JPH0578885A - 電解メツキ装置 - Google Patents
電解メツキ装置Info
- Publication number
- JPH0578885A JPH0578885A JP27035291A JP27035291A JPH0578885A JP H0578885 A JPH0578885 A JP H0578885A JP 27035291 A JP27035291 A JP 27035291A JP 27035291 A JP27035291 A JP 27035291A JP H0578885 A JPH0578885 A JP H0578885A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- plated
- magnetic field
- metal ions
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電解メッキ法により高品質のメッキ被膜を高
速で形成する。 【構成】 メッキ槽1に保持されたメッキ液2中に導電
性の被メッキ物3及び電極4を対向させるようにして浸
漬し、被メッキ物3及び電極4をそれぞれ陰極及び陽極
とするようにして被メッキ物3及び電極4に直流電源6
を接続し、被メッキ物3の近傍に磁場Hを印加させるた
めの磁場発生装置8を設ける。この磁場Hによって金属
イオン5が被メッキ物3の近傍にトラップされる。
速で形成する。 【構成】 メッキ槽1に保持されたメッキ液2中に導電
性の被メッキ物3及び電極4を対向させるようにして浸
漬し、被メッキ物3及び電極4をそれぞれ陰極及び陽極
とするようにして被メッキ物3及び電極4に直流電源6
を接続し、被メッキ物3の近傍に磁場Hを印加させるた
めの磁場発生装置8を設ける。この磁場Hによって金属
イオン5が被メッキ物3の近傍にトラップされる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電解メッキ装置に関す
る。具体的にいうと、本発明は、メッキ液中に浸漬され
た被メッキ物と電極間に電圧を印加することにより被メ
ッキ物にメッキを施す電解メッキ装置に関する。
る。具体的にいうと、本発明は、メッキ液中に浸漬され
た被メッキ物と電極間に電圧を印加することにより被メ
ッキ物にメッキを施す電解メッキ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図3は従来の電解メッキ装置Bの概略構
成を示す。この電解メッキ装置Bにあっては、メッキ槽
1内に保持されたメッキ液2中に導電性の被メッキ物3
及び電極4を浸漬し、被メッキ物3が陰極となり、電極
4が陽極となるよう被メッキ物3及び電極4に外部から
直流電源6を接続している。
成を示す。この電解メッキ装置Bにあっては、メッキ槽
1内に保持されたメッキ液2中に導電性の被メッキ物3
及び電極4を浸漬し、被メッキ物3が陰極となり、電極
4が陽極となるよう被メッキ物3及び電極4に外部から
直流電源6を接続している。
【0003】しかして、直流電源6から電流を供給する
と、メッキ液2中の金属イオン5は被メッキ物3に引か
れて移動し、被メッキ物3の表面で金属イオン5と直流
電源6から供給された電子が結合してメッキ金属が析出
する。
と、メッキ液2中の金属イオン5は被メッキ物3に引か
れて移動し、被メッキ物3の表面で金属イオン5と直流
電源6から供給された電子が結合してメッキ金属が析出
する。
【0004】しかしながら、このような電解メッキ装置
Bにあっては、金属イオン5が被メッキ物3の表面に析
出して金属イオン5が消費されるに従い、被メッキ物3
の近傍における金属イオン濃度が低下し、メッキ速度を
低下させる原因となっていた。
Bにあっては、金属イオン5が被メッキ物3の表面に析
出して金属イオン5が消費されるに従い、被メッキ物3
の近傍における金属イオン濃度が低下し、メッキ速度を
低下させる原因となっていた。
【0005】図4は従来の別な電解メッキ装置Cの概略
構成を示す。この電解メッキ装置Cは、メッキ液2を噴
流によって攪拌するための攪拌翼等の噴流発生装置7を
メッキ槽1内に設けたものである。
構成を示す。この電解メッキ装置Cは、メッキ液2を噴
流によって攪拌するための攪拌翼等の噴流発生装置7を
メッキ槽1内に設けたものである。
【0006】しかして、噴流によってメッキ液2を攪拌
し、被メッキ物3の近傍の金属イオン5が希薄となった
領域へ金属イオン5を豊富に含んだメッキ液2を常に供
給し、被メッキ物3の近傍における金属イオン濃度の低
下を防止している。
し、被メッキ物3の近傍の金属イオン5が希薄となった
領域へ金属イオン5を豊富に含んだメッキ液2を常に供
給し、被メッキ物3の近傍における金属イオン濃度の低
下を防止している。
【0007】しかしながら、この噴流式の電解メッキ装
置Cにあっては、メッキ液2を攪拌しているため、メッ
キ液2の流速分布や渦が発生し、その影響でメッキ被膜
の膜厚や膜質にバラツキが生じたり、メッキ被膜の表面
に条痕等の傷が生じ易かった。
置Cにあっては、メッキ液2を攪拌しているため、メッ
キ液2の流速分布や渦が発生し、その影響でメッキ被膜
の膜厚や膜質にバラツキが生じたり、メッキ被膜の表面
に条痕等の傷が生じ易かった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は叙上の従来例
の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、金属イオン濃度の低下によるメッキ速度の低下
を防止し、メッキ被膜の膜厚や膜質等のバラツキ等を防
止することができる電解メッキ装置を提供することにあ
る。
の欠点に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、金属イオン濃度の低下によるメッキ速度の低下
を防止し、メッキ被膜の膜厚や膜質等のバラツキ等を防
止することができる電解メッキ装置を提供することにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の電解メッキ装置
は、メッキ液中に被メッキ物と電極を浸漬し、被メッキ
物と電極間に電圧を印加することにより被メッキ物にメ
ッキを施す電解メッキ装置において、被メッキ物の近傍
に磁場を印加させるための磁場発生装置を備えたことを
特徴としている。
は、メッキ液中に被メッキ物と電極を浸漬し、被メッキ
物と電極間に電圧を印加することにより被メッキ物にメ
ッキを施す電解メッキ装置において、被メッキ物の近傍
に磁場を印加させるための磁場発生装置を備えたことを
特徴としている。
【0010】
【作用】磁場発生装置により被メッキ物近傍に磁場を印
加すると、金属イオンが被メッキ物の近傍で次々にトラ
ップされ、被メッキ物近傍での金属イオン濃度が高くな
る。従って、被メッキ物近傍における金属イオン濃度を
常に高く保つことができ、メッキ速度の低下を防止する
ことができる。しかも、磁場によって金属イオンのみを
運動させることができ、メッキ液自体は攪拌されないの
で、メッキ液の流速分布や渦等が発生せず、メッキ被膜
の膜厚や膜質を均一にすることができる。
加すると、金属イオンが被メッキ物の近傍で次々にトラ
ップされ、被メッキ物近傍での金属イオン濃度が高くな
る。従って、被メッキ物近傍における金属イオン濃度を
常に高く保つことができ、メッキ速度の低下を防止する
ことができる。しかも、磁場によって金属イオンのみを
運動させることができ、メッキ液自体は攪拌されないの
で、メッキ液の流速分布や渦等が発生せず、メッキ被膜
の膜厚や膜質を均一にすることができる。
【0011】
【実施例】図1は本発明の一実施例による電解メッキ装
置Aの概略構成を示す。1はメッキ液2を保持するメッ
キ槽であって、導電性の被メッキ物3及び電極4は対向
するようにしてメッキ液2内に浸漬され、被メッキ物3
及び電極4はそれぞれ陰極及び陽極となるようにして外
部の直流電源6を接続されている。また、メッキ槽1の
外側には被メッキ物3の近傍においてメッキ液2に磁場
Hを印加するための永久磁石や電磁石等の磁場発生装置
8を設けてある。磁場発生装置8によって発生させられ
た磁場Hは、被メッキ物3と電極4の間に働く電界の方
向と直交しており、被メッキ物4の表面と平行な方向を
向いている。
置Aの概略構成を示す。1はメッキ液2を保持するメッ
キ槽であって、導電性の被メッキ物3及び電極4は対向
するようにしてメッキ液2内に浸漬され、被メッキ物3
及び電極4はそれぞれ陰極及び陽極となるようにして外
部の直流電源6を接続されている。また、メッキ槽1の
外側には被メッキ物3の近傍においてメッキ液2に磁場
Hを印加するための永久磁石や電磁石等の磁場発生装置
8を設けてある。磁場発生装置8によって発生させられ
た磁場Hは、被メッキ物3と電極4の間に働く電界の方
向と直交しており、被メッキ物4の表面と平行な方向を
向いている。
【0012】メッキ液2中においては、金属イオン5は
液中の他の分子やイオンと衝突しながらランダムに移動
(ブラウン運動)している。そして、ランダムに移動し
ている金属イオン5が磁場H中に入ると、図2に示すよ
うに螺旋運動(サイクロトロン運動)しながら移動す
る。たとえ途中で他の分子やイオンに衝突して方向が変
っても、やはり磁場H中で螺旋運動しながら移動する。
その結果、一旦磁場H中に捕獲された金属イオン5は磁
場H中から出ることが困難になる。こうして、磁場H中
に次々と金属イオン5が捕獲されてゆくと、磁場Hの近
傍、すなわち被メッキ物3の近傍で金属イオン濃度が高
くなり、メッキに十分な金属イオン5が供給される。し
たがって、メッキ液2中の金属イオン5が被メッキ物3
と電極4との間の電界に引かれて被メッキ物3の表面に
析出しても、金属メッキ濃度が低下することがない。ま
た、金属イオン5の螺旋運動によって被メッキ物3の近
傍で金属イオン5が均一に攪拌される。
液中の他の分子やイオンと衝突しながらランダムに移動
(ブラウン運動)している。そして、ランダムに移動し
ている金属イオン5が磁場H中に入ると、図2に示すよ
うに螺旋運動(サイクロトロン運動)しながら移動す
る。たとえ途中で他の分子やイオンに衝突して方向が変
っても、やはり磁場H中で螺旋運動しながら移動する。
その結果、一旦磁場H中に捕獲された金属イオン5は磁
場H中から出ることが困難になる。こうして、磁場H中
に次々と金属イオン5が捕獲されてゆくと、磁場Hの近
傍、すなわち被メッキ物3の近傍で金属イオン濃度が高
くなり、メッキに十分な金属イオン5が供給される。し
たがって、メッキ液2中の金属イオン5が被メッキ物3
と電極4との間の電界に引かれて被メッキ物3の表面に
析出しても、金属メッキ濃度が低下することがない。ま
た、金属イオン5の螺旋運動によって被メッキ物3の近
傍で金属イオン5が均一に攪拌される。
【0013】しかして、被メッキ物3の近傍でメッキ液
2の金属イオン濃度が低下しにくくなるので、メッキ速
度の低下が防止され、高速でメッキ被膜を形成すること
ができる。しかも、金属イオン5が磁場Hによって運動
させられるだけで、メッキ液2自体は動かないので、メ
ッキ液2の流速分布や渦が発生せず、均一な膜厚及び膜
質のメッキ被膜を形成することができる。
2の金属イオン濃度が低下しにくくなるので、メッキ速
度の低下が防止され、高速でメッキ被膜を形成すること
ができる。しかも、金属イオン5が磁場Hによって運動
させられるだけで、メッキ液2自体は動かないので、メ
ッキ液2の流速分布や渦が発生せず、均一な膜厚及び膜
質のメッキ被膜を形成することができる。
【0014】なお、上記実施例では、磁場発生装置は磁
場方向が被メッキ物の表面と平行な(電界と垂直な)方
向を向くように配置したが、被メッキ物の近傍に磁場が
印加されていれば、これ以外の方向でも差し支えない。
例えば、磁場方向が被メッキ物の表面と垂直な(電界と
平行な)方向を向くよう磁場発生装置を配置しても良
い。
場方向が被メッキ物の表面と平行な(電界と垂直な)方
向を向くように配置したが、被メッキ物の近傍に磁場が
印加されていれば、これ以外の方向でも差し支えない。
例えば、磁場方向が被メッキ物の表面と垂直な(電界と
平行な)方向を向くよう磁場発生装置を配置しても良
い。
【0015】
【発明の効果】本発明によれば、磁場で金属イオンをト
ラップできるので、被メッキ物近傍を常に金属イオンの
豊富な状態とすることができ、メッキ速度の低下を防止
することができる。また、メッキ液を攪拌する方法と異
なり、メッキ液の流速分布や渦等が発生せず、メッキ被
膜の膜厚や膜質のバラツキを低減することができ、条痕
等の傷も発生しない。従って、高速で高品質のメッキ被
膜を形成することができる。
ラップできるので、被メッキ物近傍を常に金属イオンの
豊富な状態とすることができ、メッキ速度の低下を防止
することができる。また、メッキ液を攪拌する方法と異
なり、メッキ液の流速分布や渦等が発生せず、メッキ被
膜の膜厚や膜質のバラツキを低減することができ、条痕
等の傷も発生しない。従って、高速で高品質のメッキ被
膜を形成することができる。
【図1】本発明の一実施例による電解メッキ装置の概略
構成図である。
構成図である。
【図2】同上の実施例における磁場中の金属イオンの螺
旋運動を示す説明図である。
旋運動を示す説明図である。
【図3】従来例による電解メッキ装置の概略構成図であ
る。
る。
【図4】別な従来例による電解メッキ装置の概略構成図
である。
である。
2 メッキ液 3 被メッキ物 4 電極 8 磁場発生装置
Claims (1)
- 【請求項1】 メッキ液中に被メッキ物と電極を浸漬
し、被メッキ物と電極間に電圧を印加することにより被
メッキ物にメッキを施す電解メッキ装置において、 被メッキ物の近傍に磁場を印加させるための磁場発生装
置を備えたことを特徴とする電解メッキ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27035291A JPH0578885A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 電解メツキ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27035291A JPH0578885A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 電解メツキ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0578885A true JPH0578885A (ja) | 1993-03-30 |
Family
ID=17485071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27035291A Pending JPH0578885A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 電解メツキ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0578885A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001023932A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Nec Corp | 半導体素子製造方法及び製造装置 |
| CN106245077A (zh) * | 2016-07-18 | 2016-12-21 | 江苏大学 | 一种锥形磁场与电场复合的定域沉积加工装置 |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP27035291A patent/JPH0578885A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001023932A (ja) * | 1999-07-07 | 2001-01-26 | Nec Corp | 半導体素子製造方法及び製造装置 |
| CN106245077A (zh) * | 2016-07-18 | 2016-12-21 | 江苏大学 | 一种锥形磁场与电场复合的定域沉积加工装置 |
| CN106245077B (zh) * | 2016-07-18 | 2018-06-26 | 江苏大学 | 一种锥形磁场与电场复合的定域沉积加工装置 |
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