JPH0571535A - 静圧流体軸受 - Google Patents
静圧流体軸受Info
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 静圧流体軸受の精度を低下させることなく剛
性を向上させる。また高速回転中の軸受と回転軸の接触
を防ぐ。 【構成】 軸受ハウジング６のラジアル軸受部分４には
円筒パッド７、スラスト軸受部分５には環状パッド１３
が保持される。一体に形成された円筒パッド７の内面は
環状溝７ａによって複数の環状面７ｂに分割される。環
状溝７ａには排気孔７ｄが開口しており、各環状面７ｂ
に沿って流動した静圧流体は排気孔７ｄから軸受ハウジ
ングの排気孔９を経て放出される。従って各環状面７ｂ
はそれぞれ独立した静圧軸受パッドに近い剛性を有す
る。回転軸１とスラストプレ−ト２の継ぎ目に隣接する
部分は高速回転中に著しく膨脹するため、軸受ハウジン
グ６のラジアル軸受部分４とスラスト軸受部分５の境界
部分には静圧パッドを配置することなく、軸受間隙を局
部的に大きくすることで回転軸と軸受との接触を防ぐ。
性を向上させる。また高速回転中の軸受と回転軸の接触
を防ぐ。 【構成】 軸受ハウジング６のラジアル軸受部分４には
円筒パッド７、スラスト軸受部分５には環状パッド１３
が保持される。一体に形成された円筒パッド７の内面は
環状溝７ａによって複数の環状面７ｂに分割される。環
状溝７ａには排気孔７ｄが開口しており、各環状面７ｂ
に沿って流動した静圧流体は排気孔７ｄから軸受ハウジ
ングの排気孔９を経て放出される。従って各環状面７ｂ
はそれぞれ独立した静圧軸受パッドに近い剛性を有す
る。回転軸１とスラストプレ−ト２の継ぎ目に隣接する
部分は高速回転中に著しく膨脹するため、軸受ハウジン
グ６のラジアル軸受部分４とスラスト軸受部分５の境界
部分には静圧パッドを配置することなく、軸受間隙を局
部的に大きくすることで回転軸と軸受との接触を防ぐ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は精密工作機械の主軸に使
用される静圧流体軸受に関し、特に、高速回転に適して
おり、回転精度を低下させることなく軸受剛性を向上さ
せた静圧流体軸受に関するものである。
用される静圧流体軸受に関し、特に、高速回転に適して
おり、回転精度を低下させることなく軸受剛性を向上さ
せた静圧流体軸受に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】静圧流体軸受は摩擦がほとんど無いため
に、回転摩擦によるトルクが極めて小さく、さらに回転
精度も極めて高いことから、精密工作機械の主軸に広く
使用されている。従来、静圧流体軸受の剛性を向上させ
るために、以下に述べる方法が採用されていた。
に、回転摩擦によるトルクが極めて小さく、さらに回転
精度も極めて高いことから、精密工作機械の主軸に広く
使用されている。従来、静圧流体軸受の剛性を向上させ
るために、以下に述べる方法が採用されていた。
【０００３】（イ）軸受の軸頸寸法を大きくする。
【０００４】（ロ）軸受と回転軸との間隙を小さくす
る。
る。
【０００５】（ハ）供給される加圧流体の圧力を高くす
る。
る。
【０００６】（ニ）特にモ−メント剛性を向上させるた
めには、静圧軸受パッドを複数の環状部材に分割して、
一定距離をおいて個別に軸受ハウジングに取り付ける。
めには、静圧軸受パッドを複数の環状部材に分割して、
一定距離をおいて個別に軸受ハウジングに取り付ける。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術によれば、以下に述べる問題点があった。
来の技術によれば、以下に述べる問題点があった。
【０００８】（イ）の方法においては、静圧流体軸受を
大径化すれば、回転軸を高速で回転させたときに、加圧
流体の粘性摩擦による発熱量が増加して、軸受および軸
受の熱膨脹が増大する。その結果該熱膨脹および遠心力
の影響による寸法の変動のために回転軸と軸受が接触し
やすくなり高速回転を阻害する。（ロ）の方法において
も（イ）の方法と同じく回転軸を高速で回転させたとき
に熱膨脹によって焼き付きを起す危険がある。このよう
な熱膨脹を防ぐ目的で水冷ジャケットが使用されるが、
充分な冷却効果を上げるのは困難である。（ハ）の方法
においては、一般に工場等で供給可能な加圧流体には上
限があり、無制限に大きくすることができない。また、
加圧流体を高圧にすると、不安定振動が発生しやすい。
さらに（ニ）の方法においては、軸受の構造が複雑にな
ること、および分割された環状部材を個別に取り付ける
際に取り付け装置に生じる誤差のために、回転精度が低
下する。
大径化すれば、回転軸を高速で回転させたときに、加圧
流体の粘性摩擦による発熱量が増加して、軸受および軸
受の熱膨脹が増大する。その結果該熱膨脹および遠心力
の影響による寸法の変動のために回転軸と軸受が接触し
やすくなり高速回転を阻害する。（ロ）の方法において
も（イ）の方法と同じく回転軸を高速で回転させたとき
に熱膨脹によって焼き付きを起す危険がある。このよう
な熱膨脹を防ぐ目的で水冷ジャケットが使用されるが、
充分な冷却効果を上げるのは困難である。（ハ）の方法
においては、一般に工場等で供給可能な加圧流体には上
限があり、無制限に大きくすることができない。また、
加圧流体を高圧にすると、不安定振動が発生しやすい。
さらに（ニ）の方法においては、軸受の構造が複雑にな
ること、および分割された環状部材を個別に取り付ける
際に取り付け装置に生じる誤差のために、回転精度が低
下する。
【０００９】また回転軸を高速回転させると、加圧流体
の発熱による熱膨脹に加えて、遠心力による回転軸の拡
径も増大するため、図６に示すように特に回転軸とスラ
ストプレ−トとの境界部分が著しく膨張して軸受部材に
接触する危険があった。
の発熱による熱膨脹に加えて、遠心力による回転軸の拡
径も増大するため、図６に示すように特に回転軸とスラ
ストプレ−トとの境界部分が著しく膨張して軸受部材に
接触する危険があった。
【００１０】本発明は上記従来の技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、加圧流体の発熱量を増加さ
せることなく軸受剛性を向上させることが可能であり、
加えて、取り付け誤差による精度の低下のおそれのない
静圧流体軸受を提供することを目的とするものである。
鑑みてなされたものであり、加圧流体の発熱量を増加さ
せることなく軸受剛性を向上させることが可能であり、
加えて、取り付け誤差による精度の低下のおそれのない
静圧流体軸受を提供することを目的とするものである。
【００１１】また、本発明の他の目的は、スラスト軸受
とラジアル軸受の境界部分において回転軸と軸受との間
隙を局部的に大きくすることによって、高速回転中に遠
心力によって回転軸が膨脹して軸受の軸受面に接触する
ことのない静圧流体軸受を提供することを目的とする。
とラジアル軸受の境界部分において回転軸と軸受との間
隙を局部的に大きくすることによって、高速回転中に遠
心力によって回転軸が膨脹して軸受の軸受面に接触する
ことのない静圧流体軸受を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の静圧流体軸受は、ラジアル軸受部分および
スラスト軸受部分を備えた軸受ハウジングと、前記軸受
ハウジングのラジアル軸受部分およびスラスト軸受部分
のそれぞれに保持された静圧軸受パッドとからなり、前
記静圧軸受パッドの少くとも一方は、一体に形成された
ものであって、その軸受面を複数の領域に分割する分割
手段、および前記複数の領域の間に開口する排気孔を備
え、前記軸受ハウジングが、前記ラジアル軸受部分と前
記スラスト軸受部分の境界に隣接して配置された、静圧
軸受パッドを保持しない内壁露出部分を有し、さらに、
前記軸受ハウジングが前記露出内壁部分に開口する排気
孔を備えている。
めに本発明の静圧流体軸受は、ラジアル軸受部分および
スラスト軸受部分を備えた軸受ハウジングと、前記軸受
ハウジングのラジアル軸受部分およびスラスト軸受部分
のそれぞれに保持された静圧軸受パッドとからなり、前
記静圧軸受パッドの少くとも一方は、一体に形成された
ものであって、その軸受面を複数の領域に分割する分割
手段、および前記複数の領域の間に開口する排気孔を備
え、前記軸受ハウジングが、前記ラジアル軸受部分と前
記スラスト軸受部分の境界に隣接して配置された、静圧
軸受パッドを保持しない内壁露出部分を有し、さらに、
前記軸受ハウジングが前記露出内壁部分に開口する排気
孔を備えている。
【００１３】前記軸受面を複数の領域に分割する分割手
段は、該軸受面に設けられた溝でも、該軸受面の一部分
に塗布された接着剤の塗膜でもよい。
段は、該軸受面に設けられた溝でも、該軸受面の一部分
に塗布された接着剤の塗膜でもよい。
【００１４】
【作用】本発明の静圧流体軸受によれば、静圧軸受パッ
ドの軸受面が複数の領域に分割されており分割された軸
受面の各領域に供給された静圧流体は、それぞれ隣接す
る領域との間に開口する排気孔によって排出されるため
に、隣接する領域を流動する静圧流体が互に干渉するこ
とがなく、従って上記の分割された軸受面の各領域は、
それぞれ個別に取り付けられた静圧軸受パッドに近い軸
受剛性を有する。すなわち一体的に形成された静圧軸受
パッドでありながら複数の互に独立した静圧軸受パッド
を使用した場合に近い軸受剛性を得る。
ドの軸受面が複数の領域に分割されており分割された軸
受面の各領域に供給された静圧流体は、それぞれ隣接す
る領域との間に開口する排気孔によって排出されるため
に、隣接する領域を流動する静圧流体が互に干渉するこ
とがなく、従って上記の分割された軸受面の各領域は、
それぞれ個別に取り付けられた静圧軸受パッドに近い軸
受剛性を有する。すなわち一体的に形成された静圧軸受
パッドでありながら複数の互に独立した静圧軸受パッド
を使用した場合に近い軸受剛性を得る。
【００１５】さらに本発明の静圧流体軸受によれば、軸
受ハウジングのラジアル軸受部分とスラスト軸受部分の
境界に隣接して静圧軸受パッドをもたない内壁露出部分
が設けられ、スラストプレ−トと回転軸との境界部分と
これに対向する前記内壁露出部分との間隙が他の軸受間
隙に比べて大きいために、高速回転時に遠心力によって
回転軸およびスラストプレ−トが膨脹しても軸受に接触
することはない。さらに前記露出内壁部分に開口する排
気孔によって静圧流体の干渉を防ぐ。
受ハウジングのラジアル軸受部分とスラスト軸受部分の
境界に隣接して静圧軸受パッドをもたない内壁露出部分
が設けられ、スラストプレ−トと回転軸との境界部分と
これに対向する前記内壁露出部分との間隙が他の軸受間
隙に比べて大きいために、高速回転時に遠心力によって
回転軸およびスラストプレ−トが膨脹しても軸受に接触
することはない。さらに前記露出内壁部分に開口する排
気孔によって静圧流体の干渉を防ぐ。
【００１６】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００１７】図１は第１実施例を示す模式断面図であっ
て、回転軸１の一端にはスラストプレ−ト２が一体的に
固着される。静圧流体軸受３はラジアル軸受部分４およ
びスラスト軸受部分５からなる軸受ハウジング６を備え
ており、軸受ハウジング６のラジアル軸受部分４および
スラスト軸受部分５は、それぞれ回転軸１およびスラス
トプレ−ト２を非接触の状態で回転可能に支持する。
て、回転軸１の一端にはスラストプレ−ト２が一体的に
固着される。静圧流体軸受３はラジアル軸受部分４およ
びスラスト軸受部分５からなる軸受ハウジング６を備え
ており、軸受ハウジング６のラジアル軸受部分４および
スラスト軸受部分５は、それぞれ回転軸１およびスラス
トプレ−ト２を非接触の状態で回転可能に支持する。
【００１８】軸受ハウジングのラジアル軸受部分４の内
壁には多孔質材料で一体に形成された円筒パッド（静圧
軸受パッド）７が固着され、円筒パッド７の内面は少く
とも１個の環状溝（分割手段）７ａによって軸方向に分
割された複数の環状面（領域）７ｂに分割され、各環状
溝７ａの内壁は接着剤の塗膜７ｃによって被覆される
（図３に示す）。さらに各環状溝７ａは、それぞれ円筒
パッド７の外壁に開口する排気孔７ｄに連通している。
軸受ハウジングのラジラル軸受部分４は、円筒パッド７
に加圧流体を供給するための給気孔８および円筒パッド
７と回転軸１との間隔に供給された加圧流体を排出する
ための排気孔９を備えており、排気孔９は円筒パッド７
の排気孔７ｄと連通する分岐孔９ａを備えている。
壁には多孔質材料で一体に形成された円筒パッド（静圧
軸受パッド）７が固着され、円筒パッド７の内面は少く
とも１個の環状溝（分割手段）７ａによって軸方向に分
割された複数の環状面（領域）７ｂに分割され、各環状
溝７ａの内壁は接着剤の塗膜７ｃによって被覆される
（図３に示す）。さらに各環状溝７ａは、それぞれ円筒
パッド７の外壁に開口する排気孔７ｄに連通している。
軸受ハウジングのラジラル軸受部分４は、円筒パッド７
に加圧流体を供給するための給気孔８および円筒パッド
７と回転軸１との間隔に供給された加圧流体を排出する
ための排気孔９を備えており、排気孔９は円筒パッド７
の排気孔７ｄと連通する分岐孔９ａを備えている。
【００１９】公知の加圧流体供給源（図示せず）から供
給された加圧流体は、給気孔８から分岐孔８ａを経て円
筒パッド７の各環状面７ｂに供給され、その静圧によっ
て回転軸１を円筒パッド７に対して非接触の状態に維持
する。加圧流体は各環状面７ｂと回転軸１との間を流動
して圧力を低下された後、各環状面７ｂに隣接する排気
孔７ｄ，次いでハウジングのラジアル軸受部分４の分岐
孔９ａを経て排気孔９から放出される。
給された加圧流体は、給気孔８から分岐孔８ａを経て円
筒パッド７の各環状面７ｂに供給され、その静圧によっ
て回転軸１を円筒パッド７に対して非接触の状態に維持
する。加圧流体は各環状面７ｂと回転軸１との間を流動
して圧力を低下された後、各環状面７ｂに隣接する排気
孔７ｄ，次いでハウジングのラジアル軸受部分４の分岐
孔９ａを経て排気孔９から放出される。
【００２０】上述のとおり、各環状面７ｂに沿って流動
する加圧流体は、それぞれ各環状面に隣接する環状構７
ａおよび排気孔７ｄを経て排出されるため、隣接する環
状面７ｂを流動する加圧流体が互に干渉することなく、
各環状面７ｂは独立した静圧軸受パッドに近い軸受剛性
を有する。ハウジングのスラスト軸受部分５の互に対向
する一対の内壁にはそれぞれ多孔質材料で作られた環状
パッド１０が固着され、スラストプレ−ト２の各面に対
向している。ハウジングのスラスト軸受部分５は各環状
パッド１０に加圧流体を供給するための給気孔１１を備
え、さらにスラストプレ−ト２の周端面に対向する部分
に第１の排気孔１２、回転軸１とスラストプレ−ト２と
の継ぎ目に対向する部分に第２の排気孔１３を備えてい
る。加圧流体供給源から供給された加圧流体は、給気孔
１１を経て各環状パッド１０に供給され、回転するスラ
ストプレ−ト２を非接触の状態に維持する。スラストプ
レ−ト２と各環状パッド１０の間を流動して圧力を低下
させた加圧流体は、第１、第２の排気孔１２、１３を経
て放出される。
する加圧流体は、それぞれ各環状面に隣接する環状構７
ａおよび排気孔７ｄを経て排出されるため、隣接する環
状面７ｂを流動する加圧流体が互に干渉することなく、
各環状面７ｂは独立した静圧軸受パッドに近い軸受剛性
を有する。ハウジングのスラスト軸受部分５の互に対向
する一対の内壁にはそれぞれ多孔質材料で作られた環状
パッド１０が固着され、スラストプレ−ト２の各面に対
向している。ハウジングのスラスト軸受部分５は各環状
パッド１０に加圧流体を供給するための給気孔１１を備
え、さらにスラストプレ−ト２の周端面に対向する部分
に第１の排気孔１２、回転軸１とスラストプレ−ト２と
の継ぎ目に対向する部分に第２の排気孔１３を備えてい
る。加圧流体供給源から供給された加圧流体は、給気孔
１１を経て各環状パッド１０に供給され、回転するスラ
ストプレ−ト２を非接触の状態に維持する。スラストプ
レ−ト２と各環状パッド１０の間を流動して圧力を低下
させた加圧流体は、第１、第２の排気孔１２、１３を経
て放出される。
【００２１】ここで、円筒パッド７の各環状面７ｂの幅
Ａは、単位幅当りの軸受剛性が最大となるように設定す
るのが望ましい。すなわち、静圧流体軸受の単位幅当り
の剛性は、図２に示すように、軸受幅と共に限りなく増
加するものではなく、一定の軸受幅を越えると返って減
少する。例えば周知の多孔質パッドを使用する場合、軸
径１１０ｍｍ、軸受隙間５μｍ、給気圧８ｋｇｆ／ｃｍ
2の静圧流体軸受において幅３０ｍｍの環状パッドを４
個用いるとラジアル軸受の剛性は１００ｋｇｆ／μｍに
達するが、幅１２０ｍｍの一体的円筒パッドを用いた場
合には５０ｋｇｆ／μｍの剛性しか得られない。
Ａは、単位幅当りの軸受剛性が最大となるように設定す
るのが望ましい。すなわち、静圧流体軸受の単位幅当り
の剛性は、図２に示すように、軸受幅と共に限りなく増
加するものではなく、一定の軸受幅を越えると返って減
少する。例えば周知の多孔質パッドを使用する場合、軸
径１１０ｍｍ、軸受隙間５μｍ、給気圧８ｋｇｆ／ｃｍ
2の静圧流体軸受において幅３０ｍｍの環状パッドを４
個用いるとラジアル軸受の剛性は１００ｋｇｆ／μｍに
達するが、幅１２０ｍｍの一体的円筒パッドを用いた場
合には５０ｋｇｆ／μｍの剛性しか得られない。
【００２２】従って、円筒パッド７の各環状面７ｂの幅
を、あらかじめ求められた単位幅当りの軸受剛性が最大
となる幅に近い値に設定することにより、円筒パッド７
の内面を一体的軸受面として使用する場合に比べてはる
かに大きな剛性を得ることができる。
を、あらかじめ求められた単位幅当りの軸受剛性が最大
となる幅に近い値に設定することにより、円筒パッド７
の内面を一体的軸受面として使用する場合に比べてはる
かに大きな剛性を得ることができる。
【００２３】さらに、円筒パッド７と環状パッド１０の
間には軸受ハウジング６の露出内壁部分６ａが設けられ
る。該露出内壁部分６ａと回転軸１およびスラストプレ
−ト２の対向面との間隙は、円筒パッド７および環状パ
ッド１０がそれぞれ回転軸１およびスラストプレ−ト２
の対向面との間で形成する間隙に比べて大であるため、
図６に示すように、高速回転時の遠心力によって回転軸
１とスラストプレ−ト２との間の継ぎ目近傍が膨脹して
も、膨脹部分が軸受面またはハウジングに接触するおそ
れはない。
間には軸受ハウジング６の露出内壁部分６ａが設けられ
る。該露出内壁部分６ａと回転軸１およびスラストプレ
−ト２の対向面との間隙は、円筒パッド７および環状パ
ッド１０がそれぞれ回転軸１およびスラストプレ−ト２
の対向面との間で形成する間隙に比べて大であるため、
図６に示すように、高速回転時の遠心力によって回転軸
１とスラストプレ−ト２との間の継ぎ目近傍が膨脹して
も、膨脹部分が軸受面またはハウジングに接触するおそ
れはない。
【００２４】露出内壁部分６ａに沿って流動した加圧流
体は、軸受ハウジングのスラスト軸受部分５に設けられ
た第２の排気孔１３を経て排出されるため、円筒パッド
７および環状パッド１０に沿って流動する加圧流体の流
れを妨げることはない。
体は、軸受ハウジングのスラスト軸受部分５に設けられ
た第２の排気孔１３を経て排出されるため、円筒パッド
７および環状パッド１０に沿って流動する加圧流体の流
れを妨げることはない。
【００２５】図４は円筒パッドの変形例の一部分を示す
拡大部分説明図であって、本変形例においては、円筒パ
ッド１７の複数の環状面１７ｂの間に環状溝を設けるこ
となく、環状に塗布された接着剤の塗膜１７ｃのみが設
けられ、回転軸１１の塗膜１７ｃに対向する部分に環状
溝１１ａが形成される。排気孔１７ｄおよび軸受ハウジ
ングの給気孔１８については第１実施例と同様であるの
で説明は省略する。
拡大部分説明図であって、本変形例においては、円筒パ
ッド１７の複数の環状面１７ｂの間に環状溝を設けるこ
となく、環状に塗布された接着剤の塗膜１７ｃのみが設
けられ、回転軸１１の塗膜１７ｃに対向する部分に環状
溝１１ａが形成される。排気孔１７ｄおよび軸受ハウジ
ングの給気孔１８については第１実施例と同様であるの
で説明は省略する。
【００２６】図５は第２実施例を示す模式断面図であっ
て、本実施例は主軸に対して垂直にバイトを取り付ける
型式の精密工作機械に使用されるものであり、大きなス
ラスト剛性を得るために、回転軸２１の両端に一対の大
径のスラストプレ−ト２２ａ、２２ｂが固着され、軸受
ハウジング２６は回転軸２１に対向する円筒パッド２７
および各スラストプレ−ト２２に対向する一対の環状パ
ッド３０を保持している。各環状パッド３０は、環状溝
３０ａによって互に同心状に配置された２個の環状面３
０ｂに分割され、環状溝３０ａは排気孔３０ｄに連通し
ている。軸受ハウジング２６は給気孔２８および排気孔
２９を備えており、公知の加圧流体供給源（図示せず）
から供給された加圧流体は給気孔２８を経て円筒パッド
２７および環状パッド３０に供給される。回転軸２１お
よびスラストプレ−ト２２ａ、２２ｂは上記の加圧流体
の静圧によって支持され、圧力を低下させた加圧流体は
環状パッドの排気孔３０ｄ、軸受ハウジング２６の排気
孔２９を経て排出される。
て、本実施例は主軸に対して垂直にバイトを取り付ける
型式の精密工作機械に使用されるものであり、大きなス
ラスト剛性を得るために、回転軸２１の両端に一対の大
径のスラストプレ−ト２２ａ、２２ｂが固着され、軸受
ハウジング２６は回転軸２１に対向する円筒パッド２７
および各スラストプレ−ト２２に対向する一対の環状パ
ッド３０を保持している。各環状パッド３０は、環状溝
３０ａによって互に同心状に配置された２個の環状面３
０ｂに分割され、環状溝３０ａは排気孔３０ｄに連通し
ている。軸受ハウジング２６は給気孔２８および排気孔
２９を備えており、公知の加圧流体供給源（図示せず）
から供給された加圧流体は給気孔２８を経て円筒パッド
２７および環状パッド３０に供給される。回転軸２１お
よびスラストプレ−ト２２ａ、２２ｂは上記の加圧流体
の静圧によって支持され、圧力を低下させた加圧流体は
環状パッドの排気孔３０ｄ、軸受ハウジング２６の排気
孔２９を経て排出される。
【００２７】円筒パッド２７と環状パッド３０との間に
は、第１実施例と同様軸受ハウジング２６の露出内壁部
分２６ａが設けられ、排気孔２９の分岐孔２９ａが開口
している。
は、第１実施例と同様軸受ハウジング２６の露出内壁部
分２６ａが設けられ、排気孔２９の分岐孔２９ａが開口
している。
【００２８】また環状パッド３０の環状面３０ｂの幅
も、第１実施例と同様に単位幅当りの剛性が最大となる
ように設定される。さらに軸受部に対し、その外側に回
転軸を配置したアウトロータの構成をとっても、本発明
を適用できるのは自明である。
も、第１実施例と同様に単位幅当りの剛性が最大となる
ように設定される。さらに軸受部に対し、その外側に回
転軸を配置したアウトロータの構成をとっても、本発明
を適用できるのは自明である。
【００２９】
【発明の効果】静圧流体軸受の剛性を、加圧流体の発熱
量を増加させることなく大幅に向上させることができ
る。加えて、本発明における静圧軸受パッドは、一体的
に形成され、軸受面のみが分割されているので、軸受ハ
ウジングに対する取り付けが複雑になって精度の低下を
招くこともない。
量を増加させることなく大幅に向上させることができ
る。加えて、本発明における静圧軸受パッドは、一体的
に形成され、軸受面のみが分割されているので、軸受ハ
ウジングに対する取り付けが複雑になって精度の低下を
招くこともない。
【００３０】さらに熱膨脹および遠心力によって膨脹し
た回転軸が軸受に接触する恐れがないので高速回転に適
している。
た回転軸が軸受に接触する恐れがないので高速回転に適
している。
【図１】第１実施例を示す模式断面図である。
【図２】軸受面の単位幅当りの剛性の変化を示す曲線図
である。
である。
【図３】図１の円筒パッドの詳細を示す拡大部分断面図
である。
である。
【図４】円筒パッドの変形例の一部分を示す拡大部分断
面図である。
面図である。
【図５】第２実施例を示す模式断面図である。
【図６】高速回転中の回転軸の膨脹を示す説明図であ
る。
る。
１，１１，２１ 回転軸 ２，２２ａ，２２ｂ スラストプレ−ト ３，２３ 静圧流体軸受 ４ 軸受ハウジングのラジアル軸受部分 ５ 軸受ハウジングのスラスト軸受部分 ６，２６ 軸受ハウジング ６ａ，２６ａ 内壁露出部分 ７，１７，２７ 円筒パッド（静圧軸受パッド） ７ａ 環状溝（分割手段） ７ｂ，１７ｂ 環状面（軸受面の分割された領域） ７ｃ 接着剤の塗膜 １７ｃ 接着剤の塗膜（分割手段） ７ｄ，１７ｄ 排気孔 ８，１１，２８ 給気孔 ９，２９ 排気孔 １０，３０ 環状パッド（静圧軸受パッド） １２ 第１の排気孔 １３ 第２の排気孔 ３０ａ 環状溝（分割手段） ３０ｂ 環状面（軸受面の分割された領域） ３０ｄ 排気孔
Claims (3)
- 【請求項１】 ラジアル軸受部分およびスラスト軸受部
分を備えた軸受ハウジングと、前記軸受ハウジングのラ
ジアル軸受部分およびスラスト軸受部分のそれぞれに保
持された静圧軸受パッドからなる静圧流体軸受におい
て、軸受ハウジングは、前記ラジアル軸受部分と前記ス
ラスト軸受部分の境界に隣接して配置された、静圧パッ
ドを保持しない内壁露出部分を有し、前記内壁露出部分
に開口する排気孔を備えており、また、前記静圧軸受パ
ッドは多孔質材料からなり、その少なくとも一方はその
軸受面を複数の領域に分割する分割手段を有し、一体に
形成されたものであって、前記複数の領域の間に開口す
る排気孔を備えたことを特徴とする静圧流体軸受。 - 【請求項２】 軸受面を複数の領域に分割する分割手段
が、前記軸受面に設けられた溝であることを特徴とする
請求項１記載の静圧流体軸受。 - 【請求項３】 軸受面を複数の領域に分割する分割手段
が、前記軸受面の一部分に塗布された接着剤の塗膜であ
ることを特徴とする請求項１記載の静圧流体軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25965491A JPH0571535A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 静圧流体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25965491A JPH0571535A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 静圧流体軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0571535A true JPH0571535A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=17337057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25965491A Pending JPH0571535A (ja) | 1991-09-11 | 1991-09-11 | 静圧流体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0571535A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003509633A (ja) * | 1999-09-14 | 2003-03-11 | アトラス コプコ エアーパワー，ナームローゼ フェンノートシャップ | ラジアル−アキシアル複合すべり軸受け |
| JP2008025607A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Oiles Ind Co Ltd | エアスピンドル用駆動装置 |
| JP2014149056A (ja) * | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Oiles Ind Co Ltd | エアスピンドル用静圧気体軸受 |
| CN104295606A (zh) * | 2014-09-23 | 2015-01-21 | 哈尔滨工程大学 | 环带复合节流静压气体止推轴承 |
| JP2015175511A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-05 | 日本精工株式会社 | 静圧気体軸受回転案内装置 |
| CN115978092A (zh) * | 2023-03-21 | 2023-04-18 | 中国空气动力研究与发展中心空天技术研究所 | 超高速微型转子的支承结构和支承结构设计方法 |
-
1991
- 1991-09-11 JP JP25965491A patent/JPH0571535A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003509633A (ja) * | 1999-09-14 | 2003-03-11 | アトラス コプコ エアーパワー，ナームローゼ フェンノートシャップ | ラジアル−アキシアル複合すべり軸受け |
| JP2008025607A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Oiles Ind Co Ltd | エアスピンドル用駆動装置 |
| JP2014149056A (ja) * | 2013-02-01 | 2014-08-21 | Oiles Ind Co Ltd | エアスピンドル用静圧気体軸受 |
| JP2015175511A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-05 | 日本精工株式会社 | 静圧気体軸受回転案内装置 |
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| CN115978092A (zh) * | 2023-03-21 | 2023-04-18 | 中国空气动力研究与发展中心空天技术研究所 | 超高速微型转子的支承结构和支承结构设计方法 |
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