JPH0592999U - 加速管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リング状の絶縁物２の内壁を汚損から保護
し、経済的に、しかも長期間にわたって安定して使用で
きる加速管を提供すること。 【構成】 リング状の絶縁物２の内側に、着脱可能な絶
縁シールドリング７を、例えば加速電極１を取り付ける
ための取り付けリング４に支持されるように内装してい
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、例えばイオン注入装置、電子線加速装置等に用いられるものであ って、荷電粒子源から引き出されたイオンや電子等の荷電粒子を加速する加速管 に関する。

【０００２】

【従来の技術】

図４は、従来のこの種加速管の概略構成を示す部分断面図である。この加速管 は、リング状の加速電極１を、例えばセラミック等からなるリング状の絶縁物２ を介して所望段数配設し、その両端にそれそれぞれフランジ部３を設けて構成し ており、前記加速電極１には図示しない加速電源から直流高電圧が印加され、図 示しない高電位部に設置された荷電粒子源から引き出された荷電粒子、例えばイ オンビーム６を大地電位部に設置された処理室に向けて加速するものである。な お、図中４は前記加速電極１を取り付けるための取り付けリング、５は取り付け リング４の先端に設けられたコロナリングである。また、図示しないが各加速電 極１−１間には、電圧分担抵抗が接続されている。

【０００３】

【考案が解決しょうとする課題】

ところが、上述のような加速管においては、その内部をイオンビーム６が通過 することにより、例えば加速電極１がスパッタされ、導電物を含む種々の浮遊物 がリング状の絶縁物２の内壁に付着し汚損される。この汚損が進むと、例えば加 速電極１−１間の絶縁が耐えられなくなり、絶縁破壊に至ることがある。

【０００４】 また、この付着物は、前記リング状の絶縁物２の内壁に染み込むような状態に 付着するため、このような状態では通常拭き取ることがきわめて困難である。し たがって、汚損が激しい場合は、リング状の絶縁物２の再生が不能となり、この 加速管全体を取り替えなければならず、極めて不経済であるなどといった不都合 があった。

【０００５】 そこでこの考案は、リング状の絶縁物の内壁を汚損から保護し、経済的に、し かも長期間にわたって安定して使用できる加速管を提供することを主たる目的と する。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するため、この考案の加速管は、前述したようなリング状の絶 縁物の内側に、着脱可能な絶縁シールドリングを内装したことを特徴とする。

【０００７】

【作用】

上記構成によれば、イオンビームの通過により加速電極がスパッタされ、導電 物を含む種々の浮遊物が加速管内に発生したとしても、リング状の絶縁物の内壁 は、絶縁シールドリングによって覆われているので、リング状の絶縁物の内壁に 前記浮遊物が付着して同内壁を汚損するようなことは起こらない。

【０００８】 着脱可能な絶縁シールドリングには、前記浮遊物が付着し、これを汚損するが 、一定期間毎に加速管を点検し、その汚損状況を確認し、汚損が激しい場合には 、着脱可能である当該絶縁シールドリングのみを取り外し、新しいものと取り替 えればよい。

【０００９】 取り外した絶縁シールドリングは、汚損状況に応じて、別途清掃して再利用に 備えることもできる。この清掃は、加速管内より取り出して行うことができるた め、その作業はきわめて容易である外、加速管の稼働を妨げることがない。

【００１０】

【実施例】

図１は、この考案の一実施例に係る加速管を示す概略部分断面図である。なお 、図４の従来例と同じ符号を付した部分は、同一または対応する部分を示す。以 下においては当該従来例との相違点を主に説明する。

【００１１】 この実施例においては、セラミック、プラスチック樹脂などの絶縁物からなり 、着脱可能なように構成された絶縁シールドリング７を、例えば加速電極１を取 り付けるための取り付けリング４に支持されるようにして、各リング状の絶縁物 ２の内側にそれぞれ内装している。

【００１２】 前記着脱可能な絶縁シールドリング７としては、例えば図２に示すようにセラ ミックなどの絶縁物により、リングを２個以上（図示例では３個）のリング片８ 、８・・・に分割し、階段状の段部８１−８１をはめ合せ構造とし、ネジなどか らなる締結具９により各リング片８を一体に締結できるように構成しておき、各 リング片８を分割した状態で前述したリング状の絶縁物２内に入れ、その後一体 にして絶縁シールドリング７を形成すればよい。

【００１３】 以上の構成によれば、イオンビーム６の通過により加速電極１がスパッタされ 、導電物を含む種々の浮遊物が加速管内に発生したとしても、リング状の絶縁物 ２の内壁は、絶縁シールドリング７によって覆われているので、リング状の絶縁 物２の内壁に前記浮遊物が付着して同内壁を汚損するようなことは起こらない。

【００１４】 そして、前記浮遊物は、着脱可能な絶縁シールドリング７の内側に付着し、こ れを汚損するが、これは定期点検など一定期間毎に加速管を点検し、各絶縁シー ルドリング７の汚損状況を確認し、汚損が激しい場合には、当該絶縁シールドリ ング７のみを取り外し新しいものと取り替えればよい。

【００１５】 また、取り外した絶縁シールドリング７は、汚損状況に応じて、別途清掃して 再利用に備えることもできる。この清掃は、加速管内より取り出して行うことが できるため、その作業はきわめて容易である外、加速管の稼働を妨げることがな く、きわめて都合がよい。

【００１６】 図３は、着脱可能な絶縁シールドリング７の他の例を示す斜視図である。この 例では、リング状の例えばプラスチック樹脂などの弾力性に優れた絶縁物を用い 、その一箇所を切断して階段状の段部８２を形成しておき、この段部８２の部分 で絶縁シールドリング７の外形を少し縮めておき、この状態で絶縁シールドリン グ７を前述したリング状の絶縁物２内に入れ、その後絶縁シールドリング７を元 のリング形状に戻すようにすればよい。

【００１７】 この例によれば、図２の例のような締結具９が不要となり、またその取り付け 及び取り外しが容易となり都合がよい。

【００１８】

【考案の効果】

以上のようにこの考案によれば、着脱可能な絶縁シールドリングをリング状の 絶縁物の内側に内装することにより、リング状の絶縁物の内壁を汚損から保護し 、しかも絶縁シールドリングは汚損したもののみを取り替えればよく、きわめて 経済的にこの種の加速管の長寿命化を図ることができるなどといった実用的効果 を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例に係る加速管を示す概略部
分断面図である。

【図２】この考案に用いる絶縁シールドリングの一例を
示す斜視図である。

【図３】この考案に用いる絶縁シールドリングの他の例
を示す斜視図である。

【図４】従来例の加速管の概略構成を示す部分断面図で
ある。

【符号の説明】

１ 加速電極 ２ リング状の絶縁物 ３ フランジ部 ７ 絶縁シールドリング

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】荷電粒子源から引き出された荷電粒子を加
   速するリング状の加速電極を、リング状の絶縁物を介し
   て複数段配設し、その両端にフランジ部を設けてなる加
   速管において、前記リング状の絶縁物の内側に、着脱可
   能な絶縁シールドリングを内装してなることを特徴とす
   る加速管。