JPH0572929U - Vacuum sintering furnace - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 被処理物を収容してこれを焼結処理する焼結
室と、該焼結室に接続された排気配管を介して、焼結室
を真空排気する排気設備とを備えてなる真空焼結炉にお
いて、前記排気配管には、焼結室から排気されたガス中
の不純物を捕集するフィルターを開閉自在に取り付けて
なるトラッパーが配設されている。
【効果】 処理工程に応じて適宜フィルターを開閉する
ことで、ガス中の不純物を捕集し、しかも排気コンダク
タンスを向上させて排気時間の短縮化を図ることができ
る。
(57) [Summary] [Structure] A sintering chamber for accommodating an object to be processed and sintering the same, and an exhaust facility for evacuating the sintering chamber through an exhaust pipe connected to the sintering chamber. In the vacuum sintering furnace including the above, a trapper having an openable and closable filter attached to the exhaust pipe for collecting impurities in the gas exhausted from the sintering chamber is disposed in the exhaust pipe. [Effect] By appropriately opening and closing the filter according to the treatment process, impurities in the gas can be collected and the exhaust conductance can be improved to shorten the exhaust time.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、金属、セラミックス、カーボン、複合材などの被処理物を焼結処理 する真空焼結炉に関するものである。 The present invention relates to a vacuum sintering furnace for sintering an object to be processed such as metal, ceramics, carbon and composite material.
【０００２】[0002]
従来より、被処理物を真空条件下で焼結処理するための炉として用いられてい るものの一つに、真空焼結炉がある。 Conventionally, a vacuum sintering furnace has been used as a furnace for sintering an object to be processed under vacuum conditions.
【０００３】 この真空焼結炉は、被処理物を収容してこれを焼結処理する焼結室と、該焼結 室に接続された排気配管を介して、焼結室内を真空排気する排気設備とを備えて なるものである。また、前記焼結室から排気されたガス中の不純物が排気設備の 中に吸引されて真空ポンプのポンプ油などの中に混入してしまうことを防止する ために、この不純物を捕集するフィルターを備えたトラッパーが、排気配管の途 中に設けられている。このトラッパーには、例えば、図７に示す構成のものが用 いられている。[0003] This vacuum sintering furnace evacuates the sintering chamber through a sintering chamber that accommodates an object to be processed and sinters it, and an exhaust pipe connected to the sintering chamber. It is equipped with facilities. Further, in order to prevent impurities in the gas exhausted from the sintering chamber from being sucked into the exhaust equipment and being mixed into pump oil of the vacuum pump, etc., a filter for collecting the impurities. A trapper equipped with is installed in the middle of the exhaust pipe. For example, the trapper having the configuration shown in FIG. 7 is used as the trapper.
【０００４】 図７に示したトラッパー１は、排気配管の経路に取り付けられる略円筒形状の トラッパー本体１aと、このトラッパー本体１a内に、前記排気経路と直交方向に 配置されて固定された略円板状のフィルター２とを有して構成されている。A trapper 1 shown in FIG. 7 has a substantially cylindrical trapper body 1a attached to a path of an exhaust pipe, and a substantially circular shape which is fixed in the trapper body 1a in a direction orthogonal to the exhaust path. It is configured to have a plate-shaped filter 2.
【０００５】 ところで、このような真空焼結炉を用いて被処理物の焼結を行うに際しては、 まず排気設備を駆動して焼結炉内を真空状態とし、次いで、焼結室内に被処理物 を収容した後所定温度に加熱してこの被処理物を焼結処理する。焼結処理が終了 した後、排気設備の駆動を止めて、焼結室内を強制的に冷却する。By the way, when performing the sintering of the object to be treated using such a vacuum sintering furnace, first, the exhaust equipment is driven to bring the inside of the sintering furnace into a vacuum state, and then the object to be treated is placed in the sintering chamber. After containing the object, it is heated to a predetermined temperature to sinter the object. After the sintering process is completed, the driving of the exhaust equipment is stopped and the sintering chamber is forcedly cooled.
【０００６】 ここで、前記焼結処理の工程においては、焼結によって被処理物から不純物を 含んだガスが発生する場合が多々ある。このようなガスは、排気設備の駆動に伴 って、排気配管から排気設備側に吸引され、ガス中の不純物は、排気配管の途中 に設けられたフィルター２によって捕集される。Here, in the sintering process, a gas containing impurities is often generated from the object to be processed by the sintering. Such gas is sucked to the exhaust equipment side from the exhaust pipe as the exhaust equipment is driven, and the impurities in the gas are collected by the filter 2 provided in the middle of the exhaust piping.
【０００７】[0007]
ところが、従来の真空焼結炉によれば、前記のように排気配管の途中に、フィ ルター２を固定してなるトラッパー１が設けられているために、次のような問題 があった。すなわち、例えば焼結処理前の真空引き工程や冷却工程などにおいて は、被処理物から前記のようなガスが発生しないためにフィルター２を通す必要 がないにもかかわらず、終始、フィルター２を通して真空引きを行っている。そ のため、排気コンダクタンスが悪く、排気に長時間を要するという問題が生じる のである。 However, the conventional vacuum sintering furnace has the following problems because the trapper 1 formed by fixing the filter 2 is provided in the middle of the exhaust pipe as described above. That is, for example, in the evacuation process or the cooling process before the sintering process, although it is not necessary to pass through the filter 2 because the above-described gas is not generated from the object to be processed, the vacuum is always passed through the filter 2. I am pulling. As a result, the exhaust conductance is poor and it takes a long time to exhaust.
【０００８】 本考案は、前記事情に鑑みてなされたものであって、排気コンダクタンスの低 下を防止して排気時間の短縮化を図ることのできる真空焼結炉を提供することを 目的としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a vacuum sintering furnace capable of preventing a decrease in exhaust conductance and shortening an exhaust time. ..
【０００９】[0009]
本考案は、被処理物を収容してこれを焼結処理する焼結室と、該焼結室に接続 された排気配管を介して、焼結室内を真空排気する排気設備とを備えてなる真空 焼結炉において、前記排気配管には、焼結室から排気されたガス中の不純物を捕 集するフィルターを開閉自在に取り付けてなるトラッパーが配設されていること を解決手段とした。 The present invention comprises a sintering chamber for accommodating an object to be processed and sintering the same, and an exhaust facility for evacuating the sintering chamber through an exhaust pipe connected to the sintering chamber. In the vacuum sintering furnace, the exhaust pipe is provided with a trapper which is openably and closably attached with a filter for collecting impurities in the gas exhausted from the sintering chamber.
【００１０】[0010]
本考案の真空焼結炉によれば、トラッパー内のフィルターを開状態として真空 引き工程を行い、またフィルターを閉状態として焼結処理工程を行うといった具 合に、各工程に応じて適宜フィルターを開閉させれば、不純物を含むガスが発生 する焼結処理工程では、不純物をフィルターにより捕集することができ、しかも それ以外の時には、フィルターを開けて排気コンダクタンスを良くすることがで きる。 According to the vacuum sintering furnace of the present invention, the filter in the trapper is opened to perform the vacuuming process, and the filter is closed to perform the sintering process. If opened and closed, impurities can be collected by a filter in a sintering process in which a gas containing impurities is generated, and at other times, the filter can be opened to improve exhaust conductance.
【００１１】[0011]
以下、図１ないし図６を参照して、本考案の真空焼結炉の一実施例を説明する 。 An embodiment of the vacuum sintering furnace of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 6.
【００１２】 図１は、本実施例の真空焼結炉の全体概略構成を示すもので、図中符号１１が 焼結室である。焼結室１１は、概略、被処理物(図示略)を収容してこれを焼結処 理する断熱材より成る断熱容器(図示略)と、被処理物を加熱する加熱手段(図示 略)とを備えている。また、この焼結室１１には、冷却室１２が接続されて設け られており、この冷却室１２には、被処理物を冷却する冷却手段(図示略)が設け られている。FIG. 1 shows an overall schematic configuration of a vacuum sintering furnace of this embodiment, and a reference numeral 11 in the drawing is a sintering chamber. The sintering chamber 11 generally includes a heat insulating container (not shown) made of a heat insulating material for accommodating an object to be processed (not shown) and sintering the object, and a heating means (not shown) for heating the object to be processed. It has and. A cooling chamber 12 is connected to the sintering chamber 11, and a cooling means (not shown) for cooling the object to be processed is provided in the cooling chamber 12.
【００１３】 また符号１５が、前記焼結室１１内を真空排気するための排気設備である。排 気設備１５は、焼結室１１に接続された排気配管１３,１４を通じて、概略２つ の排気経路、すなわち荒引き用の排気経路Ａと、高真空引き用の排気経路Ｂとを 有して構成されている。荒引き用の排気経路Ａ上には、前記焼結室１１側から、 順に、ルーツ真空ポンプ１６および油回転真空ポンプ１７が設けられている。ま た、高真空引き用の排気経路Ｂ上には、焼結室１１側から、順に、トラッパー２ ０、油拡散真空ポンプ１８、油回転真空ポンプ１９が設けられている。油拡散真 空ポンプ１８には、水冷バッフル１８aを備えた高真空バルブ１８bが設けられて いる。Reference numeral 15 is an exhaust facility for evacuating the inside of the sintering chamber 11. The exhaust equipment 15 has roughly two exhaust passages, that is, an exhaust passage A for rough evacuation and an exhaust passage B for high vacuum evacuation through the exhaust pipes 13 and 14 connected to the sintering chamber 11. Is configured. A roots vacuum pump 16 and an oil rotary vacuum pump 17 are sequentially provided on the roughing exhaust path A from the sintering chamber 11 side. Further, a trapper 20, an oil diffusion vacuum pump 18, and an oil rotary vacuum pump 19 are provided in this order from the sintering chamber 11 side on the high vacuum evacuation path B. The oil diffusion vacuum pump 18 is provided with a high vacuum valve 18b having a water cooling baffle 18a.
【００１４】 トラッパー２０は、図２および図３に示すような構成を有している。図２は、 トラッパー２０の側面図、図３はトラッパー２０の正面図である。すなわち、こ のトラッパー２０は、排気経路Ｂに直交する方向(鉛直方向)に細長い筒状のトラ ッパー本体２０aと、このトラッパー本体２０a内に、鉛直方向に配置され上下方 向に移動可能に設けられたフィルター２１と、このフィルター２１の上下移動動 作を制御する油圧シリンダ等のアクチュエータ２２とを主体として構成されてい る。トラッパー本体２０aの下端部付近には、該トラッパー本体２０aの両側面間 を貫通する孔２０bが設けられ、この孔２０bに前記排気配管１４が連通して接続 されている。フィルター２１は、前記排気配管１４の内径とほぼ同一寸法あるい はこれより大寸法の外径を有する略円板形状のもので、その外縁部が円環状の枠 体２３に固定されている。この枠体２３の上端部は、前記アクチュエータ２２の 軸２２aに接続されている。The trapper 20 has a configuration as shown in FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is a side view of the trapper 20, and FIG. 3 is a front view of the trapper 20. That is, the trapper 20 is provided with a slender tubular trapper main body 20a in a direction (vertical direction) orthogonal to the exhaust path B, and is disposed in the trapper main body 20a so as to be vertically movable and movable upward and downward. The filter 21 and the actuator 22 such as a hydraulic cylinder for controlling the vertical movement operation of the filter 21 are mainly configured. A hole 20b penetrating both side surfaces of the trapper body 20a is provided near the lower end of the trapper body 20a, and the exhaust pipe 14 is connected to and connected to the hole 20b. The filter 21 has a substantially disc shape having an outer diameter substantially the same as or larger than the inner diameter of the exhaust pipe 14, and its outer edge is fixed to an annular frame 23. The upper end of the frame 23 is connected to the shaft 22a of the actuator 22.
【００１５】 フィルター２１には、図４あるいは図５に示したような構成のものが用いられ る。図４に示したフィルターは、主に微粒の不純物を捕集する目的で使用される ものであって、金属ウール２１aの片面に細かい目の金網(１００メッシュ程度) ２１bを接合し、さらにこれを２枚の粗い目の金網(５メッシュ程度)２１c,２１c の間に挾み込んで一体とした構成を有するものである。この例のフィルターは、 前記の細かい目の金網２１bが貼られた側の表面から、図中矢印に従ってガスが 流入するように、前記トラッパー本体２０a内に配置されることが必要である。 また、図５に示したフィルターは、比較的粗い目の金網(５メッシュ程度)２１d, ２１dを数枚重ね合わせたものを２枚のパンチングメタル(約φ３の孔を有するも の)２１e,２１eの間に挾み込んで一体とした構成を有するものである。この例の フィルターは、両面側均等に構成されているので、図中矢印に示したように、ど ちら側の表面からガスが流入するように配置されてもよい。As the filter 21, the one having the configuration shown in FIG. 4 or 5 is used. The filter shown in FIG. 4 is mainly used for collecting fine particles of impurities, and a fine mesh wire mesh (about 100 mesh) 21b is bonded to one surface of the metal wool 21a. It has a structure in which it is sandwiched between two coarse meshes (about 5 meshes) 21c, 21c to be integrated. The filter of this example needs to be arranged in the trapper main body 20a so that gas flows in according to the arrow in the figure from the surface on the side where the fine mesh 21b is pasted. In addition, the filter shown in FIG. 5 has two punching metals (having a hole of about φ3) 21e, 21e obtained by stacking a plurality of relatively coarse wire meshes (about 5 meshes) 21d, 21d. It is sandwiched between and has an integrated structure. Since the filter of this example is uniformly configured on both sides, the filter may be arranged so that gas flows in from either side of the surface, as indicated by the arrow in the figure.
【００１６】 また、トラッパー本体２０aの上端部には、フィルター取り出し用フランジ２ ４が設けられており、一方、トラッパー本体２０aの下端部には、このトラッパ ー２０内の真空状態を確保するためのＯリング(真空シール材)２５が取り付けら れている。A filter take-out flange 24 is provided at the upper end of the trapper body 20a, while a lower end of the trapper body 20a is provided for ensuring a vacuum state inside the trapper 20. An O-ring (vacuum seal material) 25 is attached.
【００１７】 次に、本実施例の真空焼結炉の作用について、図６を参照して説明する。Next, the operation of the vacuum sintering furnace of this embodiment will be described with reference to FIG.
【００１８】 被処理物の焼結処理に先立って、排気設備１５を作動させて焼結室１１内を真 空引きする。真空引きに際しては、段階毎に徐々に真空度を高めていく方法を採 用する。すなわち、まず、ルーツ真空ポンプ１６と油回転真空ポンプ１７の駆動 により、排気経路Ａに沿って荒引きを行う。次に、ルーツ真空ポンプ１６と油回 転真空ポンプ１７の駆動を止め、油拡散真空ポンプ１８と油回転真空ポンプ１９ を駆動させることにより、排気経路Ｂに沿って高真空引きを行う。この時、排気 経路Ｂに設けられたトラッパー２０のフィルター２１は、アクチュエータ２２に よってトラッパー本体２０aの上部に上昇させておき、これによってこのフィル ター２１を排気経路Ｂから開放した状態としておく。Prior to the sintering process of the object to be processed, the exhaust equipment 15 is operated to empty the inside of the sintering chamber 11. When evacuating, the method of gradually increasing the degree of vacuum at each stage will be adopted. That is, first, the roots vacuum pump 16 and the oil rotary vacuum pump 17 are driven to perform roughing along the exhaust path A. Next, the roots vacuum pump 16 and the oil rotation vacuum pump 17 are stopped from driving, and the oil diffusion vacuum pump 18 and the oil rotation vacuum pump 19 are driven to perform high vacuuming along the exhaust path B. At this time, the filter 21 of the trapper 20 provided in the exhaust path B is lifted to the upper part of the trapper main body 20a by the actuator 22, so that the filter 21 is opened from the exhaust path B.
【００１９】 焼結室１１内が所定の真空度に達した後、被処理物を焼結室１１内に収容し、 加熱手段(図示略)によって所定温度に加熱して焼結処理を行う。焼結処理中には 、排気経路Ｂに沿って所定の真空状態を確保するが、この時、トラッパー２０の フィルター２１をアクチュエータ２２によってトラッパー本体２０aの下部に降 ろし、このフィルター２１を排気経路Ｂに戻して閉状態としておく。これによっ て、焼結室１１内の被処理物から発生したガスが、排気経路Ｂを通過する際、こ のガスに含まれる不純物がフィルター２１によって捕集され、油拡散真空ポンプ １８や油回転真空ポンプ１９のポンプ油などに不純物が混入することが防止され る。After the inside of the sintering chamber 11 reaches a predetermined vacuum degree, the object to be processed is housed in the sintering chamber 11 and heated to a predetermined temperature by a heating means (not shown) to perform the sintering process. During the sintering process, a predetermined vacuum state is secured along the exhaust path B. At this time, the filter 21 of the trapper 20 is lowered to the lower part of the trapper main body 20a by the actuator 22, and the filter 21 is exhausted. Return to B and keep closed. As a result, when the gas generated from the object to be processed in the sintering chamber 11 passes through the exhaust path B, the impurities contained in this gas are collected by the filter 21, and the oil diffusion vacuum pump 18 and the oil are collected. Impurities are prevented from being mixed in pump oil of the rotary vacuum pump 19.
【００２０】 焼結処理が終了した後、冷却を行う。この時、排気設備１５の作動を止め、ト ラッパー２０のフィルター２１を上昇させ排気経路Ｂより開放した状態で、徐々 にリークしながら常圧に戻すとともに、冷却手段(図示略)によって冷却ガスを焼 結室１１内に導入して強制的に冷却する。After the sintering process is completed, cooling is performed. At this time, the operation of the exhaust equipment 15 is stopped, the filter 21 of the trapper 20 is raised and opened from the exhaust path B, and while gradually leaking, the pressure is returned to the normal pressure, and the cooling gas (not shown) is used to cool the cooling gas. It is introduced into the baking chamber 11 and forcedly cooled.
【００２１】 このように、本実施例の真空焼結炉によれば、トラッパー２０内のフィルター ２１が上下移動自在(開閉自在)とされているので、トラッパー２０内のフィルタ ー２１を開状態として真空引き工程を行い、またフィルター２１を閉状態として 焼結処理工程を行うといった具合に、各工程に応じて適宜フィルター２１を開閉 させることができる。すなわち、不純物を含むガスが発生する焼結処理工程では 、不純物をフィルター２１により捕集することができ、しかもそれ以外の工程で は、フィルター２１を開けて排気コンダクタンスを良くして、排気時間の短縮化 を図ることができる。As described above, according to the vacuum sintering furnace of the present embodiment, since the filter 21 in the trapper 20 is vertically movable (openable and closable), the filter 21 in the trapper 20 is opened. The filter 21 can be appropriately opened and closed according to each process, such as performing a vacuuming process and performing a sintering process with the filter 21 closed. That is, in the sintering process step in which a gas containing impurities is generated, the impurities can be collected by the filter 21, and in other steps, the filter 21 is opened to improve the exhaust conductance and the exhaust time It can be shortened.
【００２２】 また、本実施例では、トラッパー２０が、排気配管１４に対して直交方向に細 長い筒状に形成されたものであるので、横方向の幅を小さく設計することができ 、排気配管１４途中に配設することが容易で、かつ装置の小型化を図ることがで きる。Further, in this embodiment, since the trapper 20 is formed in a tubular shape elongated in the direction orthogonal to the exhaust pipe 14, the width in the lateral direction can be designed to be small. It is easy to dispose in the middle of 14 and the size of the device can be reduced.
【００２３】 また、フィルター２１がトラッパー本体２０a内に上下移動自在(開閉自在)に 設けられており、しかもトラッパー本体２０aの上端部にはフィルター取り出し 用フランジ２４が設けられているので、フィルター２１の取り出し作業が容易で 、その清掃作業を簡単かつスムーズに行うことができる。Further, since the filter 21 is provided in the trapper body 20a so as to be vertically movable (openable and closable), and the filter take-out flange 24 is provided at the upper end portion of the trapper body 20a. The removal work is easy, and the cleaning work can be done easily and smoothly.
【００２４】 なお、本考案の真空焼結炉は、前記実施例に限られることなく、各部材の形状 や作業順序など、具体的構成要件は、実施に当たって適宜変更可能である。The vacuum sintering furnace of the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and the specific constitutional requirements such as the shape of each member and the work order can be appropriately changed in practice.
【００２５】 例えば、前記実施例では、トラッパー２０を上下方向に細長い筒状とし、その トラッパー本体２０a内に上下移動可能にフィルター２１が設けられた例を示し たが、これ以外にも例えば、トラッパー２０を排気配管１４に直交する方向でか つ水平方向に細長い筒状とするとともに、フィルター２１をトラッパー本体２０ a内部に沿う横方向に移動可能とし、これによって排気経路(ガス流路)Ｂを開閉 自在とすることも可能である。For example, in the above-described embodiment, the trapper 20 has a vertically elongated tubular shape, and the filter 21 is provided in the trapper main body 20a so as to be vertically movable. 20 is made into a slender cylindrical shape in the direction orthogonal to the exhaust pipe 14 and in the horizontal direction, and the filter 21 is movable in the lateral direction along the inside of the trapper body 20 a, whereby the exhaust path (gas flow path) B is formed. It can be opened and closed freely.
【００２６】 また、フィルター２１の構成は、前記実施例で示したものの他にも、ガス中に 含まれる不純物の種類や大きさなどによって適宜変更可能である。Further, the configuration of the filter 21 can be appropriately changed according to the kind and size of impurities contained in the gas other than the one shown in the above-mentioned embodiment.
【００２７】[0027]
以上説明したように、本考案の真空焼結炉によれば、トラッパー内のフィルタ ーが開閉自在とされているので、トラッパー内のフィルターを開状態として真空 引き工程を行い、またフィルターを閉状態として焼結処理工程を行うといった具 合に、各工程に応じて適宜フィルターを開閉させることができる。すなわち、不 純物を含むガスが発生する焼結処理工程では、不純物をフィルターにより捕集す ることができ、しかもそれ以外の工程では、フィルターを開けて排気コンダクタ ンスを良くして、排気時間の短縮化を図ることができる。 As described above, according to the vacuum sintering furnace of the present invention, since the filter in the trapper can be opened and closed, the filter in the trapper is opened to perform the vacuuming process, and the filter is closed. The filter can be opened and closed appropriately according to each process, such as performing a sintering process. In other words, impurities can be collected by a filter in the sintering process in which gas containing impurities is generated, and in other processes, the filter is opened to improve the exhaust conductance and exhaust time. Can be shortened.
【図１】本考案の真空焼結炉の全体構成の一例を示す構
成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of the overall configuration of a vacuum sintering furnace of the present invention.
【図２】真空焼結炉におけるトラッパーの構成を示す側
断面図である。FIG. 2 is a side sectional view showing a configuration of a trapper in a vacuum sintering furnace.
【図３】同トラッパーの構成を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing the configuration of the trapper.
【図４】トラッパー内のフィルターの一例を示す断面図
である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a filter in a trapper.
【図５】フィルターの他の例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another example of a filter.
【図６】本実施例の真空焼結炉の動作例を示す工程図で
ある。FIG. 6 is a process diagram showing an operation example of the vacuum sintering furnace of the present embodiment.
【図７】従来のトラッパーの一例を示す側断面図であ
る。FIG. 7 is a side sectional view showing an example of a conventional trapper.
１１ 焼結室 １４ 排気配管 １５ 排気設備 ２０ トラッパー ２１ フィルター 11 Sintering chamber 14 Exhaust pipe 15 Exhaust equipment 20 Trapper 21 Filter
Claims (1)
焼結室と、該焼結室に接続された排気配管を介して、焼
結室内を真空排気する排気設備とを備えてなる真空焼結
炉において、 前記排気配管には、焼結室から排気されたガス中の不純
物を捕集するフィルターを開閉自在に取り付けてなるト
ラッパーが配設されていることを特徴とする真空焼結
炉。1. A sintering chamber for accommodating an object to be processed and sintering the same, and exhaust equipment for evacuating the sintering chamber through an exhaust pipe connected to the sintering chamber. In the vacuum sintering furnace, a trapper is provided in the exhaust pipe, the trapper having an openable and closable filter for collecting impurities in the gas exhausted from the sintering chamber. Kiln.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991008390U JPH089136Y2 (en) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | Vacuum sintering furnace |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991008390U JPH089136Y2 (en) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | Vacuum sintering furnace |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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Cited By (2)
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| JP2011202940A (en) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | Baking furnace for ceramic product and baking method using the same |
| WO2025177604A1 (en) * | 2024-02-21 | 2025-08-28 | 三菱重工業株式会社 | Booster pump and fluid supply system |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPH0356603A (en) * | 1989-07-21 | 1991-03-12 | Daido Steel Co Ltd | Device for collecting wax for vacuum sintering furnace |
-
1991
- 1991-02-22 JP JP1991008390U patent/JPH089136Y2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0356603A (en) * | 1989-07-21 | 1991-03-12 | Daido Steel Co Ltd | Device for collecting wax for vacuum sintering furnace |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2011202940A (en) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | Baking furnace for ceramic product and baking method using the same |
| WO2025177604A1 (en) * | 2024-02-21 | 2025-08-28 | 三菱重工業株式会社 | Booster pump and fluid supply system |
| JP2025127750A (en) * | 2024-02-21 | 2025-09-02 | 三菱重工業株式会社 | Booster Pump and Fluid Supply System |
Also Published As
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