JPH0580854A - クライオスタツト・ガス流量計測システム - Google Patents

クライオスタツト・ガス流量計測システム

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Publication number
JPH0580854A
JPH0580854A JP24068591A JP24068591A JPH0580854A JP H0580854 A JPH0580854 A JP H0580854A JP 24068591 A JP24068591 A JP 24068591A JP 24068591 A JP24068591 A JP 24068591A JP H0580854 A JPH0580854 A JP H0580854A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cryostat
flow rate
pressure gas
pressure
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP24068591A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuji Okamoto
祐司 岡本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP24068591A priority Critical patent/JPH0580854A/ja
Publication of JPH0580854A publication Critical patent/JPH0580854A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ジュールトムソン型のクライオスタットのガス
流量計測システムにおいて、供試体のクライオスタット
を収めるガス収集容器を使用せずに流量計測が実施でき
る。 【構成】高圧ガス供給部1と供試体のクライオスタット
7との間に、圧力センサ2と瞬時流量計を有し、従来利
用していたガス収集容器や積算流量計は使用しない。制
御計測部1には、瞬時流量値の圧力差による変動を補正
する補正プログラム5と積算流量計を求めるための積分
プログラム6とを有して、クライオスタット7の流量計
測を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はクライオスタット・ガス
流量計測システムに関し、特にジュール・トムソン型の
クライオスタットのガス消費量を計測するクライオスタ
ット・ガス流量計測システムに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のクライオスタット・ガス流量計測
システムは、図2に示すように、高圧ガス供給部1と、
制御計測部9と、ガス収集容器10および積算流量計1
1とを有している。
【0003】供試体のクライオスタット7は、ガス収集
容器10に納められ、高圧ガス配管8が接続されてい
る。
【0004】高圧ガス供給部1から供給された高圧ガス
はクライオスタット7に印加されクライオスタット7が
ガスを消費する。消費されたガスは、ガス収集容器10
の中にたまり、積算流量計11へと流れる。
【0005】積算流量計11により、ガス流量がカウン
トされ制御計測部9で積算流量が求められる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】この従来のガス消費量
計測システムでは、供試体の形状・大きさに合わせてガ
ス収集容器を作る必要があった。従って、供試体の大き
さが大きい場合にはガス収集容器も大きくする必要があ
り、試験器の制約上困難な場合があった。
【0007】さらに、1回の試験ごとにガス収集器への
供試体の出し入れが必要であり、このための取付け、取
外しの時間を必要とするという問題点があった。
【0008】本発明の目的は上述した問題点を解決し、
ガス収集容器を不要として容易に流量計測が可能なクラ
イオスタット・ガス流量計測システムを提供することに
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明のクライオスタッ
ト・ガス流量計測システムは、クライオスタットへ高圧
ガスを供給する高圧ガス供給部と、クライオスタットと
前記高圧ガス供給部との間に介在してクライオスタット
に供給される高圧ガスの圧力を計測する圧力センサと、
クライオスタットと前記高圧ガス供給部との間に前記圧
力センサとともに介在してクライオスタットに供給され
る高圧ガスの瞬時流量を計測する瞬時流量計と、クライ
オスタットに供給される高圧ガスの圧力差によって生ず
る高圧ガスの瞬時流量の誤差を補正する補正プログラム
と、高圧ガスの瞬時流量から積算流量を求める積分プロ
グラムとを内蔵し、前記高圧ガス供給部からの高圧ガス
の送出を指令するとともに前記圧力センサと前記瞬時流
量計で計測した取得データの供給を受けて前記補正プロ
グラムと積分プログラムの制御のもとにクライオスタッ
トの消費するガス流量を求める制御計測部とを備えて構
成される。
【0010】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
【0011】図1は、本発明の一実施例のシステム構成
図である。
【0012】図1に示す実施例は、供試体のクライオス
タット7に高圧ガス管8を介して高圧ガスを供給する高
圧ガス供給部1と、高圧ガス供給部1とクライオスタッ
ト7の間に介在して高圧ガス管8を流れる高圧ガスの圧
力を計測する圧力センサ2と、高圧ガス管8を流れる高
圧ガスの瞬時流量を計測する瞬時流量計3と、補正プロ
グラム5と積分プログラム6を内蔵し、高圧ガス供給部
1の高圧ガス送出を指令するとともに、クライオスタッ
ト7のガス消費量を計測する制御計測部4とを備えて成
る。
【0013】次に、本実施例の動作について説明する。
【0014】制御計測部4からの信号で、高圧ガス供給
部1は高圧ガスの供給を開始する。高圧ガスの圧力は任
意に設定可能であり、任意の圧力で計測できる。
【0015】高圧ガスは高圧ガス配管8を介して圧力セ
ンサ3、瞬時流量計4を通り、供試体のクライオスタッ
ト5へ流れる。圧力センサ3で測定された圧力および瞬
時流量計4で計測された瞬時流量はそれぞれ、制御計測
部1に取り込まれ、そこで補正プログラム7によって補
正される。更に、積分プログラム8によって積分され、
最終的に積算流量が求められる。
【0016】高圧ガスの圧力は測定中一定とは限らな
い。即ち、定容量のボトルを用いた時のように時間とと
もに圧力が変化する場合があり、このような条件の時、
補正プログラム7の補正のもとに瞬時流量の変動(誤
差)補正を行ないつつ、積分プログラム6によって正確
に高圧ガスの積算流量を求めることができる。
【0017】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、供試体の
クライオスタットが消費する高圧ガスのガス圧力と瞬時
流量を使ってプログラムの制御のもとにガス消費量を求
めることにより、ガス収集容器が必要なく、簡単に流量
計測が出来るという効果を有する。
【0018】さらに、ガス収集容器がない為、どんな形
状の供試体にでも対応できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例のクライオスタット・ガス流
量計測システムの構成図である。
【図2】従来のクライオスタット・ガス流量計測システ
ムの構成図である。
【符号の説明】
1 高圧ガス供給部 2 圧力センサ 3 瞬時流量計 4,9 制御計測部 5 補正プログラム 6 積分プログラム 7 クライオスタット 8 高圧ガス配管 10 ガス収集容器 11 積算流量計

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 クライオスタットへ高圧ガスを供給する
    高圧ガス供給部と、クライオスタットと前記高圧ガス供
    給部との間に介在してクライオスタットに供給される高
    圧ガスの圧力を計測する圧力センサと、クライオスタッ
    トと前記高圧ガス供給部との間に前記圧力センサととも
    に介在してクライオスタットに供給される高圧ガスの瞬
    時流量を計測する瞬時流量計と、クライオスタットに供
    給される高圧ガスの圧力差によって生ずる高圧ガスの瞬
    時流量の誤差を補正する補正プログラムと、高圧ガスの
    瞬時流量から積算流量を求める積分プログラムとを内蔵
    し、前記高圧ガス供給部からの高圧ガスの送出を指令す
    るとともに前記圧力センサと前記瞬時流量計で計測した
    取得データの供給を受けて前記補正プログラムと積分プ
    ログラムの制御のもとにクライオスタットの消費するガ
    ス流量を求める制御計測部とを備えて成ることを特徴と
    するクライオスタット・ガス流量計測システム。
JP24068591A 1991-09-20 1991-09-20 クライオスタツト・ガス流量計測システム Pending JPH0580854A (ja)

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JP24068591A JPH0580854A (ja) 1991-09-20 1991-09-20 クライオスタツト・ガス流量計測システム

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JP24068591A JPH0580854A (ja) 1991-09-20 1991-09-20 クライオスタツト・ガス流量計測システム

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JPH0580854A true JPH0580854A (ja) 1993-04-02

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ID=17063186

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JP24068591A Pending JPH0580854A (ja) 1991-09-20 1991-09-20 クライオスタツト・ガス流量計測システム

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