JPH057674A - ボタン供給装置 - Google Patents
ボタン供給装置Info
- Publication number
- JPH057674A JPH057674A JP16461091A JP16461091A JPH057674A JP H057674 A JPH057674 A JP H057674A JP 16461091 A JP16461091 A JP 16461091A JP 16461091 A JP16461091 A JP 16461091A JP H057674 A JPH057674 A JP H057674A
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- JP
- Japan
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- button
- opening
- feed plate
- feeder bowl
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Abstract
(57)【要約】
【目的】複数種類のボタンが混入していても確実かつ適
正なボタン送りをするボタン供給装置。 【構成】中心にボタン配置部を有し、ボタン配置部の周
囲に螺旋状にボタンが通過可能な螺旋状傾斜路を有し、
その開口部の手前にボタン検知部を有し、振動によりボ
タンを開口部まで進出させるフィ−ダ−ボウルと、周囲
に複数種類のボタンが嵌挿可能な開口部を複数有し、モ
−タ−による回動により各開口部が前記フィ−ダ−ボウ
ルの開口端と選択的に対向に支持されたボタン送り板と
からなり、前記ボタン検知部の検知結果によりボタン送
り板の回動角度を変化させる。
正なボタン送りをするボタン供給装置。 【構成】中心にボタン配置部を有し、ボタン配置部の周
囲に螺旋状にボタンが通過可能な螺旋状傾斜路を有し、
その開口部の手前にボタン検知部を有し、振動によりボ
タンを開口部まで進出させるフィ−ダ−ボウルと、周囲
に複数種類のボタンが嵌挿可能な開口部を複数有し、モ
−タ−による回動により各開口部が前記フィ−ダ−ボウ
ルの開口端と選択的に対向に支持されたボタン送り板と
からなり、前記ボタン検知部の検知結果によりボタン送
り板の回動角度を変化させる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ボタン付け用ミシンに
ボタンを供給するための装置であり、複数のサイズのボ
タンが混入していても、供給されるボタンのサイズに合
わせて自動的にボタンをミシンへ供給するためのボタン
供給装置に関する。
ボタンを供給するための装置であり、複数のサイズのボ
タンが混入していても、供給されるボタンのサイズに合
わせて自動的にボタンをミシンへ供給するためのボタン
供給装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図6は、従来のボタン供給装置を示す図
であり、図において、11はフィ−ダ−ボウルであり、
中心部に円形のボタン配置部12を形成し、その周囲に
沿って螺旋状に徐々に高くなり、ボタンが通過可能な螺
旋状傾斜路13が形成されており、最高部に開口端14
を有する。また、フィ−ダ−ボウル11は、その下部
に、不図示の振動源を有していて、振動源の駆動によ
り、フィ−ダ−ボウル11の中心部に位置するボタン配
置部12を振動させることができるように構成されてい
る。15は、ボタン送り板であり、円盤の外周に、大、
中、小の3種類のボタンが各々嵌挿しうるような3種類
の開口部16a,16b,16cを複数有して、各開口
部が前記フィ−ダ−ボウル11の開口端14と対向する
位置に選択的に回動可能に支持されている。
であり、図において、11はフィ−ダ−ボウルであり、
中心部に円形のボタン配置部12を形成し、その周囲に
沿って螺旋状に徐々に高くなり、ボタンが通過可能な螺
旋状傾斜路13が形成されており、最高部に開口端14
を有する。また、フィ−ダ−ボウル11は、その下部
に、不図示の振動源を有していて、振動源の駆動によ
り、フィ−ダ−ボウル11の中心部に位置するボタン配
置部12を振動させることができるように構成されてい
る。15は、ボタン送り板であり、円盤の外周に、大、
中、小の3種類のボタンが各々嵌挿しうるような3種類
の開口部16a,16b,16cを複数有して、各開口
部が前記フィ−ダ−ボウル11の開口端14と対向する
位置に選択的に回動可能に支持されている。
【0003】従来のボタン供給装置は、以上のように構
成され、以下に述べるような作用をする。まず、作業者
は、大、中、小の3種類のボタンをフィ−ダ−ボウル1
1の中心部のボタン配置部12に配置する。次に、不図
示の振動源を駆動させて、フィ−ダ−ボウル11の中心
部のボタン配置部12を振動させる。すると、ボタン配
置部12に配置されたボタンは、振動により中心部から
外側に移動しようとするので、その周囲に沿って螺旋状
に形成された螺旋状傾斜路13の外壁に沿って登り詰
め、開口端14まで移動する。
成され、以下に述べるような作用をする。まず、作業者
は、大、中、小の3種類のボタンをフィ−ダ−ボウル1
1の中心部のボタン配置部12に配置する。次に、不図
示の振動源を駆動させて、フィ−ダ−ボウル11の中心
部のボタン配置部12を振動させる。すると、ボタン配
置部12に配置されたボタンは、振動により中心部から
外側に移動しようとするので、その周囲に沿って螺旋状
に形成された螺旋状傾斜路13の外壁に沿って登り詰
め、開口端14まで移動する。
【0004】そこで、作業者は、開口端14に移動して
きたボタンを観察し、例えば大のボタンであれば、ボタ
ン送り板15を回動させて、その開口部のうち、大のボ
タンが嵌挿しうる大の開口部16aを、フィ−ダ−ボウ
ル11の開口端14に対向させる。作業者は、フィ−ダ
−ボウル11の開口端14に進出してきたボタンを開口
端14に対向するボタン送り板15の大の開口部16a
に嵌挿させる。ボタン送り板15の大の開口部16aに
ボタンを嵌挿させたら、作業者はボタン送り板15を所
定角度だけ回動させて不図示のミシンの縫製部へボタン
が嵌挿した大の開口部を対向させた後、特開平3−86
189号公報に示すように周知の手段によりボタンを縫
製部へ移動し,セットして縫製作業を行っていた。
きたボタンを観察し、例えば大のボタンであれば、ボタ
ン送り板15を回動させて、その開口部のうち、大のボ
タンが嵌挿しうる大の開口部16aを、フィ−ダ−ボウ
ル11の開口端14に対向させる。作業者は、フィ−ダ
−ボウル11の開口端14に進出してきたボタンを開口
端14に対向するボタン送り板15の大の開口部16a
に嵌挿させる。ボタン送り板15の大の開口部16aに
ボタンを嵌挿させたら、作業者はボタン送り板15を所
定角度だけ回動させて不図示のミシンの縫製部へボタン
が嵌挿した大の開口部を対向させた後、特開平3−86
189号公報に示すように周知の手段によりボタンを縫
製部へ移動し,セットして縫製作業を行っていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のボ
タン供給装置においては、作業者が、フィ−ダ−ボウル
の開口端に進出してきたボタンを観察して、そのボタン
が嵌挿しうる大きさのボタン送り板の開口部を選択する
ので、その選択が適当でない場合にはボタンの供給不良
を引き起こすという問題点があった。
タン供給装置においては、作業者が、フィ−ダ−ボウル
の開口端に進出してきたボタンを観察して、そのボタン
が嵌挿しうる大きさのボタン送り板の開口部を選択する
ので、その選択が適当でない場合にはボタンの供給不良
を引き起こすという問題点があった。
【0006】例えば、ボタン送り板の大の開口部に小の
ボタンが複数個入ってしまったり、中の開口部に小のボ
タンが複数個入ってしまったりして縫製部へボタンを供
給した後に縫製をする際に余分なボタンが供給されてい
るために縫製の邪魔になったり、または小の開口部に中
のボタンを入れようとしたり、中の開口部に大のボタン
を入れようとして全くボタンが入らなかったりして、ボ
タンの供給が停止することがあった。
ボタンが複数個入ってしまったり、中の開口部に小のボ
タンが複数個入ってしまったりして縫製部へボタンを供
給した後に縫製をする際に余分なボタンが供給されてい
るために縫製の邪魔になったり、または小の開口部に中
のボタンを入れようとしたり、中の開口部に大のボタン
を入れようとして全くボタンが入らなかったりして、ボ
タンの供給が停止することがあった。
【0007】また、作業者がボタンの大きさに応じてボ
タン送り板を回動させて開口部をフィ−ダ−ボウルの開
口端に対向させるので、ボタンの大きさに対応する開口
部の大きさを判断のための時間とさらにボタン送り板を
回動させるための時間とがかかるので作業性が良くない
という問題点があった。
タン送り板を回動させて開口部をフィ−ダ−ボウルの開
口端に対向させるので、ボタンの大きさに対応する開口
部の大きさを判断のための時間とさらにボタン送り板を
回動させるための時間とがかかるので作業性が良くない
という問題点があった。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明に係るボタン供
給装置は、上記従来の課題を解決するためになされたも
のであり、中心部に円形のボタン配置部を形成し、その
周囲に沿って螺旋状に徐々に高くなる螺旋状傾斜路が形
成され、最高部に開口端を有し、開口端の手前にボタン
検知手段を有し、その下部に振動源を有するフィ−ダ−
ボウルと、外周に複数種類のボタンが各々嵌挿しうるよ
うな複数種類の開口部を有し、各開口部が前記フィ−ダ
−ボウルの開口端と対向する位置にモ−タ−により選択
的に回動可能に支持されているボタン送り板と、からな
り、ボタン検知手段の検知結果に基づいて、前記ボタン
送り板の回動角度を可変とするものである。
給装置は、上記従来の課題を解決するためになされたも
のであり、中心部に円形のボタン配置部を形成し、その
周囲に沿って螺旋状に徐々に高くなる螺旋状傾斜路が形
成され、最高部に開口端を有し、開口端の手前にボタン
検知手段を有し、その下部に振動源を有するフィ−ダ−
ボウルと、外周に複数種類のボタンが各々嵌挿しうるよ
うな複数種類の開口部を有し、各開口部が前記フィ−ダ
−ボウルの開口端と対向する位置にモ−タ−により選択
的に回動可能に支持されているボタン送り板と、からな
り、ボタン検知手段の検知結果に基づいて、前記ボタン
送り板の回動角度を可変とするものである。
【0009】
【作用】この発明に係るボタン供給装置は、フィ−ダ−
ボウルの開口端の手前に設けられたボタン検知手段の検
知結果に基づいて、ボタン送り板の回動角度を可変とす
る。
ボウルの開口端の手前に設けられたボタン検知手段の検
知結果に基づいて、ボタン送り板の回動角度を可変とす
る。
【0010】
【実施例】図1は、この発明の一実施例を示すボタン供
給装置を示す図であり、図において、1はフィ−ダ−ボ
ウルであり、中心部に大中小の3種類のボタンを配置す
る円形のボタン配置部2を形成し、その周囲に沿って螺
旋状に徐々に高くなる螺旋状傾斜路3が形成されてお
り、最高部に開口端4を有し、開口端の手前にボタン検
知部5が設けられている。
給装置を示す図であり、図において、1はフィ−ダ−ボ
ウルであり、中心部に大中小の3種類のボタンを配置す
る円形のボタン配置部2を形成し、その周囲に沿って螺
旋状に徐々に高くなる螺旋状傾斜路3が形成されてお
り、最高部に開口端4を有し、開口端の手前にボタン検
知部5が設けられている。
【0011】図2に示すようにボタン検知部5はセンサ
−ホルダ−5aと3個のセンサ−5b,5c,5dとか
らなり、フィ−ダ−ボウルの螺旋状傾斜路を覆うように
設けられ、フィ−ダ−ボウルの外壁6から小のボタンの
直径より小さい距離だけ離れた位置にセンサ5bを設
け、フィ−ダ−ボウルの外壁6から中のボタンの直径よ
り小さく、小のボタンの直径より大きい距離だけ離れた
位置にセンサ5cを設け、フィ−ダ−ボウルの外壁6か
ら大のボタンの直径より小さく、中のボタンの直径より
大きい距離だけ離れた位置にセンサ5dを設ける。
−ホルダ−5aと3個のセンサ−5b,5c,5dとか
らなり、フィ−ダ−ボウルの螺旋状傾斜路を覆うように
設けられ、フィ−ダ−ボウルの外壁6から小のボタンの
直径より小さい距離だけ離れた位置にセンサ5bを設
け、フィ−ダ−ボウルの外壁6から中のボタンの直径よ
り小さく、小のボタンの直径より大きい距離だけ離れた
位置にセンサ5cを設け、フィ−ダ−ボウルの外壁6か
ら大のボタンの直径より小さく、中のボタンの直径より
大きい距離だけ離れた位置にセンサ5dを設ける。
【0012】また、フィ−ダ−ボウルは、その下部に、
不図示の振動源を有していて、振動源の駆動により、フ
ィ−ダ−ボウルの中心部に位置するボタン配置部2を振
動させることができるように構成されている。7は、ボ
タン送り板であり、円盤の外周に、大、中、小の3種類
のボタンが各々嵌挿しうるような3種類の開口部7a,
7b,7cを各々四つずつ有していて、各開口部は30
度ずつずれて配置され、同種類の開口部は90ずつずれ
て配置されている。図3に示すようにボタン送り板7は
その中心に軸8を介してパルスモ−タ−9を設け、各開
口部が前記フィ−ダ−ボウルの開口端と対向する位置に
選択的に回動可能となるようにに支持されている。
不図示の振動源を有していて、振動源の駆動により、フ
ィ−ダ−ボウルの中心部に位置するボタン配置部2を振
動させることができるように構成されている。7は、ボ
タン送り板であり、円盤の外周に、大、中、小の3種類
のボタンが各々嵌挿しうるような3種類の開口部7a,
7b,7cを各々四つずつ有していて、各開口部は30
度ずつずれて配置され、同種類の開口部は90ずつずれ
て配置されている。図3に示すようにボタン送り板7は
その中心に軸8を介してパルスモ−タ−9を設け、各開
口部が前記フィ−ダ−ボウルの開口端と対向する位置に
選択的に回動可能となるようにに支持されている。
【0013】この発明の実施例のボタン供給装置は、以
上のように構成され、以下に述べるような作用をする。
まず、作業者は、大、中、小の3種類のボタンをフィ−
ダ−ボウルの中心部のボタン配置部に配置する。次に、
不図示の振動源を駆動させて、フィ−ダ−ボウルの中心
部のボタン配置部を振動させる。すると、ボタン配置部
に配置されたボタンは、振動により中心部から外側に移
動しようとするので、その周囲に沿って螺旋状に形成さ
れた螺旋状傾斜路の外壁に沿って登り詰め、開口端まで
移動する。ボタンが開口端の手前のボタン検知部を通過
するときにセンサ−1、2、3によりボタンの大きさを
検知する。
上のように構成され、以下に述べるような作用をする。
まず、作業者は、大、中、小の3種類のボタンをフィ−
ダ−ボウルの中心部のボタン配置部に配置する。次に、
不図示の振動源を駆動させて、フィ−ダ−ボウルの中心
部のボタン配置部を振動させる。すると、ボタン配置部
に配置されたボタンは、振動により中心部から外側に移
動しようとするので、その周囲に沿って螺旋状に形成さ
れた螺旋状傾斜路の外壁に沿って登り詰め、開口端まで
移動する。ボタンが開口端の手前のボタン検知部を通過
するときにセンサ−1、2、3によりボタンの大きさを
検知する。
【0014】図4に示すようにボタン検知部は四つの場
合を検知することができる。まず第1の場合は、センサ
−1(5b)、センサ−2(5c)、センサ−3(5
d)が共にオンであればボタンは大と検知する。第2の
場合は、センサ−1(5b)、センサ−2(5c)が共
にオンでセンサ−3(5d)がオフであればボタンは中
と検知する。第3の場合は、センサ−1(5b)がオン
でセンサ−2(5c)、センサ−3(5d)が共にオフ
であればボタンは小と検知する。第4の場合は、センサ
−1(5b)、センサ−2(5c)、センサ−3(5
d)が共にオフであればボタンは無しと検知する。図5
のブロック図に示すように、この検知結果に基づいてC
PU10a、メモリ10bはパルスモ−タ−9を駆動さ
せることによって、ボタン送り板7を回動させてボタン
の大きさに適合する開口部をフィ−ダ−ボウルの開口端
に対抗させる。
合を検知することができる。まず第1の場合は、センサ
−1(5b)、センサ−2(5c)、センサ−3(5
d)が共にオンであればボタンは大と検知する。第2の
場合は、センサ−1(5b)、センサ−2(5c)が共
にオンでセンサ−3(5d)がオフであればボタンは中
と検知する。第3の場合は、センサ−1(5b)がオン
でセンサ−2(5c)、センサ−3(5d)が共にオフ
であればボタンは小と検知する。第4の場合は、センサ
−1(5b)、センサ−2(5c)、センサ−3(5
d)が共にオフであればボタンは無しと検知する。図5
のブロック図に示すように、この検知結果に基づいてC
PU10a、メモリ10bはパルスモ−タ−9を駆動さ
せることによって、ボタン送り板7を回動させてボタン
の大きさに適合する開口部をフィ−ダ−ボウルの開口端
に対抗させる。
【0015】たとえば上記第1の場合であれば、ボタン
送り板を回動させて、その開口部のうち、大のボタンが
嵌挿しうる大の開口部を、フィ−ダ−ボウルの開口端に
対向させる。このとき初期位置としてボタン送り板の中
の開口部がフィ−ダ−ボウルの開口端に対向している場
合は、送り板を30度反時計方向に回転させ、初期位置
としてボタン送り板の小の開口部がフィ−ダ−ボウルの
開口端に対向している場合は、送り板を60度反時計方
向に回転させ、初期位置としてボタン送り板の大の開口
部がフィ−ダ−ボウルの開口端に対向している場合は、
送り板を90度反時計方向に回転させる。作業者は、フ
ィ−ダ−ボウルの開口端に進出してきたボタンを開口端
に対向するボタン送り板の大の開口部に嵌挿させる。ボ
タン送り板の開口部にボタンを嵌挿させたら、ボタン送
り板を所定角度だけ回転させてミシンの縫製部へ対向さ
せた後、ボタンを縫製部へ移動し,セットして縫製作業
を行う。 検知されるボタンの大きさが前回検知した
ボタンと同じであれば、ボタン送り板7を90度ずつ回
転させてボタンを送ることができるし、ボタンの大きさ
が変われば30度あるいは60度回転させてこれを初期
位置として90度ずつ回動させてボタンを供給すること
ができる。
送り板を回動させて、その開口部のうち、大のボタンが
嵌挿しうる大の開口部を、フィ−ダ−ボウルの開口端に
対向させる。このとき初期位置としてボタン送り板の中
の開口部がフィ−ダ−ボウルの開口端に対向している場
合は、送り板を30度反時計方向に回転させ、初期位置
としてボタン送り板の小の開口部がフィ−ダ−ボウルの
開口端に対向している場合は、送り板を60度反時計方
向に回転させ、初期位置としてボタン送り板の大の開口
部がフィ−ダ−ボウルの開口端に対向している場合は、
送り板を90度反時計方向に回転させる。作業者は、フ
ィ−ダ−ボウルの開口端に進出してきたボタンを開口端
に対向するボタン送り板の大の開口部に嵌挿させる。ボ
タン送り板の開口部にボタンを嵌挿させたら、ボタン送
り板を所定角度だけ回転させてミシンの縫製部へ対向さ
せた後、ボタンを縫製部へ移動し,セットして縫製作業
を行う。 検知されるボタンの大きさが前回検知した
ボタンと同じであれば、ボタン送り板7を90度ずつ回
転させてボタンを送ることができるし、ボタンの大きさ
が変われば30度あるいは60度回転させてこれを初期
位置として90度ずつ回動させてボタンを供給すること
ができる。
【0016】なお、この実施例では、ボタン送り板が反
時計方向に回転してボタンを供給する場合について述べ
たが、前回検知したボタンと異なるボタンを検知した場
合に、時計方向に回転させたほうが回転角度が小さいと
いうときには時計方向に回転させるようにしてもよい。
時計方向に回転してボタンを供給する場合について述べ
たが、前回検知したボタンと異なるボタンを検知した場
合に、時計方向に回転させたほうが回転角度が小さいと
いうときには時計方向に回転させるようにしてもよい。
【0017】
【発明の効果】この発明に係るボタン供給装置によれ
ば、ボタンの大きさに適合したボタン送り板の開口部を
自動的に選択して回動させるので、ボタン送り板の開口
部を誤って選択することがなくなり適切な送りができ
る。また、ボタン検知部でボタンの大きさを検知した後
に、パルスモ−タ−でボタン送り板を回動させるので作
業者はボタンを開口部へ嵌挿させるだけでよいので作業
性が向上した。
ば、ボタンの大きさに適合したボタン送り板の開口部を
自動的に選択して回動させるので、ボタン送り板の開口
部を誤って選択することがなくなり適切な送りができ
る。また、ボタン検知部でボタンの大きさを検知した後
に、パルスモ−タ−でボタン送り板を回動させるので作
業者はボタンを開口部へ嵌挿させるだけでよいので作業
性が向上した。
【図1】この発明の一実施例を示すボタン送り装置の平
面図である。
面図である。
【図2】この発明の一実施例を示すボタン送り装置のボ
タン検知手段を示す部分断面図である。
タン検知手段を示す部分断面図である。
【図3】この発明の一実施例を示すボタン送り装置の正
面図である。
面図である。
【図4】この発明の一実施例を示すボタン送り装置のボ
タン検知手段の作用を示す動作説明図である。
タン検知手段の作用を示す動作説明図である。
【図5】この発明の一実施例を示すボタン送り装置のブ
ロック図である。
ロック図である。
【図6】従来のボタン供給装置を示す平面図である。
1 フィ−ダ−ボウル 2 ボタン配置部2 3 螺旋状傾斜路 4 開口端 5 ボタン検知部 5a センサ−ホルダ− 5b センサ−1 5c センサ−2 5d センサ−3 6 フィ−ダ−ボウルの外壁 7 ボタン送り板 7a 開口部(大) 7b 開口部(中) 7c 開口部(小) 8 軸 9 パルスモ−タ− 10a CPU 10b メモリ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】中心部に円形のボタン配置部を形成し、そ
の周囲に沿って螺旋状にボタンが通過可能な螺旋状傾斜
路が形成され、最高部に開口端を有し、開口端の手前に
ボタン検知手段を有し、その下部に振動源を有するフィ
−ダ−ボウルと、外周に複数種類のボタンが各々嵌挿し
うるような複数種類の開口部を有し、各開口部が前記フ
ィ−ダ−ボウルの開口端と対向する位置にモ−タ−によ
り選択的に回動可能に支持されているボタン送り板と、
からなり、ボタン検知手段の検知結果に基づいて、前記
ボタン送り板の回動角度を可変とするボタン供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16461091A JPH057674A (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | ボタン供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16461091A JPH057674A (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | ボタン供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH057674A true JPH057674A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=15796461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16461091A Pending JPH057674A (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | ボタン供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH057674A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016021424A (ja) * | 2014-07-11 | 2016-02-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 薬液排出機構、液処理装置、薬液排出方法、記憶媒体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03103289A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-30 | Juki Corp | ボタン供給装置 |
-
1991
- 1991-07-04 JP JP16461091A patent/JPH057674A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03103289A (ja) * | 1989-09-18 | 1991-04-30 | Juki Corp | ボタン供給装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016021424A (ja) * | 2014-07-11 | 2016-02-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 薬液排出機構、液処理装置、薬液排出方法、記憶媒体 |
| US10074548B2 (en) | 2014-07-11 | 2018-09-11 | Tokyo Electron Limited | Chemical liquid discharge mechanism, liquid processing apparatus, chemical liquid discharge method, and storage medium |
| US10755952B2 (en) | 2014-07-11 | 2020-08-25 | Tokyo Electron Limited | Chemical liquid discharge mechanism, liquid processing apparatus, chemical liquid discharge method, and storage medium |
| KR20220054568A (ko) | 2014-07-11 | 2022-05-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 약액 배출 기구, 액처리 장치, 약액 배출 방법, 기억 매체 |
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