JPH0588501B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0588501B2 JPH0588501B2 JP59170471A JP17047184A JPH0588501B2 JP H0588501 B2 JPH0588501 B2 JP H0588501B2 JP 59170471 A JP59170471 A JP 59170471A JP 17047184 A JP17047184 A JP 17047184A JP H0588501 B2 JPH0588501 B2 JP H0588501B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- television
- sample
- electron beam
- wobbler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はテレビジヨンで像を観察する透過形電
子顕微鏡の焦点合わせ装置および焦点合わせ方向
に関するものである。
子顕微鏡の焦点合わせ装置および焦点合わせ方向
に関するものである。
一般の透過形電子顕微鏡の焦点合わせ装置とし
ては、従来から、通称ワブラーという装置が使用
されている（特開昭53−15738＜特公昭58−24899
＞）。このワブラー装置は試料を照射する電子線
が試料に対する入射角を時間的に変化させる装置
であり、もし上記電子顕微鏡の焦点が合つていな
ければ結像面に拡大されている試料の像が揺れて
見える。したがつて観察者はワブラー装置を動作
させながら螢光板上の試料像の動きを観察し、そ
の動きが認められなくなるように、透過形電子顕
微鏡の対物レンズの電流を変化させて焦点合わせ
を行うものである。この装置による方法は簡便な
焦点合わせの方法として広く利用されているが、
焦点からずれる量が少なくなつてくると、像の動
きがいわば像のぼけのようになつて見えるため、
十分な精度で焦点合わせができないという問題点
があつた。
ては、従来から、通称ワブラーという装置が使用
されている（特開昭53−15738＜特公昭58−24899
＞）。このワブラー装置は試料を照射する電子線
が試料に対する入射角を時間的に変化させる装置
であり、もし上記電子顕微鏡の焦点が合つていな
ければ結像面に拡大されている試料の像が揺れて
見える。したがつて観察者はワブラー装置を動作
させながら螢光板上の試料像の動きを観察し、そ
の動きが認められなくなるように、透過形電子顕
微鏡の対物レンズの電流を変化させて焦点合わせ
を行うものである。この装置による方法は簡便な
焦点合わせの方法として広く利用されているが、
焦点からずれる量が少なくなつてくると、像の動
きがいわば像のぼけのようになつて見えるため、
十分な精度で焦点合わせができないという問題点
があつた。
本発明はテレビジヨン電子顕微鏡における電子
線の入射角の変化による像の変化を、明瞭に示
し、精度よく焦点合わせができる装置および方法
を得ることを目的とする。
線の入射角の変化による像の変化を、明瞭に示
し、精度よく焦点合わせができる装置および方法
を得ることを目的とする。
上記の目的を達成するために本発明によるテレ
ビジヨン電子顕微鏡の焦点合わせ装置は、電子線
像を得るための試料と、該試料に入射する電子線
の入射角を交互に変化させるワブラーと、上記試
料を透過した電子線を結像させる電子レンズと、
上記結像を撮影するテレビジヨンカメラと、上記
撮影した結像をテレビジヨン画面に表示する表示
手段と、上記ワブラーと上記テレビジヨンカメラ
とに接続した同期信号発生器とを備えたテレビジ
ヨン電子顕微鏡の焦点合わせ装置において、上記
同期信号発生器はその発生信号により、上記テレ
ビジヨンカメラの垂直走査波形のブランキング期
間に上記ワブラーを動作させるとともに、上記テ
レビジヨンカメラの垂直信号周波数の整数分の１
の周波数で上記ワブラーを動作させることによ
り、電子線の入射角の変化による像の変化を明瞭
に示すことができるようにしたものである。
ビジヨン電子顕微鏡の焦点合わせ装置は、電子線
像を得るための試料と、該試料に入射する電子線
の入射角を交互に変化させるワブラーと、上記試
料を透過した電子線を結像させる電子レンズと、
上記結像を撮影するテレビジヨンカメラと、上記
撮影した結像をテレビジヨン画面に表示する表示
手段と、上記ワブラーと上記テレビジヨンカメラ
とに接続した同期信号発生器とを備えたテレビジ
ヨン電子顕微鏡の焦点合わせ装置において、上記
同期信号発生器はその発生信号により、上記テレ
ビジヨンカメラの垂直走査波形のブランキング期
間に上記ワブラーを動作させるとともに、上記テ
レビジヨンカメラの垂直信号周波数の整数分の１
の周波数で上記ワブラーを動作させることによ
り、電子線の入射角の変化による像の変化を明瞭
に示すことができるようにしたものである。
つぎに本発明の実施例を図面とともに説明す
る。第１図は本発明のテレビジヨン電子顕微鏡の
焦点合わせ装置における一実施例を示す構成図、
第２図はテレビジヨンカメラの垂直走査電流と電
子線偏向コイル電流の波形説明図である。第１図
において、電子顕微鏡鏡体１内の電子銃２から出
た電子線３はワブラー装置の偏向コイル４によつ
て偏向され、試料５に入る入射角を周期ｆで変化
させる。試料５を透過した電子線３は対物レンズ
６、中間レンズ７、投写レンズ８によつて、ガラ
ス板９上に設けた螢光面１０に結像する。この像
は光学レンズ系１１によつてテレビジヨンカメラ
（以下TVカメラという）１２の撮像管フエース
プレートに結像され、電気信号に変換されてテレ
ビジヨンモニター１３に表示される。この際、も
しこの透過形電子顕微鏡の焦点が合つていれば、
入射電子線３の試料への入射角度を変えても螢光
面１０上の像は動くことがないが、焦点が合つて
いなければ像は上記の周期ｆで揺れる。本発明で
は同期信号発生器１４から発生した同期信号によ
つてTVカメラ用のカメラ制御器１５とワブラー
装置の偏向コイル電流発生器１６とが制御される
ようになつている。すなわち、同期信号発生器１
４から周波数ｆとその整数倍の周波数Nfの同期
信号を発生し、これらの周期信号によつてそれぞ
れ偏向コイル電流とTVカメラの垂直走査電流を
制御する。その結果入射電子線の角度変更をTV
カメラのブランキング時間内に行うことができ
る。
る。第１図は本発明のテレビジヨン電子顕微鏡の
焦点合わせ装置における一実施例を示す構成図、
第２図はテレビジヨンカメラの垂直走査電流と電
子線偏向コイル電流の波形説明図である。第１図
において、電子顕微鏡鏡体１内の電子銃２から出
た電子線３はワブラー装置の偏向コイル４によつ
て偏向され、試料５に入る入射角を周期ｆで変化
させる。試料５を透過した電子線３は対物レンズ
６、中間レンズ７、投写レンズ８によつて、ガラ
ス板９上に設けた螢光面１０に結像する。この像
は光学レンズ系１１によつてテレビジヨンカメラ
（以下TVカメラという）１２の撮像管フエース
プレートに結像され、電気信号に変換されてテレ
ビジヨンモニター１３に表示される。この際、も
しこの透過形電子顕微鏡の焦点が合つていれば、
入射電子線３の試料への入射角度を変えても螢光
面１０上の像は動くことがないが、焦点が合つて
いなければ像は上記の周期ｆで揺れる。本発明で
は同期信号発生器１４から発生した同期信号によ
つてTVカメラ用のカメラ制御器１５とワブラー
装置の偏向コイル電流発生器１６とが制御される
ようになつている。すなわち、同期信号発生器１
４から周波数ｆとその整数倍の周波数Nfの同期
信号を発生し、これらの周期信号によつてそれぞ
れ偏向コイル電流とTVカメラの垂直走査電流を
制御する。その結果入射電子線の角度変更をTV
カメラのブランキング時間内に行うことができ
る。
第２図は本発明におけるTVカメラの垂直走査
電流波形と上記ワブラー装置用の偏向コイル電流
波形とを経過時間に対して描いた図である。第２
図に見るとおり、本発明の焦点合わせ装置では、
TVカメラの垂直走査電流波形のブランキング時
間中に上記ワブラー装置の偏向コイルの電流波形
を切換えている。そのためテレビジヨンモニター
１３の像には、入射角を変える途中に像の流れに
よつて生じるぼけが全く見られず、透過形電子顕
微鏡の焦点不正合時にはテレビジヨンモニター１
３の像は完全な２重像になる。観察者は上記２重
像が１重像になるように、対物レンズ電流制御器
１７を調整すればよい。ワブラー装置を動作させ
てもテレビジヨンモニター１３の像が２重になら
ず１重に見えるときは、この透過形電子顕微鏡は
レンズ収差による微小項を除いて焦点が正合状態
にある。
電流波形と上記ワブラー装置用の偏向コイル電流
波形とを経過時間に対して描いた図である。第２
図に見るとおり、本発明の焦点合わせ装置では、
TVカメラの垂直走査電流波形のブランキング時
間中に上記ワブラー装置の偏向コイルの電流波形
を切換えている。そのためテレビジヨンモニター
１３の像には、入射角を変える途中に像の流れに
よつて生じるぼけが全く見られず、透過形電子顕
微鏡の焦点不正合時にはテレビジヨンモニター１
３の像は完全な２重像になる。観察者は上記２重
像が１重像になるように、対物レンズ電流制御器
１７を調整すればよい。ワブラー装置を動作させ
てもテレビジヨンモニター１３の像が２重になら
ず１重に見えるときは、この透過形電子顕微鏡は
レンズ収差による微小項を除いて焦点が正合状態
にある。
なお、第１図に示す本実施例ではマイクロコン
ピユータ１８に対物レンズ電流用微小電流値Δi
が前もつて記憶されている。これはとくに生物試
料などの低コントラストの試料に位相コントラス
トを重ね、コントラストを高めて観察したい場合
などに有用で、上記のようにワブラー装置によつ
て焦点合わせを行つたのち、マイクロコンピユー
タ１８の指令により、焦点正合時の対物レンズ電
流i0から上記Δiを減算することによつて対物レン
ズ６を励磁し、適当なコントラストを示す像を得
ることができる。
ピユータ１８に対物レンズ電流用微小電流値Δi
が前もつて記憶されている。これはとくに生物試
料などの低コントラストの試料に位相コントラス
トを重ね、コントラストを高めて観察したい場合
などに有用で、上記のようにワブラー装置によつ
て焦点合わせを行つたのち、マイクロコンピユー
タ１８の指令により、焦点正合時の対物レンズ電
流i0から上記Δiを減算することによつて対物レン
ズ６を励磁し、適当なコントラストを示す像を得
ることができる。
上記のように本発明によるテレビジヨン電子顕
微鏡の焦点合わせ装置は、電子線像を得るための
試料と、該試料に入射する電子線の入射角を交互
に変化させるワブラーと、上記試料を透過した電
子線を結像させる電子レンズと、上記結像を撮影
するテレビジヨンカメラと、上記撮影した結像を
テレビジヨン画面に表示する表示手段と、上記ワ
ブラーと上記テレビジヨンカメラとに接続した同
期信号発生器とを備えたテレビジヨン電子顕微鏡
の焦点合わせ装置において、上記同期信号発生器
はその発生信号により、上記テレビジヨンカメラ
の垂直走査波形のブランキング期間に上記ワブラ
ーを動作させるとともに、上記テレビジヨンカメ
ラの垂直信号周波数の整数分の１の周波数で上記
ワブラーを動作させることにより、上記入射電子
線の入射角度変更をTVカメラのブランキング時
間内に行うため、焦点不正合時における入射電子
線偏向による像の変化をテレビジヨンモニター上
の２重像として明瞭に見ることができ、入射角変
更途中に像の流れによつて生じるぼけがないた
め、容易に高精度の焦点合わせを行うことが可能
である。
微鏡の焦点合わせ装置は、電子線像を得るための
試料と、該試料に入射する電子線の入射角を交互
に変化させるワブラーと、上記試料を透過した電
子線を結像させる電子レンズと、上記結像を撮影
するテレビジヨンカメラと、上記撮影した結像を
テレビジヨン画面に表示する表示手段と、上記ワ
ブラーと上記テレビジヨンカメラとに接続した同
期信号発生器とを備えたテレビジヨン電子顕微鏡
の焦点合わせ装置において、上記同期信号発生器
はその発生信号により、上記テレビジヨンカメラ
の垂直走査波形のブランキング期間に上記ワブラ
ーを動作させるとともに、上記テレビジヨンカメ
ラの垂直信号周波数の整数分の１の周波数で上記
ワブラーを動作させることにより、上記入射電子
線の入射角度変更をTVカメラのブランキング時
間内に行うため、焦点不正合時における入射電子
線偏向による像の変化をテレビジヨンモニター上
の２重像として明瞭に見ることができ、入射角変
更途中に像の流れによつて生じるぼけがないた
め、容易に高精度の焦点合わせを行うことが可能
である。
第１図は本発明のテレビジヨン電子顕微鏡の焦
点合わせ装置における一実施例を示す構成図、第
２図は上記実施例におけるテレビジヨンカメラの
垂直走査電流と電子線偏向コイル電流の波形説明
図である。 ３……電子線、４……偏向コイル、５……試
料、６……対物レンズ、１２……テレビジヨンカ
メラ、１５……テレビジヨンカメラ制御器、１６
……偏向コイル電流発生器、１７……同期信号発
生器。
点合わせ装置における一実施例を示す構成図、第
２図は上記実施例におけるテレビジヨンカメラの
垂直走査電流と電子線偏向コイル電流の波形説明
図である。 ３……電子線、４……偏向コイル、５……試
料、６……対物レンズ、１２……テレビジヨンカ
メラ、１５……テレビジヨンカメラ制御器、１６
……偏向コイル電流発生器、１７……同期信号発
生器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電子線像を得るための試料と、該試料に入射
する電子線の入射角を交互に変化させるワブラー
と、上記試料を透過した電子線を結像させる電子
レンズと、上記結像を撮影するテレビジヨンカメ
ラと、上記撮影した結像をテレビジヨン画面に表
示する表示手段と、上記ワブラーと上記テレビジ
ヨンカメラとに接続した同期信号発生器とを備え
たテレビジヨン電子顕微鏡の焦点合わせ装置にお
いて、上記同期信号発生器はその発生信号によ
り、上記テレビジヨンカメラの垂直走査波形のブ
ランキング期間に上記ワブラーを動作させるとと
もに、上記テレビジヨンカメラの垂直信号周波数
の整数分の１の周波数で上記ワブラーを動作させ
ることを特徴とするテレビジヨン電子顕微鏡の焦
点合わせ装置。 ２ 電子線像を得るための試料と、該試料に入射
する電子線の入射角を交互に変化させる手段と、
上記試料を透過した電子線を結像させる電子レン
ズと、上記結像を撮影するテレビジヨンカメラと
を有するテレビジヨン電子顕微鏡の焦点合わせ方
法において、上記試料に入射する電子線の入射角
を、上記テレビジヨンカメラの垂直走査波形のブ
ランキング期間中に変化させながら、同一画中に
異なる入射角の像を交互に表示させる工程と、上
記像の状態を判断しながら対物レンズを調整する
工程とを、含むことを特徴とするテレビジヨン電
子顕微鏡の焦点合わせ方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59170471A JPS6149362A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | テレビジョン電子顕微鏡の焦点合わせ装置および焦点合わせ方法 |
| US06/766,272 US4680469A (en) | 1984-08-17 | 1985-08-16 | Focusing device for a television electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59170471A JPS6149362A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | テレビジョン電子顕微鏡の焦点合わせ装置および焦点合わせ方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6149362A JPS6149362A (ja) | 1986-03-11 |
| JPH0588501B2 true JPH0588501B2 (ja) | 1993-12-22 |
Family
ID=15905554
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59170471A Granted JPS6149362A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | テレビジョン電子顕微鏡の焦点合わせ装置および焦点合わせ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6149362A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63128107A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | Kobe Steel Ltd | 高炉ベルレス用下部シ−ル弁洩れ防止方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7804038A (nl) * | 1978-04-17 | 1979-10-19 | Philips Nv | Elektronenmikroskoop. |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP59170471A patent/JPS6149362A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6149362A (ja) | 1986-03-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |