JPH0587548A - 姿勢角検出装置 - Google Patents
姿勢角検出装置Info
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- JPH0587548A JPH0587548A JP12654391A JP12654391A JPH0587548A JP H0587548 A JPH0587548 A JP H0587548A JP 12654391 A JP12654391 A JP 12654391A JP 12654391 A JP12654391 A JP 12654391A JP H0587548 A JPH0587548 A JP H0587548A
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- laser
- light
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 試料面が多少位置ずれした状態で配置されて
いても、試料面に所望のスポット径のレーザ光を照射し
てその姿勢角を極めて正確に検出することができるよう
にすることにある。 【構成】 レーザ発振器２からのレーザ光をＮＤフィル
タ４，エクスパンダレンズ５，偏光ビームスプリッタ
６，対物レンズ７，λ／４波長板を順次介して試料面１
に照射させ、その反射光を対物レンズ７の後側焦点位置
に配設した位置検出手段としての２次元ポジションセン
サ３に受光させ、このポジションセンサ３におけるレー
ザ反射光の受光位置P2の座標中心からのＸ軸方向及びＹ
軸方向のずれ量を測定することによって、試料面１の姿
勢角の方向と角度とを検出することができる。
いても、試料面に所望のスポット径のレーザ光を照射し
てその姿勢角を極めて正確に検出することができるよう
にすることにある。 【構成】 レーザ発振器２からのレーザ光をＮＤフィル
タ４，エクスパンダレンズ５，偏光ビームスプリッタ
６，対物レンズ７，λ／４波長板を順次介して試料面１
に照射させ、その反射光を対物レンズ７の後側焦点位置
に配設した位置検出手段としての２次元ポジションセン
サ３に受光させ、このポジションセンサ３におけるレー
ザ反射光の受光位置P2の座標中心からのＸ軸方向及びＹ
軸方向のずれ量を測定することによって、試料面１の姿
勢角の方向と角度とを検出することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、微小物体の姿勢角を検
出するのに適した姿勢角検出装置に関するものである。
出するのに適した姿勢角検出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、磁気ディスクの浮動ヘッドアセ
ンブリは、ジンバルを介して本体部に取り付けられる双
胴型のスライダに磁気ヘッドコアを設けると共に磁気ヘ
ッドギャップを形成してなるものであって、磁気ディス
クに情報を書き込んだり、また情報の読み出しを行う場
合に、このスライダは磁気ディスクの表面から浮上させ
て、その間に微小隙間が形成されるようにするが、この
スライダと磁気ディスク表面との間の隙間を極めて正確
に管理しなければならない。このためには、磁気ヘッド
アセンブリを構成するスライダのジンバルへの取り付け
角度を厳格に調整する必要があり、スライダのジンバル
への組み付け後に、このジンバルが所期の状態に組み付
けられているか否かの姿勢角の検出を行わなければなら
ない。
ンブリは、ジンバルを介して本体部に取り付けられる双
胴型のスライダに磁気ヘッドコアを設けると共に磁気ヘ
ッドギャップを形成してなるものであって、磁気ディス
クに情報を書き込んだり、また情報の読み出しを行う場
合に、このスライダは磁気ディスクの表面から浮上させ
て、その間に微小隙間が形成されるようにするが、この
スライダと磁気ディスク表面との間の隙間を極めて正確
に管理しなければならない。このためには、磁気ヘッド
アセンブリを構成するスライダのジンバルへの取り付け
角度を厳格に調整する必要があり、スライダのジンバル
への組み付け後に、このジンバルが所期の状態に組み付
けられているか否かの姿勢角の検出を行わなければなら
ない。
【０００３】一般に、所定の部材の角度検出を行うため
に、レーザ光を用いた検査機構は従来から用いられてい
る。このレーザ光を用いた角度検出装置としては、レー
ザ光源から照射されるレーザ光をコリメータレンズを介
して完全な平行光とした上で試料面に照射し、その反射
光を再びコリメータレンズを透過させてビームスプリッ
タにより光路を９０°曲折させて、２次元ポジションセ
ンサ等の位置検出手段に結像させるように構成したもの
であって、この位置検出手段に結像した反射ビームスポ
ットの位置によって試料面に基準位置からの傾き方向及
び傾斜角度を検出することができる。
に、レーザ光を用いた検査機構は従来から用いられてい
る。このレーザ光を用いた角度検出装置としては、レー
ザ光源から照射されるレーザ光をコリメータレンズを介
して完全な平行光とした上で試料面に照射し、その反射
光を再びコリメータレンズを透過させてビームスプリッ
タにより光路を９０°曲折させて、２次元ポジションセ
ンサ等の位置検出手段に結像させるように構成したもの
であって、この位置検出手段に結像した反射ビームスポ
ットの位置によって試料面に基準位置からの傾き方向及
び傾斜角度を検出することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したス
ライダのような場合には、姿勢角の許容誤差が数秒程度
であり、従って、試料面の姿勢角のずれを秒の角度単位
まで正確に検出しなければならない。ここで、コリメー
タレンズを用いた角度検出方式で姿勢角を検出する場合
には、試料面の光軸方向における位置ずれがあると、こ
の位置ずれ分に応じた測定誤差が生じることになる。こ
のために、秒の角度単位の分解能を持たせるためには、
試料面を極めて厳格に位置決めしなければならず、従っ
てこの試料面の位置決めが極めて困難であり、しかも位
置決め機構の構成が極めて複雑になるという欠点があ
る。また、コリメータレンズを用いた場合には、試料面
に照射されるレーザビームのスポット径は、レーザ光源
から出射されるレーザビームのビーム径と、このレーザ
光源からコリメータレンズまでの距離によって定まるも
のであることから、試料面への照射スポット径を制御す
ることができないという欠点もある。とりわけ、スライ
ダのように、レーザビームが照射される部位の面積が極
めて小さい場合には、このようなコリメータレンズを用
いた角度検出方式を採用するのは不可能である。
ライダのような場合には、姿勢角の許容誤差が数秒程度
であり、従って、試料面の姿勢角のずれを秒の角度単位
まで正確に検出しなければならない。ここで、コリメー
タレンズを用いた角度検出方式で姿勢角を検出する場合
には、試料面の光軸方向における位置ずれがあると、こ
の位置ずれ分に応じた測定誤差が生じることになる。こ
のために、秒の角度単位の分解能を持たせるためには、
試料面を極めて厳格に位置決めしなければならず、従っ
てこの試料面の位置決めが極めて困難であり、しかも位
置決め機構の構成が極めて複雑になるという欠点があ
る。また、コリメータレンズを用いた場合には、試料面
に照射されるレーザビームのスポット径は、レーザ光源
から出射されるレーザビームのビーム径と、このレーザ
光源からコリメータレンズまでの距離によって定まるも
のであることから、試料面への照射スポット径を制御す
ることができないという欠点もある。とりわけ、スライ
ダのように、レーザビームが照射される部位の面積が極
めて小さい場合には、このようなコリメータレンズを用
いた角度検出方式を採用するのは不可能である。
【０００５】本発明は以上説明した従来技術の欠点や問
題点を解消するためになされたものであって、その目的
とするところは、試料面が多少位置ずれした状態で配置
されていても、試料面に所望のスポット径のレーザ光を
照射してその姿勢角を極めて正確に検出することができ
る姿勢角検出装置を提供することにある。
題点を解消するためになされたものであって、その目的
とするところは、試料面が多少位置ずれした状態で配置
されていても、試料面に所望のスポット径のレーザ光を
照射してその姿勢角を極めて正確に検出することができ
る姿勢角検出装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、レーザ発振器と、このレーザ発振器
から照射されるレーザ光を試料面に所定のスポット径と
なるように集光させると共に、その反射光を平行光とす
る対物レンズと、この対物レンズの後側焦点位置に配設
した位置検出手段とを備え、試料面からの反射光がこの
位置検出手段に投影されるスポット位置の中心からのず
れ方向及びずれ量に基づいて試料面の姿勢角を検出する
構成としたことをその特徴とするものである。
ために、本発明は、レーザ発振器と、このレーザ発振器
から照射されるレーザ光を試料面に所定のスポット径と
なるように集光させると共に、その反射光を平行光とす
る対物レンズと、この対物レンズの後側焦点位置に配設
した位置検出手段とを備え、試料面からの反射光がこの
位置検出手段に投影されるスポット位置の中心からのず
れ方向及びずれ量に基づいて試料面の姿勢角を検出する
構成としたことをその特徴とするものである。
【０００７】
【作用】レーザ発振器から照射されたレーザ光は対物レ
ンズにより収束せしめられて試料面に反射する。このよ
うに、試料面には対物レンズによって収束させたスポッ
ト径のレーザビームが照射されるので、試料面に合せた
スポット径の光を照射することができる。また、この試
料面からの反射光は、再び対物レンズを介することによ
り平行光とした上で、主光路から分離させて、位置検出
手段に結像させる。そして、この位置検出手段における
反射光の受光位置を検出して、その座標中心からのずれ
の方向及びずれ量に基づいて、試料面の傾き方向及びず
れ傾き角度を検出することができる。
ンズにより収束せしめられて試料面に反射する。このよ
うに、試料面には対物レンズによって収束させたスポッ
ト径のレーザビームが照射されるので、試料面に合せた
スポット径の光を照射することができる。また、この試
料面からの反射光は、再び対物レンズを介することによ
り平行光とした上で、主光路から分離させて、位置検出
手段に結像させる。そして、この位置検出手段における
反射光の受光位置を検出して、その座標中心からのずれ
の方向及びずれ量に基づいて、試料面の傾き方向及びず
れ傾き角度を検出することができる。
【０００８】ここで、対物レンズは、一般に、焦点深度
を持っていることから、位置検出手段を正確に後側焦点
位置に配設しておけば、試料面がこの焦点深度の範囲内
に位置しておれば、多少デフォーカスした位置に置かれ
ていたとしても、この試料面の姿勢角が同じである限
り、反射光の主光線は対物レンズを通過した後、位置検
出手段には、同じ位置に結像する。従って、試料面の位
置決めをあまり厳格に行う必要がなくなるので、位置決
め機構の構成を簡略化できると共に、この位置決め作業
も容易に、迅速に行うことができ、姿勢角の検出を効率
的に行うことも可能となる。
を持っていることから、位置検出手段を正確に後側焦点
位置に配設しておけば、試料面がこの焦点深度の範囲内
に位置しておれば、多少デフォーカスした位置に置かれ
ていたとしても、この試料面の姿勢角が同じである限
り、反射光の主光線は対物レンズを通過した後、位置検
出手段には、同じ位置に結像する。従って、試料面の位
置決めをあまり厳格に行う必要がなくなるので、位置決
め機構の構成を簡略化できると共に、この位置決め作業
も容易に、迅速に行うことができ、姿勢角の検出を効率
的に行うことも可能となる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。まず、図１に本発明の一実施例における姿勢角検
出装置の概略構成を示す。図中において、１は試料面で
あって、この試料面１にはレーザ発振器２からのレーザ
光が照射されて、その反射光を位置検出手段としての２
次元ポジションセンサ３に受光させ、このポジションセ
ンサ３におけるレーザ反射光の受光位置を検出する構成
となっている。また、レーザ発振器２と試料面１との間
には、光学系として、レーザ発振器から順に、ＮＤフィ
ルタ４，エクスパンダレンズ５，偏光ビームスプリッタ
６，対物レンズ７，λ／４波長板８が介装されている。
する。まず、図１に本発明の一実施例における姿勢角検
出装置の概略構成を示す。図中において、１は試料面で
あって、この試料面１にはレーザ発振器２からのレーザ
光が照射されて、その反射光を位置検出手段としての２
次元ポジションセンサ３に受光させ、このポジションセ
ンサ３におけるレーザ反射光の受光位置を検出する構成
となっている。また、レーザ発振器２と試料面１との間
には、光学系として、レーザ発振器から順に、ＮＤフィ
ルタ４，エクスパンダレンズ５，偏光ビームスプリッタ
６，対物レンズ７，λ／４波長板８が介装されている。
【００１０】ここで、レーザ発振器２としては、各種の
気体レーザ，固体レーザ，半導体レーザ等適宜のものを
用いることができる。このレーザ発振器２から出射され
る略平行光からなるレーザ光はＮＤフィルタ４を通過さ
せることにより光量調整が行われた後に、エクスパンダ
レンズ５によりそのビーム径を所望の大きさに拡大させ
て、ビームスプリッタ６を透過して、対物レンズ７によ
って収束せしめられる。このレーザ発振器２から出射さ
れレーザ光はＰ偏光光束であることから対物レンズ７を
通過した後にλ／４波長板８によって円偏光に変換させ
た後に試料面１に照射する。
気体レーザ，固体レーザ，半導体レーザ等適宜のものを
用いることができる。このレーザ発振器２から出射され
る略平行光からなるレーザ光はＮＤフィルタ４を通過さ
せることにより光量調整が行われた後に、エクスパンダ
レンズ５によりそのビーム径を所望の大きさに拡大させ
て、ビームスプリッタ６を透過して、対物レンズ７によ
って収束せしめられる。このレーザ発振器２から出射さ
れレーザ光はＰ偏光光束であることから対物レンズ７を
通過した後にλ／４波長板８によって円偏光に変換させ
た後に試料面１に照射する。
【００１１】試料面１からの反射光は、λ／４波長板８
によりＳ偏光させて、対物レンズ７によって平行光に調
整し、ビームスプリッタ６上で９０°反射させて、入射
光路から分離して取り出し、ポジションセンサ３に受光
させる。ここで、ポジションセンサ３は対物レンズ７の
後側焦点位置に正確に配設するように調整されている。
このポジションセンサ３は対物レンズ７の作用によって
平行光とされた反射光の光路に対して直角になるように
配設されている。
によりＳ偏光させて、対物レンズ７によって平行光に調
整し、ビームスプリッタ６上で９０°反射させて、入射
光路から分離して取り出し、ポジションセンサ３に受光
させる。ここで、ポジションセンサ３は対物レンズ７の
後側焦点位置に正確に配設するように調整されている。
このポジションセンサ３は対物レンズ７の作用によって
平行光とされた反射光の光路に対して直角になるように
配設されている。
【００１２】今、試料面１が図１における実線で示した
ように、レーザ発振器２から出射されるレーザ光の光路
に対して正確に直交する状態となっておれば、この試料
面１からの反射光は、同図に実線で示したように、ポジ
ションセンサ３の所定の位置P1に結像せしめられる。こ
れに対して、同図に仮想線で示したように、試料面１が
正規の状態から角度θだけ傾いていたとすると、ポジシ
ョンセンサ３における受光位置の重心P2は正規の位置か
ら所定の方向にΔｄだけずれることになる。従って、図
２に示したように、このポジションセンサ３における正
規の状態での試料面１からの反射光の受光位置P1を座標
中心として、実際の検出時における受光位置P2の座標中
心からのＸ軸方向及びＹ軸方向のずれ量を測定すれば、
試料面１の姿勢角の方向と角度とを検出することができ
る。
ように、レーザ発振器２から出射されるレーザ光の光路
に対して正確に直交する状態となっておれば、この試料
面１からの反射光は、同図に実線で示したように、ポジ
ションセンサ３の所定の位置P1に結像せしめられる。こ
れに対して、同図に仮想線で示したように、試料面１が
正規の状態から角度θだけ傾いていたとすると、ポジシ
ョンセンサ３における受光位置の重心P2は正規の位置か
ら所定の方向にΔｄだけずれることになる。従って、図
２に示したように、このポジションセンサ３における正
規の状態での試料面１からの反射光の受光位置P1を座標
中心として、実際の検出時における受光位置P2の座標中
心からのＸ軸方向及びＹ軸方向のずれ量を測定すれば、
試料面１の姿勢角の方向と角度とを検出することができ
る。
【００１３】ここで、試料面は対物レンズ７の前側焦点
位置に配設するのが好ましいが、必ずしも正確に焦点位
置fFの位置に配設する必要はない。即ち、図３に示した
ように、正確に焦点位置fFに配設された試料面1aが入射
光路に対して角度θだけ傾いていたとしたときに、この
試料面1aからの反射光は入射光路に対して２θの角度の
方向に反射して対物レンズ７の後側焦点位置fBの位置に
結像する。これに対して、試料面1bのように、前側焦点
位置fFから光軸方向にＬだけずれた位置、即ちデフォー
カスした位置に置かれたとしても、反射光は焦点位置fF
に置かれた試料面1aからの反射光となって対物レンズ７
に入射される。従って、この対物レンズ７の後側焦点位
置fBにおいては、試料面1aからの反射光と試料面1bから
の反射光とはその光の重心位置は同一となる。一般に、
対物レンズ７は所定の焦点深度もっており、この焦点深
度の範囲内に置かれておれば、焦点位置からデフォーカ
スしても、ポジションセンサ３上に必ず結像することか
ら、測定誤差が生じることはない。従って、試料面１を
厳格に位置決めする必要がないので、その位置決め機構
の構成を簡略化することができると共に、位置決め操作
も簡単になる。
位置に配設するのが好ましいが、必ずしも正確に焦点位
置fFの位置に配設する必要はない。即ち、図３に示した
ように、正確に焦点位置fFに配設された試料面1aが入射
光路に対して角度θだけ傾いていたとしたときに、この
試料面1aからの反射光は入射光路に対して２θの角度の
方向に反射して対物レンズ７の後側焦点位置fBの位置に
結像する。これに対して、試料面1bのように、前側焦点
位置fFから光軸方向にＬだけずれた位置、即ちデフォー
カスした位置に置かれたとしても、反射光は焦点位置fF
に置かれた試料面1aからの反射光となって対物レンズ７
に入射される。従って、この対物レンズ７の後側焦点位
置fBにおいては、試料面1aからの反射光と試料面1bから
の反射光とはその光の重心位置は同一となる。一般に、
対物レンズ７は所定の焦点深度もっており、この焦点深
度の範囲内に置かれておれば、焦点位置からデフォーカ
スしても、ポジションセンサ３上に必ず結像することか
ら、測定誤差が生じることはない。従って、試料面１を
厳格に位置決めする必要がないので、その位置決め機構
の構成を簡略化することができると共に、位置決め操作
も簡単になる。
【００１４】例えば、レーザ発振器２として、Ｈｅ−Ｎ
ｅレーザを用いると、その波長λは０．６３２８μｍ
で、ビーム径は０．４９ｍｍとなる。そして、対物レン
ズ７としては、その焦点距離ｆを１００ｍｍとなし、ま
たエクスパンダレンズ５の倍率を１．８１倍としたとす
る。これによって、対物レンズ７に入射される平行光の
ビーム径φは、φ＝０．４９×１．８１＝０．８９ｍｍ
となる。従って、試料面１に結像するレーザビームのス
ポット径ωは、ω＝２λ／π・ＮＡ（ただし、ＮＡ＝
（φ／２）／ｆ）で求められる。ここで、ＮＡ＝（０．
８９／２）／１００＝０．００４であることから、ω＝
９１μｍφとなる。以上のことから、対物レンズ７の焦
点距離及びエクスパンダレンズ５の倍率（このエクスパ
ンダレンズの倍率は１より大きい場合だけでなく、それ
を反対向きに装着すれば、縮径、即ち１以下の倍率とす
ることもできる）を適宜選定することによって、試料面
に所望のスポット径のビームを照射することができる。
なお、レーザ発振器の種類と対物レンズの焦点距離によ
って所望のスポット径が得られる場合には、エクスパン
ダレンズを装着する必要はない。
ｅレーザを用いると、その波長λは０．６３２８μｍ
で、ビーム径は０．４９ｍｍとなる。そして、対物レン
ズ７としては、その焦点距離ｆを１００ｍｍとなし、ま
たエクスパンダレンズ５の倍率を１．８１倍としたとす
る。これによって、対物レンズ７に入射される平行光の
ビーム径φは、φ＝０．４９×１．８１＝０．８９ｍｍ
となる。従って、試料面１に結像するレーザビームのス
ポット径ωは、ω＝２λ／π・ＮＡ（ただし、ＮＡ＝
（φ／２）／ｆ）で求められる。ここで、ＮＡ＝（０．
８９／２）／１００＝０．００４であることから、ω＝
９１μｍφとなる。以上のことから、対物レンズ７の焦
点距離及びエクスパンダレンズ５の倍率（このエクスパ
ンダレンズの倍率は１より大きい場合だけでなく、それ
を反対向きに装着すれば、縮径、即ち１以下の倍率とす
ることもできる）を適宜選定することによって、試料面
に所望のスポット径のビームを照射することができる。
なお、レーザ発振器の種類と対物レンズの焦点距離によ
って所望のスポット径が得られる場合には、エクスパン
ダレンズを装着する必要はない。
【００１５】ここで、位置検出手段としては、前述した
２次元ポジションセンサ３以外でも、例えば図４に示し
たような４分割センサ30を用いることもできる。この４
分割センサ30を用いる場合には、受光部の光量重心の位
置を求めるのではなく、各センサセクション30ａ，30
ｂ，30ｃ，30ｄの受光量の差を演算するように構成すれ
ばよい。
２次元ポジションセンサ３以外でも、例えば図４に示し
たような４分割センサ30を用いることもできる。この４
分割センサ30を用いる場合には、受光部の光量重心の位
置を求めるのではなく、各センサセクション30ａ，30
ｂ，30ｃ，30ｄの受光量の差を演算するように構成すれ
ばよい。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、レーザ
発振器から照射されるレーザ光を対物レンズによって、
試料面に所定のスポット径となるように集光させると共
に、その反射光を平行光として、この対物レンズの後側
焦点位置に配設した位置検出手段に受光させるように構
成したので、たとえ試料面が多少位置ずれした状態で配
置されていても、この試料面の姿勢角を極めて正確に検
出することができるようになり、検出精度の向上を図る
ことができると共に、試料面の位置決め機構の構成を簡
略化することができ、さらには試料面に照射されるレー
ザビームのスポット径を任意に制御することができる等
の諸効果を奏する。
発振器から照射されるレーザ光を対物レンズによって、
試料面に所定のスポット径となるように集光させると共
に、その反射光を平行光として、この対物レンズの後側
焦点位置に配設した位置検出手段に受光させるように構
成したので、たとえ試料面が多少位置ずれした状態で配
置されていても、この試料面の姿勢角を極めて正確に検
出することができるようになり、検出精度の向上を図る
ことができると共に、試料面の位置決め機構の構成を簡
略化することができ、さらには試料面に照射されるレー
ザビームのスポット径を任意に制御することができる等
の諸効果を奏する。
【図１】本発明の一実施例を示す姿勢角検出装置の構成
説明図である。
説明図である。
【図２】位置検出手段としての２次元ポジションセンサ
による受光状態を示す説明図である。
による受光状態を示す説明図である。
【図３】図１の姿勢角検出装置の作動説明図である。
【図４】位置検出手段の他の例である４分割センサの作
動説明図である。
動説明図である。
１ 試料面 ２ レーザ発振器 ３ ２次元ポジションセンサ ５ エクスパンダレンズ ６ 偏光ビームスプリッタ ７ 対物レンズ ８ λ／４波長板
Claims (4)
- 【請求項１】 レーザ発振器と、このレーザ発振器から
照射されるレーザ光を試料面に所定のスポット径となる
ように集光させると共に、その反射光を平行光とする対
物レンズと、この対物レンズの後側焦点位置に配設した
位置検出手段とを備え、試料面からの反射光がこの位置
検出手段に受光されるスポット位置の中心からのずれ方
向及びずれ量に基づいて試料面の姿勢角を検出する構成
としたことを特徴とする姿勢角検出装置。 - 【請求項２】 レーザ光の光路において、前記対物レン
ズを挟んで光源側にビームスプリッタを配設すると共
に、試料面側にλ／４波長板を介装する構成としたこと
を特徴とする請求項１記載の姿勢角検出装置。 - 【請求項３】 前記レーザ発振器から対物レンズまでの
間の位置に、レーザ光束のビーム径を可変ならしめるビ
ーム径調整手段を介装したことを特徴とする請求項１ま
たは請求項２記載の姿勢角検出装置。 - 【請求項４】 前記ビーム径調整手段はエクスパンダレ
ンズであることを特徴とする請求項３記載の姿勢角検出
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12654391A JPH0587548A (ja) | 1991-05-01 | 1991-05-01 | 姿勢角検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12654391A JPH0587548A (ja) | 1991-05-01 | 1991-05-01 | 姿勢角検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587548A true JPH0587548A (ja) | 1993-04-06 |
Family
ID=14937787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12654391A Pending JPH0587548A (ja) | 1991-05-01 | 1991-05-01 | 姿勢角検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0587548A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6246652B1 (en) | 1997-12-05 | 2001-06-12 | Hitachi, Ltd. | Device using sensor for small rotation angle |
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