JPH0575707B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0575707B2 JPH0575707B2 JP61005676A JP567686A JPH0575707B2 JP H0575707 B2 JPH0575707 B2 JP H0575707B2 JP 61005676 A JP61005676 A JP 61005676A JP 567686 A JP567686 A JP 567686A JP H0575707 B2 JPH0575707 B2 JP H0575707B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- transparent
- bonding
- laser light
- bonded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C27/00—Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
- C03C27/04—Joining glass to metal by means of an interlayer
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Joining Of Glass To Other Materials (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、一般に透明体を他の基材に対し高精
度で強固に接合する技術に関する。
度で強固に接合する技術に関する。
［従来の技術］
一般に、無機材料あるいは有機材料の透明体を
接合する場合、樹脂系の接着材を用いて加熱硬化
させるかあるいは紫外線硬化樹脂を用い紫外光を
照射することにより接着硬化させる方法が簡便な
方法として用いられている。
接合する場合、樹脂系の接着材を用いて加熱硬化
させるかあるいは紫外線硬化樹脂を用い紫外光を
照射することにより接着硬化させる方法が簡便な
方法として用いられている。
［発明が解決しようとする問題点］
上記従来の方法では、使用している間に接着材
層の熱膨張係数が接合物より大きいので環境温度
サイクルの影響を受けて接合物同志が位置ずれし
たり、あるいは使用限界温度に大きな制約がある
（例えば、樹脂系接着剤の場合、通常百数十℃）
といつた問題がある。また接着部の輪郭形状を精
密に制御できない欠点がある。
層の熱膨張係数が接合物より大きいので環境温度
サイクルの影響を受けて接合物同志が位置ずれし
たり、あるいは使用限界温度に大きな制約がある
（例えば、樹脂系接着剤の場合、通常百数十℃）
といつた問題がある。また接着部の輪郭形状を精
密に制御できない欠点がある。
また紫外線硬化型の樹脂接着材でも硬化中に収
縮を生じ、精密な位置合せを必要とする用途に使
用し得ないという問題があつた。
縮を生じ、精密な位置合せを必要とする用途に使
用し得ないという問題があつた。
［問題点を解決するための手段］
透明体を他の基材に接合するに当り、透明体の
接合面要所に予め高周波スパツタリング、真空蒸
着等の方法により金属等のレーザ光吸収薄膜を設
け、この薄膜に接合基板面を密着させた後、透明
体を通して上記薄膜にYAGレーザ等の高パワー
のレーザ光ビームを照射する。
接合面要所に予め高周波スパツタリング、真空蒸
着等の方法により金属等のレーザ光吸収薄膜を設
け、この薄膜に接合基板面を密着させた後、透明
体を通して上記薄膜にYAGレーザ等の高パワー
のレーザ光ビームを照射する。
［作用］
上記レーザ光の照射で接合面に予め設けられた
レーザ光の吸収体膜が急速に加熱されて溶融状態
となり、その後固化することにより両接合物を接
着することになる。
レーザ光の吸収体膜が急速に加熱されて溶融状態
となり、その後固化することにより両接合物を接
着することになる。
［実施例］
以下本発明を図面に示した実施例に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図、第２図において１は透明体、一例とし
て光導波路２が形成されたガラス、LiNbO3、
LiTaO3等からなる導波路基板であり、この透明
基板１を金属製ケーシングモジユール３の平坦な
表面３Ａに固着するに当り以下のようにする。ま
ず透明基板１の接合面１Ａの要所、例えば両側縁
付近に帯状にレーザ光吸収薄膜５を予め付着形成
する。この薄膜５は使用するレーザ光の波長域で
充分な吸収係数をもつ材料から成り、且つ膜厚は
充分に薄いことが望ましい。一般には高周波スパ
ツタリングあるいは真空蒸着で付着形成した厚み
数千オングストロームないし数十マイクロメート
ルの金属膜が好適であり、特にガラス部材同志あ
るいはガラスと金属材との接合には薄膜５の材質
としてSUS304ステンレス鋼が好適である。
て光導波路２が形成されたガラス、LiNbO3、
LiTaO3等からなる導波路基板であり、この透明
基板１を金属製ケーシングモジユール３の平坦な
表面３Ａに固着するに当り以下のようにする。ま
ず透明基板１の接合面１Ａの要所、例えば両側縁
付近に帯状にレーザ光吸収薄膜５を予め付着形成
する。この薄膜５は使用するレーザ光の波長域で
充分な吸収係数をもつ材料から成り、且つ膜厚は
充分に薄いことが望ましい。一般には高周波スパ
ツタリングあるいは真空蒸着で付着形成した厚み
数千オングストロームないし数十マイクロメート
ルの金属膜が好適であり、特にガラス部材同志あ
るいはガラスと金属材との接合には薄膜５の材質
としてSUS304ステンレス鋼が好適である。
上記のようにして薄膜５を設けた透明基板１の
接合面１Ａをケーシングモジユールの接合面３Ａ
に密着させ、両者を挾持固定具等により仮固定す
る。次に、透明基板１の上方から高パワーのレー
ザ光ビーム６を、基板１を透過させて上記薄膜５
に照射する。一例としてNd−YAGパルスレーザ
により１〜10ジユール、１〜３ミリ秒のパルスを
接合面より若干上部に焦点を合せて照射する。こ
れによりレーザ照射箇所の薄膜５の部分が瞬時に
溶融固着して両接合部材１，３が強固に接着され
る。レーザ光ビーム６を薄膜５に照射する場合、
薄膜５の平面パターンが直線状であれば、パルス
発振あるいは連続発振のYAGレーザのビーム６
を上記薄膜５に沿つて矢符７の方向に走査させる
ことができる。まだ間隔をおいた適宜数の箇所で
薄膜５にレーザ光ビーム６を照射してもよい。第
３図、第４図に本発明の他の実施例を示す。本例
は、液晶、EL、ECDなどのデイスプレイ素子の
基板ガラス１０とネサガラス１１とを全周にわた
り気密に接合する場合に本発明を適用したもので
あり、両ガラス板１０，１１の各接合面に額縁帯
状に例えばステンレスを蒸着して薄膜５Ａ，５Ｂ
を設け、上記両薄膜５Ａ，５Ｂを重ねて両ガラス
板１０，１１を合せ、ネサガラス１１の上面から
接合面に焦点を合せて連続発振またはパルス発振
のYAGレーザビーム６を照射しつつ薄膜５Ａ，
５Ｂの全周に沿つてビーム６を走査７する。本発
明方法は透明無機材料の接合のみならず、レーザ
照射条件および薄膜材質を適当に選択することに
よつて透明有機材料の接合にも用いることができ
る。
接合面１Ａをケーシングモジユールの接合面３Ａ
に密着させ、両者を挾持固定具等により仮固定す
る。次に、透明基板１の上方から高パワーのレー
ザ光ビーム６を、基板１を透過させて上記薄膜５
に照射する。一例としてNd−YAGパルスレーザ
により１〜10ジユール、１〜３ミリ秒のパルスを
接合面より若干上部に焦点を合せて照射する。こ
れによりレーザ照射箇所の薄膜５の部分が瞬時に
溶融固着して両接合部材１，３が強固に接着され
る。レーザ光ビーム６を薄膜５に照射する場合、
薄膜５の平面パターンが直線状であれば、パルス
発振あるいは連続発振のYAGレーザのビーム６
を上記薄膜５に沿つて矢符７の方向に走査させる
ことができる。まだ間隔をおいた適宜数の箇所で
薄膜５にレーザ光ビーム６を照射してもよい。第
３図、第４図に本発明の他の実施例を示す。本例
は、液晶、EL、ECDなどのデイスプレイ素子の
基板ガラス１０とネサガラス１１とを全周にわた
り気密に接合する場合に本発明を適用したもので
あり、両ガラス板１０，１１の各接合面に額縁帯
状に例えばステンレスを蒸着して薄膜５Ａ，５Ｂ
を設け、上記両薄膜５Ａ，５Ｂを重ねて両ガラス
板１０，１１を合せ、ネサガラス１１の上面から
接合面に焦点を合せて連続発振またはパルス発振
のYAGレーザビーム６を照射しつつ薄膜５Ａ，
５Ｂの全周に沿つてビーム６を走査７する。本発
明方法は透明無機材料の接合のみならず、レーザ
照射条件および薄膜材質を適当に選択することに
よつて透明有機材料の接合にも用いることができ
る。
［発明の効果］
本発明によれば、透明な被接合物を正確に限定
された所望の箇所で接合することができ、且つ接
着時に接合面の位置ずれを生じることがなく精密
なアライメント接合が可能となるとともに、接着
部領域が極めて限定されている細密な部品でも不
側の箇所で接合されるといつた問題が生じない。
さらに、熱の拡散距離がレーザによるスポツト
（一般に0.2〜1.0mmφ）の数倍以下と小さく、熱
的に弱い部材が接合部近くにあつても何ら悪影響
を与えずに接合できるという利点がある。また、
接合面の周辺部分だけでなく、接合面の全面で接
着することもできる。
された所望の箇所で接合することができ、且つ接
着時に接合面の位置ずれを生じることがなく精密
なアライメント接合が可能となるとともに、接着
部領域が極めて限定されている細密な部品でも不
側の箇所で接合されるといつた問題が生じない。
さらに、熱の拡散距離がレーザによるスポツト
（一般に0.2〜1.0mmφ）の数倍以下と小さく、熱
的に弱い部材が接合部近くにあつても何ら悪影響
を与えずに接合できるという利点がある。また、
接合面の周辺部分だけでなく、接合面の全面で接
着することもできる。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２
図は同実施例で用いる透明体の接合面を示す斜視
図、第３図は本発明の他の実施例を示す平面図、
第４図は同側断面図である。 １，１０，１１……被接合透明体、５，５Ａ，
５Ｂ……レーザ光吸収薄膜、６……レーザ光ビー
ム、７……走査方向。
図は同実施例で用いる透明体の接合面を示す斜視
図、第３図は本発明の他の実施例を示す平面図、
第４図は同側断面図である。 １，１０，１１……被接合透明体、５，５Ａ，
５Ｂ……レーザ光吸収薄膜、６……レーザ光ビー
ム、７……走査方向。
Claims (1)
- １ 透明の光学部品を、他の光学部品、ガラス、
セラミツクもしくは金属に接合する方法におい
て、該部品の接合面要所に予めスパツタリング法
によりレーザ光吸収薄膜を設け、この薄膜に基材
接合面を密接させた後、該部品の透明部分を通し
て前記薄膜にレーザ光を照射することを特徴とす
る透明体の接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP567686A JPS62162656A (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 | 透明体の接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP567686A JPS62162656A (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 | 透明体の接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62162656A JPS62162656A (ja) | 1987-07-18 |
| JPH0575707B2 true JPH0575707B2 (ja) | 1993-10-21 |
Family
ID=11617701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP567686A Granted JPS62162656A (ja) | 1986-01-14 | 1986-01-14 | 透明体の接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62162656A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3783117T2 (de) * | 1986-08-18 | 1993-06-17 | Philips Nv | Verbindung eines elementes aus glass oder keramik und eines elementes aus metall. |
| JP2005209413A (ja) * | 2004-01-20 | 2005-08-04 | Sanyo Electric Co Ltd | 表示パネルの製造方法および表示パネル |
| JP4522872B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2010-08-11 | シャープ株式会社 | ガラス基板の修復方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60182191A (ja) * | 1984-02-29 | 1985-09-17 | キヤノン株式会社 | レ−ザ−はんだ付け用印刷配線板 |
| NL8400939A (nl) * | 1984-03-23 | 1985-10-16 | Drukker D & Zn Nv | Werkwijze voor het bevestigen van een onderdeel uit diamant op metaal. |
-
1986
- 1986-01-14 JP JP567686A patent/JPS62162656A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62162656A (ja) | 1987-07-18 |
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