JPH0577421A - インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器 - Google Patents

インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器

Info

Publication number
JPH0577421A
JPH0577421A JP3242184A JP24218491A JPH0577421A JP H0577421 A JPH0577421 A JP H0577421A JP 3242184 A JP3242184 A JP 3242184A JP 24218491 A JP24218491 A JP 24218491A JP H0577421 A JPH0577421 A JP H0577421A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink
individual ink
individual
print head
partition wall
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3242184A
Other languages
English (en)
Inventor
Hisayoshi Fujimoto
久義 藤本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP3242184A priority Critical patent/JPH0577421A/ja
Priority to US07/897,381 priority patent/US5465108A/en
Priority to EP92110158A priority patent/EP0519403B1/en
Priority to DE69206689T priority patent/DE69206689T2/de
Priority to KR1019920010833A priority patent/KR100208200B1/ko
Publication of JPH0577421A publication Critical patent/JPH0577421A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 印字の高密度化且つ高品質化を実現すると共
に、生産性が良く、しかも高粘度のインクを使用できる
低廉なインクジェットプリントヘッド、並びにこのプリ
ントヘッドを備える電子機器を提供することである。 【構成】 圧電材からなる分極体1の内部に、その一端
から他端に貫通する9つの湾曲状の個別インク路11を
一定間隔を置いてアレイ状に形成し、個別インク路11
ごとに、個別インク路11を構成する全ての壁に電極1
3を設けた。 【作用】 電極13の印加電圧の極性と、隔壁12の矢
印方向の分極電荷との関係から、隔壁12が上下方向に
伸縮する結果、隔壁12はアレイ方向に大きく変位す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
トヘッド、並びにそれを備える、プリンタ、ワープロ、
ファクシミリ、プロッタ等の電子機器に関する。
【0002】
【従来の技術】プリンタ、ワープロ等の各種電子機器に
搭載されるインクジェットプリントヘッドにカイザー方
式がある。カイザー方式のプリントヘッドは、一般には
ヘッド基台に形成した共通インク路から分岐する個別イ
ンク路を覆うようにヘッド基台に振動板を取付け、振動
板上における個別インク路の対応位置にそれぞれ電歪素
子を配置したものである。このプリントヘッドでは、電
歪素子に電界を加えて電歪素子を変位させ、この変位に
伴って振動板を動かすことによりインクを個別インク路
の先端口から押し出すものである。又、印字を高密度化
するために、ヘッドをその走査方向に対して傾斜させる
ことも行われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようなカイザー方式に代表される電歪素子を利用する通
常のインクジェットプリントヘッドでは、これまで以上
に印字ドットを高密度化すると共に印字を高品質化する
のは機構的に至難であり、より高密度を実現しようとす
ると生産性が悪くなり、コスト高になる。又、印字品質
を高めるためには高密度化の他に高粘度のインクを使用
することも求められるのであるが、それにはインク路
(特に個別インク路)を可及的に短くしてインクの流体
摩擦を小さくしなければ、インクを飛ばすことができな
い。しかし、前記プリントヘッドでは、インク路をこれ
以上短縮するのは困難であるため、高粘度のインクを使
用するのは無理である。
【0004】従って、本発明の目的は、印字の高密度化
且つ高品質化を実現すると共に、生産性が良く、しかも
高粘度のインクを使用できる低廉なインクジェットプリ
ントヘッド、並びにこのプリントヘッドを備える電子機
器を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のインクジェットプリントヘッドは、圧電材
からなる分極体の内部に、その一端から他端まで貫通す
る多数の曲状の個別インク路を一定間隔を置いてアレイ
状に形成し、個別インク路ごとに、少なくともインクの
流れ方向とアレイ方向とに垂直な方向に延びる個別イン
ク路の壁に電極を設けたことを特徴とする。
【0006】本発明のプリントヘッドは、多数の曲状の
個別インク路によって個別インク路間に形成される曲状
の隔壁をアレイ方向に変位させ、個別インク路の容積を
増減して、個別インク路のインクを押し出す新しい印字
機構を取り入れたものである。この印字機構について詳
述すると、分極体の各隔壁は、例えばアレイ方向に分極
しており、この分極状態で、個別インク路ごとに、個別
インク路のインクの流れ方向とアレイ方向とに垂直な方
向に延びる個別インク路の壁に設けた電極に適当な極性
の電圧を印加すると、分極の正負電荷と電圧の正負極性
に応じて、個別インク路の一方側の隔壁が伸長し、他方
側の隔壁が縮小する。この結果、両隔壁は両隔壁間の個
別インク路を狭くするようにそれぞれアレイ方向に大き
く変位し、個別インク路のインク容積が減少する。
【0007】即ち、具体的に述べると、分極体の各隔壁
において、例えば隔壁の外曲がり側を正電荷に、その反
対側(内曲がり側)を負電荷に分極しておき、任意の個
別インク路の電極に正電圧を、その個別インク路の両隣
の個別インク路の電極に負電圧を印加すると、真中の個
別インク路の一方側の隔壁が前記垂直方向に伸び、他方
側の隔壁が前記垂直方向に縮む。このため、結果的に両
隔壁はアレイ方向に大きく変位し、真中の個別インク路
のインク容積が減り、この個別インク路のインクが押さ
れて、個別インク路の先端口(オリフィス)からインク
が噴出される。
【0008】このように、本発明のプリントヘッドは、
個別インク路の両側に在る隔壁を利用して、隔壁の前記
垂直方向への小さな変位(伸縮)を隔壁のアレイ方向へ
の大きな変位に変換することにより、個別インク路のイ
ンクを押し出すという作用を有する。本発明のプリント
ヘッドで、分極体を構成する圧電材としては、既知のも
のを使用すればよく、例えばPZTからなるものを使用
する。分極体は任意の方向に分極しているものである
が、この分極化は圧電体に形成した個別インク路の壁に
電極(及び保護膜)をパターンニングした後に行っても
よいが、この場合は分極処理が難しいため、予め分極処
理をした分極体を用い、この分極体に個別インク路を形
成する方がよい。分極体を用いて個別インク路を形成す
る場合、分極が消滅しないように、キュリー温度以下で
加工するのが肝心である。この加工方法には、エキシマ
レーザ加工、KOH水溶液中でのレーザ加工、型による
加工、超音波加工等がある。
【0009】
【実施例】以下、本発明のインクジェットプリントヘッ
ド、及びこれを備える電子機器を実施例に基づいて説明
する。図1はプリンタ、ワープロ等の電子機器に搭載す
るプリントヘッドの一実施例の側断面図を示す。プリン
トヘッド以外の電子機器の構造については通常と全く相
違なく、ここではプリントヘッドを中心に述べる。図1
のプリントヘッドは、分極体1と、分極体1の背面に取
付けた裏蓋2と、分極体1の前面に取付けたオリフィス
プレート3とを備える。
【0010】図2において、分極体1は前記圧電材から
なり、その内部には、一端(背面)から他端(前面)に
貫通する多数(この実施例では9つ)の湾曲状の個別イ
ンク路11が一定間隔を置いてアレイ状に形成されてい
る。この個別インク路11は、図中の右方向(アレイ方
向)に湾曲し、図1から分かるようにインクの流れ方向
とアレイ方向とに垂直な方向(図1では上下方向)の寸
法(例えば1.2mm)がインクの流れ方向(図1では
左右方向)の寸法(例えば1.0mm)よりも大きく、
所謂縦長を呈するものである。なお、個別インク路11
の幅は、例えば1mmである。この個別インク路11に
よって、個別インク路間には隔壁12が形成され、当然
ながら隔壁12も個別インク路11と同様に同方向に湾
曲する。個別インク路11と隔壁12は平面及び縦断面
とも細長い長方形を呈する。又、各隔壁12は図2に示
す矢印方向に分極している。
【0011】個別インク路11のインクの流れ方向とア
レイ方向とに垂直な方向(図2では上下方向)に延びる
個別インク路の壁(左右の壁)と、アレイ方向に延びる
個別インク路の壁(上下の壁)とに沿って、電極13が
設けられている。即ち、個別インク路11を構成する全
ての壁に電極13が設けられ、電極13は個別インク路
11ごとに延在し、分極体1の背面側に図2に示すよう
に導かれている。なお、個別インク路11の壁に設けた
電極13上には、この電極13を保護する保護膜(図示
せず)が施されているが、電極13が個別インク路11
ごとに設けられ、電極13に電圧を印加しても個別イン
ク路11のインクに電位差が生じないので、敢えて保護
膜で電極13を覆う必要はない。
【0012】図1において、裏蓋2は分極体1の個別イ
ンク路11に連通する共通インク路21を有する。又、
オリフィスプレート3は分極体1の個別インク路11に
対応する数(9つ)のオリフィス31を有する(図3参
照)。従ってインクは、共通インク路21を経て、個別
インク路11に分流し、オリフィス31から噴出され
る。
【0013】次に、このように構成したプリントヘッド
の作用について述べる。分極体1を背面側から見た図2
において、各隔壁12が矢印方向に分極している状態
で、個別インク路11の各電極13に図示のような極性
の電圧を印加する。この極性の電圧印加により、例えば
隔壁12aは、個別インク路11a側においては分極の
負電荷と電極13aの電圧の負極性との関係から、個別
インク路11b側においては分極の正電荷と電極13b
の電圧の正極性との関係から、図中の上下方向に縮む。
又、隔壁12bは、個別インク路11b側においては分
極の負電荷と電極13bの電圧の正極性との関係から、
個別インク路11c側においては分極の正電荷と電極1
3cの電圧の負極性との関係から、上下方向に伸びる。
隔壁12a、12bがそれぞれ伸縮すると、隔壁12a
は当初の湾曲状態から更に湾曲し、隔壁12bは湾曲状
態を打ち消すように直立状になる(それぞれ図中の点線
部分参照)。これにより、実質的に隔壁12a、12b
の上下方向の変位がアレイ方向の変位に変換されたこと
になり、そのアレイ方向の変位量も上下方向の変位量に
比べて格段に増加している。隔壁12a、12bの変形
により、両隔壁の間に位置する個別インク路11bのイ
ンク容積が減少し、個別インク路11bのインクが押さ
れ、オリフィスプレート3の対応オリフィス31からイ
ンクが噴出される。
【0014】なお、隔壁12a、12bが変形すると、
上記したように個別インク路11bのインク容積は減る
が、個別インク路11a、11cのそれは増えるので、
個別インク路11a、11cにはインクが充足される。
隔壁12a、12bが十分に変位した後、印加電圧を遮
断するか、若しくは印加電圧の極性を反転すると、電圧
遮断の場合には、隔壁12a、12bが元の湾曲状態に
戻る。電圧極性反転の場合には、隔壁12a、12bに
は上記の作用とは逆の作用が生ずる。即ち、隔壁12a
は、個別インク路11a側における分極の負電荷と電圧
の正極性とにより、及び個別インク路11b側における
分極の正電荷と電圧の負極性とにより、上下方向に伸長
し、湾曲度合が小さくなるように変位する。逆に、隔壁
12bは、個別インク路11b側における分極の負電荷
と電圧の負極性とにより、及び個別インク路11c側に
おける分極の正電荷と電圧の正極性とにより、上下方向
に縮小し、湾曲度合が大きくなるように変位する。いず
れの場合も、個別インク路11bのインク容積が増加に
転ずるので、この個別インク路11bにインクが新たに
補充される。
【0015】但し、上述の作用例では、個別インク路1
1bのインク容積を減少させてインクを押し出す態様で
あるが、隔壁12a、12bの反動を利用してインクを
噴出するようにしても構わない。即ち、最初に隔壁12
aを図の左方向に、隔壁12bを右方向にそれぞれ変位
させて、個別インク路11bのインク容積を増やす。次
に隔壁12aを右方向に、隔壁12bを左方向に変位さ
せて、インク容積を減少に転化させれば、個別インク路
11bのインクが押し出される。
【0016】上記実施例のプリントヘッドの製造例につ
いて図4と図5を参照して簡潔に述べると、まず図4に
示すように予め矢印方向に分極化した分極体1の内部
に、その背面から前面に貫通する多数(9つ)の湾曲状
の個別インク路11を、KOH水溶液中でのレーザ加工
等によって一定間隔を置いてアレイ状に形成する。勿
論、この個別インク路11は図1に示す如く縦長を呈す
るものであり、個別インク路11間には隔壁12が形成
される。次いで、図5において、個別インク路11ごと
に、個別インク路11を構成する全ての壁に沿って、ス
パッタリング等により図示の如くパターンニングし、個
別インク路11の壁に電極13を設ける。この例では、
更に電極13を保護する保護膜(図示せず)を電極13
上に形成する。その後、図1に示すように、共通インク
路21を有する裏蓋2と、オリフィス31を有するオリ
フィスプレート3を、分極体1の背面と前面にそれぞれ
取付ければ完成する。
【0017】本発明のプリントヘッドでは、個別インク
路11の形状は曲状であれば特定されないが、その変更
例を図6に示す。この個別インク路11’はその上下方
向のほぼ中央から右方向に屈曲し、隔壁12’も当然屈
曲する。この実施例でも、上記実施例と同様に電極(図
面では省略してある)に電圧を印加することで、個別イ
ンク路11’の両側の隔壁12’を上下方向に伸縮さ
せ、この伸縮による隔壁12’のアレイ方向の変位を利
用して、両隔壁12’の間に在る個別インク路11’の
インクを押し出すことができる。
【0018】
【発明の効果】本発明のインクジェットプリントヘッド
は、以上説明したように構成されるので、個別インク路
の壁に設けた電極に適当な極性の電圧を印加すること
で、隔壁における分極の正負電荷と印加電圧の正負極性
とに応じて、隔壁が伸縮して結果的にアレイ方向に大き
く変位し、それに伴って個別インク路のインク容積が増
減し、インク容積が減少に転じた個別インク路のインク
が押し出されるという画期的なものである。
【0019】従って、下記の効果を有する。 (1)印字の高密度化、高品質化を容易に実現できる。 (2)個別インク路を短縮(インクの流れ方向とアレイ
方向とに垂直な方向の寸法をインクの流れ方向の寸法よ
りも大きく)できるため、高粘度のインクを使用できる
だけでなく、インク供給も容易になり、信頼性も向上す
る。 (3)個別インク路ごとに電極を設けるので、電極のパ
ターンニングや分離が容易になり、生産性が非常に高く
廉価である。 (4)個別インク路の両側の隔壁を変位させて、個別イ
ンク路のインク容積を変化させるので、インク容積の増
減度合が大きい。 (5)電極が個別インク路ごとに設けられているので、
電極に電圧を印加した時にインクが等電位になってお
り、インクによる腐食が起き難い。 (6)個別インク路は、インクの流れ方向の寸法がイン
クの流れ方向とアレイ方向とに垂直な方向の寸法よりも
短いので、多くのドットを配列するライン型プリントヘ
ッドに好適である。 (7)これらにより、上記プリントヘッドを具備する電
子機器でも、高品質な印字、印字性能の向上等の効果が
得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るプリントヘッドの側断
面図である。
【図2】図1に示すプリントヘッドにおける分極体の背
面図である。
【図3】図1に示すプリントヘッドにおけるオリフィス
プレートの正面図である。
【図4】図1に示すプリントヘッドの製造例を説明する
ための第1段階の工程図である。
【図5】図1に示すプリントヘッドの製造例を説明する
ための第2段階の工程図である。
【図6】個別インク路の変更例を示す分極体の背面図で
ある。
【符号の説明】
1 分極体 2 裏蓋 3 オリフィスプレート 11、11’ 個別インク路 12、12’ 隔壁 13 電極

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧電材からなる分極体の内部に、その一端
    から他端まで貫通する多数の曲状の個別インク路を一定
    間隔を置いてアレイ状に形成し、個別インク路ごとに、
    少なくともインクの流れ方向とアレイ方向とに垂直な方
    向に延びる個別インク路の壁に電極を設けたことを特徴
    とするインクジェットプリントヘッド。
  2. 【請求項2】前記個別インク路は、インクの流れ方向と
    アレイ方向とに垂直な方向の寸法がインクの流れ方向の
    寸法よりも大きいものであることを特徴とする請求項1
    記載のインクジェットプリントヘッド。
  3. 【請求項3】請求項1又は2記載のインクジェットプリ
    ントヘッドを具備することを特徴とする電子機器。
JP3242184A 1991-06-21 1991-09-24 インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器 Pending JPH0577421A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3242184A JPH0577421A (ja) 1991-09-24 1991-09-24 インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器
US07/897,381 US5465108A (en) 1991-06-21 1992-06-11 Ink jet print head and ink jet printer
EP92110158A EP0519403B1 (en) 1991-06-21 1992-06-16 Ink jet print head and ink jet printer
DE69206689T DE69206689T2 (de) 1991-06-21 1992-06-16 Tintenstrahldruckkopf und Tintenstrahldrucker
KR1019920010833A KR100208200B1 (ko) 1991-06-21 1992-06-20 잉크분사 프린트헤드 및 잉크분사프린터

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3242184A JPH0577421A (ja) 1991-09-24 1991-09-24 インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0577421A true JPH0577421A (ja) 1993-03-30

Family

ID=17085559

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3242184A Pending JPH0577421A (ja) 1991-06-21 1991-09-24 インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0577421A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4233793C2 (de) * 1991-10-09 1999-05-27 Rohm Co Ltd Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahl-Druckkopfs
DE102015103441A1 (de) 2014-03-11 2015-09-17 Central Japan Railway Company Struktur zur Spulenmontage

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4233793C2 (de) * 1991-10-09 1999-05-27 Rohm Co Ltd Verfahren zum Herstellen eines Tintenstrahl-Druckkopfs
DE102015103441A1 (de) 2014-03-11 2015-09-17 Central Japan Railway Company Struktur zur Spulenmontage

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7416281B2 (en) Electrostatic actuator formed by a semiconductor manufacturing process
KR100208200B1 (ko) 잉크분사 프린트헤드 및 잉크분사프린터
US6921149B2 (en) Liquid drop discharging head and liquid drop discharging device
JPH0310845A (ja) インクジェットプリンタ
JPS58179659A (ja) インクジエツト記録装置
US8033653B2 (en) Liquid discharge head and recording device
US4752789A (en) Multi-layer transducer array for an ink jet apparatus
JP2004181798A (ja) インクジェット式記録ヘッド及びそれを用いたインクジェット式記録装置
US5373314A (en) Ink jet print head
US7159793B2 (en) Liquid discharging head and liquid discharging device
EP0695639A2 (en) Method of manufacturing a sidewall actuator array for an ink jet printhead
JPH0577421A (ja) インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器
JPH0596739A (ja) インクジエツトプリントヘツドの製造方法
JP2000218787A (ja) インクジェット式記録ヘッド及び画像記録装置
JPH058384A (ja) インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器
JP3221405B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
US7398689B2 (en) Piezo inkjet printer
JP3108955B2 (ja) 液滴吐出装置
JPH0516355A (ja) インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器
JPH0538808A (ja) インクジエツトプリントヘツド及びそれを備える電子機器
US20050128251A1 (en) Ink-jet printhead
JPH03277550A (ja) インクジェット記録ヘッドおよび該インクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置
JPH04364957A (ja) インクジェットプリントヘッド及びそれを備える電子機器
JPH0251735B2 (ja)
KR100698347B1 (ko) 반도체 제조 공정에 의해 제조된 정전형 액츄에이터