JPH0574227B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ 産業上の利用分野 本発明は一般に位置決め装置に関し、より具体
的にはプラツトホームを直交する２つの方向に高
精度で移動させる装置に関する。

Ｂ 従来の技術 ある種の工業の応用分野では、加工物を直交す
る２つの方向に沿つて非常に高精度で移動させる
ことが必要である。たとえば、集積回路の製造で
は、ウエハを一連の異なる位置へ移動させて、そ
れらの各位置でウエハに対して多数の操作を行な
う。ウエハ上の特定の、しばしば極めて小さな領
域で各操作を行なうことが重要であり、そのため
には、ウエハをその一連の各位置で精密に位置決
めしなければならない。さらに、ウエハの移動中
にウエハに操作を行なうこともある。たとえば、
ウエハ上に線を引き、あるいはウエハ上の所定
の、しばしば非常に細い経路または線の上に材料
を付着しまたそこから材料を除去するため、リソ
グラフイ露光を行なう。これを行なうには、ウエ
ハ自体を所定の経路に沿つて非常に高精度で移動
させることが重要である。

従来技術では、加工物を高精度で移動させるた
めの種々の装置が知られている。通常、こうした
従来技術による装置は、加工物を望み通りに移動
させるため、多数の機械部品、軸受、ガイドウエ
イ、リード・スクリユーを含む複雑な機械システ
ムを使用している。こうした複雑な機械システム
は、比較的高価であり、その上、システムの機械
要素が使用するにつれて摩耗するに伴つて、シス
テムの精度が低下する。

Ｃ 発明が解決すべき課題 本発明の目的は、２次元位置決め装置を改良す
ることにある。

本発明の目的には、複雑な機械システムを必要
とせずに、加工物を所定のパターンで精密に移動
させるのに使用できる、２次元位置決め装置を提
供することも含まれる。

本発明の目的には、複雑な機械システムではな
くて高精度の位置センサを使つて、加工物を所定
のパターンで精密に移動させることも含まれる。

本発明の目的には、プラツトホームの移動中
に、長さの調節できるリンクを用いてその向きを
一定に保つのを助け、かつプラツトホームの移動
中にそのリンクの長さを調節してプラツトホーム
の向きを一定に保つのをさらに助けるために使用
される、平行四辺形構造を提供することも含まれ
る。

Ｄ 課題を解決するための手段 上記その他の目的は、移動可能なプラツトホー
ムと、プラツトホームに接続された、プラツトホ
ームを第１の方向に移動させるための第１の並進
手段と、プラツトホームに接続された、プラツト
ホームを第１の方向に直交する第２の方向に移動
させるための第２の並進手段を含む、２次元位置
決め機構によつて達成される。第１の並進手段
は、それぞれプラツトホームにピボツト式に接続
された第１及び第２のリンクと、第１及び第２の
リンクにピボツト式に接続された、それらのリン
クを第１の方向に移動させるための第１の線形ア
クチユエータを含む。第１及び第２のリンクと移
動可能なプラツトホームと線形アクチユエータ
は、プラツトホームの移動中にその向きをほぼ一
定に保つためのピボツト式平行四辺形構造を形成
する。

位置決め機構はさらに、第１及び第２の並進手
段に接続された、プラツトホームを第１の位置か
ら第２の位置へ移動させるようにそれらの並進手
段を制御するための制御手段を含むことが望まし
い。この制御手段はまた、プラツトホームがある
位置からら次の位置へ移動する時、プラツトホー
ムを所定の経路上を移動させるるように並進手段
を制御することが好ましい。そのために、制御手
段は、プラツトホームの移動中にその位置、特に
その第１及び第２の横縁部を監視するために、第
１及び第２のプロセツサ・センサを使用する。こ
の移動中にプラツトホームがあるべき位置にない
場合、制御手段は補正信号を発生し、それらの信
号を第１及び第２の並進手段に送つて、プラツト
ホームをあるべき位置へ移動させるようにそれら
の並進手段を動作させる。

さらに、上記の平行四辺形構造を用いても、プ
ラツトホームの移動中にその向きが僅かに変わ
る、すなわち振れる傾向がある。この振れを補償
し、または防止するため、第１の並進手段の一方
のリンクの長さを調節できるようにし、かつ位置
決め機構にさらに、プラツトホームの移動中に振
れを感知し、振れを感知したときは、プラツトホ
ームがその所望の向きに戻るようにこの調節可能
なリンクの長さを調節する手段を設けることが好
ましい。

本発明のその他の利益及び長所は、本発明の好
ましい実施例を特定し図示した添付の図面を参照
しながら以下の詳細な説明を読めば、明らかにな
るはずである。

Ｅ 実施例 図に、位置決め装置１０を示す。位置決め装置
１０は一般に、プラツトホーム１２、第１並進手
段１４、第２並進手段１６を含み、さらに制御手
段２０を含むことが好ましい。より具体的に述べ
ると、第１並進手段１４は、第１リンク２２、第
２リンク２４、線形アクチユエータ２６を含み、
第２並進手段１６は、リンク３０と線形アクチユ
エータ３２を含み、制御手段２０は、センサ３
４，３６とプロセツサ４０，４２を含む。図に示
した本発明の実施例では、第１並進手段１４はさ
らにリンク制御装置４４を含み、制御手段２０は
さらにホスト・プロセツサ４６、センサ５０、プ
ロセツサ５２を含む。

プラツトホーム１２は、加工物または他の物体
を保持し、図にｘ軸とｙ軸で表されている直交す
る２つの方向に移動できるように支持されてい
る。この２つの方向を、それぞれｘ方向及びｙ方
向と呼ぶ。プラツトホームは、適切な任意の形状
と寸法をとることができるが、一般に平らな長方
形または正方形であり、プラツトホーム上にそれ
に対して固定した位置に加工物を固く保持するた
めの何らかの適当な手段（図示せず）を備えるこ
とができる。また、プラツトホームは受け入れら
れるどんな方式で支持してもよく、たとえばより
大きな平面状支持表面５４の上方にプラツトホー
ムを配置し、その表面の上方を移動できるように
空気軸受または滑り軸受で支持してもよい。

第１並進手段１４は、プラツトホームをｘ方向
など第１の方向に移動できるように接続され、第
２並進手段１６は、プラツトホームをｙ方向など
第１の方向と直交する第２の方向に移動できるよ
うに接続される。より具体的に言うと、第１のリ
ンク２２と第２のリンク２４は、それぞれプラツ
トホーム２２ａと２４ａにピボツト式に接続さ
れ、また線形アクチユエータ２２ｂと２４ｂにピ
ボツト式に接続され、リンク３０は３０ａでプラ
ツトホームにピボツト式に接続され、また３０ｂ
で線形アクチユエータにピボツト式に接続され
る。アクチユエータ２６は、図を見るとわかるよ
うに、リンク２２及び２４をｘ方向に上下に移動
させ、したがつてプラツトホームを同様にｘ方向
に移動させるように動作することができる。同様
に、アクチユエータ３２は、図を見るとわかるよ
うに、リンク３０をｙ方向に左右に移動させ、し
たがつてプラツトホームをｙ方向に移動させるよ
うに動作することができる。リンク２２及び２４
が上下に移動してプラツトホームを移動させると
き、リンク３０は旋回点３０ａと３０ｂの周りで
旋回し、旋回点３０ｂが固定した位置に留まる場
合は、リンク３０はプラツトホームをやはりｙ方
向に移動させる。同様に、リンク３０が移動して
プラツトホームをｙ方向に移動させるとき、リン
ク２２及び２４がそれぞれ接続２２ｂ及び２４ｂ
の周りで旋回し、接続２２ｂ及び２４ｂが固定し
た位置に留まる場合は、リンク２２及び２４はプ
ラツトホームをｘ方向に移動させる。

上記の配置構成を用いる場合、リンク２２と２
４、移動可能なプラツトホーム１２及び線形アク
チユエータ２６は、プラツトホームの移動中にそ
の向きをほぼ一定に維持する、ピボツト式の平行
四辺形構造を形成する。詳しく述べると、プラツ
トホームの向きは、プラツトホームの中央縦軸１
２ａなどプラツトホーム上に固定された軸と、図
のｘ軸などプラツトホームが位置する環境に対し
て固定されたままの別の軸との間の角度と考える
ことができる。この２本の軸は、図のように互い
に平行であり、リンク２２，２４とプラツトホー
ム１２と線形アクチユエータ２６によつて形成さ
れる平行四辺形構造が、プラツトホームの移動
中、これらの軸をほぼ平行に保つ。

物体を10ナノメートルの精度で所期の位置に移
動することのできる線形アクチユエータが利用可
能であり、そのようなアクチユエータを本発明で
使用できる。本発明の図示した実施例では、線形
アクチユエータ２６は、可動部材５６、電動モー
タ６０、モータ制御装置６２、及び接続部材６４
を含み、アクチユエータ３２は、可動部材６６、
電動モータ７０、及びモータ制御装置７２を含
む。可動部材５６はｘ方向に線形移動できるよう
に支持され、接続部材６４を介してリンク２２，
２４に接続され、これらのリンクをｘ方向に移動
させる。モータ６０は、可動部材５６に接続さ
れ、この部材を図に示すように上下に移動させ
る。制御装置６２は、モータ６０に接続され、制
御装置に送られる信号に応答してモータが可動部
材５６を選択的に移動させるようにこのモータを
制御する。

可動部材６６はｙ方向に線形移動できるように
支持され、リンク３０に接続され、このリンクを
ｙ方向に移動させる。モータ７０は、可動部材６
６に接続され、この可動部材を図に示すように左
右に移動させる。制御装置７２はモータ７０に接
続され、制御装置に送られる信号に応答してモー
タが可動部材６６を選択的に移動させるようにこ
のモータを制御する。

さらに、モータ６０と７０は、それぞれ出力シ
ヤフトを有するサーボ・モータを含むことが好ま
しく、制御装置６２と７２はそれぞれ、制御手段
２０からその制御装置に送られる信号に応答して
モータの出力シヤフトを時計回りまたは反時計回
りの方向に回転させるように関連するモータを動
作させる。

装置１０内では、他の多数のタイプの線形アク
チユエータも使用できる。たとえば、これらのア
クチユエータは、油圧シリンダまたは空気圧シリ
ンダ、及び送られてくる信号に応答してシリンダ
のロツドを伸ばすまたは引つ込める制御装置を含
むことができる。

制御装置２０は、第１及び第２の並進手段１４
及び１６に接続され、プラツトホーム１２を一連
の位置に移動させるようにこれらの並進手段を制
御する。制御装置は、そうするだけでなく、プラ
ツトホームがこの一連の位置を移動するとき、プ
ラツトホームが所定の経路を移動するようにも並
進手段を制御する。そうするため、制御手段は、
プラツトホームがある位置から別の位置に移動す
るとき、プラツトホームの位置を監視し、プラツ
トホームがあるべき位置にない場合は補正信号を
生成してそれを第１及び第２の並進手段、より詳
しくはその制御装置６２及び７２に送り、プラツ
トホームをあるべき位置へと移動させるようにこ
れらの並進手段を操作する。

より具体的に言うと、プラツトホーム移動中あ
る時間ごとに、センサ３４と３６がプラツトホー
ムの実際の位置を感知し、その実際位置を表す信
号をプロセツサ４０及び４２に送る。プロセツサ
４０及び４２は、プラツトホームの実際の位置を
そのときの所期の位置と比較し、これら２つの位
置が異なる場合は、制御信号を生成してそれを線
形アクチユエータ２６と３２に送り、プラツトホ
ームを所期の位置へ移動させるようにこれらのア
クチユエータを操作する。

さらに具体的には、プラツトホームの移動中あ
る時間ごとに、好ましくは規則的間隔で、センサ
３６がプラツトホームの左横縁部１２ｂの実際の
位置を感知し、その実際位置を示す信号をプロセ
ツサ４２に送る。プロセツサ４２は、その時点で
のプラツトホームの左横縁部の所期の位置を決定
する。縁部１２ｂの感知された実際位置が所期の
位置より左にある場合、プロセツサ４２は、リン
ク３０を右へ引つ張り、それによつてプラツトホ
ームを右へ引つ張るようにモータ制御装置７２に
モータ７０を動作させる信号を生成して、それを
制御装置に送る。しかし、縁部１２ｂの感知され
た実際位置が所期の位置より右にある場合は、プ
ロセツサ４２は、リンク３０を左へ押し、それに
よつてプラツトホームを左へ押すようにモータ制
御装置７２にモータ７０を動作させる信号を生成
して、それを制御装置に送る。

同様に、プラツトホームの移動中ある時間ごと
に、好ましくはやはり規則的間隔で、センサ３４
がプラツトホームの上横縁部１２ｃの実際の位置
を感知し、縁部１２ｃの実際位置を示す信号をプ
ロセツサ４０に送る。プロセツサ４０は、それら
の時点でのプラツトホームの上横縁部の所期の位
置を決定する。縁部１２ｃの感知された実際位置
が所期の位置より上である場合、プロセツサ４０
は、プラツトホームを下へ引つ張るようにアクチ
ユエータ２６にリンク２２と２４を引つ張らせる
信号を生成して、それを線形アクチユエータ２
６、より詳しくは制御装置６２に送る。一方、縁
部１２ｃの感知された実際位置が所期の位置より
下である場合は、プロセツサ４０は、プラツトホ
ームを上方に押すようにアクチユエータにリンク
２２と２４を押させる信号を生成して、それを線
形アクチユエータ２６、詳しくは制御装置６２に
送る。

プラツトホーム１２がある位置から別の位置に
移動する間に、プラツトホームの所期の位置が、
ｘ方向でもｙ方向でも変化することがあり、通常
は実際に変化する。したがつて、プロセツサ４０
と４２はそれぞれ、プラツトホーム移動中のプラ
ツトホームの所期の座標のデータ、具体的には上
横縁部１２ｃの所期のｘ座標と左横縁部１２ｂの
所期のｙ座標を決定する手段を含むことが好まし
い。たとえば、所与の方程式に従つて所期の座標
値を決定するようにプロセツサをプログラミング
してもよく、また所与の期間中の様々な時点での
所期の座標値を決定するためのルツクアツプ・テ
ーブルをプロセツサに設けてもよい。ホスト・コ
ンピユータ４６を使つて、、所期の座標値を決定
するのに必要なデータまたはプログラムをプロセ
ツサ４０及び４２に送る。各プロセツサは、プラ
ツトホームの移動中にプロセツサが時間を記録す
るために使用できるタイミング信号を発生するク
ロツク手段を含むことが好ましい。また、ホス
ト・コンピユータなど別の装置からこうしたタイ
ミング信号をプロセツサに送つてもよい。

センサ３４及び３６は、適切な位置感知装置を
含むことができるが、各センサに干渉計を設け、
各センサを支持表面５４上に固く固定することが
好ましい。物体の位置を２ナノメートル以下の精
度で感知することのできる干渉計が利用可能であ
り、そのような装置が本発明で使用できる。同様
に、プロセツサ４０及び４２は、適切などの処理
装置でもよい。センサ３４とプロセツサ４０、及
びセンサ３６とプロセツサ４２として使用できる
センサ／処理装置が市販されており、適切なセン
サ／処理装置として、ヒユーレツト・パツカード
社の5527システムやジゴ（Zygo）コーポレーシ
ヨンのAxion2−20がある。

上述のように、プラツトホーム１２とリンク２
２，２４と線形アクチユエータ２６によつて形成
される平行四辺形構造は、プラツトホームが移動
するとき、プラツトホームの向きがほぼ一定のま
まとなることを保証する。しかし、接続点２２ａ
と２２ｃの中心間の間隔が接続点２４ａと２４ｂ
の中心間の間隔とぴつたり等しくない場合、プラ
ツトホームの移動中にプラツトホームの向きが僅
かに回転または振れる傾向がある。この振れを補
償または防止するため、第１の並進手段１４のリ
ンク２２は長さが調節できるようになつており、
装置１０は、制御装置４４、センサ５０、プロセ
ツサ５２を含めて、プラツトホーム１２の移動中
に振れを検出し、振れを感知したとき、プラツト
ホームがその所期の向きに戻るようにリンク２２
の長さを調節する手段を含む。

さらに具体的に述べると、図に示すように、リ
ンク２２は、長さがほぼ一定な第１及び第２のセ
クシヨン２２ｃ及びｄと、長さが調節可能な第３
のセクシヨン２２ｅを含む。リンク・セクシヨン
２２ｃの一端は線形アクチユエータ２６上にピボ
ツト式に取り付けられ、その他端は第３のセクシ
ヨン２２ｅの第１の端部に固定されている。セク
シヨン２２ｅの第２の端部はリンク・セクシヨン
２２ｄの一端に固定され、その他端はプラツトホ
ーム１２上にピボツト式に取り付けられる。中間
セクシヨン２２ｅは、圧電変換器などのアクチユ
エータを含み、その長さは変換器の両端間に印加
される電圧差の関数となる。

制御装置４４は、リンク２２に接続され、その
長さを調節する。図に示した本発明の実施例で
は、これは、圧電セクシヨン２２ｅの両端間に可
変電圧差を印加することによつて行なう。可変電
圧は、センサ５０とプロセツサ５２によつて生成
される号に応答して、制御装置４４からアクチユ
エータ２２ｅに供給される。

本発明の実施には他の型式の伸張式リンクを使
用することもでき、他の型式の制御装置を使つて
このリンクの長さを伸張または調節することもで
きる。たとえば、リンク２２は伸張可能な油圧シ
リンダまたは空気圧シリンダとしてもまたそうし
たシリンダを含むものとしてもよく、プロセツサ
５２から制御弁に送られる信号に応答して伸張式
シリンダを制御するのに使用される制御装置４４
は、油圧式または空気圧式制御弁でよい。

リンク・セクシヨン２２ｃ及びｄ、ならびにリ
ンク２４及び３０と接続メンバ６４は、アルミニ
ウムや剛性プラスチツクなど適切などんな材料製
のものでもよく、またリンクは受け入れられるど
んな方法で定位置に接続してもよい。

センサ５０及びプロセツサ５２は、センサ３４
及び３６とプロセツサ４０及び４２と非常によく
似た方式で動作して、プラツトホーム１２の所期
の位置からの偏位を検出し、そのような偏位が検
出された場合に、プラツトホームが所期の向きに
戻るようにアクチユエータにリンク２２の長さを
調節させる信号を生成して、それを制御装置４４
に送る。

具体的には、センサ５０もプラツトホーム５４
上に固く固定した干渉計とすることが好ましく、
センサ５０は、プラツトホームの移動中ある時間
ごとに、プラツトホームの上横縁部１２ｃの実際
位置を感知し、その実際位置を示す信号を制御装
置５２に送る。プロセツサ５２は、それらの時点
でのプラツトホームの上横縁部の所期の位置を決
定する。縁部１２ｃの感知された実際位置が所期
の位置より上である場合、プロセツサ５２は、プ
ラツトホームの上縁部が反時計回りに回転するよ
うにアクチユエータ２２ｅにリンク２２を引つ込
めさせる信号を生成して、それを制御装置４４に
送る。しかし、縁部１２ｃの感知された実際位置
が所期の位置より下である場合は、プロセツサ５
２は、プラツトホームの上縁部が時計回りに回転
するようにアクチユエータ２２ｅにリンク２２を
伸張させる信号を生成して、それを制御装置４４
に送る。

プロセツサ５２は、プラツトホームの移動中に
所期の座標値、具体的にはプラツトホーム１２の
上縁部１２ｃのｘ座標を決定する手段を備えてい
る。所与の方程式に従つて所期の座標値を決定す
るようにプロセツサ５２をプログラミングするこ
とができ、また所与の期間中の様々な時点で所期
の座標値を決定するためのルツクアツプ・テーブ
ルをプロセツサに設けることもでき、またホス
ト・コンピユータ４６を使つて所期の座標値を決
定するのに必要なデータまたはプログラムをプロ
セツサ５２に送つてもよい。プラツトホームの移
動中にプロセツサが時間を記録するのに使用でき
るタイミング信号を発生するクロツク手段をプロ
セツサに設けることができ、またホスト・コンピ
ユータなど他の装置からプロセツサにこれらのタ
イミング信号を送ることもできる。

本明細書で開示した本発明が前記の諸目的を満
たすことは明らかであるが、当業者なら多数の修
正及び実施例を当然考えつくはずである。本発明
の真の趣旨及び範囲内に含まれるそうした修正及
び実施例はすべてカバーされるものである。

Ｆ 発明の効果 本発明により、複雑な機械システムを必要とせ
ずに、加工物を所定のパターンで精密に移動させ
るのに使用できる２次元位置決め装置が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

図は、本発明による位置決め装置を一般的に示
す図である。 １０…位置決め装置、１２…プラツトホーム、
１４，１６…並進手段、２０…制御手段、２２，
２４，３０…リンク、２６，３２…アクチユエー
タ、３４，３６，５０…センサ、４０，４２，５
２…プロセツサ、４４…リンク制御装置、４６…
ホスト・プロセツサ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 所与の向きを有する可動式プラツトホーム
   と、 上記プラツトホームを第１の方向に移動させる
   ようにプラツトホームに接続された、 (a) それぞれプラツトホームにピボツト式に接続
   された第１及び第２のリンクと (b) 上記第１及び第２のリンクを上記第１の方向
   に移動させるようにそれらのリンクにピボツト
   式に接続された第１の線形アクチユエータと を含む第１の並進手段と、 上記プラツトホームを上記第１の方向と直交す
   る第２の方向に移動させるようにプラツトホーム
   に接続された第２の並進手段とを含み、 上記第１及び第２のリンクと可動式プラツトホ
   ームと第１線形アクチユエータが、プラツトホー
   ムの移動中にその向きを実質的に一定に保つため
   のピボツト式平行四辺形構造を形成するという、 ２次元位置決め装置。 ２ さらに、第１及び第２の並進手段に接続され
   た、プラツトホームを第１の位置から第２の位置
   に移動させるように上記並進手段を制御するため
   の制御手段を含む、請求項１に記載の位置決め装
   置。 ３ 上記第１リンクが、長さが調節可能であり、
   第１のリンクの長さを調節するように第１リンク
   に接続されたリンク・アクチユエータを含み、 上記制御手段が、プラツトホームが所与の向き
   に戻るように上記第１リンクの長さを調節するよ
   うにリンク・アクチユエータに接続された、プラ
   ツトホームの所与の向きからの偏位を感知するた
   めの振れ制御手段を含む ことを特徴とする、請求項２に記載の位置決め装
   置。 ４ 上記制御手段が、プラツトホームを上記第１
   の位置から上記第２の位置へと所定の経路上を移
   動させるように上記第１及び第２の並進手段を制
   御する ことを特徴とする、請求項２に記載の位置決め
   装置。 ５ 上記第２並進手段が、 プラツトホームにピボツト式に接続された第３
   のリンクと、 上記第３リンクを第２の方向に移動させるよう
   に上記第３リンクにピボツト式に接続された第２
   の線形アクチユエータと を含むことを特徴とする、請求項２に記載の位置
   決め装置。 ６ 上記第１線形アクチユエータが、 (a) 第１の電動モータと、 (b) 上記第１の電動モータを上記第１及び第２の
   リンクに接続する手段と、 (c) 上記第１の電動モータの動作を制御するよう
   に上記第１の電動モータに接続された第１の制
   御装置を含み、 上記第２線形アクチユエータが、 (a) 第２の電動モータと、 (b) 上記第２の電動モータを上記第３のリンクに
   接続する手段と、 (c) 上記第２の電動モータの動作を制御するよう
   に上記第２の電動モータに接続された第２の制
   御装置を含む ことを特徴とする、請求項５に記載の位置決め装
   置。 ７ 上記制御手段が、 第１の方向でプラツトホームの位置を感知し
   て、第１の方向でのプラツトホームの位置が所期
   の位置と異なる場合は第１の補正信号を生成し、
   上記第１の補正信号を上記第１の制御装置に送つ
   て、上記第１及び第２のリンクとプラツトホーム
   を上記第１の方向で上記の所期の位置に移動させ
   るように上記第１の電動モータを動作させる第１
   の手段と、 第２の方向でプラツトホームの位置を感知し
   て、第２の方向でのプラツトホームの位置が所期
   の位置と異なる場合は第２の補正信号を生成し、
   上記第２の補正信号を上記第２の制御装置に送つ
   て、上記第３のリンクとプラツトホームを上記第
   ２の方向で上記の所期の位置に移動させるように
   上記第２の電動モータを動作させる第２の手段と を含むことを特徴とする、請求項６に記載の位置
   決め装置。 ８ 上記制御手段が、 第１の方向でプラツトホームの位置を感知し
   て、第１の方向でのプラツトホームの位置が所期
   の位置と異なる場合は第１の補正信号を生成し、
   上記第１の補正信号を上記第１の並進手段に送つ
   て、プラツトホームを上記第１の方向で上記の所
   期の位置に移動させるように、上記第１の並進手
   段を動作させる第１の手段と、 第２の方向でプラツトホームの位置を感知し
   て、第２の方向でのプラツトホームの位置が所期
   の位置と異なる場合は第２の補正信号を生成し、
   上記第２の補正信号を上記第２の並進手段に送つ
   て、プラツトホームを上記第２の方向で上記の所
   期の位置に移動させるように、上記第２の並進手
   段を動作させる第２の手段と を含むことを特徴とする、請求項２に記載の位置
   決め装置。 ９ 上記第１の手段が、 (a) プラツトホームの上記第１の方向での位置を
   感知する第１のセンサと、 (b) 上記第１の方向でのプラツトホームの所期の
   位置を決定する第１のプロセツサを含み、 上記第２の手段が、 (a) プラツトホームの上記第２の方向での位置を
   感知する第２のセンサと、 (b) 上記第２の方向でのプラツトホームの所期の
   位置を決定する第２のプロセツサを含む ことを特徴とする、請求項８に記載の位置決め装
   置。 １０ 上記プラツトホームが第１及び第２の側部
   を有し、 上記第１センサがプラツトホームの上記第１側
   部の位置を感知し、 上記第２センサがプラツトホームの上記第２側
   部の位置を感知する ことを特徴とする、請求項９に記載の位置決め装
   置。 １１ 上記第１及び第２の方向でのプラツトホー
   ムの所期の位置が、所与の期間中に変化し、 上記第１プロセツサが、上記期間中に上記第１
   の方向でのプラツトホームの所期の位置を決定す
   る手段を含み、 上記第２プロセツサが、上記期間中に上記第２
   の方向でのプラツトホームの所期の位置を決定す
   る手段を含む ことを特徴とする、請求項９に記載の位置決め
   装置。 １２ 上記第１リンクの長さが調節可能であり、 上記第１の並進手段がさらに、上記第１リンク
   の長さを調節するように上記第１リンクに接続さ
   れたリンク制御装置を含む ことを特徴とする、請求項１に記載の位置決め
   装置。 １３ さらに、プラツトホームが所与の向きに戻
   るように上記第１リンクの長さを調節すべくリン
   ク制御装置を動作させるようにリンク制御装置に
   接続された、プラツトホームの所与の向きからの
   偏位を感知するための振れ制御手段を含む ことを特徴とする、請求項１２に記載の位置決
   め装置。 １４ 上記振れ制御手段が、 所与の方向でのプラツトホームの位置を感知す
   る振れセンサと、 上記所与の方向でのプラツトホームの所期の位
   置を決定するプロセツサとを含む ことを特徴とする、請求項１３に記載の位置決
   め装置。 １５ 上記所与の位置でのプラツトホームの上記
   の所期の位置が所与の期間中に変化し、 上記プロセツサが、上記期間中に上記所与の方
   向でのプラツトホームの所期の位置を決定する手
   段を含む ことを特徴とする、請求項１４に記載の位置決
   め装置。 １６ 上記プラツトホームが第１の側部を有し、 上記振れ制御手段が、上記第１側部の位置を感
   知し、プラツトホームの上記第１側部の位置が所
   期の位置と異なるときには振れ補正信号を生成し
   て、それをリンク制御装置に送る ことを特徴とする、請求項１４に記載の位置決
   め装置。 １７ 振れ制御装置が、プラツトホームの上記第
   １側部の所期の位置を決定するプロセツサを含む ことを特徴とする、請求項１６に記載の位置決
   め装置。 １８ プラツトホームの上記第１側部の所期の位
   置が所与の期間中に変化し、 上記プロセツサが、上記所与の期間中にプラツ
   トホームの上記第１側部の所期の位置を決定する
   手段を含む ことを特徴とする、請求項１７に記載の位置決
   め装置。 １９ 上記第１リンクが、 (a) プラツトホームにピボツト式に接続された第
   １のセクシヨンと、 (b) 上記第１線形アクチユエータにピボツト式に
   接続された第２のセクシヨンと、 (c) 上記リンクの上記第１及び第２のセクシヨン
   に接続され、上記第１のセクシヨンと第２のセ
   クシヨンの間を延びる、長さの調節可能な圧電
   セクシヨンを含み、 上記リンク制御装置が、上記圧電セクシヨンの
   両端間に可変電圧電位を印加して上記圧電セクシ
   ヨンの長さを変化させるように上記第１リンクに
   電気的に接続されている ことを特徴とする、請求項１７に記載の位置決め
   装置。