JPH0592406A - Manufacture of laminated electronic parts - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、積層セラミックコンデ
ンサ等積層電子部品の製造方法に関し、特にその製造工
程の内、セラミックグリーンシートに電極パターンを印
刷して乾燥する工程における技術に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a laminated electronic component such as a laminated ceramic capacitor, and more particularly to a technique in the manufacturing process of printing an electrode pattern on a ceramic green sheet and drying it.
【０００２】[0002]
【従来の技術】例えば、ＩＣ回路素子として設計された
コンデンサの一つに、積層構造をなす積層セラミックコ
ンデンサがある。その製造方法については、先ず、セラ
ミック誘電体原料（ＴｉＯ2 、ＢａＴｉＯ3 等を主たる
成分とするもの）を薄いシート状に成形したセラミック
グリーンシートの表面に対し、金属導体を含むペースト
を使用し、所定の電極パターン（積層状態において、コ
ンデンサの内部電極になるもの）を印刷した後、乾燥す
る。次に、この乾燥シートを数層から数十層積み重ねて
圧着した後、所定のチップサイズにカットする。続い
て、カットされた各チップを１５００℃程度で焼結させ
た後、各チップの外側面部分に外部電極を設けて、製品
となす。2. Description of the Related Art For example, one of capacitors designed as an IC circuit element is a laminated ceramic capacitor having a laminated structure. Regarding the manufacturing method, first, a paste containing a metal conductor is used on the surface of a ceramic green sheet obtained by molding a ceramic dielectric material (having TiO 2 , BaTiO 3 or the like as a main component) into a thin sheet, After printing a predetermined electrode pattern (which becomes the internal electrode of the capacitor in the laminated state), it is dried. Next, several to several tens of the dried sheets are stacked and pressure-bonded, and then cut into a predetermined chip size. Subsequently, each of the cut chips is sintered at about 1500 ° C., and then external electrodes are provided on the outer side surface of each chip to obtain a product.
【０００３】また、上記した積層コンデンサに限らず、
積層インダクタやその他の積層電子部品についても、当
然のことながら、上述したのと同様な一連の工程によっ
て製造される。ところで、上述したセラミックグリーン
シートの成形については、次のようにして行われてい
る。即ち、長尺状のキャリヤフィルムを走行させ、例え
ば、ドクターブレード法によって、その表面に対してセ
ラミックスラリー（シート原料に溶媒や結合剤等を加え
て混合調整したもののこと）を所定厚みに塗布した後、
これを乾燥し、該キャリヤフィルムと共にリールに巻き
取る。これは、成形するセラミックグリーンシートの厚
みが一般に１０〜数１０μｍと、非常に薄いものである
から、該キャリヤフィルムによって裏打ち補強した状態
で、次工程における加工に供しようとするものである。Further, not limited to the above-mentioned laminated capacitor,
Naturally, the laminated inductor and other laminated electronic components are also manufactured by the same series of steps as described above. By the way, the above-mentioned molding of the ceramic green sheet is performed as follows. That is, a long carrier film is run, and a ceramic slurry (which is prepared by mixing a sheet raw material with a solvent, a binder or the like added and adjusted) is applied to the surface by a doctor blade method, for example, by a doctor blade method. rear,
It is dried and wound on a reel with the carrier film. This is because the thickness of the ceramic green sheet to be molded is generally as thin as 10 to several tens of μm, and therefore, it is intended to be subjected to processing in the next step in a state of being backed and reinforced by the carrier film.
【０００４】一方、かかるセラミックグリーンシート上
に電極パターンとしての導電性膜を形成することについ
ては、次のようにして行われている。即ち、キャリヤフ
ィルムと共にリールに巻き取られたセラミックグリーン
シートを繰り出しながら走行させ、その表面に対し、導
電性ペーストによる電極パターンのスクリーン印刷が行
われる。続いて、電極パターンが印刷されたセラミック
グリーンシートは、乾燥された後冷却されて、再び巻取
りリールに巻取られる。そして、ここで巻き取られた乾
燥シートについては、次工程である積層工程においてキ
ャリヤフィルムから剥離され、電極膜形成シートとして
積層される。On the other hand, formation of a conductive film as an electrode pattern on such a ceramic green sheet is performed as follows. That is, the ceramic green sheet wound on a reel together with the carrier film is fed and run, and the electrode pattern is screen-printed with a conductive paste on the surface thereof. Subsequently, the ceramic green sheet on which the electrode pattern is printed is dried, cooled, and then wound again on the winding reel. Then, the dried sheet wound here is peeled from the carrier film in the laminating step which is the next step, and laminated as an electrode film forming sheet.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、通
常、グリーンシートは長尺状のキャリヤフィルムによっ
て裏打ちされた状態で取り扱われ、これを走行させなが
ら電極パターンの印刷及び乾燥（加熱処理）が行われる
ようになっている。この場合、かかる長尺状のキャリヤ
フィルムを走行させるにあたっては、蛇行や皺の発生を
防止するために、該キャリヤフィルムの送り方向に対し
て引張力（テンション）が加えられるようになっている
（具体的には、段差ローラを使用したテンションコント
ロールが行われている）。As described above, a green sheet is usually handled in a state of being lined with a long carrier film, and printing and drying (heat treatment) of an electrode pattern while running the green sheet are performed. It is supposed to be done. In this case, when the long carrier film is run, a tensile force is applied to the carrier film in the feeding direction in order to prevent the meandering and wrinkling. Specifically, tension control is performed using step rollers).
【０００６】一方、乾燥処理状態下においては、該キャ
リヤフィルムは加熱されているため、かなり軟化した状
態にある。このため、その走行方向に対しては引っ張ら
れて伸び、その幅方向に対しては収縮するといった問題
が発生する。そして、このようなキャリヤフィルムにお
ける寸法変化が発生した場合には、せっかく印刷した電
極パターンが、その図形変形を引き起こす結果を招いて
しまうことになる。従って、一般に乾燥工程において
は、加工上の諸条件の管理をかなり慎重に行う必要があ
る。On the other hand, in the dry treatment state, the carrier film is heated and therefore is in a considerably softened state. For this reason, there arises a problem that it is stretched by stretching in the traveling direction and contracts in the width direction. Then, when such a dimensional change occurs in the carrier film, the printed electrode pattern causes the graphic deformation. Therefore, generally, in the drying step, it is necessary to manage the various processing conditions very carefully.
【０００７】このような問題に対しては、ピンテンター
のような巾出し装置の導入も考えられないでもないが、
装置の複雑化を招くことになるし、加工コストアップの
原因をつくることにもなってしまう。また、たとえこの
ような装置を導入したとしてもキャリヤフィルムの寸法
変化を完全に防止しきれるものではない。他の実用的な
対策方法として、キャリヤフィルム自体の熱的特性を改
善する方法も考えられている。このような方法によれ
ば、既存の設備を変更することなく、上記のような問題
の解決を図ることができる。その一例として、約１００
℃の温度雰囲気中において、無緊張条件の下でのフィル
ムの熱収縮率を約０．１％に改善したフィルムが紹介さ
れている。しかしながら、このような熱的特性の改善が
なされたキャリヤフィルムを使用した場合においても、
加熱状態下にあり、更に引張られるという緊張条件下に
あっては、その特性を十分に発揮することができない。
これは、あくまで無緊張条件の下での熱的特性の改善で
あるから、緊張下においての対応策にはなり得ないので
ある。For such a problem, introduction of a tenter device such as a pin tenter can be considered, but
This will complicate the apparatus and cause a rise in processing cost. Even if such a device is introduced, it is not possible to completely prevent the dimensional change of the carrier film. As another practical countermeasure, a method of improving the thermal characteristics of the carrier film itself has been considered. According to such a method, it is possible to solve the above problems without changing existing equipment. As an example, about 100
A film in which the heat shrinkage ratio of the film under a tensionless condition in a temperature atmosphere of ° C is improved to about 0.1% is introduced. However, even when a carrier film having such improved thermal properties is used,
Under the tension condition of being heated and being further stretched, the characteristics cannot be sufficiently exhibited.
This is an improvement in thermal characteristics under stress-free conditions, so it cannot be a countermeasure under stress.
【０００８】本発明は、かかる問題を解決するためにな
されたものであり、セラミックグリーンシート上に精度
よく電極パターンを形成せしめ、所要の積層成分となす
ことを可能とする積層電子部品の製造方法を提供するこ
とを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above problems, and is a method for manufacturing a laminated electronic component, which enables an electrode pattern to be formed on a ceramic green sheet with high accuracy to form a required laminated component. The purpose is to provide.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、長尺状のキャ
リヤフィルムによって裏打ちされたセラミックグリーン
シートを走行させ、その表面に、電極パターンを印刷し
た後、乾燥せしめて電極膜形成シートとなす積層電子部
品の製造方法において、前記キャリヤフィルムとして、
乾燥時に、その走行方向に対して加えられる引張力に抗
して、所要量の熱収縮を行うフィルムを用いることを特
徴としている。According to the present invention, a ceramic green sheet lined with a long carrier film is run, an electrode pattern is printed on the surface thereof, and then dried to form an electrode film forming sheet. In the method for manufacturing a laminated electronic component, as the carrier film,
It is characterized by using a film which, when dried, resists a tensile force applied to the running direction thereof to cause a required amount of heat shrinkage.
【００１０】[0010]
【作用】上記構成によれば、長尺状のキャリヤフィルム
により裏打ちされたセラミックグリーンシートが走行せ
られ、その表面に対して、電極パターンが印刷される。
これに連続して、印刷済みシートは乾燥に付され、電極
膜を形成した長尺状の乾燥シートを得る。According to the above construction, the ceramic green sheet lined with the long carrier film is run, and the electrode pattern is printed on the surface thereof.
Following this, the printed sheet is dried to obtain a long dry sheet having an electrode film formed thereon.
【００１１】ここで、キャリヤフィルムを走行させるに
あたっては、蛇行や皺の発生を防止するために、その走
行方向に対して引張力が付与されている。また、乾燥状
況下にあっては、キャリヤフィルムは同時に加熱作用を
受けている。このため、キャリヤフィルムはその走行方
向に伸び、これと直交する幅方向に収縮する傾向にある
が、キャリヤフィルムとして、走行方向に対して加えら
れる引張力に抗して所要量の熱収縮を行うフィルムを用
いているので、走行方向に対する収縮は勿論のこと、幅
方向の収縮についても極力最小限に抑えられる。Here, when the carrier film is run, a tensile force is applied in the running direction in order to prevent the occurrence of meandering and wrinkling. Further, under the dry condition, the carrier film is simultaneously heated. Therefore, the carrier film tends to extend in the running direction and shrink in the width direction orthogonal to the running direction, but as the carrier film, a required amount of heat shrinks against the tensile force applied in the running direction. Since the film is used, not only the shrinkage in the running direction but also the shrinkage in the width direction can be minimized.
【００１２】[0012]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に従って具体
的に説明する。図１は本発明にかかる積層電子部品に使
用する電極パターン形成シートの製造方法を示す製造工
程説明図である。図面からも明らかなように、この製造
工程は、表面にセラミックグリーンシートが形成された
キャリヤフィルム１が巻かれた巻出しリール２からキャ
リヤフィルム１が矢印Ａで示す方向に繰り出された後、
走行せられ、この間に、印刷処理部３、乾燥処理部４、
冷却処理部５の各処理を施された後、矢印Ｂで示す方向
に再び巻取りリール６に巻き取られる一連の工程からな
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a manufacturing process explanatory view showing a manufacturing method of an electrode pattern forming sheet used for a laminated electronic component according to the present invention. As is clear from the drawings, in this manufacturing process, after the carrier film 1 is unwound in the direction indicated by the arrow A from the unwinding reel 2 wound with the carrier film 1 having the ceramic green sheet formed on its surface,
While running, during this period, the print processing unit 3, the drying processing unit 4,
After being subjected to each processing of the cooling processing unit 5, it is composed of a series of steps in which it is rewound on the winding reel 6 in the direction indicated by the arrow B.
【００１３】キャリヤフィルム１としては、後に詳述す
るように、導電性ペーストを乾燥する温度で、長さ方向
に熱収縮するフィルムが用いられる。また、キャリヤフ
ィルム１の走行については、巻出しリール２から繰り出
された後にテンションコントロール装置７により、ま
た、巻取りリール６に巻き取られる前にテンションコン
トロール装置８によって、夫々走行方向に対するテンシ
ョンコントロールが行われている。これは、長尺状をな
すキャリヤフィルム１を長い距離にわたって走行させる
際に、蛇行や皺が発生することを防止するためである。
特に、印刷処理部３によって一旦湿った状態となったキ
ャリヤフィルム１が乾燥処理部４によって乾燥状態とな
る迄の一連の工程においては、キャリヤフィルム１の走
行を安定させるため、かかるテンションコントロールは
必ず行わなければならないものとなっている。As the carrier film 1, as will be described later in detail, a film which is heat-shrinkable in the length direction at a temperature for drying the conductive paste is used. Further, regarding the traveling of the carrier film 1, the tension control in the traveling direction is performed by the tension control device 7 after being unwound from the unwinding reel 2 and by the tension control device 8 before being wound up by the take-up reel 6. Has been done. This is to prevent the occurrence of meandering and wrinkling when the long carrier film 1 is run over a long distance.
In particular, in a series of steps until the carrier film 1 once moistened by the print processing unit 3 is dried by the drying processing unit 4, the tension control is necessary in order to stabilize the running of the carrier film 1. It has to be done.
【００１４】なお、テンションコントロール装置７、８
としては、通常、図で示すように段差ロール７０及び８
０を上下（矢印Ｄで示す）させることにより、走行する
キャリヤフィルム１のテンションコントロールを行うよ
うになっている。印刷処理部３では、通常、スクリーン
印刷が行われる。即ち、電極パターンを開口部として形
成したスクリーン３０が使用され、スキージ３１を両矢
印Ｃで示す方向に走行させることにより、導電性ペース
ト３２がキャリヤフィルム１に裏打ちされたセラミック
グリーンシートの表面に対して精度良く印刷される。な
お、かかるスクリーン印刷を行うにあたっては、キャリ
ヤフィルム１はその走行状態を、印刷時において静止す
るように調整される。The tension control devices 7 and 8
As shown in FIG.
By moving 0 up and down (indicated by arrow D), tension control of the traveling carrier film 1 is performed. The print processing unit 3 usually performs screen printing. That is, a screen 30 having an electrode pattern formed as an opening is used, and a squeegee 31 is run in a direction indicated by a double-headed arrow C, whereby the conductive paste 32 is applied to the surface of the ceramic green sheet lined with the carrier film 1. Be printed accurately. When performing such screen printing, the carrier film 1 is adjusted so that its running state is stationary during printing.
【００１５】乾燥処理部４では、印刷処理部３で印刷さ
れたセラミックグリーンシートに対して、通常、熱風吹
きつけ乾燥が行われる。即ち、箱型乾燥炉４０内を走行
するキャリヤフィルム１の表裏両面に対して、その上下
方向から温度及び風量をコントロールされた熱風を吹き
つけることによりキャリヤフィルム１の乾燥が行われ
る。なお、乾燥にあたっては、導電性ペースト３２が印
刷された側であるキャリヤフィルム１の表面に対する方
が、その裏面に対するよりも多くの熱量が付与されるよ
うに、また、先立ってスクリーン印刷がなされるにあた
って、上述したように、キャリヤフィルム１の走行状態
が間歇送りになっていることを十分考慮して乾燥処理が
なされる。In the drying processing section 4, the ceramic green sheet printed by the printing processing section 3 is usually dried by blowing hot air. That is, the carrier film 1 is dried by blowing hot air whose temperature and air volume are controlled from the vertical direction onto both the front and back surfaces of the carrier film 1 running in the box-type drying oven 40. During drying, screen printing is performed so that a larger amount of heat is applied to the front surface of the carrier film 1 that is the side on which the conductive paste 32 is printed than to the back surface thereof. At this time, as described above, the drying process is performed in consideration of the fact that the traveling state of the carrier film 1 is intermittent feed.
【００１６】冷却処理部５は、乾燥処理部４における箱
型乾燥炉４０を通過したキャリヤフィルム１に対して、
室温に近い状態に迄冷却させるためのものであり、通常
は、簡単な冷却ファン５０が使用される。前記キャリヤ
フィルム１としては、例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテ
レフタレート）のような２軸延伸フィルムが使用され
る。このようなタイプのフィルムにおいては、その製造
の際に、加熱処理が施されるのと同時に延伸処理が行わ
れ、その状態のままで冷却固定される。このため、再び
加熱処理が施された場合には、キャリヤフィルム１が軟
化するに伴い、先に延伸された方向とは逆方向に熱収縮
（０．０１〜０．１％程度）をひき起こす特性が発現さ
れるのである。The cooling processing section 5 applies to the carrier film 1 which has passed through the box type drying furnace 40 in the drying processing section 4,
This is for cooling to a state close to room temperature, and usually a simple cooling fan 50 is used. As the carrier film 1, for example, a biaxially stretched film such as PET (polyethylene terephthalate) is used. In the case of such a type of film, at the time of its production, it is subjected to a heat treatment and a stretching treatment at the same time, and is cooled and fixed in that state. Therefore, when the heat treatment is performed again, thermal contraction (about 0.01 to 0.1%) occurs in the direction opposite to the direction in which the carrier film 1 is stretched, as the carrier film 1 softens. The characteristic is expressed.
【００１７】従って、このような特性を利用して乾燥処
理部４における乾燥操作をコントロールする。即ち、テ
ンションコントロール装置７、８によってコントロール
される引張力に見合うだけの熱収縮率をもつキャリヤフ
ィルム１を選択すれば、かかる引張力に抗して、キャリ
ヤフィルム１がその走行方向に熱収縮するため、走行方
向に伸びることが抑制される。これに伴い、幅方向に熱
収縮することも抑制される。その結果、印刷処理部３に
おいて印刷された電極パターンの図形については、続く
乾燥処理部４において変形されることなく（実験では、
寸法変形率として収縮率が０．０１％以下の値を得るこ
とができた）、セラミックグリーンシート上に形成され
ることになる。Therefore, the drying operation in the drying processing section 4 is controlled by utilizing such characteristics. That is, if the carrier film 1 having a heat shrinkage ratio commensurate with the tensile force controlled by the tension control devices 7 and 8 is selected, the carrier film 1 thermally shrinks in the running direction against the tensile force. Therefore, the extension in the traveling direction is suppressed. Along with this, thermal contraction in the width direction is also suppressed. As a result, the figure of the electrode pattern printed in the print processing unit 3 is not deformed in the subsequent drying processing unit 4 (in the experiment,
As a dimensional deformation rate, a shrinkage rate of 0.01% or less could be obtained), and it is formed on the ceramic green sheet.
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上の本発明によれば、既存のラインを
使用して、印刷した状態における電極パターンの図形
を、そのままの状態でセラミックグリーンシート上に、
正確に形成させることができる。従って、仮に、かかる
電極パターンが、積層セラミックコンデンサに使用する
ものであるとすれば、そのコンデンサ容量のバラツキを
極力無くすことができることとなり、品質の格段の向上
を図ることが可能となる。As described above, according to the present invention, the existing line is used to print the pattern of the electrode pattern on the ceramic green sheet as it is.
It can be accurately formed. Therefore, if such an electrode pattern is used for a monolithic ceramic capacitor, it is possible to eliminate variations in the capacitance of the capacitor as much as possible, and it is possible to significantly improve the quality.
【００１９】また、セラミックグリーンシートを乾燥処
理する際、その裏打ち材であるキャリヤフィルムに対し
ては、十分なるテンションを与えることができるため、
加工中において、蛇行や皺の発生を極力抑えることがで
き、連続して安定な加工状態を保持することが可能とな
るメリットもある。Further, when the ceramic green sheet is dried, a sufficient tension can be applied to the carrier film as the backing material.
During processing, it is possible to suppress the occurrence of meandering and wrinkling as much as possible, and it is possible to maintain a stable and continuously processed state.
【図１】本発明にかかる積層部品に使用する電極パター
ン形成シートの製造方法を示す製造工程説明図である。FIG. 1 is a manufacturing process explanatory view showing a method of manufacturing an electrode pattern forming sheet used for a laminated component according to the present invention.
１ キャリヤフィルム ３ 印刷処理部 ４ 乾燥処理部 ７、８ テンションコントロール装置 1 Carrier Film 3 Print Processing Section 4 Drying Processing Section 7, 8 Tension Control Device
Claims (1)
ちされたセラミックグリーンシートを走行させ、その表
面に、電極パターンを印刷した後、乾燥せしめて電極膜
形成シートとなす積層電子部品の製造方法において、 前記キャリヤフィルムとして、乾燥時に、その走行方向
に対して加えられる引張力に抗して、所要量の熱収縮を
行うフィルムを用いることを特徴とする積層電子部品の
製造方法。1. A method for manufacturing a laminated electronic component, which comprises running a ceramic green sheet lined with a long carrier film, printing an electrode pattern on the surface thereof, and then drying it to form an electrode film-forming sheet. A method of manufacturing a laminated electronic component, characterized in that, as the carrier film, a film which, when dried, resists a tensile force applied to the traveling direction thereof to cause a required amount of heat shrinkage.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3256407A JP2734833B2 (en) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | Manufacturing method of laminated electronic components |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0592406A true JPH0592406A (en) | 1993-04-16 |
| JP2734833B2 JP2734833B2 (en) | 1998-04-02 |
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