JPH0571479B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、半導体等の電子材料や精密機器部品
等の薬液処理工程に用いられる各種薬液の移送装
置に関し、さらに詳しくは、開放型通い容器から
薬液吸引方式により、安全でかつ清浄な薬液を薬
液処理工程に送液することができる開放型薬液通
い容器からの薬液移送装置に関する。

従来の技術 集積回路、トランジスターなどの微細加工技術
の進歩は目覚ましいものであり、その製造に使用
される各種薬液の品質管理並びに人体への災害防
止に対する要求は、とみに厳しくなつて来てい
る。製品の歩留りに直接影響する微粒子、異物の
混入は禁忌であり、そのため該薬液は通常精密
過され、清浄な環境下で清浄な容器に充填され製
品となる。これらの製品では流通段階を経て、使
用者側においてクリーンルーム（清浄室）内に設
置された薬液処理工程に移しかえる手間を必要と
し、その際、折角精密過して清浄にした内容物
にゴミや異物を混入させるという問題を生ずる。
更に甚だしい場合には、該作業において薬液を人
体に掛けたり、発生ガスを吸入したりする危険性
の問題が生ずる。

発明が解決しようとする問題点 そこで、本発明者らは前記問題点を解決すべく
鋭意研究の結果、精密過した清浄な薬液を充填
した開放型薬液通い容器から薬液処理工程に薬液
を移送するに当り、内容物にゴミや異物の混入を
防止し、清浄な薬液を薬液処理工程に移送すると
共に、人体に対しての危険を避けることのできる
開放型薬液通い容器からの薬液移送装置を完成す
るに到つた。

問題点を解決するための手段 本発明のかかる目的は、空気用フイルターを有
する空気取入口２，空気排出口３及び通い容器出
入扉４を備えた清浄室１内に、所定位置に搬入さ
れた通い容器の底部まで挿入される吸液管５を設
け、該吸液管と連結し吸液管を通い容器に挿入及
び引抜せしめる駆動装置６を設置し、前記吸液管
上端と薬液送液ライン９の清浄室内端末との間
に、前記吸液管の通い容器への挿入・引抜ストロ
ークに対応できる伸縮性接続管７を接続したこと
を特徴とする開放型薬液通い容器からの薬液移送
装置によつて達成される。

本発明装置の実施例を図面に基いて説明すると
第１図はそのフローチヤートで、適宜のパネル材
で形成された清浄室１に空気用フイルターを有す
る空気取入口２、空気排出口３および通い容器出
入扉４が設けられ、空気用フイルターとしては一
般に使用されるヘパフイルターを用いることがで
きる。清浄室の上部から薬液の吸液管５が垂下し
この吸液管５は、腕１０を介して駆動装置６のシ
リンダー１１で支承され、駆動装置を運転しシリ
ンダーを上下運動させて吸液管５を、所定位置に
搬入設置した開放型薬液通い容器２１（図中、破
線で図示）の上端開口部から容器内に挿入し、吸
液口を通い容器の底部に到達させ、又は通い容器
から引抜くようになつている。駆動装置としては
空気等の気体を駆動源としたもの、電動式等の一
般的なシリンダー昇降装置を用いることができ
る。前記吸液管５の上端と、薬液送液ライン９の
清浄室内端末とは、伸縮性接続管７により接続さ
れている。この伸縮性接続管７は、吸液管５の上
昇に伴い、吸液管端末と輸送ライン端末間の距離
を縮小し、また下降に伴い、その距離を伸長でき
るフレキシブルな構造を有し、図面に示すように
弾性の管を螺旋状に捲回してバネ効果による伸縮
を利用し、あるいは別の方法として可撓性に富む
耐油性ゴムホース等を円弧状に弛ませて接続し、
伸縮できるようにするなど適宜方法を採ることが
できる。

薬液送液ライン９は、清浄室内に置かれた通い
容器の薬液を薬液槽及び薬液処理装置に輸送する
もので、薬液量検知器８、送液ポンプ１２、薬液
用フイルター１３が必要に応じて配設されてい
る。薬液量検知器は、一般には、薬液送液ライン
９または通い容器内に設置され、通い容器内の薬
液残量を検知し、送液ラインの運転操作に連動し
ポンプの運転を停止させる機能を有し、静電容量
式、電極方式、光電管方式等の何れの形式も使用
できる。なお、この検知器を設けないで、通い容
器内の薬液残量を目視することも、もちろん可能
である。送液ポンプは加圧式、減圧式の何れの形
式も使用でき、ダイヤフラム型、ベローズ型等を
用いることができる。薬液用フイルター１３は一
般に薬液を過するのに用いられるメンブランフ
イルターを使用することができるが、特にその種
類は限定されるものではない。なお、薬液用フイ
ルターは、必ずしも設ける必要はないが、設ける
ことが万全を期する上で好ましい。

なお、本発明の用途に用いられる材質としては
腐食による錆等の異物を発生せず、かつ薬液に侵
されて該薬液中に溶出または分散して汚染するよ
うなものであつてはならず、その選択は目的とす
る薬液により常法により試験を行なつて、使用可
能であることを確認されなければならない。一般
的に例示すれば、SUS304、SUS316、テフロン、
ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル
あるいはSUS304、SUS316にテフロンライニン
グしたもの、繊維補強されたポリプロピレン等の
プラスチツクスと言つたものが挙げられるが、前
述の如く、該薬液の性状に応じて使い分ければよ
く、材質が何ら本発明を規制するものではないこ
とは自明である。

作 用 本発明薬液移送装置は、以下のようにして使用
される。空気取入口２から空気用フイルターで
過された清浄な空気で占められた清浄室内に通い
容器２１（第１図中、破線で図示）を搬入し、所
定位置にセツトし、上端の栓を外し、駆動装置６
を運転し吸液管５を通い容器底部まで挿入させ、
駆動装置を停め出入扉を閉め薬液送液用ポンプ１
２を稼動させる。送液ラインに設けた薬液過用
フイルター１３を通して通い容器内の薬液は薬液
処理工程に移送される。通い容器中の薬液が空に
なると、送液ライン中又は通い容器中に薬液量検
知器を設けた場合は、これが空を検知することで
送液ポンプ１２を停止させ、駆動装置６を稼動し
て吸液管５を通い容器から引抜き停止させる。そ
の後、薬液のしたたりが無くなる所定時間を経
て、清浄室内に入り、通い容器に栓をして清浄室
から搬出する。更に新たな充填された薬液通い容
器から薬液処理工程に移送する場合は、上記の方
法を繰返して行なうことができる。

発明の効果 本発明装置においては、吸液管、吸液管駆動装
置および伸縮性接続管を清浄室内に設けることに
より、清浄な空気雰囲気下で通い容器から薬液の
移送が行なわれ、内容物へのゴミや異物の混入を
防止すると共に、たとえ異物等の混入があつても
薬液過用フイルターを設けることにより除去さ
れ、清浄な薬液を薬液処理工程に供給することが
できる。さらに、通い容器の開栓が清浄室内で行
なわれ、開放型通い容器からの薬液の移送が清浄
室内で行なわれることから、発生するガスは排気
口を経て除害され、人体を有害ガスで曝すことが
なく安全である。

また、開放型通い容器の栓の開閉が清浄な空気
雰囲気下で行なわれることから、通い容器内への
ゴミや異物を混入させることによる汚染がなく、
清浄な状態に通い容器を維持することができる。
一連の移送操作が薬液量検知器を使用することで
自動的に行なうことができ、作業に要する労力を
大幅に低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明薬液移送装置実施例のフローチ
ヤートを示す。 １……清浄室、２……空気取入口、３……空気
排出口、４……通い容器出入扉、５……吸液管、
６……駆動装置、７……伸縮性接続管、８……薬
液量検知器、９……薬液送液ライン、１２……送
液ポンプ、１３……薬液用フイルター、２１……
通い容器。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 空気用フイルターを有する空気取入口２，空
   気排出口３及び通い容器出入扉４を備えた清浄室
   １内に、所定位置に搬入された通い容器の底部ま
   で挿入される吸液管５を設け、該吸液管と連結し
   吸液管を通い容器に挿入及び引抜きせしめる駆動
   装置６を設置し、前記吸液管上端と薬液送液ライ
   ン９の清浄室内端末との間に、前記吸液管の通い
   容器への挿入・引抜ストロークに対応できる伸縮
   性接続管７を接続したことを特徴とする開放型薬
   液通い容器からの薬液移送装置。