JPH0590878A - 幅縦水晶振動子 - Google Patents
幅縦水晶振動子Info
- Publication number
- JPH0590878A JPH0590878A JP24984091A JP24984091A JPH0590878A JP H0590878 A JPH0590878 A JP H0590878A JP 24984091 A JP24984091 A JP 24984091A JP 24984091 A JP24984091 A JP 24984091A JP H0590878 A JPH0590878 A JP H0590878A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- width
- axis
- crystal resonator
- section
- resonator
- Prior art date
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 等価直列抵抗（Ｒ1）の小さい、小型幅縦水
晶振動子を提供することにある。 【構成】 幅ｘ0 方向に大きく変位する幅縦水晶振動子
で、振動部をベベルあるいはコンベックス形状にし、エ
ッチング面に励振電極を配置する。
晶振動子を提供することにある。 【構成】 幅ｘ0 方向に大きく変位する幅縦水晶振動子
で、振動部をベベルあるいはコンベックス形状にし、エ
ッチング面に励振電極を配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は幅縦水晶振動子の形状と
励振電極に関する。特に、小型化，高精度化，耐衝撃
性，低廉化の要求の強いポケットベル、ＩＣカードや移
動体無線等の基準信号源として最適な幅縦水晶振動子に
関する。
励振電極に関する。特に、小型化，高精度化，耐衝撃
性，低廉化の要求の強いポケットベル、ＩＣカードや移
動体無線等の基準信号源として最適な幅縦水晶振動子に
関する。
【０００２】
【従来の技術】周波数が４ＭＨｚ以上の水晶振動子は、
板厚によって大略周波数が決定される厚みすべり水晶振
動子が用いられてきた。特に、周波数温度特性に優れた
ＡＴカットが多用されてきた。又、これらの振動子は機
械加工にて振動子を形成する方法が採られていた。
板厚によって大略周波数が決定される厚みすべり水晶振
動子が用いられてきた。特に、周波数温度特性に優れた
ＡＴカットが多用されてきた。又、これらの振動子は機
械加工にて振動子を形成する方法が採られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来か
ら多用されているＡＴカット水晶振動子は、機械加工に
より形成するために、小型化した場合、振動子の支持方
法が難しく、振動漏れによる等価直列抵抗（Ｒ1）の増
加やスプリアス振動の発生が多くなり、小型化には限界
があった。又、衝撃に弱く、更には、振動子を１個づつ
機械的に加工するため低廉化には限界があるなど、超小
型の携帯機器用水晶振動子としては、極めて重要な課題
が残されていた。このことから、周波数が４ＭＨｚ以上
で、しかも、超小型で、等価直列抵抗（Ｒ1）の小さ
い、零温度係数を有する、エッチング加工が容易な新し
い水晶振動子が所望されていた。
ら多用されているＡＴカット水晶振動子は、機械加工に
より形成するために、小型化した場合、振動子の支持方
法が難しく、振動漏れによる等価直列抵抗（Ｒ1）の増
加やスプリアス振動の発生が多くなり、小型化には限界
があった。又、衝撃に弱く、更には、振動子を１個づつ
機械的に加工するため低廉化には限界があるなど、超小
型の携帯機器用水晶振動子としては、極めて重要な課題
が残されていた。このことから、周波数が４ＭＨｚ以上
で、しかも、超小型で、等価直列抵抗（Ｒ1）の小さ
い、零温度係数を有する、エッチング加工が容易な新し
い水晶振動子が所望されていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は以下の方法で従
来の課題を解決するものである。すなわち、幅縦振動モ
ードで振動する水晶振動子で、振動部の幅寸法方向に対
して垂直となるエッチング面に励振電極を配置し、幅中
央部寸法は幅端部寸法より大きくし、前記振動部をベベ
ルあるいはコンベックス形状にすることにより課題を解
決している。
来の課題を解決するものである。すなわち、幅縦振動モ
ードで振動する水晶振動子で、振動部の幅寸法方向に対
して垂直となるエッチング面に励振電極を配置し、幅中
央部寸法は幅端部寸法より大きくし、前記振動部をベベ
ルあるいはコンベックス形状にすることにより課題を解
決している。
【０００５】
【作用】このように、本発明は幅縦水晶振動子で、しか
も、幅方向の垂直面に励振電極を配置し、振動部の形状
をベベルあるいはコンベックスにすることにより、等価
直列抵抗（Ｒ1）が小さく、零温度係数を有する超小型
のより周波数の高い幅縦水晶振動子が得られる。
も、幅方向の垂直面に励振電極を配置し、振動部の形状
をベベルあるいはコンベックスにすることにより、等価
直列抵抗（Ｒ1）が小さく、零温度係数を有する超小型
のより周波数の高い幅縦水晶振動子が得られる。
【０００６】
【実施例】次に、本発明を実施例に基づいて具体的に述
べる。図１は本発明の幅縦水晶振動子形状の概観図とそ
の座標系を示す。幅縦水晶振動子１の両側面２，４はベ
ベル形状を成している。即ち、振動部６の中央部の幅ｘ
0 、端部の幅ｘ1 とすると、ｘ0 ＞ｘ1 を満足するよう
にベベル加工がなされている。又、本発明の幅縦水晶振
動子１は通常は化学的エッチング法によって形成され
る。それ故、側面２，４はエッチング面とも呼ばれる。
勿論、機械的加工による方法でもよいことは言うまでも
ない。このエッチング面の中央部は水晶の電気軸ｘと垂
直となるように形成される。
べる。図１は本発明の幅縦水晶振動子形状の概観図とそ
の座標系を示す。幅縦水晶振動子１の両側面２，４はベ
ベル形状を成している。即ち、振動部６の中央部の幅ｘ
0 、端部の幅ｘ1 とすると、ｘ0 ＞ｘ1 を満足するよう
にベベル加工がなされている。又、本発明の幅縦水晶振
動子１は通常は化学的エッチング法によって形成され
る。それ故、側面２，４はエッチング面とも呼ばれる。
勿論、機械的加工による方法でもよいことは言うまでも
ない。このエッチング面の中央部は水晶の電気軸ｘと垂
直となるように形成される。
【０００７】従って、幅縦モードを励振する励振電極３
と５（図示されていない）は振動部６の中央部のエッチ
ング面を中心に設けられる。この励振電極３，５は外部
接続端子と接続するために、振動部６の片側の面に集中
して、あるいは、対向面に設けている。又、ｙ' ，ｚ'
軸はＺ板をｘ軸回転でθ＝２０°〜３０°回転後の機械
軸ｙと光軸ｚの新軸である。
と５（図示されていない）は振動部６の中央部のエッチ
ング面を中心に設けられる。この励振電極３，５は外部
接続端子と接続するために、振動部６の片側の面に集中
して、あるいは、対向面に設けている。又、ｙ' ，ｚ'
軸はＺ板をｘ軸回転でθ＝２０°〜３０°回転後の機械
軸ｙと光軸ｚの新軸である。
【０００８】図２は本発明の幅縦水晶振動子形状の他の
実施例の概観図とその座標系を示す。幅縦水晶振動子７
の両側面８，９はコンベックス形状を成している。即
ち、振動部１０の中央部の幅ｘ0 、端部の幅ｘ1 とする
と、ｘ0 ＞ｘ1 を満足するようにコンベックス加工がな
されている。又、図１で説明したように、側面８，９は
エッチング面と呼ばれる。このエッチング面には励振電
極１１と励振電極１２（図示されていない）が配置され
る。この励振電極１１，１２は外部接続端子と接続する
ために、振動部１０の片側の面に集中して、あるいは、
対向面に設けている。ｙ' ，ｚ'軸は図１と同じであ
る。尚、図１と図２では、励振電極３，５，１１，１２
は振動部の側面の全部分に配置されているが、勿論、振
動部６，１０のエッチング面の一部分に配置してもよい
し、更には、厚み方向（ｚ' 軸方向）に対して垂直な面
にも多少の電極が配置されても十分な電気的諸特性が得
られる。又、本発明の幅縦水晶振動子では周波数定数が
大略２７０ｋＨｚ・ｃｍであるので、周波数ｆ＝４．０
ＭＨｚ以上の振動子を実現するには、幅ｘ0 は大略ｘ0
＝６７５μｍ（ベベルやコンベックス加工分を無視する
と）より小さくすればよいことになる。それ故、小型の
幅縦水晶振動子が４ＭＨｚ以上の周波数で得られる。
実施例の概観図とその座標系を示す。幅縦水晶振動子７
の両側面８，９はコンベックス形状を成している。即
ち、振動部１０の中央部の幅ｘ0 、端部の幅ｘ1 とする
と、ｘ0 ＞ｘ1 を満足するようにコンベックス加工がな
されている。又、図１で説明したように、側面８，９は
エッチング面と呼ばれる。このエッチング面には励振電
極１１と励振電極１２（図示されていない）が配置され
る。この励振電極１１，１２は外部接続端子と接続する
ために、振動部１０の片側の面に集中して、あるいは、
対向面に設けている。ｙ' ，ｚ'軸は図１と同じであ
る。尚、図１と図２では、励振電極３，５，１１，１２
は振動部の側面の全部分に配置されているが、勿論、振
動部６，１０のエッチング面の一部分に配置してもよい
し、更には、厚み方向（ｚ' 軸方向）に対して垂直な面
にも多少の電極が配置されても十分な電気的諸特性が得
られる。又、本発明の幅縦水晶振動子では周波数定数が
大略２７０ｋＨｚ・ｃｍであるので、周波数ｆ＝４．０
ＭＨｚ以上の振動子を実現するには、幅ｘ0 は大略ｘ0
＝６７５μｍ（ベベルやコンベックス加工分を無視する
と）より小さくすればよいことになる。それ故、小型の
幅縦水晶振動子が４ＭＨｚ以上の周波数で得られる。
【０００９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の幅縦水晶振
動子は形状とその励振電極の工夫により、次の著しい効
果を有する。 （１）振動部をベベルあるいはコンベックス形状に加工
し、エッチング面に励振電極を設けるので、振動による
エネルギー損失の小さい電界効率に優れた幅縦水晶振動
子が得られる。その結果、等価直列抵抗（Ｒ1）が小さ
くなる。 （２）本振動子はエッチング法によって形成されるの
で、小型化ができる。同時に、耐衝撃性に優れる。 （３）周波数が幅ｘ0 によって大略決まり、その周波数
定数が大略２７０ｋＨｚ・ｃｍであるので、周波数が４
ＭＨｚ以上で特に小型化が可能である。 （４）１枚のウエハ上に多数個の振動子を一度にバッチ
処理できるので、低廉化が可能である。 （５）ＫＴカット水晶板から振動子は形成されるので、
周波数温度特性に優れる。
動子は形状とその励振電極の工夫により、次の著しい効
果を有する。 （１）振動部をベベルあるいはコンベックス形状に加工
し、エッチング面に励振電極を設けるので、振動による
エネルギー損失の小さい電界効率に優れた幅縦水晶振動
子が得られる。その結果、等価直列抵抗（Ｒ1）が小さ
くなる。 （２）本振動子はエッチング法によって形成されるの
で、小型化ができる。同時に、耐衝撃性に優れる。 （３）周波数が幅ｘ0 によって大略決まり、その周波数
定数が大略２７０ｋＨｚ・ｃｍであるので、周波数が４
ＭＨｚ以上で特に小型化が可能である。 （４）１枚のウエハ上に多数個の振動子を一度にバッチ
処理できるので、低廉化が可能である。 （５）ＫＴカット水晶板から振動子は形成されるので、
周波数温度特性に優れる。
【図１】本発明の幅縦水晶振動子形状の一実施例の概観
図とその座標系である。
図とその座標系である。
【図２】本発明の幅縦水晶振動子形状の他の実施例の概
観図とその座標系である。
観図とその座標系である。
【符号の説明】 １，７ 幅縦水晶振動子 ２，４，８，９ 側面 ３，５，１１，１２ 励振電極 ６，１０ 振動部 ｘ0 幅 ｘ1 端部幅 ｘ 電気軸 ｙ' 座標回転後の機械軸 ｚ' 座標回転後の光軸
Claims (1)
- 【請求項１】 幅縦振動モードで振動する水晶振動子
で、振動部の幅寸法方向に対して垂直となるエッチング
面に励振電極を配置し、幅中央部寸法は幅端部寸法より
大きくしたことを特徴とする幅縦水晶振動子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24984091A JPH0590878A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 幅縦水晶振動子 |
| US07/822,532 US5311096A (en) | 1991-01-25 | 1992-01-17 | KT cut width-extensional mode quartz crystal resonator |
| EP92300508A EP0496583B1 (en) | 1991-01-25 | 1992-01-21 | KT cut width-extensional mode quartz crystal resonator |
| DE69225250T DE69225250T2 (de) | 1991-01-25 | 1992-01-21 | Quarzkristall-Resonator im Breitenausdehnungsmodus mit KT-Schnitt |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24984091A JPH0590878A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 幅縦水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0590878A true JPH0590878A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17198969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24984091A Pending JPH0590878A (ja) | 1991-01-25 | 1991-09-27 | 幅縦水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0590878A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7431755B2 (en) | 2005-12-28 | 2008-10-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Dust-collecting electrode and dust collector |
| JP2016140025A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
| JP2017046055A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶素板、水晶振動素子及び水晶デバイス |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP24984091A patent/JPH0590878A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7431755B2 (en) | 2005-12-28 | 2008-10-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Dust-collecting electrode and dust collector |
| JP2016140025A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
| JP2017046055A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶素板、水晶振動素子及び水晶デバイス |
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