JPH0582902B2 - - Google Patents
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- JPH0582902B2 JPH0582902B2 JP60502954A JP50295485A JPH0582902B2 JP H0582902 B2 JPH0582902 B2 JP H0582902B2 JP 60502954 A JP60502954 A JP 60502954A JP 50295485 A JP50295485 A JP 50295485A JP H0582902 B2 JPH0582902 B2 JP H0582902B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beams
- reflector
- polarized light
- splitting
- spatially
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/45—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Paper (AREA)
- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
Description
請求の範囲
１ 偏光放射源１、並びに、その放射路に次々に
連続的に位置する、光ビームを直角に偏光させら
れた２つの光ビーム９，１０に空間的に分割する
（spatial splitting）ための手段、二分の一波長板
５、直角に偏光させられた光ビーム９，１０を空
間的にそろえる（spatial matching）ための手
段、楕円偏光させられた光成分の路長差を測定す
るためのユニツト７、そして更に、分割するため
の該手段をそろえるための該手段との間の適当な
位置に置かれた測定皿（measuring dish）３を
含んでなる干渉偏光屈折計であつて、光ビームを
直角に偏光させられた２つの光ビーム９，１０に
空間的に分割するための該手段と該二分の一波長
板５との間に平らな反射面を有する反射器４があ
り、且つ、該二分の一波長板５と直角に偏光させ
られた光ビーム９，１０を空間的にそろえるため
の該手段との間に第１の反射器４の反射面と垂直
な平らな反射面を有する第２の反射器６があつ
て、両方の反射器４，６は一方が他方に対して動
かないように取付けられており、また、分割する
ための該手段及び直角に偏光させられた光ビーム
をそろえるための該手段が両反射器４，６の反射
面と垂直な主断面を有する単一の平行平面結晶板
２の形に作られていること、を特徴とする干渉偏
光屈折計。
連続的に位置する、光ビームを直角に偏光させら
れた２つの光ビーム９，１０に空間的に分割する
（spatial splitting）ための手段、二分の一波長板
５、直角に偏光させられた光ビーム９，１０を空
間的にそろえる（spatial matching）ための手
段、楕円偏光させられた光成分の路長差を測定す
るためのユニツト７、そして更に、分割するため
の該手段をそろえるための該手段との間の適当な
位置に置かれた測定皿（measuring dish）３を
含んでなる干渉偏光屈折計であつて、光ビームを
直角に偏光させられた２つの光ビーム９，１０に
空間的に分割するための該手段と該二分の一波長
板５との間に平らな反射面を有する反射器４があ
り、且つ、該二分の一波長板５と直角に偏光させ
られた光ビーム９，１０を空間的にそろえるため
の該手段との間に第１の反射器４の反射面と垂直
な平らな反射面を有する第２の反射器６があつ
て、両方の反射器４，６は一方が他方に対して動
かないように取付けられており、また、分割する
ための該手段及び直角に偏光させられた光ビーム
をそろえるための該手段が両反射器４，６の反射
面と垂直な主断面を有する単一の平行平面結晶板
２の形に作られていること、を特徴とする干渉偏
光屈折計。
２ 偏光放射源１、並びに、その反射路に次々に
連続的に位置する、光ビームを直角に偏光させら
れた２つの光ビーム９，１０に空間的に分割する
ための手段、二分の一波長板５、直角に偏光させ
られた光ビーム９，１０を空間的にそろえるため
の手段、楕円偏光させられた光成分の路長差を測
定するためのユニツト７、そして更に、分割する
ための該手段とそろえるための該手段との間の適
当な位置に置かれた測定皿３を含んでなる干渉偏
光屈折計であつて、光ビームを直角に偏光させら
れた２つの光ビーム９，１０に空間的に分割する
ための該手段と該二分の一波長板５との間にコー
ナー反射器１２があり、且つ、該二分の一波長板
５と直角に偏光させられた光ビーム９，１０を空
間的にそろえるための該手段との間に第１のコー
ナー反射器１２の主断面と平行な主断面を有する
第２のコーナー反射器１３があつて、該コーナー
反射器は一方が他方に対して動かないように取付
けられており、また、空間的に分割するための該
手段及び直角に偏光させられた光ビーム９，１０
を空間的にそろえるための該手段が該コーナー反
射器１２，１３の主断面と平行又は垂直な主断面
を有する単一の結晶板２の形に作られているこ
と、を特徴とする干渉偏光屈折計。
連続的に位置する、光ビームを直角に偏光させら
れた２つの光ビーム９，１０に空間的に分割する
ための手段、二分の一波長板５、直角に偏光させ
られた光ビーム９，１０を空間的にそろえるため
の手段、楕円偏光させられた光成分の路長差を測
定するためのユニツト７、そして更に、分割する
ための該手段とそろえるための該手段との間の適
当な位置に置かれた測定皿３を含んでなる干渉偏
光屈折計であつて、光ビームを直角に偏光させら
れた２つの光ビーム９，１０に空間的に分割する
ための該手段と該二分の一波長板５との間にコー
ナー反射器１２があり、且つ、該二分の一波長板
５と直角に偏光させられた光ビーム９，１０を空
間的にそろえるための該手段との間に第１のコー
ナー反射器１２の主断面と平行な主断面を有する
第２のコーナー反射器１３があつて、該コーナー
反射器は一方が他方に対して動かないように取付
けられており、また、空間的に分割するための該
手段及び直角に偏光させられた光ビーム９，１０
を空間的にそろえるための該手段が該コーナー反
射器１２，１３の主断面と平行又は垂直な主断面
を有する単一の結晶板２の形に作られているこ
と、を特徴とする干渉偏光屈折計。
技術分野
本発明は、光学、特に干渉屈折計に関し、その
上特に干渉偏光屈折計に関する。
上特に干渉偏光屈折計に関する。
従来の技術
偏光放射源、並びに、その放射路に次々に連続
的に位置する、光ビームを直角に偏光させられた
２つの光ビームに空間的に分割する（spatial
splitting）ための手段、直角に偏光させられた該
光ビームを空間的にそろえる（spatial
matching）ための手段、光ビームの路長差を測
定するユニツト、そして更に、空間的に分割する
ための該手段と直角に偏光させられた該光ビーム
を空間的にそろえるための該手段との間の適当な
位置に置かれた試料保持具を含んでなる干渉偏光
屈折計は、当該技術において公知である。光ビー
ムを空間的に分割するための手段と光ビームを空
間的にそろえるための手段は、単一の平行平面結
晶板の形に作られる（ザムコフ（V.A.Zamkov）、
ラドケビチ（V.A.Radkevich）：「内部異方性測
定用偏光干渉計」．光学と分光測定（Optics and
Spectrometry）、第31巻、第５号、1971年刊、
811〜816頁を参照されたい）。
的に位置する、光ビームを直角に偏光させられた
２つの光ビームに空間的に分割する（spatial
splitting）ための手段、直角に偏光させられた該
光ビームを空間的にそろえる（spatial
matching）ための手段、光ビームの路長差を測
定するユニツト、そして更に、空間的に分割する
ための該手段と直角に偏光させられた該光ビーム
を空間的にそろえるための該手段との間の適当な
位置に置かれた試料保持具を含んでなる干渉偏光
屈折計は、当該技術において公知である。光ビー
ムを空間的に分割するための手段と光ビームを空
間的にそろえるための手段は、単一の平行平面結
晶板の形に作られる（ザムコフ（V.A.Zamkov）、
ラドケビチ（V.A.Radkevich）：「内部異方性測
定用偏光干渉計」．光学と分光測定（Optics and
Spectrometry）、第31巻、第５号、1971年刊、
811〜816頁を参照されたい）。
前述の従来技術の屈折計の特色は、温度及び機
械的外乱に対する感度が高いことに起因して読取
りの安定性が低いことである。
械的外乱に対する感度が高いことに起因して読取
りの安定性が低いことである。
屈折計の感度が前記外乱に対して高いのは、次
に述べる事情のためである。最初の光ビームが直
角に偏光させられた２つの光ビームに分割されて
いる時に、後者は結晶板中に常光線（ordinary）
及び異常光線（extraordinary）として伝搬し、
そして、常光線及び異常光線に特有の異なる屈折
率のため一定の路長差をとり、その差の値は結晶
板の温度及び位置による。結晶板中を反復して通
過する間（光ビームがそろえられる時）に、常光
線として伝搬されるのは分割している間に常光線
として伝搬した光ビームであり、異常光線として
伝搬されるのは同様に分割している間に異常光線
として伝搬した光ビームである。従つて、分割し
そしてそろえる間にとられた全路長差は、分割す
る（そろえる）間に得られたもののほぼ２倍ほど
大きく、且つまた結晶板の温度及び位置による。
に述べる事情のためである。最初の光ビームが直
角に偏光させられた２つの光ビームに分割されて
いる時に、後者は結晶板中に常光線（ordinary）
及び異常光線（extraordinary）として伝搬し、
そして、常光線及び異常光線に特有の異なる屈折
率のため一定の路長差をとり、その差の値は結晶
板の温度及び位置による。結晶板中を反復して通
過する間（光ビームがそろえられる時）に、常光
線として伝搬されるのは分割している間に常光線
として伝搬した光ビームであり、異常光線として
伝搬されるのは同様に分割している間に異常光線
として伝搬した光ビームである。従つて、分割し
そしてそろえる間にとられた全路長差は、分割す
る（そろえる）間に得られたもののほぼ２倍ほど
大きく、且つまた結晶板の温度及び位置による。
従来技術のもう１つの干渉偏光屈折計は、偏光
放射源、並びに、その放射路に次々に連続的に位
置する、光ビームを直角に偏光させられた２つの
光ビームに空間的に分割するための手段、二分の
一波長板（２つの四分の一波長板から構成され
る）、直角に偏光させられた該光ビームを空間的
にそろえるための手段、楕円偏光成分の路長差を
測定するためのユニツト、そして更に、空間的分
割するための該手段と空間的にそろえるための該
手段との間の適当な位置に置かれた測定皿
（measuring dish）を含んでなる（バシリエバ
（I.S.Vasilieva）ら：「液体屈折分析器の感度を高
めるための適当な方法」．分析計器製造法．液状
媒質を分析する方法及び計器集、第１巻、第１
部、1975年トビリシにて刊行、を参照されたい）。
放射源、並びに、その放射路に次々に連続的に位
置する、光ビームを直角に偏光させられた２つの
光ビームに空間的に分割するための手段、二分の
一波長板（２つの四分の一波長板から構成され
る）、直角に偏光させられた該光ビームを空間的
にそろえるための手段、楕円偏光成分の路長差を
測定するためのユニツト、そして更に、空間的分
割するための該手段と空間的にそろえるための該
手段との間の適当な位置に置かれた測定皿
（measuring dish）を含んでなる（バシリエバ
（I.S.Vasilieva）ら：「液体屈折分析器の感度を高
めるための適当な方法」．分析計器製造法．液状
媒質を分析する方法及び計器集、第１巻、第１
部、1975年トビリシにて刊行、を参照されたい）。
前述の従来技術の屈折計において空間的に分割
するための手段及び直角に偏光させられた光ビー
ムを空間的にそろえるための手段として用いられ
るのは、厚さが等しく、光軸が同一方向である２
枚の平行平面結晶板である。第１及び第２の結晶
板を通過する際に、光ビームはそれぞれの結晶板
の温度及び位置に応じて該光ビームに比例した路
長差を獲得する。しかしながら、先に述べた干渉
偏光屈折計と対比して、この場合における温度に
依存する路長の変動は、結晶板の間の適当な位置
に置かれた二分の一波長板のため部分的に補償
れ、おのおのの光ビームの偏光方位を90°だけ変
化させる。これが起こるので、第１の板中を常光
線及び異常光線として伝搬する光ビームは第２の
板中をそれぞれ異常光線及び常光線として伝搬
し、第１及び第２の板中で獲得された路長差は符
号が異なる。これに反して、結晶板がお互いに一
定間隔をおいて位置していてそれらの温度と位置
とが別に変化するため、完全な補償は実行できな
いことが判明した。温度の感度が存続するもう一
つの原因は、結晶板が動かないように締結するこ
とが結晶板中に応力を引き起こし、応力の値が温
度条件及び締結条件に依存することにある。前記
従来技術の屈折計は光ビームを分割しそしてそろ
えるための２枚の結晶板を有するので、これらの
条件は異なつている。結晶板の相対的な位置の変
化が路長差のかなりの変化を助成し、それによつ
てそれらを動かないように締結することを義務的
なものとしているので、前述の従来技術の屈折計
が結晶板中の応力を減少させるための可能性を制
限されている、ということは注目すべきである。
するための手段及び直角に偏光させられた光ビー
ムを空間的にそろえるための手段として用いられ
るのは、厚さが等しく、光軸が同一方向である２
枚の平行平面結晶板である。第１及び第２の結晶
板を通過する際に、光ビームはそれぞれの結晶板
の温度及び位置に応じて該光ビームに比例した路
長差を獲得する。しかしながら、先に述べた干渉
偏光屈折計と対比して、この場合における温度に
依存する路長の変動は、結晶板の間の適当な位置
に置かれた二分の一波長板のため部分的に補償
れ、おのおのの光ビームの偏光方位を90°だけ変
化させる。これが起こるので、第１の板中を常光
線及び異常光線として伝搬する光ビームは第２の
板中をそれぞれ異常光線及び常光線として伝搬
し、第１及び第２の板中で獲得された路長差は符
号が異なる。これに反して、結晶板がお互いに一
定間隔をおいて位置していてそれらの温度と位置
とが別に変化するため、完全な補償は実行できな
いことが判明した。温度の感度が存続するもう一
つの原因は、結晶板が動かないように締結するこ
とが結晶板中に応力を引き起こし、応力の値が温
度条件及び締結条件に依存することにある。前記
従来技術の屈折計は光ビームを分割しそしてそろ
えるための２枚の結晶板を有するので、これらの
条件は異なつている。結晶板の相対的な位置の変
化が路長差のかなりの変化を助成し、それによつ
てそれらを動かないように締結することを義務的
なものとしているので、前述の従来技術の屈折計
が結晶板中の応力を減少させるための可能性を制
限されている、ということは注目すべきである。
発明の開示
本発明の目的は、光ビームの全路長差が空間的
に分割するための手段及び直角に偏光させられた
光ビームを空間的にそろえるための手段の温度及
び位置に依存するのを設計上かなり減少させ、そ
れに応じて計器の読みの安定性を改善し、その結
果として感度と測定精度とを高めた干渉偏光屈折
計を提供することである。
に分割するための手段及び直角に偏光させられた
光ビームを空間的にそろえるための手段の温度及
び位置に依存するのを設計上かなり減少させ、そ
れに応じて計器の読みの安定性を改善し、その結
果として感度と測定精度とを高めた干渉偏光屈折
計を提供することである。
前述の目的は、偏光放射源、並びに、その放射
路に次々に連続的に位置する、光ビームを直角に
偏光させられた２つの光ビームに空間的に分割す
るための手段、直角に偏光させられた該光ビーム
を空間的にそろえるための手段、楕円偏光させら
れた光成分の路長差を測定するためのユニツト、
そして更に、分割するための該手段とそろえるた
めの該手段との間の適当な位置に置かれた測定皿
を含んでなる干渉偏光屈折計であつて、本発明に
従つて、光ビームを直角に偏光させられた２つの
光ビームに空間的に分割するための該手段と二分
の一波長板との間に平らな反射面を有する反射器
があり、且つ、該二分の一波長板と直角に偏光さ
せられた光ビームを空間的にそろえるための該手
段との間に第１の反射器の反射面と垂直な平らな
反射面を有する第２の反射器があつて、両方の反
射器は一方が他方に対して動かないように取付け
られており、そして、分割するための該手段及び
直角に偏光させられた光ビームをそろえるための
該手段が両方の反射器の反射面と垂直な主断面を
有する単一の平行平面結晶板に形に作られている
干渉偏光屈折計を提供することによつて達成され
る。
路に次々に連続的に位置する、光ビームを直角に
偏光させられた２つの光ビームに空間的に分割す
るための手段、直角に偏光させられた該光ビーム
を空間的にそろえるための手段、楕円偏光させら
れた光成分の路長差を測定するためのユニツト、
そして更に、分割するための該手段とそろえるた
めの該手段との間の適当な位置に置かれた測定皿
を含んでなる干渉偏光屈折計であつて、本発明に
従つて、光ビームを直角に偏光させられた２つの
光ビームに空間的に分割するための該手段と二分
の一波長板との間に平らな反射面を有する反射器
があり、且つ、該二分の一波長板と直角に偏光さ
せられた光ビームを空間的にそろえるための該手
段との間に第１の反射器の反射面と垂直な平らな
反射面を有する第２の反射器があつて、両方の反
射器は一方が他方に対して動かないように取付け
られており、そして、分割するための該手段及び
直角に偏光させられた光ビームをそろえるための
該手段が両方の反射器の反射面と垂直な主断面を
有する単一の平行平面結晶板に形に作られている
干渉偏光屈折計を提供することによつて達成され
る。
本発明のもう１つの態様においては、この目的
は、本発明に従つて、光ビームを直角に偏光させ
られた２つの光ビームに空間的に分割するための
手段と二分の一波長板との間にコーナー反射器が
あり、且つ、二分の一波長板と直角に偏光させら
れた光ビームを空間的にそろえるための手段との
間に第１のコーナー反射器の主断面と平行な主断
面を有する第２のコーナー反射器があり、それら
のコーナー反射器は一方が他方に対して動かない
ように取付けられており、そして、空間的に分割
するための該手段及び直角に偏光させられた光ビ
ームを空間的にそろえるための該手段がそれらの
コーナー反射器の主断面と平行もしくは垂直な主
断面を有する単一の平行平面結晶板の形に作られ
ている。同様に干渉偏光屈折計を提供することに
よつて達成される。
は、本発明に従つて、光ビームを直角に偏光させ
られた２つの光ビームに空間的に分割するための
手段と二分の一波長板との間にコーナー反射器が
あり、且つ、二分の一波長板と直角に偏光させら
れた光ビームを空間的にそろえるための手段との
間に第１のコーナー反射器の主断面と平行な主断
面を有する第２のコーナー反射器があり、それら
のコーナー反射器は一方が他方に対して動かない
ように取付けられており、そして、空間的に分割
するための該手段及び直角に偏光させられた光ビ
ームを空間的にそろえるための該手段がそれらの
コーナー反射器の主断面と平行もしくは垂直な主
断面を有する単一の平行平面結晶板の形に作られ
ている。同様に干渉偏光屈折計を提供することに
よつて達成される。
本発明に従つて作られた干渉偏光屈折計におけ
る光ビームの路長の全体の差は、両方の態様にお
いて空間的に分割するための手段及び直角に偏光
させられた光ビームを空間的にそろえるための手
段として使用される平行平面板の温度及び位置に
ほんのわずかしか依存せず（第１の態様におい
て）、また実際上それらから独立しており（第２
の態様において）、干渉偏光屈折計の読みの安定
性を向上させ（ドリフトと出力信号の変動レベル
とが減少する）、その結果として感度と測定精度
とが高まる。
る光ビームの路長の全体の差は、両方の態様にお
いて空間的に分割するための手段及び直角に偏光
させられた光ビームを空間的にそろえるための手
段として使用される平行平面板の温度及び位置に
ほんのわずかしか依存せず（第１の態様におい
て）、また実際上それらから独立しており（第２
の態様において）、干渉偏光屈折計の読みの安定
性を向上させ（ドリフトと出力信号の変動レベル
とが減少する）、その結果として感度と測定精度
とが高まる。
もう１つの利点は、高価な結晶物質の倹約及び
簡易化された製造方法のため計器の費用が低下す
ることである。
簡易化された製造方法のため計器の費用が低下す
ることである。
次に、添付の図面に関連して採用された本発明
の特定の態様によつて本発明を記述する。
の特定の態様によつて本発明を記述する。
第１図は、本発明に従つて平らな表面の反射器
を有する干渉偏光屈折計の態様の概要図である。
を有する干渉偏光屈折計の態様の概要図である。
第２図は、本発明に従つてコーナー反射器を有
する同様のものの態様である。
する同様のものの態様である。
発明を実施する最良の様式
第１図に示した干渉偏光屈折計は、偏光放射源
１、並びに、その放射路に次々に連続的に位置す
る、平行平面結晶板２（例えば方解石）の形に作
られた光ビームを直角に偏光させられた２つの光
ビームに空間的に分割するための手段、測定皿
３、平らな反射面を有する、実際には表面に吹付
けられた平らな鏡である反射器４、二分の一波長
板５（例えば結晶石英）、これまた表面に吹付け
られた平らな鏡である第２の反射器６、実際には
平行平面結晶板２である直角に偏光させられた光
ビームを空間的にそろえるための手段、及び楕円
偏光させられた光成分の路長差を測定するための
ユニツト７を含んでなる。
１、並びに、その放射路に次々に連続的に位置す
る、平行平面結晶板２（例えば方解石）の形に作
られた光ビームを直角に偏光させられた２つの光
ビームに空間的に分割するための手段、測定皿
３、平らな反射面を有する、実際には表面に吹付
けられた平らな鏡である反射器４、二分の一波長
板５（例えば結晶石英）、これまた表面に吹付け
られた平らな鏡である第２の反射器６、実際には
平行平面結晶板２である直角に偏光させられた光
ビームを空間的にそろえるための手段、及び楕円
偏光させられた光成分の路長差を測定するための
ユニツト７を含んでなる。
反射器４及び６は一方が他方に対して動かない
ように取付けられ、反射器６の反射面は反射器４
の反射面と垂直であり、平行平面板２の主断面は
反射器４及び６の平らな反射面と垂直である。
ように取付けられ、反射器６の反射面は反射器４
の反射面と垂直であり、平行平面板２の主断面は
反射器４及び６の平らな反射面と垂直である。
ここに述べた態様において、標準媒質及び分析
される媒質のための２つの平行平面セルを有する
測定皿が結晶板２と反射器４との間に位置する。
しかしながら、必要があれば、例えば設計上の考
慮から、皿３は反射器４と二分の一波長板５との
間、二分の一波長板５と反射器６との間、反射器
６と結晶板２との間、そしてまた二分の一波長板
５が２枚の四分の一波長板から構成されている場
合には２枚の四分の一波長板の間に、配置するこ
とができよう。楕円偏光させられた光成分の路長
差を測定するためのユニツト７としては、四分の
一波長補償板（例えばセナルモン補償板）、偏光
子、及び光検出器を含んでなる装置を使用するこ
とができよう。非常に敏感な測定を実施する際に
は、ユニツト７は電気光学変調器又は磁気光学変
調器を追加して含むことができよう。
される媒質のための２つの平行平面セルを有する
測定皿が結晶板２と反射器４との間に位置する。
しかしながら、必要があれば、例えば設計上の考
慮から、皿３は反射器４と二分の一波長板５との
間、二分の一波長板５と反射器６との間、反射器
６と結晶板２との間、そしてまた二分の一波長板
５が２枚の四分の一波長板から構成されている場
合には２枚の四分の一波長板の間に、配置するこ
とができよう。楕円偏光させられた光成分の路長
差を測定するためのユニツト７としては、四分の
一波長補償板（例えばセナルモン補償板）、偏光
子、及び光検出器を含んでなる装置を使用するこ
とができよう。非常に敏感な測定を実施する際に
は、ユニツト７は電気光学変調器又は磁気光学変
調器を追加して含むことができよう。
第１図に示した干渉偏光屈折計の態様は、次の
とおりに作用する。
とおりに作用する。
結晶板２が放射源１からやつて来る光ビーム８
を直交平面で直線偏光させられた２つの光ビーム
９及び１０に分割し、該ビームの１つは皿３の測
定セルを通過し、他方は同じ皿の比較セルを通過
する。ビーム９及び１０は、その後、反射器４の
鏡により反射され、ビーム９及び１０のおのおの
の偏光方位を90°だけ変える二分の一波長板５を
通過し反射器６の鏡により更に反射され、そして
結晶板２により１つのビーム１１に整合させられ
る。直角に偏光させられたビーム９及び１０の整
合の結果として、楕円偏光ビーム１１が形成され
る。楕円偏光の成分は、分析されている媒質の屈
折率の差に比例した路長差の特徴を示す。路長差
は、路長差測定ユニツト７の助けによつて測定さ
れる。
を直交平面で直線偏光させられた２つの光ビーム
９及び１０に分割し、該ビームの１つは皿３の測
定セルを通過し、他方は同じ皿の比較セルを通過
する。ビーム９及び１０は、その後、反射器４の
鏡により反射され、ビーム９及び１０のおのおの
の偏光方位を90°だけ変える二分の一波長板５を
通過し反射器６の鏡により更に反射され、そして
結晶板２により１つのビーム１１に整合させられ
る。直角に偏光させられたビーム９及び１０の整
合の結果として、楕円偏光ビーム１１が形成され
る。楕円偏光の成分は、分析されている媒質の屈
折率の差に比例した路長差の特徴を示す。路長差
は、路長差測定ユニツト７の助けによつて測定さ
れる。
第１図より分るように、光ビーム８を結晶板２
において直角に偏光させられた２つの光ビームに
分割することは、光ビーム９を常光線（Ｏ光線）
として伝搬させ、光ビーム１０を異常光線（ｅ光
線）として伝搬させる一方、光ビーム９及び１０
をそろえることは、光ビーム１０が常光線として
伝搬し、ビーム９が異常光線として伝搬すること
に帰着する。それゆえに、分割する間に光ビーム
が獲得した路長差は、そろえる間に前記ビームが
獲得した路長差によつて補償される。光ビーム９
及び１０を分割しそしてそろえるのに単一且つ同
一の板２を使用するので、この補償は理想に近
い。
において直角に偏光させられた２つの光ビームに
分割することは、光ビーム９を常光線（Ｏ光線）
として伝搬させ、光ビーム１０を異常光線（ｅ光
線）として伝搬させる一方、光ビーム９及び１０
をそろえることは、光ビーム１０が常光線として
伝搬し、ビーム９が異常光線として伝搬すること
に帰着する。それゆえに、分割する間に光ビーム
が獲得した路長差は、そろえる間に前記ビームが
獲得した路長差によつて補償される。光ビーム９
及び１０を分割しそしてそろえるのに単一且つ同
一の板２を使用するので、この補償は理想に近
い。
鏡の間に位置する二分の一波長板５はそれぞれ
の光ビームの偏光方位を90°まで変えるので、鏡
４により反射された光ビームの振幅及び位相の変
化は、反射器６の鏡により反射されて光ビームの
振幅及び位相の変化によつて補償される、という
ことも注目すべきである。
の光ビームの偏光方位を90°まで変えるので、鏡
４により反射された光ビームの振幅及び位相の変
化は、反射器６の鏡により反射されて光ビームの
振幅及び位相の変化によつて補償される、という
ことも注目すべきである。
結晶板２の位置の変化に対する感度がより低い
のは、結晶板２の位置を主断面の平面で変えるこ
とが全路長差の変化を引き起こさないという事実
のためである。なぜならば、この場合分割されそ
してそろえられた光ビーム９及び１０に関する結
晶板２の位置は全く同じように変化し、結果とし
て対応する路長差の変化は絶対値が等しく、符号
が反対であるからである。これは、結晶板２の締
結の不動性についての厳格な必要条件を緩めるの
を可能にし、温度変化の影響を縮小させる。
のは、結晶板２の位置を主断面の平面で変えるこ
とが全路長差の変化を引き起こさないという事実
のためである。なぜならば、この場合分割されそ
してそろえられた光ビーム９及び１０に関する結
晶板２の位置は全く同じように変化し、結果とし
て対応する路長差の変化は絶対値が等しく、符号
が反対であるからである。これは、結晶板２の締
結の不動性についての厳格な必要条件を緩めるの
を可能にし、温度変化の影響を縮小させる。
第２図に示す干渉偏光屈折計の態様は、平面反
射器４をコーナー反射器１２（90°の角度を形成
している反射面を有する２つの表面吹付けされた
鏡の統一体の形に作られている）と取替え、反射
器６を主断面がコーナー反射器１２の主断面と平
行なもう１つのコーナー反射器１３と取替えたと
いう点で第１図に示したものと異なる。コーナー
反射器１２及び１３は、一方が他方に対して動か
ないように締結され、結晶板２の主断面は、コー
ナー反射器１２，１３のそれと平行である。しか
しながら必要があれば、例えば設計上の考慮か
ら、結晶板２は、その主断面をコーナー反射器１
２及び１３の主断面と垂直にして取付けることが
できよう。
射器４をコーナー反射器１２（90°の角度を形成
している反射面を有する２つの表面吹付けされた
鏡の統一体の形に作られている）と取替え、反射
器６を主断面がコーナー反射器１２の主断面と平
行なもう１つのコーナー反射器１３と取替えたと
いう点で第１図に示したものと異なる。コーナー
反射器１２及び１３は、一方が他方に対して動か
ないように締結され、結晶板２の主断面は、コー
ナー反射器１２，１３のそれと平行である。しか
しながら必要があれば、例えば設計上の考慮か
ら、結晶板２は、その主断面をコーナー反射器１
２及び１３の主断面と垂直にして取付けることが
できよう。
この場合の測定皿は、二分の一波長板５とコー
ナー反射器１３との間に取付けられる。しかしな
がら、万一必要が生じたならば、測定皿３は、コ
ーナー反射器１２及び１３の鏡の間、結晶板２と
コーナー反射器１２又は１３のいずれかとの間、
コーナー反射器１２と二分の一波長板５との間、
そしてまた、二分の一波長板５が２枚の四分の一
波長板から構成されている場合には四分の一波長
板の間に、配置することができよう。
ナー反射器１３との間に取付けられる。しかしな
がら、万一必要が生じたならば、測定皿３は、コ
ーナー反射器１２及び１３の鏡の間、結晶板２と
コーナー反射器１２又は１３のいずれかとの間、
コーナー反射器１２と二分の一波長板５との間、
そしてまた、二分の一波長板５が２枚の四分の一
波長板から構成されている場合には四分の一波長
板の間に、配置することができよう。
第２図に示した干渉偏光屈折計の作用は、光ビ
ーム９及び１０が、４回反射される（コーナー反
射器１２により２回、そしてコーナー反射器１３
により２回）という点、並びに第２図に示したコ
ーナー反射器１２及び１３の位置のために、光ビ
ーム８に平行して結晶板２に入射する（空間的に
そろえる際に）という点においてのみ、第１図に
示した屈折計の作用と異なる。
ーム９及び１０が、４回反射される（コーナー反
射器１２により２回、そしてコーナー反射器１３
により２回）という点、並びに第２図に示したコ
ーナー反射器１２及び１３の位置のために、光ビ
ーム８に平行して結晶板２に入射する（空間的に
そろえる際に）という点においてのみ、第１図に
示した屈折計の作用と異なる。
この特色は、第２図に示した計器の態様に対し
て、結晶板２と反射器１２及び１３との相互の位
置が全体としてどのように変化しても全路長差が
変化せずにそのままであるというところにある付
加的な利点を提供する。
て、結晶板２と反射器１２及び１３との相互の位
置が全体としてどのように変化しても全路長差が
変化せずにそのままであるというところにある付
加的な利点を提供する。
前述の利点は、結晶板２を実質上自由に動ける
ように取付けるのを許し、温度応力の影響を実際
上すつかり排除する。
ように取付けるのを許し、温度応力の影響を実際
上すつかり排除する。
コーナー反射器１２の鏡によつて反射された光
波の振幅及び位相の変化は、コーナー反射器１２
及び１３の間の適当な位置に置かれた二分の一波
長板５がおのおのの光ビームの偏光方位を90°ま
で変えるので、コーナー反射器１３の鏡によつて
反射された光波の振幅及び位相の変化により補償
される、ということもまた指摘されるべきであ
る。
波の振幅及び位相の変化は、コーナー反射器１２
及び１３の間の適当な位置に置かれた二分の一波
長板５がおのおのの光ビームの偏光方位を90°ま
で変えるので、コーナー反射器１３の鏡によつて
反射された光波の振幅及び位相の変化により補償
される、ということもまた指摘されるべきであ
る。
産業上の応用性
本発明に従つて作られた干渉偏光屈折計は、屈
折率の差に基礎を置く光学的方法による種々の媒
質の定性分析及び定量分析に使用することができ
よう。
折率の差に基礎を置く光学的方法による種々の媒
質の定性分析及び定量分析に使用することができ
よう。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/SU1985/000028 WO1986006481A1 (fr) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | Refractomere de polarisation d'interference |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62502563A JPS62502563A (ja) | 1987-10-01 |
| JPH0582902B2 true JPH0582902B2 (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=21616903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60502954A Granted JPS62502563A (ja) | 1985-04-24 | 1985-04-24 | 干渉偏光屈折計 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0223855B1 (ja) |
| JP (1) | JPS62502563A (ja) |
| AT (1) | ATE55646T1 (ja) |
| DE (1) | DE3579238D1 (ja) |
| FI (1) | FI865223L (ja) |
| WO (1) | WO1986006481A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2169347C1 (ru) * | 1999-11-29 | 2001-06-20 | Геликонов Валентин Михайлович | Оптический интерферометр (варианты) |
| CN112747667B (zh) * | 2019-10-31 | 2022-03-18 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 差分干涉仪装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE935094C (de) * | 1953-11-18 | 1955-11-10 | Simon | Gasanzeiger, insbesondere zur Verwendung in Grubenschaechten |
| CA979638A (en) * | 1972-05-15 | 1975-12-16 | Varian Associates | Polarization interferometer with beam polarizing and retarding means |
| SU701243A1 (ru) * | 1977-06-13 | 1983-07-30 | Ордена Трудового Красного Знамени Специальное Конструкторское Бюро Аналитического Приборостроения Ан Ссср | Интерференционно-пол ризационный рефрактометр |
| SU1121606A1 (ru) * | 1980-12-15 | 1984-10-30 | Научно-Техническое Объединение Ан Ссср | Интерференционный способ определени разности показателей преломлени и интерференционный рефрактометр дл его осуществлени (его варианты) |
-
1985
- 1985-04-24 AT AT85903448T patent/ATE55646T1/de not_active IP Right Cessation
- 1985-04-24 FI FI865223A patent/FI865223L/fi not_active Application Discontinuation
- 1985-04-24 EP EP85903448A patent/EP0223855B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-04-24 JP JP60502954A patent/JPS62502563A/ja active Granted
- 1985-04-24 WO PCT/SU1985/000028 patent/WO1986006481A1/ru not_active Ceased
- 1985-04-24 DE DE8585903448T patent/DE3579238D1/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FI865223A7 (fi) | 1986-12-19 |
| WO1986006481A1 (fr) | 1986-11-06 |
| FI865223A0 (fi) | 1986-12-19 |
| EP0223855B1 (de) | 1990-08-16 |
| FI865223L (fi) | 1986-12-19 |
| EP0223855A1 (de) | 1987-06-03 |
| EP0223855A4 (en) | 1988-02-12 |
| JPS62502563A (ja) | 1987-10-01 |
| ATE55646T1 (de) | 1990-09-15 |
| DE3579238D1 (de) | 1990-09-20 |
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