JPH0582618A - 画像データ欠陥検出装置 - Google Patents
画像データ欠陥検出装置Info
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- JPH0582618A JPH0582618A JP3268772A JP26877291A JPH0582618A JP H0582618 A JPH0582618 A JP H0582618A JP 3268772 A JP3268772 A JP 3268772A JP 26877291 A JP26877291 A JP 26877291A JP H0582618 A JPH0582618 A JP H0582618A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 大量の判定データを必要とせず、しかも画像
データの位置ズレによる誤検出を防止することができる
画像データ欠陥検出装置を提供する。 【構成】 比較回路４は基準濃淡画像データ記憶回路１
からの画像データと入力装置３からの画像データとを各
画素毎に比較し、差画像データを二値化回路５を介して
ラベリング回路６に出力する。ラベリング回路６は欠陥
候補の画素を抽出し、その位置データをラベリング画像
データとして分散値選択回路１０に出力する。一方、記
憶回路７に入力された画像データは分散値計算回路８で
分散値が計算される。分散値選択回路１０はラベリング
画像データに基づき欠陥候補とされた画素についての分
散値を選択し、判定回路１２は選択された分散値につい
てレジスタ１１に記憶された欠陥範囲内にあるかどうか
を判断する。
データの位置ズレによる誤検出を防止することができる
画像データ欠陥検出装置を提供する。 【構成】 比較回路４は基準濃淡画像データ記憶回路１
からの画像データと入力装置３からの画像データとを各
画素毎に比較し、差画像データを二値化回路５を介して
ラベリング回路６に出力する。ラベリング回路６は欠陥
候補の画素を抽出し、その位置データをラベリング画像
データとして分散値選択回路１０に出力する。一方、記
憶回路７に入力された画像データは分散値計算回路８で
分散値が計算される。分散値選択回路１０はラベリング
画像データに基づき欠陥候補とされた画素についての分
散値を選択し、判定回路１２は選択された分散値につい
てレジスタ１１に記憶された欠陥範囲内にあるかどうか
を判断する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体チップを載せる
プリント基板、リードフレームなどの外観の欠陥を検出
する画像データ欠陥検出装置に関する。
プリント基板、リードフレームなどの外観の欠陥を検出
する画像データ欠陥検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の画像データ欠陥検出装置の
概略ブロック図である。従来の画像データ欠陥検出装置
は、欠陥のないプリント基板の画像データを予め記憶し
ている基準濃淡画像データ記憶回路３１と、被検査パタ
ーン３２の画像データを入力する入力装置３３と、比較
回路３４と、欠陥判定回路３５と、判定データ記憶回路
３６と、検査結果表示部３７とを備える。
概略ブロック図である。従来の画像データ欠陥検出装置
は、欠陥のないプリント基板の画像データを予め記憶し
ている基準濃淡画像データ記憶回路３１と、被検査パタ
ーン３２の画像データを入力する入力装置３３と、比較
回路３４と、欠陥判定回路３５と、判定データ記憶回路
３６と、検査結果表示部３７とを備える。
【０００３】比較回路３４は基準濃淡画像データ記憶回
路３１からの画像データと入力装置３３からの画像デー
タとを画素毎に比較し、両画像データの差をとった差画
像データに変える。差画像データは欠陥判定回路３５に
出力される。欠陥判定回路３５は、判定データ記憶回路
３６から良品か欠陥品かを判定するための判定データ
（閾値）を読み出し、各画素毎に差画像データを判定デ
ータと比較し、判定データの値を越える差画像データに
ついては画素に欠陥があると判断する。そして、判断結
果は検査結果表示部３７に表示される。
路３１からの画像データと入力装置３３からの画像デー
タとを画素毎に比較し、両画像データの差をとった差画
像データに変える。差画像データは欠陥判定回路３５に
出力される。欠陥判定回路３５は、判定データ記憶回路
３６から良品か欠陥品かを判定するための判定データ
（閾値）を読み出し、各画素毎に差画像データを判定デ
ータと比較し、判定データの値を越える差画像データに
ついては画素に欠陥があると判断する。そして、判断結
果は検査結果表示部３７に表示される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は、
画像データの欠陥を検出するのに、判定データ（閾値）
が必要であるが、差画像データと判定データとを各画素
毎に比較するため、判定データとしては基準濃淡画像デ
ータ記憶回路３１の画像データと同程度の情報量が必要
である。したがって、判定データを格納しておくメモリ
としては大容量のものが要求される。
画像データの欠陥を検出するのに、判定データ（閾値）
が必要であるが、差画像データと判定データとを各画素
毎に比較するため、判定データとしては基準濃淡画像デ
ータ記憶回路３１の画像データと同程度の情報量が必要
である。したがって、判定データを格納しておくメモリ
としては大容量のものが要求される。
【０００５】また、基準濃淡画像データ記憶回路３１か
らの画像データと入力装置３３からの画像データとの位
置合わせは、一画素が通常一辺約５μｍと微小であるの
で、非常に困難である。このため、良品の画像データで
あっても、基準濃淡画像データ記憶回路３１からの画像
データと比較する際に、位置ズレが生じると、配線パタ
ーン等の輪郭部分に対応する差画像データが大きくな
り、不良品と認定されることがある。このように、従来
の装置では位置ズレが誤検出の原因となり、欠陥検出精
度が良くないという問題があった。
らの画像データと入力装置３３からの画像データとの位
置合わせは、一画素が通常一辺約５μｍと微小であるの
で、非常に困難である。このため、良品の画像データで
あっても、基準濃淡画像データ記憶回路３１からの画像
データと比較する際に、位置ズレが生じると、配線パタ
ーン等の輪郭部分に対応する差画像データが大きくな
り、不良品と認定されることがある。このように、従来
の装置では位置ズレが誤検出の原因となり、欠陥検出精
度が良くないという問題があった。
【０００６】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、大量の判定データを必要とせず、しかも画像デ
ータの位置ズレによる誤検出を防止することができる画
像データ欠陥検出装置を提供することを目的とするもの
である。
であり、大量の判定データを必要とせず、しかも画像デ
ータの位置ズレによる誤検出を防止することができる画
像データ欠陥検出装置を提供することを目的とするもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る画像データ欠陥検出装置は、基準画像デ
ータの各画素毎に該画素を含む一定の領域内で明るさの
変化の度合を示す分散値を計算する第１の分散値計算手
段と、該分散値を基に画像を欠陥と判断する分散値の上
限と下限とを記憶する記憶手段と、被検査パターンの画
像データの各画素毎に該画素を含む一定の領域内で明る
さの変化の度合を示す分散値を計算する第２の分散値計
算手段と、前記被検査パターンの分散値が前記記憶手段
に記憶した分散値の上限と下限の範囲内にあるか否かを
判断する判断手段とを備えたことを特徴とするものであ
る。
の本発明に係る画像データ欠陥検出装置は、基準画像デ
ータの各画素毎に該画素を含む一定の領域内で明るさの
変化の度合を示す分散値を計算する第１の分散値計算手
段と、該分散値を基に画像を欠陥と判断する分散値の上
限と下限とを記憶する記憶手段と、被検査パターンの画
像データの各画素毎に該画素を含む一定の領域内で明る
さの変化の度合を示す分散値を計算する第２の分散値計
算手段と、前記被検査パターンの分散値が前記記憶手段
に記憶した分散値の上限と下限の範囲内にあるか否かを
判断する判断手段とを備えたことを特徴とするものであ
る。
【０００８】
【作用】本発明は上記の構成によって、画像データの欠
陥を検出する際の判断対象として、画像データの各画素
毎にその画素を含む一定の領域内における明るさの変化
の度合を示す分散値を用い、被検査パターンの画像デー
タの各画素についての分散値が欠陥範囲内にあるかどう
かを判定して、画像データの欠陥を判断する。これによ
り、各画素毎に判定データを記憶する必要がなくなり、
全ての画素に対して共通に用いる分散値の上限と下限の
みを判定データとして記憶すれば十分である。また、判
定データの分散値の上限を位置ズレによる画像の分散値
よりも小さい値に設定することにより、位置ズレによる
誤検出を防止することができる。
陥を検出する際の判断対象として、画像データの各画素
毎にその画素を含む一定の領域内における明るさの変化
の度合を示す分散値を用い、被検査パターンの画像デー
タの各画素についての分散値が欠陥範囲内にあるかどう
かを判定して、画像データの欠陥を判断する。これによ
り、各画素毎に判定データを記憶する必要がなくなり、
全ての画素に対して共通に用いる分散値の上限と下限の
みを判定データとして記憶すれば十分である。また、判
定データの分散値の上限を位置ズレによる画像の分散値
よりも小さい値に設定することにより、位置ズレによる
誤検出を防止することができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しつつ
説明する。図１は本発明の一実施例である画像データ欠
陥検出装置の概略ブロック図、図２は分散値の計算方法
を説明するための図である。
説明する。図１は本発明の一実施例である画像データ欠
陥検出装置の概略ブロック図、図２は分散値の計算方法
を説明するための図である。
【００１０】図１に示す画像データ欠陥検出装置は、基
準濃淡画像データ記憶回路１と、入力装置３と、比較回
路４と、二値化回路５と、ラベリング回路６と、記憶回
路７と、分散値計算回路８，９と、分散値選択回路１０
と、レジスタ１１と、判定回路１２と、検査結果表示部
１３とを備えるものである。
準濃淡画像データ記憶回路１と、入力装置３と、比較回
路４と、二値化回路５と、ラベリング回路６と、記憶回
路７と、分散値計算回路８，９と、分散値選択回路１０
と、レジスタ１１と、判定回路１２と、検査結果表示部
１３とを備えるものである。
【００１１】基準濃淡画像データ記憶回路１は、例え
ば、欠陥のないプリント基板の画像データを記憶してい
るメモリであり、入力装置３はＣＣＤカメラ等からなる
もので、検査すべきプリント基板の被検査パターン２か
ら画像データを得る。
ば、欠陥のないプリント基板の画像データを記憶してい
るメモリであり、入力装置３はＣＣＤカメラ等からなる
もので、検査すべきプリント基板の被検査パターン２か
ら画像データを得る。
【００１２】比較回路４は基準濃淡画像データ記憶回路
１からの画像データと入力装置３からの画像データとを
各画素毎に比較し、両画像データの差である差画像デー
タに変える。二値化回路５は予め二値化レベルを設定し
ておき、この二値化レベルをもとに差画像データに対し
て二値画像データに変換する。ラベリング回路６は二値
画像データに対してラベリング処理を行う。これによ
り、濃淡差が一定の大きさ以上のものが欠陥候補として
抽出され、その欠陥候補に対する画素の位置データをラ
ベリング画像データとして出力する。
１からの画像データと入力装置３からの画像データとを
各画素毎に比較し、両画像データの差である差画像デー
タに変える。二値化回路５は予め二値化レベルを設定し
ておき、この二値化レベルをもとに差画像データに対し
て二値画像データに変換する。ラベリング回路６は二値
画像データに対してラベリング処理を行う。これによ
り、濃淡差が一定の大きさ以上のものが欠陥候補として
抽出され、その欠陥候補に対する画素の位置データをラ
ベリング画像データとして出力する。
【００１３】ところで、比較回路４において差画像デー
タを得る際に、一般に基準濃淡画像データ記憶回路１か
らの画像データと入力装置３からの画像データとの位置
合わせを完璧に行うことはできない。このため、良品の
画像データであっても、位置ズレにより、配線パターン
等の輪郭部分に対応する差画像データが大きくなってし
まうことがある。したがって、上記のラベリング画像デ
ータは、真に欠陥に起因して濃淡差が生じた画素の位置
データと、位置ズレにより誤検出された画素の位置デー
タとを含むことになる。
タを得る際に、一般に基準濃淡画像データ記憶回路１か
らの画像データと入力装置３からの画像データとの位置
合わせを完璧に行うことはできない。このため、良品の
画像データであっても、位置ズレにより、配線パターン
等の輪郭部分に対応する差画像データが大きくなってし
まうことがある。したがって、上記のラベリング画像デ
ータは、真に欠陥に起因して濃淡差が生じた画素の位置
データと、位置ズレにより誤検出された画素の位置デー
タとを含むことになる。
【００１４】分散値計算回路８，９はそれぞれ入力装置
３からの画像データ、基準濃淡画像データ記憶回路１か
らの画像データについて各画素毎に分散値を計算するも
のである。分散値とは、各画素毎にその画素を含む一定
の領域における明るさの変化の度合を示すものである。
３からの画像データ、基準濃淡画像データ記憶回路１か
らの画像データについて各画素毎に分散値を計算するも
のである。分散値とは、各画素毎にその画素を含む一定
の領域における明るさの変化の度合を示すものである。
【００１５】たとえば、図２に示すように一画素が一辺
５μｍの正方形である場合に、縦方向がＮ番目、横方向
がＭ番目である画素を（Ｎ，Ｍ）で表すこととする。い
ま、一つの画素Ｐ（ｎ，ｍ）を含むａ画素×ｂ画素サイ
ズの微小領域Ｓをとり、この領域Ｓ内の任意の一つの画
素ＰS （ｉ，ｊ）の明るさをＥnm,ij とする。このと
き、画素Ｐ（ｎ，ｍ）についてのＥnm,ij の平均値Ｅnm
は、以下の式で与えられる。
５μｍの正方形である場合に、縦方向がＮ番目、横方向
がＭ番目である画素を（Ｎ，Ｍ）で表すこととする。い
ま、一つの画素Ｐ（ｎ，ｍ）を含むａ画素×ｂ画素サイ
ズの微小領域Ｓをとり、この領域Ｓ内の任意の一つの画
素ＰS （ｉ，ｊ）の明るさをＥnm,ij とする。このと
き、画素Ｐ（ｎ，ｍ）についてのＥnm,ij の平均値Ｅnm
は、以下の式で与えられる。
【００１６】
【数１】
【００１７】また画素Ｐ（ｎ，ｍ）についての分散値ｓ
nm 2 は、以下の式で与えられる。
nm 2 は、以下の式で与えられる。
【００１８】
【数２】
【００１９】ここで、（１），（２）式において、ｉ，
ｊについての和は領域Ｓ内にある（ｉ，ｊ）の組にわた
って取られる。
ｊについての和は領域Ｓ内にある（ｉ，ｊ）の組にわた
って取られる。
【００２０】一般に、分散値ｓnm 2 が大きいと、微小領
域Ｓでの明るさの変化の度合が大きいと判断され、一
方、分散値ｓnm 2が小さいと、微小領域Ｓでの明るさの
変化の度合が小さく、明るさが均一であると判断され
る。具体的には、分散値ｓnm 2 は、領域Ｓが基板や配線
パターン等の平坦な面等に取られた場合に小さくなり、
領域Ｓが配線パターン等の輪郭部分や欠陥による凹凸部
分に取られた場合に大きくなる。
域Ｓでの明るさの変化の度合が大きいと判断され、一
方、分散値ｓnm 2が小さいと、微小領域Ｓでの明るさの
変化の度合が小さく、明るさが均一であると判断され
る。具体的には、分散値ｓnm 2 は、領域Ｓが基板や配線
パターン等の平坦な面等に取られた場合に小さくなり、
領域Ｓが配線パターン等の輪郭部分や欠陥による凹凸部
分に取られた場合に大きくなる。
【００２１】尚、微小領域Ｓを極端に大きくとった場合
は分散値が各画素毎にあまり変化せず、微小領域Ｓを極
端に小さくとった場合は分散値が各画素毎に大きく変動
する。したがって、微小領域Ｓを適切な範囲に設定しな
ければ、分散値で画像が欠陥かどうかを精度良く判断す
ることができない。本実施例では、微小領域Ｓを画素Ｐ
を中心とする５×５サイズに設定した。
は分散値が各画素毎にあまり変化せず、微小領域Ｓを極
端に小さくとった場合は分散値が各画素毎に大きく変動
する。したがって、微小領域Ｓを適切な範囲に設定しな
ければ、分散値で画像が欠陥かどうかを精度良く判断す
ることができない。本実施例では、微小領域Ｓを画素Ｐ
を中心とする５×５サイズに設定した。
【００２２】分散値選択回路１０では、ラベリング回路
６からのラベリング画像データをもとにして分散値計算
回路８で計算した各画素についての分散値の中から欠陥
候補とされた画素に対する分散値が選定される。
６からのラベリング画像データをもとにして分散値計算
回路８で計算した各画素についての分散値の中から欠陥
候補とされた画素に対する分散値が選定される。
【００２３】一方、レジスタ１１では、分散値計算回路
９で計算された各画素についての分散値に基づいて、す
べての画素について共通の分散値の欠陥範囲を設定す
る。欠陥範囲は、分散値から画像が欠陥かどうかを判断
する判断基準であり、この欠陥範囲の上限は部品の輪郭
部分での分散値より少し小さい値に設定する。これは、
一般に、部品の輪郭部分における分散値は欠陥による凹
凸部分における分散値よりも大きいので、ラベリング回
路６で位置ズレにより欠陥候補とされたものを取り除く
ためである。また、分散値の下限を設定したのは、分散
値がこの下限よりも小さい場合、取り除かなければなら
ない欠陥というより、許容範囲内にあるものと考えられ
るからである。
９で計算された各画素についての分散値に基づいて、す
べての画素について共通の分散値の欠陥範囲を設定す
る。欠陥範囲は、分散値から画像が欠陥かどうかを判断
する判断基準であり、この欠陥範囲の上限は部品の輪郭
部分での分散値より少し小さい値に設定する。これは、
一般に、部品の輪郭部分における分散値は欠陥による凹
凸部分における分散値よりも大きいので、ラベリング回
路６で位置ズレにより欠陥候補とされたものを取り除く
ためである。また、分散値の下限を設定したのは、分散
値がこの下限よりも小さい場合、取り除かなければなら
ない欠陥というより、許容範囲内にあるものと考えられ
るからである。
【００２４】次に、画像データの欠陥を検出する動作を
説明する。まず、入力装置３からの画像データは比較回
路４及び記憶回路７に出力される。比較回路４では、こ
の画像データと基準濃淡画像データ記憶装置１からの画
像データとが比較され、両画像データの差である差画像
データを二値化回路５に出力する。二値化回路５は差画
像データを二値画像データに変換し、ラベリング回路６
に出力する。そして、ラベリング回路６は二値画像デー
タに対してラベリング処理を行い、欠陥候補に対する位
置データをラベリング画像データとして得る。尚、ラベ
リング処理により両画像データの濃淡差が一定の大きさ
以上のものだけが取り出されるため、ラベリング回路６
はノイズの除去という役割をも果たす。
説明する。まず、入力装置３からの画像データは比較回
路４及び記憶回路７に出力される。比較回路４では、こ
の画像データと基準濃淡画像データ記憶装置１からの画
像データとが比較され、両画像データの差である差画像
データを二値化回路５に出力する。二値化回路５は差画
像データを二値画像データに変換し、ラベリング回路６
に出力する。そして、ラベリング回路６は二値画像デー
タに対してラベリング処理を行い、欠陥候補に対する位
置データをラベリング画像データとして得る。尚、ラベ
リング処理により両画像データの濃淡差が一定の大きさ
以上のものだけが取り出されるため、ラベリング回路６
はノイズの除去という役割をも果たす。
【００２５】また、入力装置３から記憶回路７に記憶さ
れた画像データは、分散値計算回路８において分散値が
計算される。ラベリング回路６で得られたラベリング画
像データが分散値選択回路１０に出力されると、分散値
選択回路１０は欠陥候補とされた画素についての分散値
を選択して取り出す。一方、基準濃淡画像データ記憶回
路１からの画像データは、分散値計算回路９に送られて
分散値が計算される。ここで計算された分散値を基にし
て、すべての画素について共通の欠陥範囲（分散値の上
限と下限）をレジスタ１１に記憶する。
れた画像データは、分散値計算回路８において分散値が
計算される。ラベリング回路６で得られたラベリング画
像データが分散値選択回路１０に出力されると、分散値
選択回路１０は欠陥候補とされた画素についての分散値
を選択して取り出す。一方、基準濃淡画像データ記憶回
路１からの画像データは、分散値計算回路９に送られて
分散値が計算される。ここで計算された分散値を基にし
て、すべての画素について共通の欠陥範囲（分散値の上
限と下限）をレジスタ１１に記憶する。
【００２６】そして、判定回路１２では分散値選択回路
１０で選択された分散値がレジスタ１１において記憶し
た欠陥範囲内にあるかどうかを判定する。分散値がこの
範囲内にあれば真の欠陥とみなし、どの位置の画素が欠
陥であるかを検査結果表示部１３に表示する。
１０で選択された分散値がレジスタ１１において記憶し
た欠陥範囲内にあるかどうかを判定する。分散値がこの
範囲内にあれば真の欠陥とみなし、どの位置の画素が欠
陥であるかを検査結果表示部１３に表示する。
【００２７】本実施例では、画像データの欠陥を検出す
るのに、各画素毎にその画素を含む一定の領域における
明るさの変化の度合を示す分散値を用いて、入力装置か
らの画像データに対する分散値が欠陥範囲内にあるかど
うかを判断する。このように欠陥を判定する対象として
分散値を用いたため、各画素毎に判定データを設定する
必要はなく、画像全体で欠陥範囲の上限と下限を共通に
使用することができる。このため、従来のように判定デ
ータとして多くの情報量を必要とせず、判定データを格
納するメモリとしてレジスタ等を使用することができ、
コストの低減を図ることができる。
るのに、各画素毎にその画素を含む一定の領域における
明るさの変化の度合を示す分散値を用いて、入力装置か
らの画像データに対する分散値が欠陥範囲内にあるかど
うかを判断する。このように欠陥を判定する対象として
分散値を用いたため、各画素毎に判定データを設定する
必要はなく、画像全体で欠陥範囲の上限と下限を共通に
使用することができる。このため、従来のように判定デ
ータとして多くの情報量を必要とせず、判定データを格
納するメモリとしてレジスタ等を使用することができ、
コストの低減を図ることができる。
【００２８】また、比較回路から得た差画像データに基
づいて欠陥を判定するのではなく、被検査パターンの画
像データの分散値が一定範囲内の値であるか否かを判断
することにより欠陥を判断するので、基準となる分散値
の上限の値を適切な値に設定することにより、たとえ位
置ズレが生じても、この位置ズレによる画像データを欠
陥データと判断しないようにすることができる。したが
って、位置ズレによる誤検出を防止して、欠陥検出の精
度を向上させることができる。
づいて欠陥を判定するのではなく、被検査パターンの画
像データの分散値が一定範囲内の値であるか否かを判断
することにより欠陥を判断するので、基準となる分散値
の上限の値を適切な値に設定することにより、たとえ位
置ズレが生じても、この位置ズレによる画像データを欠
陥データと判断しないようにすることができる。したが
って、位置ズレによる誤検出を防止して、欠陥検出の精
度を向上させることができる。
【００２９】さらに、本実施例では、画像データの全画
素について分散値が欠陥範囲にあるがどうかを検出する
のではなく、ラベリング回路を設けて各画素のうちいく
つかを欠陥候補として抽出しているため、一部の画素に
ついてのみ分散値が欠陥範囲にあるかどうかを判断すれ
ばよいので、処理速度の向上を図ることができる。
素について分散値が欠陥範囲にあるがどうかを検出する
のではなく、ラベリング回路を設けて各画素のうちいく
つかを欠陥候補として抽出しているため、一部の画素に
ついてのみ分散値が欠陥範囲にあるかどうかを判断すれ
ばよいので、処理速度の向上を図ることができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、画
像データが欠陥であるか否かを判断する対象として、各
画素毎にその画素を含む一定の領域における明るさの変
化の度合を示す分散値を用いることにより、判定データ
としてすべての画素に共通のデータを使用することがで
きるので、判定データを格納するメモリとしてレジスタ
等の小容量のものを使用することができ、しかも位置ズ
レによる誤検出を防止することができるので、欠陥検出
の精度を向上させることができる画像データ欠陥検出装
置を提供することができる。
像データが欠陥であるか否かを判断する対象として、各
画素毎にその画素を含む一定の領域における明るさの変
化の度合を示す分散値を用いることにより、判定データ
としてすべての画素に共通のデータを使用することがで
きるので、判定データを格納するメモリとしてレジスタ
等の小容量のものを使用することができ、しかも位置ズ
レによる誤検出を防止することができるので、欠陥検出
の精度を向上させることができる画像データ欠陥検出装
置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例である画像データ欠陥検出装
置の概略ブロック図である。
置の概略ブロック図である。
【図２】分散値の計算方法を説明するための図である。
【図３】従来の画像データ欠陥検出装置の概略ブロック
図である。
図である。
１ 基準濃淡画像データ記憶回路 ２ 被検査パターン ３ 入力装置 ４ 比較回路 ５ 二値化回路 ６ ラベリング回路 ７ 記憶回路 ８，９ 分散値計算回路 １０ 分散値選択回路 １１ レジスタ １２ 判定回路 １３ 検査結果表示部
Claims (2)
- 【請求項１】 基準画像データの各画素毎に該画素を含
む一定の領域内で明るさの変化の度合を示す分散値を計
算する第１の分散値計算手段と、該分散値を基に画像を
欠陥と判断する分散値の上限と下限とを記憶する記憶手
段と、被検査パターンの画像データの各画素毎に該画素
を含む一定の領域内で明るさの変化の度合を示す分散値
を計算する第２の分散値計算手段と、前記被検査パター
ンの分散値が前記記憶手段に記憶した分散値の上限と下
限の範囲内にあるか否かを判断する判断手段とを備えた
ことを特徴とする画像データ欠陥検出装置。 - 【請求項２】 前記基準画像データと前記被検査パター
ンの画像データとの各画素の濃淡を比較して差画像デー
タを出力する比較手段と、前記差画像データを二値化し
て二値画像データとする二値化手段と、前記二値画像デ
ータに対してラベリング処理してラベリング画像データ
を出力するラベリング手段と、前記ラベリング画像デー
タに基づいて前記第２の分散値計算手段から欠陥候補と
される画素に対する分散値を選定する分散値選定手段と
を設け、前記判断手段は前記分散値選定手段が選定した
分散値が前記記憶手段に記憶した分散値の上限と下限の
範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする請求項
１記載の画像データ欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3268772A JPH0582618A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 画像データ欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3268772A JPH0582618A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 画像データ欠陥検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0582618A true JPH0582618A (ja) | 1993-04-02 |
Family
ID=17463089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3268772A Withdrawn JPH0582618A (ja) | 1991-09-20 | 1991-09-20 | 画像データ欠陥検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0582618A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113409295A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-09-17 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | 一种基于cell的边缘缺陷检测方法 |
-
1991
- 1991-09-20 JP JP3268772A patent/JPH0582618A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113409295A (zh) * | 2021-06-30 | 2021-09-17 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | 一种基于cell的边缘缺陷检测方法 |
| CN113409295B (zh) * | 2021-06-30 | 2024-03-29 | 北京兆维电子(集团)有限责任公司 | 一种基于cell的边缘缺陷检测方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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