JPH057479B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH057479B2 JPH057479B2 JP61184872A JP18487286A JPH057479B2 JP H057479 B2 JPH057479 B2 JP H057479B2 JP 61184872 A JP61184872 A JP 61184872A JP 18487286 A JP18487286 A JP 18487286A JP H057479 B2 JPH057479 B2 JP H057479B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead frame
- arm
- current
- carrying
- plating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
- C25D17/06—Suspending or supporting devices for articles to be coated
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体用のリードフレームのうち特に
短尺のものの外表面に各種のめつきを施するため
に用いられるリードフレームのめつき用給電支持
装置に関するものである。
短尺のものの外表面に各種のめつきを施するため
に用いられるリードフレームのめつき用給電支持
装置に関するものである。
従来の技術
上記のようなリードフレームのめつき用給電支
持装置としては、例えば特開昭61−87900号公報
に示されるように、めつき槽に沿つて進行する際
にガイドレール等の作用により上下に揺動する腕
を設け、この上面に断面Ｖ字状の凹溝を設けると
ともに該凹溝の内側底部にカソード接触部を形成
したものが知られている。このような従来の装置
においては、めつきされるべきリードフレームは
Ｖ字状の凹溝の内部に落とし込まれてカソード接
触部と接触し、ここからめつき用の通電を受ける
ものであるが、リードフレームとカソード接触部
とはリードフレームの自重によつて接触している
だけであるから、特に液中において浮力を受けた
ときなどには給電が不安定となり、均一なめつき
が行われなくなるおそれがあつた。
持装置としては、例えば特開昭61−87900号公報
に示されるように、めつき槽に沿つて進行する際
にガイドレール等の作用により上下に揺動する腕
を設け、この上面に断面Ｖ字状の凹溝を設けると
ともに該凹溝の内側底部にカソード接触部を形成
したものが知られている。このような従来の装置
においては、めつきされるべきリードフレームは
Ｖ字状の凹溝の内部に落とし込まれてカソード接
触部と接触し、ここからめつき用の通電を受ける
ものであるが、リードフレームとカソード接触部
とはリードフレームの自重によつて接触している
だけであるから、特に液中において浮力を受けた
ときなどには給電が不安定となり、均一なめつき
が行われなくなるおそれがあつた。
発明が解決しようとする間題点
本発明は上記のような従来の間題点を解決し
て、リードフレームに対して確実な給電を行うこ
とができ、またリードフレームの脱着が容易なリ
ードフレームのめつき用給電支持装置を目的とし
て完成されたものである。
て、リードフレームに対して確実な給電を行うこ
とができ、またリードフレームの脱着が容易なリ
ードフレームのめつき用給電支持装置を目的とし
て完成されたものである。
間題点を解決するための手段
本発明のめつき用給電支持装置は、昇降動でき
る支持腕の上面にリードフレームの下端を支持す
るＶ字状の支持板を設けるとともに、該支持腕１
０の上方には先端部下面にリードフレームの上端
中央を押圧する逆Ｖ字状の通電片を備えた通電腕
を、支持腕とは独立して昇降可能に設けたことを
特徴とするものである。
る支持腕の上面にリードフレームの下端を支持す
るＶ字状の支持板を設けるとともに、該支持腕１
０の上方には先端部下面にリードフレームの上端
中央を押圧する逆Ｖ字状の通電片を備えた通電腕
を、支持腕とは独立して昇降可能に設けたことを
特徴とするものである。
実施例
次に本発明を図示の実施例によつて更に詳細に
説明すると、第１図〜第４図に示す第１の実施例
において、１はめつき槽、２はその側方に設けら
れた機枠２上のガイドレール４に案内されつつめ
つき槽１に沿つて間歇的に移動するコンベアチエ
ーンである。第４図に示されるようにこのコンベ
アチエーン３は大型のスプロケツト５，６間に張
設され、図示の方向に駆動されるものである。こ
のコンベアチエーン３のチエーンリンクは一定間
隔でプラケツト７が設けられており、該プラケツ
ト７には支柱８がピン９を中心として揺動できる
ように取付けられている。そして支柱８には支柱
８が第１図に実線で示す垂直位置にあるときには
先端がめつき槽１の内部に水平に浸漬される支持
腕１０が固定されている。第２図に示されるよう
に、支持腕１０の上面には孔明板からなるＶ字状
に開いた支持板１１が設けられている。この支持
板１１はめつきされる短尺のリードフレーム５０
の下端を支持するためのものである。また支持腕
１０の上方には先端部下面にリードフレーム５０
の上端中央を押圧する逆Ｖ字状の通電片１２を備
えた通電腕１３が設けられている。第１の実施例
では、通電腕１３は２本の平行リンク１４，１５
によつて支柱８に支持腕１０とは独立して昇降可
能に支持されており、通電腕１３をリードフレー
ム５０の上端と平行に昇降させることができるの
で、通電片１２はリードフレーム５０の長手方向
に複数個形成することもできる。通電片１２はリ
ード線１６によつて支持腕１０の通電部１７と接
続されている。またこの通電部１７の下面は機枠
２の側面に突設された昇降レール１８の上面と常
に接触している。昇降レール１８はめつき槽１の
区切り部分等において支持腕１０を第１図に想像
線で示す位置まで押上げる役割を持つとともに、
通電腕１３、リード線１６、通電部１７を介して
めつき用の電流をマイナス電源に流す役割を持つ
ものである。また第４図に示す供給及びび取出位
置には、通電腕１３を支持する平行リンク１５の
一方と係合する外しレール１９が第３図に示すよ
うに設けられており、通電腕１３を支持腕１０と
独立して持上げることができる構造となつてい
る。従つてこれらの供給及び取出位置においては
リードフレーム５０の着脱を行うことができる。
なお第１図に示される２０はめつき槽１の槽底に
設けられためつき用の陽極である。
説明すると、第１図〜第４図に示す第１の実施例
において、１はめつき槽、２はその側方に設けら
れた機枠２上のガイドレール４に案内されつつめ
つき槽１に沿つて間歇的に移動するコンベアチエ
ーンである。第４図に示されるようにこのコンベ
アチエーン３は大型のスプロケツト５，６間に張
設され、図示の方向に駆動されるものである。こ
のコンベアチエーン３のチエーンリンクは一定間
隔でプラケツト７が設けられており、該プラケツ
ト７には支柱８がピン９を中心として揺動できる
ように取付けられている。そして支柱８には支柱
８が第１図に実線で示す垂直位置にあるときには
先端がめつき槽１の内部に水平に浸漬される支持
腕１０が固定されている。第２図に示されるよう
に、支持腕１０の上面には孔明板からなるＶ字状
に開いた支持板１１が設けられている。この支持
板１１はめつきされる短尺のリードフレーム５０
の下端を支持するためのものである。また支持腕
１０の上方には先端部下面にリードフレーム５０
の上端中央を押圧する逆Ｖ字状の通電片１２を備
えた通電腕１３が設けられている。第１の実施例
では、通電腕１３は２本の平行リンク１４，１５
によつて支柱８に支持腕１０とは独立して昇降可
能に支持されており、通電腕１３をリードフレー
ム５０の上端と平行に昇降させることができるの
で、通電片１２はリードフレーム５０の長手方向
に複数個形成することもできる。通電片１２はリ
ード線１６によつて支持腕１０の通電部１７と接
続されている。またこの通電部１７の下面は機枠
２の側面に突設された昇降レール１８の上面と常
に接触している。昇降レール１８はめつき槽１の
区切り部分等において支持腕１０を第１図に想像
線で示す位置まで押上げる役割を持つとともに、
通電腕１３、リード線１６、通電部１７を介して
めつき用の電流をマイナス電源に流す役割を持つ
ものである。また第４図に示す供給及びび取出位
置には、通電腕１３を支持する平行リンク１５の
一方と係合する外しレール１９が第３図に示すよ
うに設けられており、通電腕１３を支持腕１０と
独立して持上げることができる構造となつてい
る。従つてこれらの供給及び取出位置においては
リードフレーム５０の着脱を行うことができる。
なお第１図に示される２０はめつき槽１の槽底に
設けられためつき用の陽極である。
第５図及び第６図に示される第２の実施例で
は、支持腕１０の上方に設けられた通電腕１３は
ピン２１によつて直接支柱８に枢着されており、
外しレール１９によつて円弧状に持ち上げられ
る。この実施例ではリードフレーム５０の高さが
変化すると下降位置において通電腕１３と支持腕
１０とは平行位置を取らなくなるので、中央に１
個のみの通電片１２を設けたが、天秤式のリンク
等を介在させることにより複数個の通電片１２を
設けることも可能である。
は、支持腕１０の上方に設けられた通電腕１３は
ピン２１によつて直接支柱８に枢着されており、
外しレール１９によつて円弧状に持ち上げられ
る。この実施例ではリードフレーム５０の高さが
変化すると下降位置において通電腕１３と支持腕
１０とは平行位置を取らなくなるので、中央に１
個のみの通電片１２を設けたが、天秤式のリンク
等を介在させることにより複数個の通電片１２を
設けることも可能である。
作用
このように構成された本発明のリードフレーム
のめつき用給電支持装置は、供給位置において通
電腕１３のみを上方へ持上げ、リードフレーム５
０の支持腕１０の上面のＶ字状の支持板１１上へ
載置したうえで通電腕１３を下降させれば、通電
腕１３の自重によつて逆Ｖ字状の通電片１２がリ
ードフレーム５０を位置決めしつつその上面中央
を一定の強さで押圧することとなる。そこでコン
ベアチエーン３を駆動すれば、支持腕１０は通電
腕１３とともにめつき槽１の内部を間歇的に進行
しつつ通電片１２を介してリードフレーム５０へ
の通電を行い、リードフレーム５０にめつき処理
が行われる。このとき、リードフレーム５０に浮
力が生じたとしても、リードフレーム５０はそれ
よりはるかに強い力で上端を通電片１２により押
圧されているので給電が不安定となることもな
く、リードフレーム５０の全体に均一にめつき処
理が施される。なお、めつき槽１への出入りの部
分やめつき槽と水洗槽との区切りの部分等におい
ては、支持腕１０は昇降レール１８により上方へ
持上げられるが、このときには通電腕１３も同時
に持上げられることとなる。
のめつき用給電支持装置は、供給位置において通
電腕１３のみを上方へ持上げ、リードフレーム５
０の支持腕１０の上面のＶ字状の支持板１１上へ
載置したうえで通電腕１３を下降させれば、通電
腕１３の自重によつて逆Ｖ字状の通電片１２がリ
ードフレーム５０を位置決めしつつその上面中央
を一定の強さで押圧することとなる。そこでコン
ベアチエーン３を駆動すれば、支持腕１０は通電
腕１３とともにめつき槽１の内部を間歇的に進行
しつつ通電片１２を介してリードフレーム５０へ
の通電を行い、リードフレーム５０にめつき処理
が行われる。このとき、リードフレーム５０に浮
力が生じたとしても、リードフレーム５０はそれ
よりはるかに強い力で上端を通電片１２により押
圧されているので給電が不安定となることもな
く、リードフレーム５０の全体に均一にめつき処
理が施される。なお、めつき槽１への出入りの部
分やめつき槽と水洗槽との区切りの部分等におい
ては、支持腕１０は昇降レール１８により上方へ
持上げられるが、このときには通電腕１３も同時
に持上げられることとなる。
発明の効果
本発明は以上の説明からも明らかなように、リ
ードフレームの下端を支持する支持板を持つ支持
腕の上方に、逆Ｖ字状の通電片を持つ通電腕を昇
降可能に設けたものであるので、従来のようにリ
ードフレームがそれ自体の重量によりカソード接
触部と接触していたものとは異なり、通電片とリ
ードフレームとの間の接触圧はほぼ一定に維持さ
れることとなり、給電が不安定となることもなく
安定しためつきを行うことができる。また本発明
においては支持板をＶ字状としたうえ、支持腕と
通電腕とを独立して昇降できるようにしたので、
リードフレームの着脱もきわめて容易に行える利
点がある。よつて本発明は従来の問題点を一掃し
たリードフレームのめつき用給電支持装置とし
て、業界に寄与するところは極めて大きいもので
ある。
ードフレームの下端を支持する支持板を持つ支持
腕の上方に、逆Ｖ字状の通電片を持つ通電腕を昇
降可能に設けたものであるので、従来のようにリ
ードフレームがそれ自体の重量によりカソード接
触部と接触していたものとは異なり、通電片とリ
ードフレームとの間の接触圧はほぼ一定に維持さ
れることとなり、給電が不安定となることもなく
安定しためつきを行うことができる。また本発明
においては支持板をＶ字状としたうえ、支持腕と
通電腕とを独立して昇降できるようにしたので、
リードフレームの着脱もきわめて容易に行える利
点がある。よつて本発明は従来の問題点を一掃し
たリードフレームのめつき用給電支持装置とし
て、業界に寄与するところは極めて大きいもので
ある。
第１図は本発明の第１の実施例を示す一部切欠
正面図、第２図はその要部を示す斜視図、第３図
はその供給、取出位置における状態を示す正面
図、第４図はめつき用給電支持装置全体の平面
図、第５図は本発明の第２の実施例を示す一部切
欠正面図、第６図はその供給、取出位置における
状態を示す正面図である。 １０：支持腕、１１：支持片、１２：通電片、
１３：通電腕、５０：リードフレーム。
正面図、第２図はその要部を示す斜視図、第３図
はその供給、取出位置における状態を示す正面
図、第４図はめつき用給電支持装置全体の平面
図、第５図は本発明の第２の実施例を示す一部切
欠正面図、第６図はその供給、取出位置における
状態を示す正面図である。 １０：支持腕、１１：支持片、１２：通電片、
１３：通電腕、５０：リードフレーム。
Claims (1)
- １ 昇降動できる支持腕１０の上面にリードフレ
ーム５０の下端を支持するＶ字状の支持板１１を
設けるとともに、該支持腕１０の上方には先端部
下面にリードフレーム５０の上端中央を押圧する
逆Ｖ字状の通電片１２を備えた通電腕１３を、支
持腕１０とは独立して昇降可能に設けたことを特
徴とするリードフレームのめつき用給電支持装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61184872A JPS6342398A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | リードフレームのめっき用給電支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61184872A JPS6342398A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | リードフレームのめっき用給電支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6342398A JPS6342398A (ja) | 1988-02-23 |
| JPH057479B2 true JPH057479B2 (ja) | 1993-01-28 |
Family
ID=16160787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61184872A Granted JPS6342398A (ja) | 1986-08-06 | 1986-08-06 | リードフレームのめっき用給電支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6342398A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0526457U (ja) * | 1991-09-06 | 1993-04-06 | シオジマ企画株式会社 | 印影保護シール |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6695264B2 (ja) * | 2016-12-05 | 2020-05-20 | 三菱電機株式会社 | めっき装置、めっき方法およびめっき製品の製造方法 |
-
1986
- 1986-08-06 JP JP61184872A patent/JPS6342398A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0526457U (ja) * | 1991-09-06 | 1993-04-06 | シオジマ企画株式会社 | 印影保護シール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6342398A (ja) | 1988-02-23 |
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