JPH0586474A - 蒸着めつき設備 - Google Patents
蒸着めつき設備Info
- Publication number
- JPH0586474A JPH0586474A JP27712791A JP27712791A JPH0586474A JP H0586474 A JPH0586474 A JP H0586474A JP 27712791 A JP27712791 A JP 27712791A JP 27712791 A JP27712791 A JP 27712791A JP H0586474 A JPH0586474 A JP H0586474A
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- Japan
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- vapor deposition
- deposition plating
- raw material
- plated
- plating
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は帯状被めっき材の表裏両面に蒸着め
っきを行なうための蒸着めっき設備に関し、上下に２以
上設けられる蒸着めっき室のメンテナンス性を向上する
ことを主たる目的とする。 【構成】 上下方向に配設される蒸着めっき室４Ａ，４
Ｂを水平方向にずらして配置してなる蒸着めっき設備で
ある。
っきを行なうための蒸着めっき設備に関し、上下に２以
上設けられる蒸着めっき室のメンテナンス性を向上する
ことを主たる目的とする。 【構成】 上下方向に配設される蒸着めっき室４Ａ，４
Ｂを水平方向にずらして配置してなる蒸着めっき設備で
ある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は帯状の被めっき材の表裏
両面に単層めっき又は多層めっきを施すための真空蒸着
めっき設備に関し、詳細には高品質の蒸着めっき層を効
果的に形成でき且つメンテナンス性に優れた蒸着めっき
設備に関するものである。
両面に単層めっき又は多層めっきを施すための真空蒸着
めっき設備に関し、詳細には高品質の蒸着めっき層を効
果的に形成でき且つメンテナンス性に優れた蒸着めっき
設備に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】帯状の金属板や合成樹脂フィルム等の被
めっき材を連続走行させ、該被めっき材の表裏両面にア
ルミニウム，銅，チタン，亜鉛，それらの合金材料或は
セラミックス等を真空蒸着めっきする技術が実用化され
ている。
めっき材を連続走行させ、該被めっき材の表裏両面にア
ルミニウム，銅，チタン，亜鉛，それらの合金材料或は
セラミックス等を真空蒸着めっきする技術が実用化され
ている。
【０００３】図６は真空蒸着めっきに使用されるめっき
設備の一例を示す側面説明図である。２つの蒸着めっき
室４Ａ，４Ｂが上下に並設され、帯鋼１の入側及び出側
には真空シール装置２Ａ，２Ｂが配設され、上記蒸着め
っき室４Ａ，４Ｂ内は真空雰囲気に保持される。該蒸着
めっき室４Ａ，４Ｂ内には原料槽（るつぼ）５、５が設
けられ、該原料槽５内の原料を電子線やアーク放電等に
よって加熱蒸発させ帯鋼１の片面、次いで他の片面にめ
っき原料を付着させる。なお合金めっきを行なう様な場
合には図例の様に１基の蒸着めっき室内に２以上の原料
槽５，５を設ける。また２つの蒸着めっき室４Ａ，４Ｂ
は、帯鋼１をガイドするデフレクタロール３，３を介設
して連結され、帯鋼１を片面ずつ蒸着めっきする構成が
採用される。すなわち帯鋼１は真空シール装置２Ａ，蒸
着めっき室４Ａ，４Ｂ及び真空シール装置２Ｂを順に通
過して帯鋼１の表裏両面に連続的に蒸着めっき層を形成
する。
設備の一例を示す側面説明図である。２つの蒸着めっき
室４Ａ，４Ｂが上下に並設され、帯鋼１の入側及び出側
には真空シール装置２Ａ，２Ｂが配設され、上記蒸着め
っき室４Ａ，４Ｂ内は真空雰囲気に保持される。該蒸着
めっき室４Ａ，４Ｂ内には原料槽（るつぼ）５、５が設
けられ、該原料槽５内の原料を電子線やアーク放電等に
よって加熱蒸発させ帯鋼１の片面、次いで他の片面にめ
っき原料を付着させる。なお合金めっきを行なう様な場
合には図例の様に１基の蒸着めっき室内に２以上の原料
槽５，５を設ける。また２つの蒸着めっき室４Ａ，４Ｂ
は、帯鋼１をガイドするデフレクタロール３，３を介設
して連結され、帯鋼１を片面ずつ蒸着めっきする構成が
採用される。すなわち帯鋼１は真空シール装置２Ａ，蒸
着めっき室４Ａ，４Ｂ及び真空シール装置２Ｂを順に通
過して帯鋼１の表裏両面に連続的に蒸着めっき層を形成
する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで上記蒸着めっ
き室４Ａ，４Ｂ内において蒸発した金属蒸気等は帯鋼１
の下面側に付着してめっき層を形成するが、金属蒸気の
一部はめっき室内に拡散して側壁や天井面に付着堆積す
る。この付着堆積金属はめっき処理を定期的に中断して
手作業で取除くことになるが、この取除き作業は重労働
であると共に、マグネシウム等酸化性の高い金属の場合
は発火または爆発したりする恐れがあり危険な作業でも
あった。
き室４Ａ，４Ｂ内において蒸発した金属蒸気等は帯鋼１
の下面側に付着してめっき層を形成するが、金属蒸気の
一部はめっき室内に拡散して側壁や天井面に付着堆積す
る。この付着堆積金属はめっき処理を定期的に中断して
手作業で取除くことになるが、この取除き作業は重労働
であると共に、マグネシウム等酸化性の高い金属の場合
は発火または爆発したりする恐れがあり危険な作業でも
あった。
【０００５】またこの付着堆積量が多くなり過ぎると天
井面等から剥離して落下し、帯鋼１に付着したり傷を付
けることがあり、めっき帯鋼の品質を著しく低下させる
原因となっていた。従ってこの様な品質低下を引起こさ
ない様にするためには頻繁に取除き作業を行なわなけれ
ばならず、めっき処理の連続操業を妨げる大きな要因と
なっていた。
井面等から剥離して落下し、帯鋼１に付着したり傷を付
けることがあり、めっき帯鋼の品質を著しく低下させる
原因となっていた。従ってこの様な品質低下を引起こさ
ない様にするためには頻繁に取除き作業を行なわなけれ
ばならず、めっき処理の連続操業を妨げる大きな要因と
なっていた。
【０００６】一方前記原料槽５内の原料はめっき処理に
伴って消費されるので、連続的に安定した蒸気を得るた
めには原料上面レベルを一定とする様に原料を供給する
必要がある。すなわち原料の上面が大きく変動すると、
蒸発量や蒸発パターンが安定せず、その為めっき付着量
が変動して表面外観のみならず表面性状を損ねる。なお
原料溶融浴面のレベル低下が大きくなると、溶融浴面か
らめっき原料が飛散するスプラッシュ現象が生じ、めっ
き層の不良を引起こす。
伴って消費されるので、連続的に安定した蒸気を得るた
めには原料上面レベルを一定とする様に原料を供給する
必要がある。すなわち原料の上面が大きく変動すると、
蒸発量や蒸発パターンが安定せず、その為めっき付着量
が変動して表面外観のみならず表面性状を損ねる。なお
原料溶融浴面のレベル低下が大きくなると、溶融浴面か
らめっき原料が飛散するスプラッシュ現象が生じ、めっ
き層の不良を引起こす。
【０００７】そこで真空雰囲気下にある原料槽内の原料
浴面を一定レベルに維持するという観点から原料を連続
的に供給する手段が検討され、ワイヤ状に加工した原料
を大気中に設けた供給装置より、フィーダパイプを介し
て、原料槽中へ連続送給する手段が採用されている。し
かしながらこのワイヤ状原料はロール状に巻装したもの
を使用し上記ロールは消費される毎に交換されるので、
この交換時に蒸着原料槽へのワイヤ状原料の供給が停止
され、上記した浴面レベル低下による不都合を引き起こ
している。
浴面を一定レベルに維持するという観点から原料を連続
的に供給する手段が検討され、ワイヤ状に加工した原料
を大気中に設けた供給装置より、フィーダパイプを介し
て、原料槽中へ連続送給する手段が採用されている。し
かしながらこのワイヤ状原料はロール状に巻装したもの
を使用し上記ロールは消費される毎に交換されるので、
この交換時に蒸着原料槽へのワイヤ状原料の供給が停止
され、上記した浴面レベル低下による不都合を引き起こ
している。
【０００８】また図６に示す様に帯鋼１を上部の蒸着め
っき室４Ａから下部の蒸着めっき室４Ｂへ反転送給する
手法であると、蒸着めっき室４Ａにおいて蒸着めっきさ
れた帯鋼面とデフレクタロール３，３が直接接触するこ
とになり、蒸着めっき面が剥離したり、めっき金属が該
ロール３，３上に付着し、めっき帯鋼表面に傷付きを生
じる等の不具合を起こしていた。
っき室４Ａから下部の蒸着めっき室４Ｂへ反転送給する
手法であると、蒸着めっき室４Ａにおいて蒸着めっきさ
れた帯鋼面とデフレクタロール３，３が直接接触するこ
とになり、蒸着めっき面が剥離したり、めっき金属が該
ロール３，３上に付着し、めっき帯鋼表面に傷付きを生
じる等の不具合を起こしていた。
【０００９】他方蒸着きめっき室４Ａ，４Ｂとしては図
２に示す様に、第１部材41及び第２部材42からなり且つ
帯鋼１の走行方向と交差する左右方向に分離可能に構成
され、内部のメンテナンスが行い易くなっているものが
多い。しかしながら図６に示す様に蒸着めっき室４Ａ，
４Ｂが上下に重なっていると、下側の蒸着めっき室４Ｂ
の第２部材42等を天井クレーン等によって吊上げ作業す
ることが非常に困難となり、また第１部材41を水平方向
に移動させたとき、上下の第１部材41，41が重なり合う
様に位置されるため、例えば原料の交換作業等を同時並
行的に行なうのが危険であり、並行作業が行なえない分
作業性が悪くなるいという様な問題があった。そこで本
発明の主たる目的は、上下方向に配設される蒸着めっき
室の保守・管理作業が簡単に行なえる設備を提供する点
にある。
２に示す様に、第１部材41及び第２部材42からなり且つ
帯鋼１の走行方向と交差する左右方向に分離可能に構成
され、内部のメンテナンスが行い易くなっているものが
多い。しかしながら図６に示す様に蒸着めっき室４Ａ，
４Ｂが上下に重なっていると、下側の蒸着めっき室４Ｂ
の第２部材42等を天井クレーン等によって吊上げ作業す
ることが非常に困難となり、また第１部材41を水平方向
に移動させたとき、上下の第１部材41，41が重なり合う
様に位置されるため、例えば原料の交換作業等を同時並
行的に行なうのが危険であり、並行作業が行なえない分
作業性が悪くなるいという様な問題があった。そこで本
発明の主たる目的は、上下方向に配設される蒸着めっき
室の保守・管理作業が簡単に行なえる設備を提供する点
にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成した本発
明は、上下に配設される蒸着めっき室が水平方向にずら
して配置されてなる点に要旨を有するものである。
明は、上下に配設される蒸着めっき室が水平方向にずら
して配置されてなる点に要旨を有するものである。
【００１１】
【作用及び実施例】図１は本発明の代表的な実施例を示
す説明図であり、帯鋼１は下側から供給されて片面めっ
きされた後上方へ出ていく配置をとり、帯鋼１の走行軌
跡に沿って真空シール装置２Ａ，蒸着めっき室４Ａ，４
Ｂ及び真空シール装置２Ｂが構成される。上記蒸着めっ
き室４Ａ，４Ｂは帯鋼１の走行方向前後に水平にずらし
て配設されており、例えば蒸着めっき室４Ａを構成する
図２に示す第２部材42を工場内の天井クレーンで吊あげ
るときに、他の蒸着めっき室４Ｂが邪魔になり作業性が
悪くなる様なことはなく、また２つの蒸着めっき室４
Ａ，４Ｂにおける第１部材41（図２参照）を帯鋼走行方
向の左右にずらして原料槽５内の原料を同時に交換する
様なときにおいても、これら原料槽５，５が真上又は真
下の配置とならないので、これら交換作業等はスムーズ
に行なうことができる。
す説明図であり、帯鋼１は下側から供給されて片面めっ
きされた後上方へ出ていく配置をとり、帯鋼１の走行軌
跡に沿って真空シール装置２Ａ，蒸着めっき室４Ａ，４
Ｂ及び真空シール装置２Ｂが構成される。上記蒸着めっ
き室４Ａ，４Ｂは帯鋼１の走行方向前後に水平にずらし
て配設されており、例えば蒸着めっき室４Ａを構成する
図２に示す第２部材42を工場内の天井クレーンで吊あげ
るときに、他の蒸着めっき室４Ｂが邪魔になり作業性が
悪くなる様なことはなく、また２つの蒸着めっき室４
Ａ，４Ｂにおける第１部材41（図２参照）を帯鋼走行方
向の左右にずらして原料槽５内の原料を同時に交換する
様なときにおいても、これら原料槽５，５が真上又は真
下の配置とならないので、これら交換作業等はスムーズ
に行なうことができる。
【００１２】また蒸着めっき室４Ａの出側及び蒸着めっ
き室４Ｂの入側にはデフレクタロール３，３が設けら
れ、蒸着めっき室４Ａにおけるめっき処理面とは反対側
の片面に接する様に配設され、これらのデフレクタロー
ル３，３を通して反転することによって帯鋼１の表裏面
の上下姿勢を変更して蒸着めっき室４Ｂへ送給すること
としている。従って蒸着めっき室４Ａにおいてめっき処
理された面が直接デフレクタロール３，３に接触するこ
とはないので、めっき層を傷つけたり、めっき付着量に
むらを発生するのが防止される。
き室４Ｂの入側にはデフレクタロール３，３が設けら
れ、蒸着めっき室４Ａにおけるめっき処理面とは反対側
の片面に接する様に配設され、これらのデフレクタロー
ル３，３を通して反転することによって帯鋼１の表裏面
の上下姿勢を変更して蒸着めっき室４Ｂへ送給すること
としている。従って蒸着めっき室４Ａにおいてめっき処
理された面が直接デフレクタロール３，３に接触するこ
とはないので、めっき層を傷つけたり、めっき付着量に
むらを発生するのが防止される。
【００１３】図２は蒸着めっき室４Ａ，４Ｂの構造例を
示す側断面説明図であり、図３は図２のIII −III 線断
面矢視図，図４は図２のIV−IV線断面矢視図である。蒸
着めっき室４Ａ，４Ｂは走行ローラ41ａ，41ａ…を備え
た第１部材41と、該蒸着めっき室の天井部、側壁部及び
底部を形成する第２部材42とからなり、第１部材41には
原料槽５を載置する台座41ａが設けられると共に、矢印
Ｋ1 −Ｋ2 方向へ移動可能に構成され、第１部材41と第
２部材42の当接部分にはパッキンＰが介設され、蒸着め
っき室内の気密性が確保される。尚符号47は蒸発原料槽
５内の原料上面に電子ビームを照射するための電子銃を
示し、符号43，44は電子ビームを走査させるための偏向
コイルを示すと共に、符号48は帯鋼走行停止時に帯鋼へ
の蒸気付着を遮断する防着シャッターを示す。
示す側断面説明図であり、図３は図２のIII −III 線断
面矢視図，図４は図２のIV−IV線断面矢視図である。蒸
着めっき室４Ａ，４Ｂは走行ローラ41ａ，41ａ…を備え
た第１部材41と、該蒸着めっき室の天井部、側壁部及び
底部を形成する第２部材42とからなり、第１部材41には
原料槽５を載置する台座41ａが設けられると共に、矢印
Ｋ1 −Ｋ2 方向へ移動可能に構成され、第１部材41と第
２部材42の当接部分にはパッキンＰが介設され、蒸着め
っき室内の気密性が確保される。尚符号47は蒸発原料槽
５内の原料上面に電子ビームを照射するための電子銃を
示し、符号43，44は電子ビームを走査させるための偏向
コイルを示すと共に、符号48は帯鋼走行停止時に帯鋼へ
の蒸気付着を遮断する防着シャッターを示す。
【００１４】また上記第１部材41の上部には、断面が逆
凹形の捕集板45が配設され、蒸着めっき室の天井部をそ
の下側から保護する様に配設される。該捕集板45の内部
には例えば冷却水を通水する冷却機構が備えられること
が望ましく、金属蒸気の一部が付着して潜熱及び顕熱を
受けても異常に加熱されない様に構成しておく。従って
帯鋼１に蒸着されなかった金属蒸気の一部は第２部材42
の天井部に付着することなく、前記捕集板45の下面に付
着され、付着量が所定値を超えたときに第１部材41をＫ
2 方向へ移動し、捕集板45全体または一部を新しいもの
と交換し、付着した金属等は他の場所に持ち出して取除
き作業を行なう。
凹形の捕集板45が配設され、蒸着めっき室の天井部をそ
の下側から保護する様に配設される。該捕集板45の内部
には例えば冷却水を通水する冷却機構が備えられること
が望ましく、金属蒸気の一部が付着して潜熱及び顕熱を
受けても異常に加熱されない様に構成しておく。従って
帯鋼１に蒸着されなかった金属蒸気の一部は第２部材42
の天井部に付着することなく、前記捕集板45の下面に付
着され、付着量が所定値を超えたときに第１部材41をＫ
2 方向へ移動し、捕集板45全体または一部を新しいもの
と交換し、付着した金属等は他の場所に持ち出して取除
き作業を行なう。
【００１５】また図２，４に示す様に蒸着めっき室４Ａ
（４Ｂ）内には、帯鋼１の直上に該帯鋼１の幅とほぼ同
じ幅を有すると共に、帯鋼１の長手方向に沿う様な帯鋼
１の直上に受板46が第２部材42に取付けられる。これに
よって仮に付着堆積した金属片等が捕集板45より落下し
ても、この金属片が直接帯鋼上へ落下するのを防止し、
めっき層に金属片が付着したり、或は帯鋼１に傷を付け
るのを防止する。
（４Ｂ）内には、帯鋼１の直上に該帯鋼１の幅とほぼ同
じ幅を有すると共に、帯鋼１の長手方向に沿う様な帯鋼
１の直上に受板46が第２部材42に取付けられる。これに
よって仮に付着堆積した金属片等が捕集板45より落下し
ても、この金属片が直接帯鋼上へ落下するのを防止し、
めっき層に金属片が付着したり、或は帯鋼１に傷を付け
るのを防止する。
【００１６】図５は原料槽５への原料供給の好ましい例
を示す上部からの断面説明図であり、１つの原料槽５に
は２基の原料供給装置Ｆ，Ｆが並設される。該原料供給
装置Ｆはピンチロール12、遮断バルブ13を設けたフィー
ダパイプ14と、ワイヤタンク11からなり、原料ワイヤは
パック状に巻き取られたものがワイヤタンク11内に収納
され、ピンチロール12の作動によってフィーダパイプ14
内を通してワイヤが原料槽５内の溶融原料Ｙ内へ連続供
給される。この様に２つの原料供給装置Ｆ，Ｆを設ける
ことにより、例えば一方の原料供給装置Ｆにおける原料
ワイヤが消費しつくされたとき、パック状の原料ワイヤ
をバッチ処理的に交換する作業が手間どっても、その間
は他方の原料供給装置Ｆによって原料ワイヤの供給を行
なえば、原料槽５内においての溶融原料Ｙの浴面レベル
が低下するのを防止でき、浴面レベルを一定として安定
しためっき処理操業を行なうことができる。なお原料は
溶融状態で貯留されるもの、或は昇華性材料が固体状態
として貯留されるもののいずれであっても良い。
を示す上部からの断面説明図であり、１つの原料槽５に
は２基の原料供給装置Ｆ，Ｆが並設される。該原料供給
装置Ｆはピンチロール12、遮断バルブ13を設けたフィー
ダパイプ14と、ワイヤタンク11からなり、原料ワイヤは
パック状に巻き取られたものがワイヤタンク11内に収納
され、ピンチロール12の作動によってフィーダパイプ14
内を通してワイヤが原料槽５内の溶融原料Ｙ内へ連続供
給される。この様に２つの原料供給装置Ｆ，Ｆを設ける
ことにより、例えば一方の原料供給装置Ｆにおける原料
ワイヤが消費しつくされたとき、パック状の原料ワイヤ
をバッチ処理的に交換する作業が手間どっても、その間
は他方の原料供給装置Ｆによって原料ワイヤの供給を行
なえば、原料槽５内においての溶融原料Ｙの浴面レベル
が低下するのを防止でき、浴面レベルを一定として安定
しためっき処理操業を行なうことができる。なお原料は
溶融状態で貯留されるもの、或は昇華性材料が固体状態
として貯留されるもののいずれであっても良い。
【００１７】本発明は以上の実施例に限定されるもので
はなく、多層めっきを行なうために蒸着めっき室を複数
隣設したもの、或は帯鋼に備えてＡｌ板や合成樹脂フィ
ルムを用いるもの等であっても良く、まためっき原料品
種はＡｌ，Ｚｎ，Ｃｕ，Ｔｉ等及びその合金やセラミッ
クス等より任意に選定することができる。
はなく、多層めっきを行なうために蒸着めっき室を複数
隣設したもの、或は帯鋼に備えてＡｌ板や合成樹脂フィ
ルムを用いるもの等であっても良く、まためっき原料品
種はＡｌ，Ｚｎ，Ｃｕ，Ｔｉ等及びその合金やセラミッ
クス等より任意に選定することができる。
【００１８】
【発明の効果】本発明は以上の様に構成されているの
で、蒸着めっき室のメンテナンス作業等が簡単に行なえ
ることとなった。また請求項２の構成により帯鋼に付着
しなかった蒸気原料は捕集板で捕集されてオフラインで
取除くことができる様になり、付着堆積物の取除き作業
が短時間ででき、さらに付着堆積物の落下によるめっき
処理への悪影響も排除できることとなった。請求項３の
構成により蒸発原料槽への原料供給が連続して安定して
行なえる様になった。請求項４の構成によりデフレクタ
ロールによるめっき処理層への傷付き又は剥離等が防止
できる様になった。
で、蒸着めっき室のメンテナンス作業等が簡単に行なえ
ることとなった。また請求項２の構成により帯鋼に付着
しなかった蒸気原料は捕集板で捕集されてオフラインで
取除くことができる様になり、付着堆積物の取除き作業
が短時間ででき、さらに付着堆積物の落下によるめっき
処理への悪影響も排除できることとなった。請求項３の
構成により蒸発原料槽への原料供給が連続して安定して
行なえる様になった。請求項４の構成によりデフレクタ
ロールによるめっき処理層への傷付き又は剥離等が防止
できる様になった。
【図１】本発明の代表的な実施例を示す説明図である。
【図２】本発明の蒸着めっき室の構造例を示す側断面図
である。
である。
【図３】図２のIII −III 線断面矢視図である。
【図４】図２のIV−IV線断面矢視図である。
【図５】本発明の蒸着めっき室の他の例を示す上部から
見た断面説明図である。
見た断面説明図である。
【図６】従来の真空蒸着めっき設備の一例を示す説明図
である。
である。
１ 帯鋼 ４Ａ，４Ｂ 蒸着めっき室 ５ 原料槽 45 捕集板 46 受板 Ｆ 原料供給装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 入江 広司 加古川市平岡町二俣1012 (72)発明者 綾部 東太 加古川市平岡町二俣1001
Claims (4)
- 【請求項１】 帯状被めっき材の表裏両面に蒸着めっき
を行なうための各々独立した２以上の蒸着めっき室を上
下に配設してなる蒸着めっき設備において、上下に配設
される蒸着めっき室を水平方向にずらして配置してなる
ことを特徴とする蒸着めっき設備。 - 【請求項２】 請求項１における各蒸着めっき室の天井
部には原料蒸気を捕集する捕集板が設けられると共に、
被めっき材の直上には受板が配設されてなる蒸着めっき
設備。 - 【請求項３】 請求項１における各蒸着めっき室に設け
られる原料槽には、該槽１基当たり２以上の原料供給装
置が並設されてなる蒸着めっき設備。 - 【請求項４】 帯状被めっき材は下部の蒸着めっき室で
片面をめっきし、次いで上部の蒸着めっき室で反対側面
をめっきする様な配置としておき、被めっき材は、この
下部の蒸着めっき室における被めっき材の非めっき面が
デフレクタロールに接触して方向転換した後上部の蒸着
めっき室へ送給される様に構成してなる請求項１に記載
の蒸着めっき設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27712791A JPH0586474A (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 蒸着めつき設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27712791A JPH0586474A (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 蒸着めつき設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0586474A true JPH0586474A (ja) | 1993-04-06 |
Family
ID=17579172
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27712791A Withdrawn JPH0586474A (ja) | 1991-09-26 | 1991-09-26 | 蒸着めつき設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0586474A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7721927B2 (en) | 2004-10-08 | 2010-05-25 | Max Co., Ltd. | Power drive nailing machine |
-
1991
- 1991-09-26 JP JP27712791A patent/JPH0586474A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7721927B2 (en) | 2004-10-08 | 2010-05-25 | Max Co., Ltd. | Power drive nailing machine |
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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