JPH0583817B2 - - Google Patents
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- JPH0583817B2 JPH0583817B2 JP61026573A JP2657386A JPH0583817B2 JP H0583817 B2 JPH0583817 B2 JP H0583817B2 JP 61026573 A JP61026573 A JP 61026573A JP 2657386 A JP2657386 A JP 2657386A JP H0583817 B2 JPH0583817 B2 JP H0583817B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean room
- blower
- box
- return air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Central Air Conditioning (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、清浄作業室（クリーンルーム）を構
成する装置に関する。
成する装置に関する。
電気電子機器類、薬品類、精密機械類、その他
の生産加工などに使用されたり、手術室や実験室
などに使用されたりするクリーンルームは、清浄
な空気を実質上ルーム幅一杯に水平方向または垂
直方向（上から下への方向）に吹き出す方式が一
般であるが、天井面から床面に向けて垂直に吹き
出す垂直流式（垂直層流式）クリーンルームが最
も普及している。
の生産加工などに使用されたり、手術室や実験室
などに使用されたりするクリーンルームは、清浄
な空気を実質上ルーム幅一杯に水平方向または垂
直方向（上から下への方向）に吹き出す方式が一
般であるが、天井面から床面に向けて垂直に吹き
出す垂直流式（垂直層流式）クリーンルームが最
も普及している。
従来において、このような垂直流式クリーンル
ームは、第６図にその代表例を示したように、ク
リーンルーム空間１の天井面にHEPAフイルタ
ー２を張り渡すと共に床面をグレーチング板のよ
うな多孔床３を張り渡し、ルームの外に設けた機
械室内の空調機から給気ダクト５によつてその給
気を天井裏空間６に送気することによつて
HEPAフイルター２から清浄空気を吹き出すよ
うにしていた。他方、多孔床３の下方の床下空間
７から還気ダクト８によつてその還気が空調機４
が戻される。空調機４はクリーンルームの負荷を
まかなうに充分な容量を持つものであることが必
要であるが、メインの空調機が一台設置されるの
が通常であり、予備の空調機を含めて２台か３台
設置されるのが通常であつた。またクリーンルー
ムの負荷を分担して処理する場合でも、多くて５
〜６台程度であつた。すなわち、天井に張り渡し
たHEPAフイルター２の天井裏空間６をクリー
ンルームのプレナムチヤンバーとして利用する垂
直流式クリーンルームにおいては、機械室で調和
空気を製造し、これを該プレナムチヤンバーに送
気するのが一般であり、小さなクリーンルームで
はこの空調機をルーム壁の外側や天井裏にに設置
する例もあるがその台数は通常は一台、多くても
二台程度であるのが通常であつた。
ームは、第６図にその代表例を示したように、ク
リーンルーム空間１の天井面にHEPAフイルタ
ー２を張り渡すと共に床面をグレーチング板のよ
うな多孔床３を張り渡し、ルームの外に設けた機
械室内の空調機から給気ダクト５によつてその給
気を天井裏空間６に送気することによつて
HEPAフイルター２から清浄空気を吹き出すよ
うにしていた。他方、多孔床３の下方の床下空間
７から還気ダクト８によつてその還気が空調機４
が戻される。空調機４はクリーンルームの負荷を
まかなうに充分な容量を持つものであることが必
要であるが、メインの空調機が一台設置されるの
が通常であり、予備の空調機を含めて２台か３台
設置されるのが通常であつた。またクリーンルー
ムの負荷を分担して処理する場合でも、多くて５
〜６台程度であつた。すなわち、天井に張り渡し
たHEPAフイルター２の天井裏空間６をクリー
ンルームのプレナムチヤンバーとして利用する垂
直流式クリーンルームにおいては、機械室で調和
空気を製造し、これを該プレナムチヤンバーに送
気するのが一般であり、小さなクリーンルームで
はこの空調機をルーム壁の外側や天井裏にに設置
する例もあるがその台数は通常は一台、多くても
二台程度であるのが通常であつた。
機械室で製造した調和空気（温湿度を調整した
空気）を給気ダクトでクリーンルームのプレナム
チヤンバーに送気し、還気ダクトで空調機に戻す
方式では送風機動力を多く必要とする。クリーン
ルームのランニングコストは送風機動力がその大
半を占めるので、前記の従来方式ではランニング
コストが高くなるという問題があつた。また、必
要とする調和空気を機械室で作る場合には、クリ
ーンルームの作業状態に応じた負荷の変動、例え
ば作業の休止時や軽量作業時などのように負荷が
低下した場合、に対してクリーンルームの運転状
態を即応して制御することが難しいという問題が
あつた。また、故障時やメインテナンス時にはク
リーンルームの使用を停止せざるを得ないような
おおがかりな作業を必要とした。そして、クリー
ンルームに隣接して空調機を設置する場合には、
騒音が伝播して作業環境を悪化させるという問題
があつた。そして、いつたんクリーンルームを形
成すると、その規模や能力を拡大したり縮小した
りすることは大きな困難をともなつた。
空気）を給気ダクトでクリーンルームのプレナム
チヤンバーに送気し、還気ダクトで空調機に戻す
方式では送風機動力を多く必要とする。クリーン
ルームのランニングコストは送風機動力がその大
半を占めるので、前記の従来方式ではランニング
コストが高くなるという問題があつた。また、必
要とする調和空気を機械室で作る場合には、クリ
ーンルームの作業状態に応じた負荷の変動、例え
ば作業の休止時や軽量作業時などのように負荷が
低下した場合、に対してクリーンルームの運転状
態を即応して制御することが難しいという問題が
あつた。また、故障時やメインテナンス時にはク
リーンルームの使用を停止せざるを得ないような
おおがかりな作業を必要とした。そして、クリー
ンルームに隣接して空調機を設置する場合には、
騒音が伝播して作業環境を悪化させるという問題
があつた。そして、いつたんクリーンルームを形
成すると、その規模や能力を拡大したり縮小した
りすることは大きな困難をともなつた。
本発明は、前記のような問題の解決を図るため
に、クリーンルームの両側壁の裏側に、幅が約１
〜3m程度の縦長の小容量の各々独立運転可能な
空調機ユニツトを、実質的に側壁長さにわたつて
隣接し、各ユニツトへの給気通路や還気通路をク
リーンルームと直結するようにすると共に、これ
の台数制御によつて負荷の変動に即応できるよう
にしたクリーンルームを構成しようとするもので
あり、このために好適に使用できる空調機ユニツ
トを開発したものである。すなわち本発明の空調
機ユニツトは、ユニツトのケーシング背面をクリ
ーンルームの側壁の裏側と背中合わせにしてこれ
を多数隣接して設置するクリーンルーム用空調機
ユニツトであつて、 形成されるクリーンルームのルーム高さよりも
実質上大きな高さを有した縦長のケーシング内に
下から順に、還気側ボツクス、機械ボツクスおよ
び給気側ボツクスを形成し、 該還気側ボツクス内をジグザグ気流通路に形成
すると共にこの通路の一部を消音セルに構成し、 該機械ボツクス内に、熱交換コイル、送風機お
よび送風機モーターを、熱交換コイルが送風機の
吸込側となるように、設置し、 該給気側ボツクスに送風機の吐出口を開口させ
ると共にこの吐出口にマフラーを設置し、且つ送
風機吐出流がこのユニツトの給気吐出用貫通孔に
向けてジグザグに流れるようにしたことを特徴と
するものである。
に、クリーンルームの両側壁の裏側に、幅が約１
〜3m程度の縦長の小容量の各々独立運転可能な
空調機ユニツトを、実質的に側壁長さにわたつて
隣接し、各ユニツトへの給気通路や還気通路をク
リーンルームと直結するようにすると共に、これ
の台数制御によつて負荷の変動に即応できるよう
にしたクリーンルームを構成しようとするもので
あり、このために好適に使用できる空調機ユニツ
トを開発したものである。すなわち本発明の空調
機ユニツトは、ユニツトのケーシング背面をクリ
ーンルームの側壁の裏側と背中合わせにしてこれ
を多数隣接して設置するクリーンルーム用空調機
ユニツトであつて、 形成されるクリーンルームのルーム高さよりも
実質上大きな高さを有した縦長のケーシング内に
下から順に、還気側ボツクス、機械ボツクスおよ
び給気側ボツクスを形成し、 該還気側ボツクス内をジグザグ気流通路に形成
すると共にこの通路の一部を消音セルに構成し、 該機械ボツクス内に、熱交換コイル、送風機お
よび送風機モーターを、熱交換コイルが送風機の
吸込側となるように、設置し、 該給気側ボツクスに送風機の吐出口を開口させ
ると共にこの吐出口にマフラーを設置し、且つ送
風機吐出流がこのユニツトの給気吐出用貫通孔に
向けてジグザグに流れるようにしたことを特徴と
するものである。
このユニツトを用いることにより、すなわち後
記第３図ないし第５図に示したように、各ユニツ
トのケーシング背面をルーム側壁の裏側と背中合
わせにしてこれを多数隣接し、各ユニツトの還気
側ボツクスの還気取入口をルーム床下空間（多孔
床より下の空間）と連通させ、そして各ユニツト
の給気側ボツクスの給気吐出口をルーム天井裏空
間（HEPAフイルタ層により上の空間）に連通
させることによつてクリーンルーム装置が構成さ
れる。
記第３図ないし第５図に示したように、各ユニツ
トのケーシング背面をルーム側壁の裏側と背中合
わせにしてこれを多数隣接し、各ユニツトの還気
側ボツクスの還気取入口をルーム床下空間（多孔
床より下の空間）と連通させ、そして各ユニツト
の給気側ボツクスの給気吐出口をルーム天井裏空
間（HEPAフイルタ層により上の空間）に連通
させることによつてクリーンルーム装置が構成さ
れる。
第１図は本発明ユニツトの一縦断面を、第２図
は第１図の−線矢視断面を示しておりその一
部（上部）では方向を変えて見ている。これらの
図に見られるように、本発明の空調機ユニツトは
縦長の外形をもつケーシングを有しており、その
高さは、形成されるクリーンルームのルーム高さ
よりも高いものである。幅は約１〜3m、奥行き
は0.5〜2.5m程度が適当である。このケーシング
内部は３段に分割されており、下方より、還気側
ボツクス１０、機械ボツクス１１、給気側ボツク
ス１２が形成される。還気側ボツクス１０はその
前面が若干前方に張り出している。ケーシング背
面板１３には、還気側ボツクス１０に対応する下
部に還気取入用開口１４が、そして給気側ボツク
ス１２に対応する上部に給気吐出用開口１５が設
けてある。ケーシングを構成する板の裏面の殆ど
には騒音防止用の吸音板（断熱を兼ねる）が貼つ
てある。
は第１図の−線矢視断面を示しておりその一
部（上部）では方向を変えて見ている。これらの
図に見られるように、本発明の空調機ユニツトは
縦長の外形をもつケーシングを有しており、その
高さは、形成されるクリーンルームのルーム高さ
よりも高いものである。幅は約１〜3m、奥行き
は0.5〜2.5m程度が適当である。このケーシング
内部は３段に分割されており、下方より、還気側
ボツクス１０、機械ボツクス１１、給気側ボツク
ス１２が形成される。還気側ボツクス１０はその
前面が若干前方に張り出している。ケーシング背
面板１３には、還気側ボツクス１０に対応する下
部に還気取入用開口１４が、そして給気側ボツク
ス１２に対応する上部に給気吐出用開口１５が設
けてある。ケーシングを構成する板の裏面の殆ど
には騒音防止用の吸音板（断熱を兼ねる）が貼つ
てある。
還気側ボツクス１０には、還気取入用開口１４
から取入れた還気が蛇行して上昇するように邪魔
板１６がその中段に水平に張り渡してあり、ま
た、その下方には、還気取入用開口１４に接続し
た吸音セル１７が設置してある。すなわち、還気
取入用開口１４からこの還気側ボツクス１０内に
吸引される還気は先ず水平方向に設置された吸音
セル１７に入り、この吸音セル１７から出る空気
は前面板１８に衝突したあと方向を反転させてこ
の吸音セル１７と邪魔板１６との間を抜け、また
ケーシング背面板１３に衝突して方向を変えて上
部の給気側ボツクス１２に流れるというジグザグ
気流通路を経て流れるようにし、このジグザグ気
流通路一部を消音セル１７で構成してある。還気
取入用開口１４は、後述のように、形成されるク
リーンルームの下部空間に非常に短いダクト１９
によつて連通させるのであるが、還気側ボツクス
１０内をジグザグ気流通路に構成しその一部を吸
音セルとすることによつて、この通路からユニツ
トの騒音が伝播するのが効果的に防止される。な
お、この還気側ボツクス１０の前面には（邪魔板
１６の上の位置）には、換気取入用開口２０が設
けられ、この開口２０を通じて必要量の換気がこ
の還気側ボツクス１０内に導入される。
から取入れた還気が蛇行して上昇するように邪魔
板１６がその中段に水平に張り渡してあり、ま
た、その下方には、還気取入用開口１４に接続し
た吸音セル１７が設置してある。すなわち、還気
取入用開口１４からこの還気側ボツクス１０内に
吸引される還気は先ず水平方向に設置された吸音
セル１７に入り、この吸音セル１７から出る空気
は前面板１８に衝突したあと方向を反転させてこ
の吸音セル１７と邪魔板１６との間を抜け、また
ケーシング背面板１３に衝突して方向を変えて上
部の給気側ボツクス１２に流れるというジグザグ
気流通路を経て流れるようにし、このジグザグ気
流通路一部を消音セル１７で構成してある。還気
取入用開口１４は、後述のように、形成されるク
リーンルームの下部空間に非常に短いダクト１９
によつて連通させるのであるが、還気側ボツクス
１０内をジグザグ気流通路に構成しその一部を吸
音セルとすることによつて、この通路からユニツ
トの騒音が伝播するのが効果的に防止される。な
お、この還気側ボツクス１０の前面には（邪魔板
１６の上の位置）には、換気取入用開口２０が設
けられ、この開口２０を通じて必要量の換気がこ
の還気側ボツクス１０内に導入される。
機械ボツクス１１は、該還気側ボツクス１０の
上方の中段に設けられる。ここには、熱交換コイ
ル２１と送風機２２、並びに送風機モーター２３
が設置される。熱交換コイル２１は送風機２２の
吸込側つまり下方に設置され、この熱交換コイル
２１は、還気側ボツクス１０と仕切る中央開口の
仕切り板２４によつて固定されている。この熱交
換コイル２１には、このユニツトの外で作られた
冷水が通水され、ここを通過する空気を必要温度
にまで冷却する。この通水量を制御することによ
つて処理空気の温度が調節される。この冷水の一
例を挙げると、入口水温が15℃、出口水温が18
℃、通水量が28℃／min、として、風量16.5m3／
minでこの熱交換コイル２１への入口空気23℃の
ものを21.2℃のものに冷却する。送風機２２と送
風機モーター２３は水平に張り渡した支持杆２５
に防振部材２６を介して設置されており、図示の
例では、第２図にみられるように、この送風機２
２はその吐出口を上にして２台設置されている。
各送風機２２はモーター２３を個別に有しており
独立して駆動できるようにしてある。
上方の中段に設けられる。ここには、熱交換コイ
ル２１と送風機２２、並びに送風機モーター２３
が設置される。熱交換コイル２１は送風機２２の
吸込側つまり下方に設置され、この熱交換コイル
２１は、還気側ボツクス１０と仕切る中央開口の
仕切り板２４によつて固定されている。この熱交
換コイル２１には、このユニツトの外で作られた
冷水が通水され、ここを通過する空気を必要温度
にまで冷却する。この通水量を制御することによ
つて処理空気の温度が調節される。この冷水の一
例を挙げると、入口水温が15℃、出口水温が18
℃、通水量が28℃／min、として、風量16.5m3／
minでこの熱交換コイル２１への入口空気23℃の
ものを21.2℃のものに冷却する。送風機２２と送
風機モーター２３は水平に張り渡した支持杆２５
に防振部材２６を介して設置されており、図示の
例では、第２図にみられるように、この送風機２
２はその吐出口を上にして２台設置されている。
各送風機２２はモーター２３を個別に有しており
独立して駆動できるようにしてある。
給気側ボツクス１２は、機械ボツクス１１の上
に形成され、この機械ボツクス１１とは水平な仕
切り板２８によつて仕切られている。この仕切り
板２８を各送風機２２の吐出管２９が貫通してお
り、この吐出管２９の給気側ボツクス１２端にマ
フラー３０が取付けてある。このマフラー３０は
パンチングボードからなる管によつて構成され、
これによつて、この中を通過する送風機吐出流が
共鳴音を発するのを防止すると共にこのボードの
各孔から給気側ボツクス１２内に空気を分散して
流出させる。このマフラー３０の先端は、送風機
吐出流の主流を吐出させるように上部に向けて開
口しており、この開口部３１に逆流防止用のシヤ
ツター３２が取付けられている。そして、このマ
フラー３０が立ち上がる場所と給気吐出用開口１
５との間に邪魔板３３が設置してある。この邪魔
板３３は、その表面に吸音板を貼りつけた部材か
らなり、その下縁が仕切り板２８とは充分な間〓
があくようにして給気側ボツクス１２の天井面に
垂下させてある。これにより、マフラーの開口部
３１から吐出される送風機吐出流の主流は、いつ
たん給気側ボツクス１２の天井面に衝突したあ
と、邪魔板３３によつて方向を逆転したあと、こ
の邪魔板３３の下縁部をくぐつて給気吐出用開口
１５に向かつて流れることになる。したがつて、
この給気側ボツクス１２内においても送風機吐出
気流のジグザグ通路が形成される。このような給
気側ボツクス１２の構成により、マフラー３０自
身による消音と、このマフラー３０からの気流の
分散と、そして邪魔板３３によるジグザグ気流通
路の形成によつて、送風機２２からの吐出流の共
鳴音はもとより送風機２２の振動音やモーター音
が給気吐出用開口１５から伝播するのが大きく防
止される。
に形成され、この機械ボツクス１１とは水平な仕
切り板２８によつて仕切られている。この仕切り
板２８を各送風機２２の吐出管２９が貫通してお
り、この吐出管２９の給気側ボツクス１２端にマ
フラー３０が取付けてある。このマフラー３０は
パンチングボードからなる管によつて構成され、
これによつて、この中を通過する送風機吐出流が
共鳴音を発するのを防止すると共にこのボードの
各孔から給気側ボツクス１２内に空気を分散して
流出させる。このマフラー３０の先端は、送風機
吐出流の主流を吐出させるように上部に向けて開
口しており、この開口部３１に逆流防止用のシヤ
ツター３２が取付けられている。そして、このマ
フラー３０が立ち上がる場所と給気吐出用開口１
５との間に邪魔板３３が設置してある。この邪魔
板３３は、その表面に吸音板を貼りつけた部材か
らなり、その下縁が仕切り板２８とは充分な間〓
があくようにして給気側ボツクス１２の天井面に
垂下させてある。これにより、マフラーの開口部
３１から吐出される送風機吐出流の主流は、いつ
たん給気側ボツクス１２の天井面に衝突したあ
と、邪魔板３３によつて方向を逆転したあと、こ
の邪魔板３３の下縁部をくぐつて給気吐出用開口
１５に向かつて流れることになる。したがつて、
この給気側ボツクス１２内においても送風機吐出
気流のジグザグ通路が形成される。このような給
気側ボツクス１２の構成により、マフラー３０自
身による消音と、このマフラー３０からの気流の
分散と、そして邪魔板３３によるジグザグ気流通
路の形成によつて、送風機２２からの吐出流の共
鳴音はもとより送風機２２の振動音やモーター音
が給気吐出用開口１５から伝播するのが大きく防
止される。
第３図は、以上のような構成になる本発明の空
調機ユニツト４０を多数設置して構成したクリー
ンルームの一部を斜視的に示したものである。図
示のように、垂直流式クリーンルーム空間１を形
成するための両側壁４１および４２の裏側に、本
発明の空調機ユニツト４０を、各側壁４１および
４２の裏面とユニツトのケーシング背面とが背中
合わせとなるような関係をもつて、幅方向に隣接
する。クリーンルーム空間１の天井部には従来同
様にHEPAフイルター２が張り渡され、床面に
は多孔板３が張り渡される。そして、HEPAフ
イルター２の上部には天井裏空間６が形成され、
多孔板３の下方には底下空間７が形成される。本
発明の空調機ユニツト４０は、そのケーシング高
さ厳密にはケーシング背面板１３の高さが、形成
するクリーンルームのルーム高さ（多孔床３から
HEPAフイルター２に至る室の高さ）よりも大
きくしてあり、各ユニツトの設置にあたつては、
クリーンルームの底床９と同じレベルの床に各ユ
ニツトを立ち上げることによつて、還気側ボツク
ス１０の背面に設けた還気取入用開口１４の位置
がクリーンルームの床下空間７の位置に、そし
て、給気側ボツクス１２の背面に設けた給気吐出
用開口１５の位置がクリーンルームの天井裏空間
６の位置にくるようにすることができる。
調機ユニツト４０を多数設置して構成したクリー
ンルームの一部を斜視的に示したものである。図
示のように、垂直流式クリーンルーム空間１を形
成するための両側壁４１および４２の裏側に、本
発明の空調機ユニツト４０を、各側壁４１および
４２の裏面とユニツトのケーシング背面とが背中
合わせとなるような関係をもつて、幅方向に隣接
する。クリーンルーム空間１の天井部には従来同
様にHEPAフイルター２が張り渡され、床面に
は多孔板３が張り渡される。そして、HEPAフ
イルター２の上部には天井裏空間６が形成され、
多孔板３の下方には底下空間７が形成される。本
発明の空調機ユニツト４０は、そのケーシング高
さ厳密にはケーシング背面板１３の高さが、形成
するクリーンルームのルーム高さ（多孔床３から
HEPAフイルター２に至る室の高さ）よりも大
きくしてあり、各ユニツトの設置にあたつては、
クリーンルームの底床９と同じレベルの床に各ユ
ニツトを立ち上げることによつて、還気側ボツク
ス１０の背面に設けた還気取入用開口１４の位置
がクリーンルームの床下空間７の位置に、そし
て、給気側ボツクス１２の背面に設けた給気吐出
用開口１５の位置がクリーンルームの天井裏空間
６の位置にくるようにすることができる。
他方、クリーンルームの床下空間７の両側壁部
にユニツト幅に対応した所定の間隔で還気取入口
４３を、また、天井裏空間６の両側壁部にユニツ
ト幅に対応した所定の間隔で給気吐出口４４を連
接して設けておき、各還気取入口４３は各ユニツ
トの還気取入用開口１４に、また各給気吐出口４
４は各ユニツトの給気吐出用開口１５に短いダク
トで接続することによつて空気の循環路が完結す
る。
にユニツト幅に対応した所定の間隔で還気取入口
４３を、また、天井裏空間６の両側壁部にユニツ
ト幅に対応した所定の間隔で給気吐出口４４を連
接して設けておき、各還気取入口４３は各ユニツ
トの還気取入用開口１４に、また各給気吐出口４
４は各ユニツトの給気吐出用開口１５に短いダク
トで接続することによつて空気の循環路が完結す
る。
第４図は、第３図のようにして構成したクリー
ンルームの縦断面の例であり、第５図は第４図の
矢視平面を示している。この例では、第５図に見
られるように、本発明の空調機ユニツト４０を片
側で７基、両側で合計14基設置したものである。
各空調機ユニツト４０とクリーンルームの両側壁
との間は極めて少なくとることができ、またこの
間を小さくしても前述のように各ユニツトからの
騒音の伝播は極めて少なくすることができる。そ
して同一形状構造のユニツトを連接することによ
つて給気吐出口４４と還気取入口４３は整合した
関係をもつて規則正しく取り付けることができ、
これによつて好ましい垂直気流の分布をクリーン
ルーム空間内に形成させることができるようにな
る。
ンルームの縦断面の例であり、第５図は第４図の
矢視平面を示している。この例では、第５図に見
られるように、本発明の空調機ユニツト４０を片
側で７基、両側で合計14基設置したものである。
各空調機ユニツト４０とクリーンルームの両側壁
との間は極めて少なくとることができ、またこの
間を小さくしても前述のように各ユニツトからの
騒音の伝播は極めて少なくすることができる。そ
して同一形状構造のユニツトを連接することによ
つて給気吐出口４４と還気取入口４３は整合した
関係をもつて規則正しく取り付けることができ、
これによつて好ましい垂直気流の分布をクリーン
ルーム空間内に形成させることができるようにな
る。
本発明の空調機ユニツトは、同一形状構造のも
のを多数連接することによつて、垂直式クリーン
ルームを形成するための空調調和設備とすること
ができる。とくに、クリーンルームの両側壁の裏
側に多数隣接して設置するような使用の仕方をす
ることができ、ユニツトとクリーンルームとを連
結する還気路や給気路は無いに等しいほど短くす
ることができる。このために、少ない送風機動力
によつて所望の風量を得ることができる。また、
各ユニツトは消音効果が優れており、クリーンル
ームに隣接しても騒音が少ない。そして、最も特
徴的なことは、本発明の空調機ユニツトを用いて
クリーンルームを構成すると、クリーンルームの
負荷に応じての台数制御ができることであり、場
合によつてはユニツトの或るものは停止させた状
態でも充分にクリーンルームの機能をはたすこと
ができる。このため、クリーンルームのランニン
グコストが大幅に低下し且つメインテナンス作業
もクリーンルームを稼動しながらでも可能となり
且つそのメインテナンス作業も簡単にできる。ま
た大型のクリーンルームでも小型のクリーンルー
ムでもその大きさに応じてただちに即応した空調
設備に構成できる。
のを多数連接することによつて、垂直式クリーン
ルームを形成するための空調調和設備とすること
ができる。とくに、クリーンルームの両側壁の裏
側に多数隣接して設置するような使用の仕方をす
ることができ、ユニツトとクリーンルームとを連
結する還気路や給気路は無いに等しいほど短くす
ることができる。このために、少ない送風機動力
によつて所望の風量を得ることができる。また、
各ユニツトは消音効果が優れており、クリーンル
ームに隣接しても騒音が少ない。そして、最も特
徴的なことは、本発明の空調機ユニツトを用いて
クリーンルームを構成すると、クリーンルームの
負荷に応じての台数制御ができることであり、場
合によつてはユニツトの或るものは停止させた状
態でも充分にクリーンルームの機能をはたすこと
ができる。このため、クリーンルームのランニン
グコストが大幅に低下し且つメインテナンス作業
もクリーンルームを稼動しながらでも可能となり
且つそのメインテナンス作業も簡単にできる。ま
た大型のクリーンルームでも小型のクリーンルー
ムでもその大きさに応じてただちに即応した空調
設備に構成できる。
第１図は本発明の空調機ユニツトの実施例を示
す縦断面図、第２図は第１図の−線矢視断面
図、第３図は本発明のユニツトを使用したクリー
ンルームの一部を斜視的に見た概念図、第４図は
第３図のようにして構成したクリーンルームの一
縦断面を示す図、第５図は第４図のクリーンルー
ムの平面図、第６図は従来の垂直流式クリーンル
ームの代表例を示す略断面図である。 １……クリーンルーム空間、２……HEPAフ
イルター、３……多孔床、６……天井裏空間、７
……床下空間、１０……還気側ボツクス、１１…
…機械ボツクス、１２……給気側ボツクス、１３
……ケーシング背面板、１４……還気取入用開
口、１５……給気吐出用開口、１６，３３……邪
魔板、１７……吸音セル、２０……換気取入口、
２１……熱交換コイル、２２……送風機、２３…
…送風機モーター、２４，２８……仕切り板、３
０……マフラー、３２……逆流防止用シヤツタ
ー、４０……空調機ユニツト、４３……還気取入
口、４４……給気吐出口。
す縦断面図、第２図は第１図の−線矢視断面
図、第３図は本発明のユニツトを使用したクリー
ンルームの一部を斜視的に見た概念図、第４図は
第３図のようにして構成したクリーンルームの一
縦断面を示す図、第５図は第４図のクリーンルー
ムの平面図、第６図は従来の垂直流式クリーンル
ームの代表例を示す略断面図である。 １……クリーンルーム空間、２……HEPAフ
イルター、３……多孔床、６……天井裏空間、７
……床下空間、１０……還気側ボツクス、１１…
…機械ボツクス、１２……給気側ボツクス、１３
……ケーシング背面板、１４……還気取入用開
口、１５……給気吐出用開口、１６，３３……邪
魔板、１７……吸音セル、２０……換気取入口、
２１……熱交換コイル、２２……送風機、２３…
…送風機モーター、２４，２８……仕切り板、３
０……マフラー、３２……逆流防止用シヤツタ
ー、４０……空調機ユニツト、４３……還気取入
口、４４……給気吐出口。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 形成されるクリーンルームのルーム高さより
も実質上大きな高さを有した縦長のケーシング内
に下から順に、還気側ボツクス、機械ボツクスお
よび給気側ボツクスを形成してなる空調機ユニツ
トの複数個を、当該ケーシング背面をルーム側壁
の裏側と背中合わせにして隣接し、該還気側ボツ
クスの還気取入口をルーム床下空間と連通させ、
そして該給気側ボツクスの給気吐出口をルーム天
井裏空間に連通させてなるクリーンルーム装置で
あつて、 該ユニツトの還気側ボツクス内をジグザグ気流
通路に形成すると共にこの通路の一部を消音セル
に構成し、該ユニツトの機械ボツクス内に、熱交
換コイル、送風機および送風機モーターを、熱交
換コイルが送風機の吸込側となるように設置し、
該ユニツトの給気側ボツクスに送風機の吐出口を
開口させると共にこの吐出口にマフラーを設置し
たことを特徴とするクリーンルーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61026573A JPS62186147A (ja) | 1986-02-08 | 1986-02-08 | クリーンルーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61026573A JPS62186147A (ja) | 1986-02-08 | 1986-02-08 | クリーンルーム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62186147A JPS62186147A (ja) | 1987-08-14 |
| JPH0583817B2 true JPH0583817B2 (ja) | 1993-11-29 |
Family
ID=12197294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61026573A Granted JPS62186147A (ja) | 1986-02-08 | 1986-02-08 | クリーンルーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62186147A (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6430645A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430647A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430648A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPH0714481B2 (ja) * | 1987-07-24 | 1995-02-22 | 松下電器産業株式会社 | 排ガス浄化用触媒 |
| JPS6430643A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Catalyst for purifying exhaust gas |
| JPS6430649A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JPS6430644A (en) * | 1987-07-24 | 1989-02-01 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Nox decomposition catalyst |
| JP2709805B2 (ja) * | 1995-12-20 | 1998-02-04 | 朝陽電気株式会社 | 空調機の収納構造 |
| US6574970B2 (en) | 2000-02-18 | 2003-06-10 | Toc Technology, Llc | Computer room air flow method and apparatus |
| US6412292B2 (en) | 2000-05-09 | 2002-07-02 | Toc Technology, Llc | Computer rack heat extraction device |
| US6557357B2 (en) | 2000-02-18 | 2003-05-06 | Toc Technology, Llc | Computer rack heat extraction device |
| NL1035984C (nl) | 2008-09-25 | 2010-03-26 | Boersema Installatie Adviseurs B V | Computerruimte. |
| JP2012254236A (ja) * | 2011-06-10 | 2012-12-27 | Comany Inc | 部屋空間の消臭・芳香システム |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0526422Y2 (ja) * | 1985-08-20 | 1993-07-05 |
-
1986
- 1986-02-08 JP JP61026573A patent/JPS62186147A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62186147A (ja) | 1987-08-14 |
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