
る。
【００１２】該指令は３ルートに発せられる。第一はブ
ラウン管４６にグラフ化して周波数、振幅を示して共振
現象を表示する。第二は警報ブザー２９に警報を発せさ
せる。第三は信号変換器３０に周波数、振幅、回転数等
を示して共振現象を警報する。信号変換器３０におい
て、変更後の回転数等を予め記憶させられている演算式
に従って算出して可変周波数回転数制御器即ちＶＶＶＦ
４３に指令を発する。ここに回転数変更が大幅な場合は
界磁変更並びに電圧変更器４４にも指令が発せられる。
可変周波数回転数制御器即ちＶＶＶＦ４３及び界磁変更
並びに電圧変更器４４によって砥石１のモーター４５の
回転数が変更される。
ラウン管４６にグラフ化して周波数、振幅を示して共振
現象を表示する。第二は警報ブザー２９に警報を発せさ
せる。第三は信号変換器３０に周波数、振幅、回転数等
を示して共振現象を警報する。信号変換器３０におい
て、変更後の回転数等を予め記憶させられている演算式
に従って算出して可変周波数回転数制御器即ちＶＶＶＦ
４３に指令を発する。ここに回転数変更が大幅な場合は
界磁変更並びに電圧変更器４４にも指令が発せられる。
可変周波数回転数制御器即ちＶＶＶＦ４３及び界磁変更
並びに電圧変更器４４によって砥石１のモーター４５の
回転数が変更される。
【００１３】本発明の砥石異常振動監視装置により、金
属ストリップ研削ラインにおける共振現象による異常振
動を防止する事ができる。
属ストリップ研削ラインにおける共振現象による異常振
動を防止する事ができる。
【００１４】
【発明の効果】本発明により、金属ストリップ研削ライ
ンにおける共振現象による異常振動を防止する事がで
き、金属ストリップ研削ラインの稼働率及び能率が向上
し、且つ製品の表面性状が向上する。
ンにおける共振現象による異常振動を防止する事がで
き、金属ストリップ研削ラインの稼働率及び能率が向上
し、且つ製品の表面性状が向上する。
【図１】本発明の装置が取り付けられた研削ラインの砥
石及びバックアップロールと、金属ストリップとの相対
的位置関係を示す説明図である。
石及びバックアップロールと、金属ストリップとの相対
的位置関係を示す説明図である。
【図２】本発明の装置が取り付けられた研削ラインの側
面を示す説明図である。
面を示す説明図である。
【図３】本発明の砥石異常振動監視装置の信号のフロー
を示す図である。
を示す図である。
１ 砥石 ２ 金属ストリップ ３ バックアップロール ７ 加速度ピックアップ ２１ 電荷−電圧変換器 ２２ アンプ ２３ 周波数解析演算器 ２４ 二次変換器 ２５ 比較演算器 ２６ しきい値設定器 ２７ 警報処理演算器 ２９ 警報ブザー ３０ 信号変換器 ３１ ペイオフリール ３２ パスラインロール ３３ ホールドダウンロール ３４ ピンチロール ３５ パスラインロール ３６ テンションリール ３７ 出側金属ストリップコイル ３８ 入側金属ストリップコイル ４１ 回転計 ４２ アンプ ４３ 可変周波数回転数制御器即ちＶＶＶＦ ４４ 界磁変更並びに電圧変更器 ４５ モーター ４６ ブラウン管 ４７ ファースト・フーリエ・トランスフォーマー
【手続補正書】
【提出日】平成４年１月２１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００２
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００２】
【従来の技術】回転砥石等をポリッシャーとして用いる
金属ストリップ研削ラインにおいて、むらの無い研削を
行う事を目的として、特開昭５３−４９２号公報に提案
がなされている。即ち砥石ロールを用いた研削装置の制
御装置としては、砥石の磨耗に応じて砥石ロールを移動
させ研削量を一定に保つ装置が提案されている。
金属ストリップ研削ラインにおいて、むらの無い研削を
行う事を目的として、特開昭５３−４９２号公報に提案
がなされている。即ち砥石ロールを用いた研削装置の制
御装置としては、砥石の磨耗に応じて砥石ロールを移動
させ研削量を一定に保つ装置が提案されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、極めて高精度
の研削が要求される場合、上述の技術に示されたような
単に圧力を一定に保つだけでは不十分である。すなわ
ち、砥石の径の減少に伴う微細な研削条件等の変化によ
る共振の発生により金属ストリップの製品に板厚変動が
生じるため、作業能率が低いものであった。 本発明
は、かかる事情にかんがみなされたもので、研削ライン
の共振によるビビリ振動の発生を検知及び防止する事の
できる装置を提供することを目的とする。
の研削が要求される場合、上述の技術に示されたような
単に圧力を一定に保つだけでは不十分である。すなわ
ち、砥石の径の減少に伴う微細な研削条件等の変化によ
る共振の発生により金属ストリップの製品に板厚変動が
生じるため、作業能率が低いものであった。 本発明
は、かかる事情にかんがみなされたもので、研削ライン
の共振によるビビリ振動の発生を検知及び防止する事の
できる装置を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明に係る砥石異常振
動監視装置は、回転砥石を用いる金属ストリップ研削ラ
インにおいて、砥石軸の支持部材に取り付けられた振動
センサと、該振動センサにより検出した振動の信号を受
信して解析するための周波数解析機構と、砥石軸及びバ
ックアップロールの回転数を検知する回転計と、砥石軸
の回転数の整数倍と前記振動センサにより検出した振動
の周波数が一致し共振によるビビリ振動が発生して振動
の振幅が一定水準を超えている時に警報を発する演算装
置と、該警報を受信して砥石軸の回転数を変更する回転
数制御装置とを具備してなることを特徴とする。
動監視装置は、回転砥石を用いる金属ストリップ研削ラ
インにおいて、砥石軸の支持部材に取り付けられた振動
センサと、該振動センサにより検出した振動の信号を受
信して解析するための周波数解析機構と、砥石軸及びバ
ックアップロールの回転数を検知する回転計と、砥石軸
の回転数の整数倍と前記振動センサにより検出した振動
の周波数が一致し共振によるビビリ振動が発生して振動
の振幅が一定水準を超えている時に警報を発する演算装
置と、該警報を受信して砥石軸の回転数を変更する回転
数制御装置とを具備してなることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を、添付した図面を参
照して詳細に説明する。図１は本発明の砥石異常振動監
視装置が取り付けられる金属ストリップ研削ラインにお
ける、砥石及びバックアップロールと、金属ストリップ
との相対的位置関係を斜視で示した説明図である。図に
おいて１は回転する砥石である。２は研削される金属ス
トリップである。３は金属ストリップを裏面から支持す
るバックアップロールである。
照して詳細に説明する。図１は本発明の砥石異常振動監
視装置が取り付けられる金属ストリップ研削ラインにお
ける、砥石及びバックアップロールと、金属ストリップ
との相対的位置関係を斜視で示した説明図である。図に
おいて１は回転する砥石である。２は研削される金属ス
トリップである。３は金属ストリップを裏面から支持す
るバックアップロールである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】ここに於いてファースト・フーリエ・トラ
ンスフォーマー４７と呼ばれている回路素子は、周波数
解析演算器２３と二次変換器２４と比較演算器２５とし
きい値設定器２６および警報処理演算器２７とをふくん
でいる。４１は回転計であリ、砥石１及びバックアップ
ロール３の回転軸に固定されていて、砥石１及びバック
アップロール３の回転数をアンプ４２を通して比較演算
器２５に信号として入力する。比較演算器２５において
受信した回転数の整数倍と、上記の受信したしきい値を
超えた場合の周波数が合致すると、砥石１又はバックア
ップロール３の回転数を変更するべき旨の指令を発す
る。
ンスフォーマー４７と呼ばれている回路素子は、周波数
解析演算器２３と二次変換器２４と比較演算器２５とし
きい値設定器２６および警報処理演算器２７とをふくん
でいる。４１は回転計であリ、砥石１及びバックアップ
ロール３の回転軸に固定されていて、砥石１及びバック
アップロール３の回転数をアンプ４２を通して比較演算
器２５に信号として入力する。比較演算器２５において
受信した回転数の整数倍と、上記の受信したしきい値を
超えた場合の周波数が合致すると、砥石１又はバックア
ップロール３の回転数を変更するべき旨の指令を発す
る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年７月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】ここに於いてファースト・フーリエ・トラ
ンスフォーマー４７と呼ばれている回路素子は、周波数
解析演算器２３と二次変換器２４と比較演算器２５とし
きい値設定器２６および警報処理演算器２７とをふくん
でいる。４１は回転計であリ、砥石１及びバックアップ
ロール３の回転軸に固定されていて、砥石１及びバック
アップロール３の回転数をアンプ４２を通して比較演算
器２５に信号として入力する。比較演算器２５において
受信した回転数の整数倍と、上記の受信したしきい値を
超えた場合の周波数が合致すると、砥石１の回転数を変
更するべき旨の指令を発する。
ンスフォーマー４７と呼ばれている回路素子は、周波数
解析演算器２３と二次変換器２４と比較演算器２５とし
きい値設定器２６および警報処理演算器２７とをふくん
でいる。４１は回転計であリ、砥石１及びバックアップ
ロール３の回転軸に固定されていて、砥石１及びバック
アップロール３の回転数をアンプ４２を通して比較演算
器２５に信号として入力する。比較演算器２５において
受信した回転数の整数倍と、上記の受信したしきい値を
超えた場合の周波数が合致すると、砥石１の回転数を変
更するべき旨の指令を発する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 康海 東京都千代田区丸の内１丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 神長 巌 東京都千代田区丸の内１丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 (72)発明者 本坊 勝博 東京都千代田区丸の内１丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 回転砥石を用いる金属ストリップ研削ラ
インにおいて、砥石軸の軸受けに取り付けられた振動セ
ンサと、該振動センサにより検出した振動の信号を受信
して解析するための周波数解析機構と、砥石軸の回転数
を検知する回転計と、砥石軸の回転数の整数倍と前記振
動センサにより検出した振動の周波数が一致し共振によ
るビビリ振動が発生して振動の振幅が一定水準を超えて
いる時に警報を発する演算装置と、該警報を受信して砥
石軸の回転数を変更する回転数制御装置とを具備してな
ることを特徴とする砥石異常振動監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22604191A JPH0569279A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 砥石異常振動監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22604191A JPH0569279A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 砥石異常振動監視装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0569279A true JPH0569279A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=16838856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22604191A Pending JPH0569279A (ja) | 1991-09-05 | 1991-09-05 | 砥石異常振動監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0569279A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6338024B1 (en) | 1998-04-07 | 2002-01-08 | Fanuc Ltd. | Industrial machine having abnormal vibration detecting function |
| JP2003200345A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体研磨装置のモニタリング装置 |
| JP2012114852A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 撮像装置 |
| JP2020055052A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-09 | シチズン時計株式会社 | 工作機械及びその作動方法 |
-
1991
- 1991-09-05 JP JP22604191A patent/JPH0569279A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6338024B1 (en) | 1998-04-07 | 2002-01-08 | Fanuc Ltd. | Industrial machine having abnormal vibration detecting function |
| JP2003200345A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-07-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体研磨装置のモニタリング装置 |
| JP2012114852A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 撮像装置 |
| JP2020055052A (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-09 | シチズン時計株式会社 | 工作機械及びその作動方法 |
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