JPH0574916A - 流体を用いる搬送装置 - Google Patents
流体を用いる搬送装置Info
- Publication number
- JPH0574916A JPH0574916A JP23668291A JP23668291A JPH0574916A JP H0574916 A JPH0574916 A JP H0574916A JP 23668291 A JP23668291 A JP 23668291A JP 23668291 A JP23668291 A JP 23668291A JP H0574916 A JPH0574916 A JP H0574916A
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- Japan
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- specific resistance
- liquid
- transport
- fluid
- carrier
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 流体を用いる搬送装置における搬送用液の摩
擦静電気の発生を防止する改良に関し、簡単且つ容易に
設けることが可能な手段により、搬送用液に摩擦静電気
が発生するのを防止することが可能となる流体を用いる
搬送装置の提供を目的とする。 【構成】 搬送用液２が流れる搬送管１内において、被
搬送物７をこの搬送用液２を用いて搬送する流体を用い
る搬送装置であって、この搬送用液２をこの搬送管１内
において流動させるポンプ５と、この搬送用液２の比抵
抗を測定する、この搬送管１のバイパスであるモニタ管
3aと比抵抗計3bとからなるこの比抵抗測定モニタ３と、
この比抵抗測定モニタ３により得られた比抵抗値に基づ
き、コントローラ４により回転数を制御されるこのポン
プ５とを具備するように構成する。
擦静電気の発生を防止する改良に関し、簡単且つ容易に
設けることが可能な手段により、搬送用液に摩擦静電気
が発生するのを防止することが可能となる流体を用いる
搬送装置の提供を目的とする。 【構成】 搬送用液２が流れる搬送管１内において、被
搬送物７をこの搬送用液２を用いて搬送する流体を用い
る搬送装置であって、この搬送用液２をこの搬送管１内
において流動させるポンプ５と、この搬送用液２の比抵
抗を測定する、この搬送管１のバイパスであるモニタ管
3aと比抵抗計3bとからなるこの比抵抗測定モニタ３と、
この比抵抗測定モニタ３により得られた比抵抗値に基づ
き、コントローラ４により回転数を制御されるこのポン
プ５とを具備するように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、流体を用いる搬送装置
に係り、特に搬送用液の摩擦静電気の発生を防止する改
良に関するものである。
に係り、特に搬送用液の摩擦静電気の発生を防止する改
良に関するものである。
【０００２】近年の半導体装置の製造工程においては、
半導体素子の高集積化に伴うパターンの微細化に対応し
て製造装置内や製造装置間の搬送中に半導体素子に異物
が付着して品質が低下するのを防止するため、液体によ
り半導体ウエーハを搬送する流体を用いる搬送装置が用
いられるようになったが、搬送用液に摩擦静電気が発生
する障害が生じている。
半導体素子の高集積化に伴うパターンの微細化に対応し
て製造装置内や製造装置間の搬送中に半導体素子に異物
が付着して品質が低下するのを防止するため、液体によ
り半導体ウエーハを搬送する流体を用いる搬送装置が用
いられるようになったが、搬送用液に摩擦静電気が発生
する障害が生じている。
【０００３】以上のような状況から、流体を用いる搬送
装置において搬送用液に摩擦静電気が発生する障害が生
じるのを防止することが可能な流体を用いる搬送装置が
要望されている。
装置において搬送用液に摩擦静電気が発生する障害が生
じるのを防止することが可能な流体を用いる搬送装置が
要望されている。
【０００４】
【従来の技術】従来の流体を用いる搬送装置について図
３により説明する。図３は従来の流体を用いる搬送装置
の構成を示す図である。
３により説明する。図３は従来の流体を用いる搬送装置
の構成を示す図である。
【０００５】図に示すように、搬送管21内を流れる搬送
用液22、例えば純水はポンプ25によって送られており、
被搬送物７はこの純水によって搬送されている。このよ
うに純水により高速で被搬送物７を搬送すると、純水中
に発生した摩擦静電気が蓄積されるようになっている。
用液22、例えば純水はポンプ25によって送られており、
被搬送物７はこの純水によって搬送されている。このよ
うに純水により高速で被搬送物７を搬送すると、純水中
に発生した摩擦静電気が蓄積されるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の流
体を用いる搬送装置においては、被搬送物を純水のよう
な搬送用液を用いて高速で搬送すると、純水の比抵抗値
が大きいために純水中に摩擦静電気が発生して蓄積さ
れ、被搬送物、例えば半導体ウエーハに静電気による障
害が発生するという問題点があった。
体を用いる搬送装置においては、被搬送物を純水のよう
な搬送用液を用いて高速で搬送すると、純水の比抵抗値
が大きいために純水中に摩擦静電気が発生して蓄積さ
れ、被搬送物、例えば半導体ウエーハに静電気による障
害が発生するという問題点があった。
【０００７】本発明は以上のような状況から、簡単且つ
容易に設けることが可能な手段により、搬送用液に摩擦
静電気が発生するのを防止することが可能となる流体を
用いる搬送装置の提供を目的としたものである。
容易に設けることが可能な手段により、搬送用液に摩擦
静電気が発生するのを防止することが可能となる流体を
用いる搬送装置の提供を目的としたものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の流体を用いる搬
送装置は、搬送用液が流れる搬送管内において、被搬送
物をこの搬送用液を用いて搬送する流体を用いる搬送装
置であって、この搬送用液をこの搬送管内において流動
させるポンプと、この搬送用液の比抵抗を測定する比抵
抗測定モニターと、この比抵抗測定モニターにより得ら
れた比抵抗値に基づき、この搬送用液の比抵抗値を所定
の値に維持する手段とを具備するように構成する。
送装置は、搬送用液が流れる搬送管内において、被搬送
物をこの搬送用液を用いて搬送する流体を用いる搬送装
置であって、この搬送用液をこの搬送管内において流動
させるポンプと、この搬送用液の比抵抗を測定する比抵
抗測定モニターと、この比抵抗測定モニターにより得ら
れた比抵抗値に基づき、この搬送用液の比抵抗値を所定
の値に維持する手段とを具備するように構成する。
【０００９】
【作用】即ち本発明においては、搬送管内を流れる搬送
用液の比抵抗を比抵抗測定モニターで測定し、この比抵
抗測定モニターにより得られた比抵抗値に基づき、比抵
抗値を所定の値に維持する手段を用いてこの搬送用液の
比抵抗値を維持するので、搬送用液に摩擦静電気が発生
して蓄積されるのを防止することが可能となり、半導体
ウエーハに静電気による障害が発生するのを防止するこ
とが可能となる。
用液の比抵抗を比抵抗測定モニターで測定し、この比抵
抗測定モニターにより得られた比抵抗値に基づき、比抵
抗値を所定の値に維持する手段を用いてこの搬送用液の
比抵抗値を維持するので、搬送用液に摩擦静電気が発生
して蓄積されるのを防止することが可能となり、半導体
ウエーハに静電気による障害が発生するのを防止するこ
とが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下図１により本発明の第１の実施例、図２
により本発明の第２の実施例について詳細に説明する。
により本発明の第２の実施例について詳細に説明する。
【００１１】図１は本発明による第１の実施例の流体に
よる搬送装置の構成を示す図、図２は本発明による第２
の実施例の流体による搬送装置の構成を示す図である。
図１に示すように、搬送管１内を流れる搬送用液２、例
えば純水はポンプ５によって送られており、被搬送物７
はこの純水によって搬送されている。
よる搬送装置の構成を示す図、図２は本発明による第２
の実施例の流体による搬送装置の構成を示す図である。
図１に示すように、搬送管１内を流れる搬送用液２、例
えば純水はポンプ５によって送られており、被搬送物７
はこの純水によって搬送されている。
【００１２】第１の実施例においてはこの搬送管１のバ
イバスとして比抵抗計3bを含むモニター管3aからなる比
抵抗測定モニター３を設けており、この比抵抗計3bによ
り得られた搬送用液２の比抵抗値に基づき、コントロー
ラ４によりポンプ５の回転数を制御して流量を減少さ
せ、搬送用液２の流速を減速するか或いは比抵抗値が著
しく小さくなった場合にはポンプ５を停止して搬送用液
２の流れを停止する。
イバスとして比抵抗計3bを含むモニター管3aからなる比
抵抗測定モニター３を設けており、この比抵抗計3bによ
り得られた搬送用液２の比抵抗値に基づき、コントロー
ラ４によりポンプ５の回転数を制御して流量を減少さ
せ、搬送用液２の流速を減速するか或いは比抵抗値が著
しく小さくなった場合にはポンプ５を停止して搬送用液
２の流れを停止する。
【００１３】図２に示すように、搬送管11内を流れる搬
送用液12、例えば純水はポンプ15によって送られてお
り、被搬送物７はこの純水で搬送されている。第２の実
施例においても第１の実施例と同様に比抵抗測定モニタ
ー３により得られた搬送用液12の比抵抗値に基づき、コ
ントローラ14を用いてバルブ６の開度を制御してこのバ
ルブ６を通じて供給するガス、例えば炭酸ガスの量を調
節して搬送用液12の比抵抗値を制御して所定の比抵抗値
にする。
送用液12、例えば純水はポンプ15によって送られてお
り、被搬送物７はこの純水で搬送されている。第２の実
施例においても第１の実施例と同様に比抵抗測定モニタ
ー３により得られた搬送用液12の比抵抗値に基づき、コ
ントローラ14を用いてバルブ６の開度を制御してこのバ
ルブ６を通じて供給するガス、例えば炭酸ガスの量を調
節して搬送用液12の比抵抗値を制御して所定の比抵抗値
にする。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば極めて簡単な構造の変更により、被搬送物を搬
送する搬送用液の比抵抗値を所定の比抵抗値に保持する
ことが可能となる利点があり、著しい経済的及び、信頼
性向上の効果が期待できる流体を用いる搬送装置の提供
が可能である。
によれば極めて簡単な構造の変更により、被搬送物を搬
送する搬送用液の比抵抗値を所定の比抵抗値に保持する
ことが可能となる利点があり、著しい経済的及び、信頼
性向上の効果が期待できる流体を用いる搬送装置の提供
が可能である。
【図１】 本発明による第１の実施例の流体を用いる搬
送装置の構成を示す図、
送装置の構成を示す図、
【図２】 本発明による第２の実施例の流体を用いる搬
送装置の構成を示す図、
送装置の構成を示す図、
【図３】 従来の流体を用いる搬送装置の構成を示す
図、
図、
1,11は搬送管、2,12は搬送用液、３は比抵抗測定モニタ
ー、3aはモニター管、3bは比抵抗計、4,14はコントロー
ラ、5,15はポンプ、６はバルブ、７は被搬送物、
ー、3aはモニター管、3bは比抵抗計、4,14はコントロー
ラ、5,15はポンプ、６はバルブ、７は被搬送物、
Claims (3)
- 【請求項１】 搬送用液(2) が流れる搬送管(1) 内にお
いて、被搬送物(7)を前記搬送用液(2) を用いて搬送す
る流体を用いる搬送装置であって、 前記搬送用液(2) を前記搬送管(1) 内において流動させ
るポンプ(5) と、 前記搬送用液(2) の比抵抗を測定する比抵抗測定モニタ
ー(3) と、 該比抵抗測定モニター(3)により得られた比抵抗値に基
づき、前記搬送用液(2)の比抵抗値を所定の値に維持す
る手段と、 を具備することを特徴とする流体を用いる搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の流体を用いる搬送装置で
あって、 前記搬送管(1) のバイパスであるモニター管(3a)と比抵
抗計(3b)とからなる前記比抵抗測定モニター(3) と、 該比抵抗測定モニター(3)に２り得られた比抵抗値に基
づき、コントローラ(4)により回転数を制御される前記
ポンプ(5) と、 を具備することを特徴とする流体を用いる搬送装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の流体を用いる搬送装置で
あって、 前記搬送管(1) のバイパスであるモニター管(3a)と比抵
抗計(3b)とからなる前記比抵抗測定モニター(3) と、 該比抵抗測定モニター(3) により得られた比抵抗値に基
づき、コントローラ(14)により開度を制御されるバルブ
(6) と、 を具備することを特徴とする流体を用いる搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23668291A JPH0574916A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 流体を用いる搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23668291A JPH0574916A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 流体を用いる搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574916A true JPH0574916A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=17004219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23668291A Withdrawn JPH0574916A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 流体を用いる搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0574916A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06298361A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-10-25 | Kawasaki Steel Corp | ウエハ移送装置 |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP23668291A patent/JPH0574916A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06298361A (ja) * | 1993-04-20 | 1994-10-25 | Kawasaki Steel Corp | ウエハ移送装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |