JPH058368B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH058368B2 JPH058368B2 JP59038883A JP3888384A JPH058368B2 JP H058368 B2 JPH058368 B2 JP H058368B2 JP 59038883 A JP59038883 A JP 59038883A JP 3888384 A JP3888384 A JP 3888384A JP H058368 B2 JPH058368 B2 JP H058368B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- diffraction grating
- bar mechanism
- pivot
- sine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、モノクロメータにおける回折格子を
回転するため枢着軸の周りに回転自在に取付けて
回折格子を担持するアームと、この枢着軸の周り
にアームを回転させるアーム回転装置とを具えた
サインバー機構に関するものである。更に本発明
はこのようなサインバー機構を有するモノクロメ
ータおよび分光光度計に関するものである。
回転するため枢着軸の周りに回転自在に取付けて
回折格子を担持するアームと、この枢着軸の周り
にアームを回転させるアーム回転装置とを具えた
サインバー機構に関するものである。更に本発明
はこのようなサインバー機構を有するモノクロメ
ータおよび分光光度計に関するものである。
サインバー機構は、モノクロメータにおける回
折格子を回転し、この機構に加わる線形的入力に
対してモノクロメータの出力における波長の線形
的な変化を得るのに使用される。サインバー機構
は、ねじ機構によつて進退させられる細長部材と
しての押し棒を有し、回折格子を担持するアーム
にこの押し棒を圧着させ、このアームは枢着軸の
周りに回動自在に取付けるのが一般的である。こ
のような機構は、精度が極めて高く、従つて高価
な構成部材によつて構成されている。
折格子を回転し、この機構に加わる線形的入力に
対してモノクロメータの出力における波長の線形
的な変化を得るのに使用される。サインバー機構
は、ねじ機構によつて進退させられる細長部材と
しての押し棒を有し、回折格子を担持するアーム
にこの押し棒を圧着させ、このアームは枢着軸の
周りに回動自在に取付けるのが一般的である。こ
のような機構は、精度が極めて高く、従つて高価
な構成部材によつて構成されている。
本発明の目的は、それ程高価でない構成部材を
使用するサインバー機構を得るにある。
使用するサインバー機構を得るにある。
この目的を達成するため、本発明サインバー機
構は、前記アーム回転装置を、一方の端部で前記
アームに回動自在に枢着連結しかつ他方の端部は
回動自在に枢着取付けした細長部材と、枢着連結
部と枢着取付部との間の距離を変化させる可変装
置とにより構成したことを特徴とする。
構は、前記アーム回転装置を、一方の端部で前記
アームに回動自在に枢着連結しかつ他方の端部は
回動自在に枢着取付けした細長部材と、枢着連結
部と枢着取付部との間の距離を変化させる可変装
置とにより構成したことを特徴とする。
モノクロメータ例えばエバート（Ebert）式、
リツトロー（Littrow）式、およびツエルニー−
ターナー（Czerny−Turner）式モノクロメータ
に使用するのが特に好適である構成では、回折格
子の中心を通過する軸線の周りに回動自在にし、
アームが回転する枢着点に回折格子の中心線が通
過するように回折格子をアームに取付ける。
リツトロー（Littrow）式、およびツエルニー−
ターナー（Czerny−Turner）式モノクロメータ
に使用するのが特に好適である構成では、回折格
子の中心を通過する軸線の周りに回動自在にし、
アームが回転する枢着点に回折格子の中心線が通
過するように回折格子をアームに取付ける。
好適な実施例においては、細長部材を親ねじ軸
とし、枢着連結部を前記親ねじに掛合しかつアー
ムに回動自在に連結したナツトとする。この親ね
じはモータにより回転する。
とし、枢着連結部を前記親ねじに掛合しかつアー
ムに回動自在に連結したナツトとする。この親ね
じはモータにより回転する。
枢着取付部の位置は調整自在にする。このこと
によりアームの長さの誤差による影響を補償する
ことができる。
によりアームの長さの誤差による影響を補償する
ことができる。
親ねじ軸と枢着したナツトとの間のバツクラツ
シユにより生ずる誤差を減少するためにバツクラ
ツシユ防止装置を設け、このバツクラツシユ防止
装置は、前記親ねじ軸を包囲しかつ前記枢着連結
したナツトとこの親ねじに螺合する他のナツトと
の間に圧縮された状態に維持される螺旋状のばね
と、このばねの圧縮力をほぼ一定に維持する圧縮
力維持装置とにより構成する。
シユにより生ずる誤差を減少するためにバツクラ
ツシユ防止装置を設け、このバツクラツシユ防止
装置は、前記親ねじ軸を包囲しかつ前記枢着連結
したナツトとこの親ねじに螺合する他のナツトと
の間に圧縮された状態に維持される螺旋状のばね
と、このばねの圧縮力をほぼ一定に維持する圧縮
力維持装置とにより構成する。
更に、本発明によれば、このようなサインバー
機構を具えるモノクロメータおよびこのようなモ
ノクロメータを具える分光光度計を得ることがで
きる。
機構を具えるモノクロメータおよびこのようなモ
ノクロメータを具える分光光度計を得ることがで
きる。
更に、本発明によれば、アームが回転するとき
円弧を描くアームの位置に回折格子を取付け、ア
ームの長さ、アームの枢着取付の位置、およびア
ームの枢着取付部とアームの枢着連結部との間の
距離が円弧経路上での回折格子の移動により生ず
る真の正弦法則からの誤差を少なくとも部分的に
補正するよう選択したことを特徴とするギリーソ
ン式モノクロメータを得ることができる。
円弧を描くアームの位置に回折格子を取付け、ア
ームの長さ、アームの枢着取付の位置、およびア
ームの枢着取付部とアームの枢着連結部との間の
距離が円弧経路上での回折格子の移動により生ず
る真の正弦法則からの誤差を少なくとも部分的に
補正するよう選択したことを特徴とするギリーソ
ン式モノクロメータを得ることができる。
次に図面につき、本発明の実施例を説明する。
第１図に、複数個の溝を形成した作用面２を有
する回折格子１、入射光線３、回折光線４および
格子垂線５を示し、入射角ｉ、波長λの回折角ｒ
をともに示す。
する回折格子１、入射光線３、回折光線４および
格子垂線５を示し、入射角ｉ、波長λの回折角ｒ
をともに示す。
入射光線と回折光線との周知の等式は次式の通
りである。即ち、 nλ＝ｄ（sin ｉ−sin ｒ） …(1) ただし、 λは放射線の波長、 ｎは回折の次数 ｄは回折格子の溝の間隔、 ｉは入射放射線の格子垂線に対する入射角、 ｒは波長λの放射線の格子垂線の回折角であ
る。
りである。即ち、 nλ＝ｄ（sin ｉ−sin ｒ） …(1) ただし、 λは放射線の波長、 ｎは回折の次数 ｄは回折格子の溝の間隔、 ｉは入射放射線の格子垂線に対する入射角、 ｒは波長λの放射線の格子垂線の回折角であ
る。
モノクロメータにおける或る共通の構成とし
て、回折格子を回転して選択する波長を変化さ
せ、入射光線と回折光線とのなす角度2αを一定
にする。
て、回折格子を回転して選択する波長を変化さ
せ、入射光線と回折光線とのなす角度2αを一定
にする。
即ち、
2α＝ｉ＋ｒ …(2)
式(2)を式(1)に代入すると
nλ＝2d cosα sinθ …(3)
ただし、2θ＝ｉ−ｒ，θはλ＝０のときゼロ次
のスペクトル位置からの格子の回転角である。
のスペクトル位置からの格子の回転角である。
式(3)から波長λは格子の回転角のサイン（正
弦）に比例することがわかる。
弦）に比例することがわかる。
波長を線形的に変化させるために、直線移動を
回転移動に変換して直線移動を回転角のサイン
（正弦）に比例させる機構が必要である。このよ
うな機構は一般的にサインバーとして知られてい
る。
回転移動に変換して直線移動を回転角のサイン
（正弦）に比例させる機構が必要である。このよ
うな機構は一般的にサインバーとして知られてい
る。
第２図に代表的なサインバー機構を線図的に示
す。回折格子１を、図面の平面に直交する軸線１
２の周りに回転自在に取付け、回転駆動はアーム
１４により行い、アーム１４に圧着する押し棒１
５の形式の細長部材の直線移動ｌにより角度θに
わたりこのアーム１４を回転させる。
す。回折格子１を、図面の平面に直交する軸線１
２の周りに回転自在に取付け、回転駆動はアーム
１４により行い、アーム１４に圧着する押し棒１
５の形式の細長部材の直線移動ｌにより角度θに
わたりこのアーム１４を回転させる。
ｌを押し棒１５の移動量、ｒをアーム１４の軸
線１２と押し棒１５の端部との間の長さとする
と、 ｌ＝ｒ sinθ …(4) 式(3)，(4)を組合せると nλ＝2d cosαｌ／ｒ …(5) 従つて、ｎ＝１としての１次スペクトルは λ＝2d cosαｌ／ｒ …(6) となる。
線１２と押し棒１５の端部との間の長さとする
と、 ｌ＝ｒ sinθ …(4) 式(3)，(4)を組合せると nλ＝2d cosαｌ／ｒ …(5) 従つて、ｎ＝１としての１次スペクトルは λ＝2d cosαｌ／ｒ …(6) となる。
この場合、波長λは押し棒の移動量に比例す
る。
る。
サインバー機構は押し棒１５を移動させる極め
て正確なねじを使用する構成とし移動量ｌをねじ
の回転に比例させるのが一般的である。このよう
な機構はこのねじ式押し棒を、極めて正確に整列
させかつ安定な軸受に取付け、極めて平坦な端面
をアームに圧着させることが必要になる。玉軸受
１７をアーム１４に取付け、この玉軸受を再現可
能に押し棒の端面１６に接触させる。この玉軸受
は正確な球面状とし、押し棒の移動量ｌおよび半
径ｒはこの玉軸受のボールの中心から測定したも
のとする。従つて従来のサインバー機構は精度が
高く、このため高価で構成が複雑であつた。
て正確なねじを使用する構成とし移動量ｌをねじ
の回転に比例させるのが一般的である。このよう
な機構はこのねじ式押し棒を、極めて正確に整列
させかつ安定な軸受に取付け、極めて平坦な端面
をアームに圧着させることが必要になる。玉軸受
１７をアーム１４に取付け、この玉軸受を再現可
能に押し棒の端面１６に接触させる。この玉軸受
は正確な球面状とし、押し棒の移動量ｌおよび半
径ｒはこの玉軸受のボールの中心から測定したも
のとする。従つて従来のサインバー機構は精度が
高く、このため高価で構成が複雑であつた。
代表的なサインバー機構としては、例えば以下
の仕様を持つ。
の仕様を持つ。
モノクロメータ波長帯域：190〜900nm
回折格子の溝：1200個／mm
λ／ｌ：19.2nm／mm
α：11.486°
この場合、式(6)を使用するとアーム１４の半径
ｒは ｒ＝2d cosαｌ／λ ＝85.067mm となる。
ｒは ｒ＝2d cosαｌ／λ ＝85.067mm となる。
必要とされる波長の精度が±0.1nmとすると、
アーム４の移動量ｌは ±85.067×0.1／900＝±0.009mm の精度でなければならない。
アーム４の移動量ｌは ±85.067×0.1／900＝±0.009mm の精度でなければならない。
高精度の構成部材を使用することなく波長帯域
190〜900nmにわたり±0.4nmの精度で波長選択
し、また220〜870nmにわたり±0.2nmの精度で
波長選択することができる機構を第３〜５図に線
図的に示す。
190〜900nmにわたり±0.4nmの精度で波長選択
し、また220〜870nmにわたり±0.2nmの精度で
波長選択することができる機構を第３〜５図に線
図的に示す。
第３図に示すように、枢着部７を回折格子１の
軸線１３から座標点（ｘ，ｙ）の位置に配置す
る。他の枢着部８を軸線１３から半径Ｒの位置で
アーム９に配置する。押し棒６を２個の枢着部
７，８間に張り渡し、長さをＬとし、押し棒６を
枢着部７または８のいずれかの方向に摺動させる
ことにより長さＬは変化することができるものと
する。この構成により、寸法を最適にすれば従来
の一般的なサインバー機構の性能に近似させるこ
とができる。
軸線１３から座標点（ｘ，ｙ）の位置に配置す
る。他の枢着部８を軸線１３から半径Ｒの位置で
アーム９に配置する。押し棒６を２個の枢着部
７，８間に張り渡し、長さをＬとし、押し棒６を
枢着部７または８のいずれかの方向に摺動させる
ことにより長さＬは変化することができるものと
する。この構成により、寸法を最適にすれば従来
の一般的なサインバー機構の性能に近似させるこ
とができる。
第４図には、枢着部７を段歩モータ１９のため
の取付部とし、細長部材としての押し棒６をねじ
棒とした構成を示す。アームにナツトを枢着し、
このナツトをねじ棒に螺合させ、枢着部８を形成
する。このときモータ１９に加える段歩パルスの
数を使用して枢着部７，８間のねじ棒６の長さの
微少変化を示すようにすることができる。
の取付部とし、細長部材としての押し棒６をねじ
棒とした構成を示す。アームにナツトを枢着し、
このナツトをねじ棒に螺合させ、枢着部８を形成
する。このときモータ１９に加える段歩パルスの
数を使用して枢着部７，８間のねじ棒６の長さの
微少変化を示すようにすることができる。
この構成のジオメトリを第５図に示す。第５図
から次のことがわかる。即ち L2＝（ｙ＋Ｒ sinθ）2＋（Ｒ cosθ−ｘ）2 …(7) 従来の普通のサインバー機構に関しては ｌ＝ｒ sinθ …(8) である。所定の角度θ0で押し棒６の長さがl0とす
ると、 l0＝ｒ sinθ0 …(9) となる。このとき押し棒の移動量は次式で与えら
れる。即ち ｌ−l0＝ｒ（sinθ−sinθ0） …(10) 従つて、第３〜５図に示す近似的サインバー機
構にとつても同様に、回折格子の回転に対する押
し棒の移動量は次式で与えられる。
から次のことがわかる。即ち L2＝（ｙ＋Ｒ sinθ）2＋（Ｒ cosθ−ｘ）2 …(7) 従来の普通のサインバー機構に関しては ｌ＝ｒ sinθ …(8) である。所定の角度θ0で押し棒６の長さがl0とす
ると、 l0＝ｒ sinθ0 …(9) となる。このとき押し棒の移動量は次式で与えら
れる。即ち ｌ−l0＝ｒ（sinθ−sinθ0） …(10) 従つて、第３〜５図に示す近似的サインバー機
構にとつても同様に、回折格子の回転に対する押
し棒の移動量は次式で与えられる。
Ｌ−L0＝｛(y+R sinθ)2＋(R cosθ-x)2｝1/2−｛(y+
R sinθ0)2＋(R cosθ0-x)2｝1/2…(11) このとき、近似的サインバー機構の誤差ΔLは
次式となる。即ち ΔL＝（Ｌ−L0）−（ｌ−l0） …(12) 式(6)から波長の誤差は次式のように表わされ
る。即ち Δλ＝2d cosαΔL／Ｒ …(13) 更に式(3)から sinθ＝λ／2d cosα、 およびsinθ0＝λ0／2d cosα …(14) 式(13)，(14)を式(11)，(12)に代入すると、 Δλ＝｛（ｙ／ｒ2d cosα＋Ｒ／ｒλ）2＋（Ｒ／ｒ
（（2d cosα）2−λ2）1/2−2d cosα／ｒｘ）2｝1/2
− ｛（ｙ／ｒ2d cosα＋Ｒ／ｒλ0）2＋（Ｒ／ｒ（
（2d cosα）2−λ2 0）1/2−2d cosα／ｒｘ）2｝1/2−
（λ−λ0）…(15) となる。
R sinθ0)2＋(R cosθ0-x)2｝1/2…(11) このとき、近似的サインバー機構の誤差ΔLは
次式となる。即ち ΔL＝（Ｌ−L0）−（ｌ−l0） …(12) 式(6)から波長の誤差は次式のように表わされ
る。即ち Δλ＝2d cosαΔL／Ｒ …(13) 更に式(3)から sinθ＝λ／2d cosα、 およびsinθ0＝λ0／2d cosα …(14) 式(13)，(14)を式(11)，(12)に代入すると、 Δλ＝｛（ｙ／ｒ2d cosα＋Ｒ／ｒλ）2＋（Ｒ／ｒ
（（2d cosα）2−λ2）1/2−2d cosα／ｒｘ）2｝1/2
− ｛（ｙ／ｒ2d cosα＋Ｒ／ｒλ0）2＋（Ｒ／ｒ（
（2d cosα）2−λ2 0）1/2−2d cosα／ｒｘ）2｝1/2−
（λ−λ0）…(15) となる。
ここで
として、式(16)を(15)に代入すると、
Δλ＝｛(A+Xλ)2＋（Ｘ(B2-λ2)1/2−Ｙ）2｝1/2−｛(
A+Xλ0)2＋（Ｘ（B2−λ2 0）1/2−Ｙ）2｝1/2−(λ-λ0
)…(17) 式(13)を、 Ｒ＝2d cosαΔL／Δλ …(18) と変形すると、サインバーの半径Ｒは、回折格子
の溝の間隔ｄ、角度αおよび波長変化と押し棒の
長さの変化との比によつて決まることがわかる。
A+Xλ0)2＋（Ｘ（B2−λ2 0）1/2−Ｙ）2｝1/2−(λ-λ0
)…(17) 式(13)を、 Ｒ＝2d cosαΔL／Δλ …(18) と変形すると、サインバーの半径Ｒは、回折格子
の溝の間隔ｄ、角度αおよび波長変化と押し棒の
長さの変化との比によつて決まることがわかる。
基本長ｙを、モノクロメータに使用すべき器具
に適合するのに都合のよい寸法に選択すると、波
長誤差を決定する式(17)には３個の未知数Ｘ，Ｙお
よびλ0が存在する。標準的なコンピユータによる
数学的最適化技法を使用してＸ，Ｙおよびλ0、従
つてＲ，Ｘおよびλ0の最適値を決定し、必要とさ
れる波長帯域にわたる誤差の平均自乗を最小に
し、または最大誤差を最小にすることができる。
に適合するのに都合のよい寸法に選択すると、波
長誤差を決定する式(17)には３個の未知数Ｘ，Ｙお
よびλ0が存在する。標準的なコンピユータによる
数学的最適化技法を使用してＸ，Ｙおよびλ0、従
つてＲ，Ｘおよびλ0の最適値を決定し、必要とさ
れる波長帯域にわたる誤差の平均自乗を最小に
し、または最大誤差を最小にすることができる。
或る構成で初期に次のパラメータが決まつてい
たとする。即ち １ 回折格子の数 1200ライン／mm ２ Δλ／ΔL 19.2nm／mm ３ 波長帯域 190〜900nm ４ 基本長ｙ 300mm ５ 角度α 11.486° 最適化を施すと、Ｒ，Ｘおよびλ0は次のように
なる。即ち Ｒ＝86.150mm ｘ＝68.857mm λ0＝273.538nm この特別な構成の特別な波長帯域にわたる波長
誤差を第６図に示す。
たとする。即ち １ 回折格子の数 1200ライン／mm ２ Δλ／ΔL 19.2nm／mm ３ 波長帯域 190〜900nm ４ 基本長ｙ 300mm ５ 角度α 11.486° 最適化を施すと、Ｒ，Ｘおよびλ0は次のように
なる。即ち Ｒ＝86.150mm ｘ＝68.857mm λ0＝273.538nm この特別な構成の特別な波長帯域にわたる波長
誤差を第６図に示す。
この構成によれば押し棒の端部に接触する精密
な球面、押し棒の端面が完全に平坦であること、
回折格子がゼロ次の位置にあるとき押し棒の端面
を回折格子の作用面に精密に整列させることは不
要になる。更に枢着取付けを調整自在にして寸法
ｘを可変にすることにより寸法Ｒ即ちアームの長
さのいかなる誤差も補正することができる。
な球面、押し棒の端面が完全に平坦であること、
回折格子がゼロ次の位置にあるとき押し棒の端面
を回折格子の作用面に精密に整列させることは不
要になる。更に枢着取付けを調整自在にして寸法
ｘを可変にすることにより寸法Ｒ即ちアームの長
さのいかなる誤差も補正することができる。
第７図には、エバート（Ebert）式モノクロメ
ータにサインバー機構を適用したものを線図的に
示す。このモノクロメータは、入射スリツト７０
２と出射スリツト７０３とを規定するスリツト板
７０１を有する。回折格子７０４を、図面の平面
に直交しかつ格子の中間点を通過する軸線の周り
に回動自在に取付ける。凹面鏡７０５は入射スリ
ツト７０２を通過する放射光線をコリメートした
ビームにし、回折格子７０４に指向させる。回折
格子により回折したビームは凹面鏡で反射し、回
折ビームを出射スリツト７０３で集束する。
ータにサインバー機構を適用したものを線図的に
示す。このモノクロメータは、入射スリツト７０
２と出射スリツト７０３とを規定するスリツト板
７０１を有する。回折格子７０４を、図面の平面
に直交しかつ格子の中間点を通過する軸線の周り
に回動自在に取付ける。凹面鏡７０５は入射スリ
ツト７０２を通過する放射光線をコリメートした
ビームにし、回折格子７０４に指向させる。回折
格子により回折したビームは凹面鏡で反射し、回
折ビームを出射スリツト７０３で集束する。
このモノクロメータを分光光度計に使用すると
き、モノクロメータの可調波長帯域のすべての波
長を含む放射光源が必要となる。上述の構成例で
は、波長帯域はスペクトルの近赤外領域から可視
領域を経て紫外領域にわたる。ダングステンフイ
ラメントランプ７１０により近赤外線および可視
光線を発生し、ジユテリウムランプ７１１により
紫外線を発生し、鏡７１２によりいずれかのラン
プを選択する。この鏡７１２は２個の位置の間に
移動可能にし、選択したランプからの放射光線を
凹面鏡７１３に指向させ、この凹面鏡７１３によ
り放射ビームを入射スリツト７０２に集束させ
る。
き、モノクロメータの可調波長帯域のすべての波
長を含む放射光源が必要となる。上述の構成例で
は、波長帯域はスペクトルの近赤外領域から可視
領域を経て紫外領域にわたる。ダングステンフイ
ラメントランプ７１０により近赤外線および可視
光線を発生し、ジユテリウムランプ７１１により
紫外線を発生し、鏡７１２によりいずれかのラン
プを選択する。この鏡７１２は２個の位置の間に
移動可能にし、選択したランプからの放射光線を
凹面鏡７１３に指向させ、この凹面鏡７１３によ
り放射ビームを入射スリツト７０２に集束させ
る。
段歩モータ７１４により押し棒としてのねじ軸
７１５を枢着部７１６を介して駆動する。このね
じ軸７１５は枢着部７１７でアーム７１８に回動
自在に連結し、このアーム７１８に回折格子を取
付ける。枢着部７１７はナツトにより構成し、こ
のナツトをアーム７１８に回動自在に取付けると
ともにねじ軸７１５に沿つて移動自在にする。こ
の結果、段歩モータ７１４によりねじ軸７１５を
回転すると、ナツトはねじ軸に沿つて移動し、従
つて枢着部はねじ軸に沿つて進退する。このとき
アーム７１８は角度θにわたり回転して回折格子
７０４を角度θにわたつて回転させる。モノクロ
メータの出射スリツト７０３からの出射放射線は
凹面鏡７１９によつて反射させ、サンプル隔室を
経て検出器（図示せず）に通過させる。
７１５を枢着部７１６を介して駆動する。このね
じ軸７１５は枢着部７１７でアーム７１８に回動
自在に連結し、このアーム７１８に回折格子を取
付ける。枢着部７１７はナツトにより構成し、こ
のナツトをアーム７１８に回動自在に取付けると
ともにねじ軸７１５に沿つて移動自在にする。こ
の結果、段歩モータ７１４によりねじ軸７１５を
回転すると、ナツトはねじ軸に沿つて移動し、従
つて枢着部はねじ軸に沿つて進退する。このとき
アーム７１８は角度θにわたり回転して回折格子
７０４を角度θにわたつて回転させる。モノクロ
メータの出射スリツト７０３からの出射放射線は
凹面鏡７１９によつて反射させ、サンプル隔室を
経て検出器（図示せず）に通過させる。
第７図に示す構成では、ねじ軸７１５の枢着部
７１６，７１７間の長さは第５図の長さＬに等し
く、アーム７１８の長さは長さＲに等しく、枢着
部７１６と回折格子７０４との間の光軸７２０に
平行な距離は寸法ｙに等しく、枢着部７１６の光
軸からの垂直距離は寸法ｘに等しい。
７１６，７１７間の長さは第５図の長さＬに等し
く、アーム７１８の長さは長さＲに等しく、枢着
部７１６と回折格子７０４との間の光軸７２０に
平行な距離は寸法ｙに等しく、枢着部７１６の光
軸からの垂直距離は寸法ｘに等しい。
第８図には、ギリーソン（Gillieson）式モノ
クロメータを有する分光光度計に近似的サインバ
ー機構を適用した例を示す。この分光光度計は、
放射光源を有する第１部分８０１と、モノクロメ
ータを有する第２部分８０２と、分析すべき試料
が配置されている第３部分８０３と、放射光線の
検出器を有する第４部分とよりなる。
クロメータを有する分光光度計に近似的サインバ
ー機構を適用した例を示す。この分光光度計は、
放射光源を有する第１部分８０１と、モノクロメ
ータを有する第２部分８０２と、分析すべき試料
が配置されている第３部分８０３と、放射光線の
検出器を有する第４部分とよりなる。
図示の分光光度計は、タングステンフイラメン
トランプ８０５とジユテリウムランプ８０６とを
有し、スペクトルの可視領域と紫外領域の双方に
わたる波長帯域をカバーできる。鏡８０７は、ジ
ユテリウムランプ８０６からの光線を凹面鏡８０
８に反射させる第１位置（実線で示す）とタング
ステンフイラメントランプ８０５からの光線が凹
面鏡に投射される第２位置（点線で示す）との間
に移動自在にする。
トランプ８０５とジユテリウムランプ８０６とを
有し、スペクトルの可視領域と紫外領域の双方に
わたる波長帯域をカバーできる。鏡８０７は、ジ
ユテリウムランプ８０６からの光線を凹面鏡８０
８に反射させる第１位置（実線で示す）とタング
ステンフイラメントランプ８０５からの光線が凹
面鏡に投射される第２位置（点線で示す）との間
に移動自在にする。
凹面鏡８０８で反射した光線はモノクロメータ
８０２の入射スリツト８０９に集光するととも
に、この入射スリツト８０９を通過して凹面鏡８
１０に投射され、この凹面鏡８１０によつて反射
した光線は集束していくビームとして回折格子８
１１に入射し、この回折格子で回折され、またモ
ノクロメータ８０２の出射スリツト８１２に集光
していく。次にこの光線は試料隔室８０３を通過
して検出器８１３に入射する。第４部分８０４に
おけるこの検出器８１３は、例えば光電子増倍管
または真空光電管とすることができる。検出器８
１３の電気的出力を処理回路（図示せず）に供給
し、この処理回路により表示用の適当な形式の出
力に変換する。試料隔室８０３を通過する光線の
必要とされる波長を選択するため、回折格子を図
面の平面に直交しかつ枢着部８１４の中心を通過
する軸線の周りに回転させる。この回転は回折格
子８１１を枢着部８１４の周りに担持する回転ア
ーム８１５により行う。
８０２の入射スリツト８０９に集光するととも
に、この入射スリツト８０９を通過して凹面鏡８
１０に投射され、この凹面鏡８１０によつて反射
した光線は集束していくビームとして回折格子８
１１に入射し、この回折格子で回折され、またモ
ノクロメータ８０２の出射スリツト８１２に集光
していく。次にこの光線は試料隔室８０３を通過
して検出器８１３に入射する。第４部分８０４に
おけるこの検出器８１３は、例えば光電子増倍管
または真空光電管とすることができる。検出器８
１３の電気的出力を処理回路（図示せず）に供給
し、この処理回路により表示用の適当な形式の出
力に変換する。試料隔室８０３を通過する光線の
必要とされる波長を選択するため、回折格子を図
面の平面に直交しかつ枢着部８１４の中心を通過
する軸線の周りに回転させる。この回転は回折格
子８１１を枢着部８１４の周りに担持する回転ア
ーム８１５により行う。
段歩モータ８１６をモノクロメータ８０２のブ
ラケツト８１７に取付け、この段歩モータの出力
軸を自在継手８１９により押し棒としてのねじ軸
８１８に連結する。ナツト８２０をアーム８１５
の開孔に回動自在に取付け、またねじ軸８１８に
沿つて移動可能にする。従つて、段歩モータ８１
６が段歩回転するにつれて、ねじ軸８１８が回転
し、またナツト８２０がねじ軸に沿つて移動し、
アーム８１５を枢着部８１４の周りに回転させ
る。
ラケツト８１７に取付け、この段歩モータの出力
軸を自在継手８１９により押し棒としてのねじ軸
８１８に連結する。ナツト８２０をアーム８１５
の開孔に回動自在に取付け、またねじ軸８１８に
沿つて移動可能にする。従つて、段歩モータ８１
６が段歩回転するにつれて、ねじ軸８１８が回転
し、またナツト８２０がねじ軸に沿つて移動し、
アーム８１５を枢着部８１４の周りに回転させ
る。
放射光線ビームは枢着部８１４の頂部を通過す
るが、第８図では枢着部を明示するために途切れ
た状態で示す。入射スリツトおよび出射スリツ
ト、凹面鏡８１０および回折格子８１１は光路に
対して適正な向きに指向するとともにこの光路が
枢着部８１４を通過できるように配列することが
必要であること勿論である。第５図の実施例でし
たものに対応するパラメータｘ，ｙ，Ｒ，Ｌおよ
びθを第８図でも図示する。パラメータｘは調整
自在とし、モータ８１６の位置はブラケツト８１
７において調整可能とする。アーム８１５の長さ
（Ｒ）における誤差により生ずる誤差と枢着点間
の距離（ｘ）の誤差により生ずる誤差との比は約
８対１であることを本願人は見出した。従つて、
Ｒの僅かな誤差はｘを適正な方向にＲの誤差に比
べて比較的大きな調整を行うことによつて補償す
ることができる。
るが、第８図では枢着部を明示するために途切れ
た状態で示す。入射スリツトおよび出射スリツ
ト、凹面鏡８１０および回折格子８１１は光路に
対して適正な向きに指向するとともにこの光路が
枢着部８１４を通過できるように配列することが
必要であること勿論である。第５図の実施例でし
たものに対応するパラメータｘ，ｙ，Ｒ，Ｌおよ
びθを第８図でも図示する。パラメータｘは調整
自在とし、モータ８１６の位置はブラケツト８１
７において調整可能とする。アーム８１５の長さ
（Ｒ）における誤差により生ずる誤差と枢着点間
の距離（ｘ）の誤差により生ずる誤差との比は約
８対１であることを本願人は見出した。従つて、
Ｒの僅かな誤差はｘを適正な方向にＲの誤差に比
べて比較的大きな調整を行うことによつて補償す
ることができる。
回折格子８１１が直線上ではなく、円弧に沿つ
て移動するため正弦法則に従う誤差を生ずる。し
かしこの誤差はｘ，ｙ，ＲおよびＬを適切に選択
することによつて減少することができ、サインバ
ー機構における誤差は回折格子が円弧上を移動す
ることによつて生ずる誤差を相殺する。
て移動するため正弦法則に従う誤差を生ずる。し
かしこの誤差はｘ，ｙ，ＲおよびＬを適切に選択
することによつて減少することができ、サインバ
ー機構における誤差は回折格子が円弧上を移動す
ることによつて生ずる誤差を相殺する。
第９および１０図は、アーム８１５と押し棒と
してのねじ軸８１８との枢着連結状態の拡大詳細
図である。ナツト８２０を、軸受９０１，９０２
および座部９０３，９０４によりアーム８１５の
開孔９００に枢着する。従つて、ねじ軸８１８が
回転するにつれて、ナツト８２０はねじ軸８１８
に沿つて移動するとともに、開孔９００内で回動
する。ナツト８２０とねじ軸８１８との間のバツ
クラツシユを減少するため、第２ナツト９０５を
ねじ軸８１８に螺合させ、第１ナツト８２０と第
２ナツト９０５との間におけるねじ軸８１８の周
囲を螺旋状のばね９０６により包囲する。ばね９
０６は圧縮状態に維持され、従つてナツト８２０
をねじ山の一方の側面に圧着させる。突部９０７
および９０８をそれぞれナツト８２０および９０
５の平坦面に配設し、ナツト９０５がねじ軸８１
８の周りに回転することなく、２個のナツト間の
距離を一定にしてばねに一定の圧縮力が加わるよ
うに維持する。
してのねじ軸８１８との枢着連結状態の拡大詳細
図である。ナツト８２０を、軸受９０１，９０２
および座部９０３，９０４によりアーム８１５の
開孔９００に枢着する。従つて、ねじ軸８１８が
回転するにつれて、ナツト８２０はねじ軸８１８
に沿つて移動するとともに、開孔９００内で回動
する。ナツト８２０とねじ軸８１８との間のバツ
クラツシユを減少するため、第２ナツト９０５を
ねじ軸８１８に螺合させ、第１ナツト８２０と第
２ナツト９０５との間におけるねじ軸８１８の周
囲を螺旋状のばね９０６により包囲する。ばね９
０６は圧縮状態に維持され、従つてナツト８２０
をねじ山の一方の側面に圧着させる。突部９０７
および９０８をそれぞれナツト８２０および９０
５の平坦面に配設し、ナツト９０５がねじ軸８１
８の周りに回転することなく、２個のナツト間の
距離を一定にしてばねに一定の圧縮力が加わるよ
うに維持する。
第１１図には、段歩モータ１９または８１６を
駆動する装置のブロツク図を示す。この装置はマ
イクロプロセツサ６００、読出し専用メモリ即ち
ROM６０１および駆動回路６０２よりなり、こ
れらをハイウエイ６０３を介して相互接続する。
マイクロプロセツサ６００は駆動回路６０２に加
える駆動信号を発生し、この駆動回路６０２によ
りモータのコイルに加えて段歩回転させるに必要
な波形を生ずる。所定速度で波長帯域を走査する
のが必要な場合、マイクロプロセツサは、所定速
度でクロツク波形を生じ、このクロツク波形を駆
動回路６０２に加える構成にすることができる。
この場合、駆動回路６０２は、イギリス国特許
2043879号に記載のように、マイクロプロセツサ
６０１が単に所定速度で駆動回路にクロツクパル
スを供給するだけのものにすることもできる。代
案として、マイクロプロセツサ６０１は段歩パル
スを直接発生するものとし、駆動回路６０３はこ
のパルスの電圧および電流をモータのコイルの駆
動に必要なものに変換するだけの駆動回路により
構成することができる。
駆動する装置のブロツク図を示す。この装置はマ
イクロプロセツサ６００、読出し専用メモリ即ち
ROM６０１および駆動回路６０２よりなり、こ
れらをハイウエイ６０３を介して相互接続する。
マイクロプロセツサ６００は駆動回路６０２に加
える駆動信号を発生し、この駆動回路６０２によ
りモータのコイルに加えて段歩回転させるに必要
な波形を生ずる。所定速度で波長帯域を走査する
のが必要な場合、マイクロプロセツサは、所定速
度でクロツク波形を生じ、このクロツク波形を駆
動回路６０２に加える構成にすることができる。
この場合、駆動回路６０２は、イギリス国特許
2043879号に記載のように、マイクロプロセツサ
６０１が単に所定速度で駆動回路にクロツクパル
スを供給するだけのものにすることもできる。代
案として、マイクロプロセツサ６０１は段歩パル
スを直接発生するものとし、駆動回路６０３はこ
のパルスの電圧および電流をモータのコイルの駆
動に必要なものに変換するだけの駆動回路により
構成することができる。
走査の直線性を向上させるため第６図に示す特
性の逆関数を例えばROM６０２などのメモリに
記憶し、マイクロプロセツサによつて誤差を補正
するのに使用する。例えば、モノクロメータを特
定の波長にセツトするには、モータを基準位置例
えば回折格子のゼロ次の位置に対応する位置から
所定波長セツテイング位置まで段歩回転するのに
必要な数のパルス数を記憶しておくことができ
る。マイクロプロセツサは、ゼロ次の位置からパ
ルス数を計数し、また例えば波長が１ナノメート
ル変化する毎に10個の段歩パルスを生ずる構成と
することができる。メモリは所定波長での補正値
を記憶しておき、９個または11個の段歩パルスが
１ナノメートルの波長変化に相当するようにして
おき、これによつてマイクロプロセツサはモノク
ロメータにセツトしてある波長を追跡することが
できる。
性の逆関数を例えばROM６０２などのメモリに
記憶し、マイクロプロセツサによつて誤差を補正
するのに使用する。例えば、モノクロメータを特
定の波長にセツトするには、モータを基準位置例
えば回折格子のゼロ次の位置に対応する位置から
所定波長セツテイング位置まで段歩回転するのに
必要な数のパルス数を記憶しておくことができ
る。マイクロプロセツサは、ゼロ次の位置からパ
ルス数を計数し、また例えば波長が１ナノメート
ル変化する毎に10個の段歩パルスを生ずる構成と
することができる。メモリは所定波長での補正値
を記憶しておき、９個または11個の段歩パルスが
１ナノメートルの波長変化に相当するようにして
おき、これによつてマイクロプロセツサはモノク
ロメータにセツトしてある波長を追跡することが
できる。
図示の実施例には種々の変更を加えることがで
きる。例えば、モータはd.c.モータまたはa.c.モ
ータとし、駆動回路に適当な変更を加えることが
でき、また枢着ナツト、アームの枢着およびねじ
軸の代りに他の枢着方法を使用することができ、
更にモータとねじ軸との自在継手の代りに直接連
結してモータを回動自在に取付けることができ
る。サインバー機構は他の型式のモノクロメータ
を使用することができ、例えばセヤ（Seya）式
モノクロメータの凹面格子のように非平面形回折
格子を使用したリツトロウ（Littrow）式または
ツエルニー−ターナー（Czerny−Turner）式モ
ノクロメータを使用することができる。また細長
の押し棒としてねじ軸を使用する代りに、アーム
に枢着して線形アクチユエータにより伸縮自在の
ロツドを使用することもできる。
きる。例えば、モータはd.c.モータまたはa.c.モ
ータとし、駆動回路に適当な変更を加えることが
でき、また枢着ナツト、アームの枢着およびねじ
軸の代りに他の枢着方法を使用することができ、
更にモータとねじ軸との自在継手の代りに直接連
結してモータを回動自在に取付けることができ
る。サインバー機構は他の型式のモノクロメータ
を使用することができ、例えばセヤ（Seya）式
モノクロメータの凹面格子のように非平面形回折
格子を使用したリツトロウ（Littrow）式または
ツエルニー−ターナー（Czerny−Turner）式モ
ノクロメータを使用することができる。また細長
の押し棒としてねじ軸を使用する代りに、アーム
に枢着して線形アクチユエータにより伸縮自在の
ロツドを使用することもできる。
第１図は回折格子における入射光線と回折光線
の関係を示す線図的説明図、第２図は従来のサイ
ンバー機構の線図、第３図は本発明によるサイン
バー機構の線図、第４図は、第３図のサインバー
機構の構成を示す線図、第５図は、第３図のサイ
ンバー機構のジオメトリの線図、第６図は、本発
明によるサインバー機構の真のサイン法則からの
ずれを示すグラフ、第７図は、エバート
（Ebert）式モノクロメータに本発明によるサイ
ンバー機構を使用した状態の線図、第８図はギリ
ーソン（Gillieson）式モノクロメータに本発明
によるサインバー機構を使用した状態の線図、第
９および１０図は、それぞれ本発明によるサイン
バー機構の枢着連結の細部の拡大詳細図、第１１
図は、本発明によるサインバー機構に使用する段
歩モータの駆動装置の線図的ブロツク図である。 １，７０４，８１１……回折格子、２……作用
面、３……入射光線、４……回折光線、５……格
子垂線、６，１５……押し棒（細長部材）、７，
８，７１６，７１７……枢着部、９，１４，７１
８，８１５……アーム、１６……押し棒の端面、
１７……玉軸受、１９……モータ、６００……マ
イクロプロセツサ、６０１……ROM、６０２…
…駆動回路、６０３……ハイウエイ、７０２，８
０９……入射スリツト、７０３，８１２……出射
スリツト、７０５，７１３，７１９，８０８，８
１０……凹面鏡、７１０，８０５……タングステ
ンフイラメントランプ、７１１，８０６……ジユ
テリウムランプ、７１２，８０７……鏡、７１
４，８１６……段歩モータ、７１５，８１８……
ねじ軸、７２０……光軸、８０２……モノクロメ
ータ、８０３……試料隔室、８１３……検出器、
８１７……ブラケツト、８１９……自在継手、８
２０，９０５……ナツト、９００……開孔、９０
１，９０２……軸受、９０３，９０４……座部、
９０６……ばね、９０７，９０８……突部。
の関係を示す線図的説明図、第２図は従来のサイ
ンバー機構の線図、第３図は本発明によるサイン
バー機構の線図、第４図は、第３図のサインバー
機構の構成を示す線図、第５図は、第３図のサイ
ンバー機構のジオメトリの線図、第６図は、本発
明によるサインバー機構の真のサイン法則からの
ずれを示すグラフ、第７図は、エバート
（Ebert）式モノクロメータに本発明によるサイ
ンバー機構を使用した状態の線図、第８図はギリ
ーソン（Gillieson）式モノクロメータに本発明
によるサインバー機構を使用した状態の線図、第
９および１０図は、それぞれ本発明によるサイン
バー機構の枢着連結の細部の拡大詳細図、第１１
図は、本発明によるサインバー機構に使用する段
歩モータの駆動装置の線図的ブロツク図である。 １，７０４，８１１……回折格子、２……作用
面、３……入射光線、４……回折光線、５……格
子垂線、６，１５……押し棒（細長部材）、７，
８，７１６，７１７……枢着部、９，１４，７１
８，８１５……アーム、１６……押し棒の端面、
１７……玉軸受、１９……モータ、６００……マ
イクロプロセツサ、６０１……ROM、６０２…
…駆動回路、６０３……ハイウエイ、７０２，８
０９……入射スリツト、７０３，８１２……出射
スリツト、７０５，７１３，７１９，８０８，８
１０……凹面鏡、７１０，８０５……タングステ
ンフイラメントランプ、７１１，８０６……ジユ
テリウムランプ、７１２，８０７……鏡、７１
４，８１６……段歩モータ、７１５，８１８……
ねじ軸、７２０……光軸、８０２……モノクロメ
ータ、８０３……試料隔室、８１３……検出器、
８１７……ブラケツト、８１９……自在継手、８
２０，９０５……ナツト、９００……開孔、９０
１，９０２……軸受、９０３，９０４……座部、
９０６……ばね、９０７，９０８……突部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ モノクロメータにおける回折格子を回転する
ため枢着軸の周りに回転自在に取付けて回折格子
を担持するアームと、この枢着軸の周りにアーム
を回転させるアーム回転装置とを具えたサインバ
ー機構において、前記アーム回転装置を、一方の
端部で前記アームに回動自在に枢着連結しかつ他
方の端部は回動自在に枢着取付けした細長部材
と、枢着連結部と枢着取付部との間の距離を変化
させる可変装置とにより構成したことを特徴とす
るサインバー機構。 ２ 細長部材を親ねじ軸とし、枢着連結部を前記
親ねじに掛合しかつアームに回動自在に連結した
ナツトとしたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項に記載のサインバー機構。 ３ 前記可変装置は、前記親ねじ軸を回転する段
歩モータを有するものとして構成したことを特徴
とする特許請求の範囲第２項に記載のサインバー
機構。 ４ 前記可変装置は、バツクラツシユ防止装置を
有するものとして構成し、このバツクラツシユ防
止装置は、前記親ねじ軸を包囲しかつ前記枢着連
結したナツトとこの親ねじに螺合する他のナツト
との間に圧縮された状態に維持される螺旋状のば
ねと、このばねの圧縮力をほぼ一定に維持する圧
縮力維持装置とにより構成したことを特徴とする
特許請求の範囲第３項に記載のサインバー機構。 ５ ギリーソン式モノクロメータに使用し、アー
ムが回転するとき円弧を描くアームの位置に回折
格子を取付け、アームの長さ、アームの枢着取付
の位置、およびアームの枢着取付部とアームの枢
着連結部との間の距離が円弧経路上での回折格子
の移動により生ずる真の正弦法則からの誤差を少
なくとも部分的に補正するように選択したことを
特徴とする特許請求の範囲第１乃至４項のうちの
いずれか一項に記載のサインバー機構。 ６ 回折格子の中心線が、アームの回転軸線を通
過するよう回折格子をアームに取り付けたことを
特徴とする特許請求の範囲第１乃至４項のうちの
いずれか一項に記載のサインバー機構。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB08305744A GB2136591A (en) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | Sine bar mechanism and monochromator and spectrophotometer including such a sine bar mechanism |
| GB8305744 | 1983-03-02 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59196429A JPS59196429A (ja) | 1984-11-07 |
| JPH058368B2 true JPH058368B2 (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=10538859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59038883A Granted JPS59196429A (ja) | 1983-03-02 | 1984-03-02 | サインバ−機構 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4613233A (ja) |
| EP (1) | EP0120526B1 (ja) |
| JP (1) | JPS59196429A (ja) |
| AU (1) | AU557802B2 (ja) |
| DE (1) | DE3476694D1 (ja) |
| GB (1) | GB2136591A (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4798464A (en) * | 1985-02-21 | 1989-01-17 | The Perkin-Elmer Corporation | Scanning array spectrophotometer |
| DE3544512A1 (de) * | 1985-12-17 | 1987-06-19 | Bodenseewerk Perkin Elmer Co | Polychromator |
| JPS63187125A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-02 | Shimadzu Corp | 分光器 |
| US4895445A (en) * | 1987-06-25 | 1990-01-23 | Eastman Kodak Company | Spectrophotometer |
| US5274435A (en) * | 1992-02-26 | 1993-12-28 | Hettrick Michael C | Grating monochromators and spectrometers based on surface normal rotation |
| US7575653B2 (en) * | 1993-04-15 | 2009-08-18 | 3M Innovative Properties Company | Melt-flowable materials and method of sealing surfaces |
| US7209230B2 (en) | 2004-06-18 | 2007-04-24 | Luckoff Display Corporation | Hand-held spectra-reflectometer |
| US7233394B2 (en) | 2005-06-20 | 2007-06-19 | Luckoff Display Corporation | Compact spectrometer |
| US7817274B2 (en) | 2007-10-05 | 2010-10-19 | Jingyun Zhang | Compact spectrometer |
| WO2009070459A1 (en) | 2007-11-30 | 2009-06-04 | Jingyun Zhang | Miniature spectrometers working with cellular phones and other portable electronic devices |
| CN115144333B (zh) * | 2022-06-27 | 2024-11-15 | 山东非金属材料研究所 | 一种水红外分析仪光栅单色器 |
| CN116183020B (zh) * | 2022-12-23 | 2024-09-24 | 安徽创谱仪器科技有限公司 | 光栅机构及光谱仪 |
| CN121595029A (zh) * | 2026-01-30 | 2026-03-03 | 华中科技大学 | 一种折反式体相全息光栅透射光谱仪 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB344722A (ja) * | 1929-05-14 | 1931-03-12 | Carl Mueller | |
| US3414356A (en) * | 1956-08-01 | 1968-12-03 | Applied Physics Corp | Monochromator having linear readout of wavenumber |
| US3868499A (en) * | 1974-03-25 | 1975-02-25 | Gca Corp | Spectrometric apparatus |
| US4322166A (en) * | 1979-02-12 | 1982-03-30 | The Perkin-Elmer Corporation | Monochromator |
| JPS56138224A (en) * | 1980-03-31 | 1981-10-28 | Shimadzu Corp | Spectroscope using concave surface diffraction grating |
| DE3102684A1 (de) * | 1981-01-28 | 1982-08-19 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Einrichtung zum beaufschlagen eines objektes mit strahlung |
| HU183954B (en) * | 1982-06-09 | 1984-06-28 | Koezponti Elelmiszeripari | Grid-type monochromator for generating monochromatic radiation with linearly changing wave-lenght in the case of displacement or angular displacement |
-
1983
- 1983-03-02 GB GB08305744A patent/GB2136591A/en not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-02-29 AU AU25145/84A patent/AU557802B2/en not_active Ceased
- 1984-03-01 DE DE8484200290T patent/DE3476694D1/de not_active Expired
- 1984-03-01 EP EP84200290A patent/EP0120526B1/en not_active Expired
- 1984-03-01 US US06/585,066 patent/US4613233A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-03-02 JP JP59038883A patent/JPS59196429A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU557802B2 (en) | 1987-01-08 |
| GB2136591A (en) | 1984-09-19 |
| US4613233A (en) | 1986-09-23 |
| EP0120526B1 (en) | 1989-02-08 |
| JPS59196429A (ja) | 1984-11-07 |
| GB8305744D0 (en) | 1983-04-07 |
| AU2514584A (en) | 1984-09-06 |
| DE3476694D1 (en) | 1989-03-16 |
| EP0120526A2 (en) | 1984-10-03 |
| EP0120526A3 (en) | 1985-12-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH058368B2 (ja) | ||
| US7796252B2 (en) | Scanning monochromator with direct drive grating | |
| JP4534487B2 (ja) | エシェルスペクトロメータの波長較正のためのアセンブリおよび方法 | |
| US6897955B2 (en) | Ellipsometer | |
| JPH07333062A (ja) | 分光器の波長走査機構及びその波長走査方法 | |
| EP0096317B1 (en) | Grating monochromator | |
| CN115144333B (zh) | 一种水红外分析仪光栅单色器 | |
| US4036558A (en) | Focalization process of spherical concave diffraction gratings | |
| JP4044442B2 (ja) | サンプルの鏡面反射率測定 | |
| US5528370A (en) | Apparatus and method for measuring variations in thickness of an optical interference element | |
| CN223925833U (zh) | 可校准波长的旋转光栅光谱仪 | |
| GB2168451A (en) | Wavelength driving device for monochromators | |
| JPH04212025A (ja) | 分光器 | |
| US3490848A (en) | Spectral grating apparatus | |
| JPH0261528A (ja) | 分光装置 | |
| US12436094B2 (en) | Adjustable optical system for a spectrograph | |
| JPH0783828A (ja) | 角度可変絶対反射率測定装置 | |
| JPH05340813A (ja) | 分光器 | |
| JPS6031252B2 (ja) | 凹面回折格子単色計 | |
| US20030151740A1 (en) | Light source | |
| JP2000337961A (ja) | ダブルモノクロメータおよびそれを用いた分光光度計 | |
| JP2007121087A (ja) | 分光器、および回折格子切換え装置 | |
| JPH0587674A (ja) | 光伝送特性測定装置 | |
| JPS63215923A (ja) | 分光測光装置における補助装置 | |
| JPS58131522A (ja) | 分光装置 |