JPH059313A - フツ素樹脂製フイルムの封孔処理方法 - Google Patents

フツ素樹脂製フイルムの封孔処理方法

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JPH059313A
JPH059313A JP18952191A JP18952191A JPH059313A JP H059313 A JPH059313 A JP H059313A JP 18952191 A JP18952191 A JP 18952191A JP 18952191 A JP18952191 A JP 18952191A JP H059313 A JPH059313 A JP H059313A
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JP
Japan
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film
atomic oxygen
ptfe
small holes
sealing
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Application number
JP18952191A
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English (en)
Inventor
Masaaki Itou
正皓 伊東
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IHI Corp
Original Assignee
Ishikawajima Harima Heavy Industries Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 フッ素樹脂製フィルムに高い気密性をもた
せ、過酷な条件下でのシール材として使用できるように
する。 【構成】 ポリテトラフルオロエチレン製フィルム13
に、原子酸素発生装置Iで発生させた高速の原子酸素1
1を照射する。原子酸素11による酸化反応でフィルム
13の小孔を塞ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はフッ素樹脂製フィルムを
過酷な条件下での使用に適したシール材とするためのフ
ッ素樹脂製フィルムの封孔処理方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】フッ素樹脂であるPTFE(ポリテトラ
フルオロエチレン)製のフィルムは、耐薬品性、耐熱性
(連続使用260℃)、撥水性、絶縁性などの優れた性
質を有するため、多方面で多用途に使用されている。一
方、上記PTFEは融点327℃の熱可塑性樹脂である
が、溶融粘度が1011〜1012ポイズと高いため、フィ
ルムとする場合、フィルム製法の常法である溶融押出加
工を行うことができない。そのため、PTFEの微粉末
を一度圧縮し、これを融点以上に加熱してPTFE粒子
を融着させた成形品を作り、それを更に切削加工してフ
ィルムとするような製作方法が採用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記製作方
法によって製作されたPTFE製フィルムの場合、上述
した優れた特性から、過酷な条件下でのシール材として
用いることができれば極めて有利であるが、PTFE
微粒子間の凝集強さが弱いこと、微粒子間の空隙のた
めに、フィルム加工したときに、5000倍の倍率で撮
影した図4の写真に示す如き小孔(ボイド)が生じるこ
と、等の問題があり、特に、上記項による小孔のた
め、ガス透過膜として利用することはできるものの、反
面、気密性が悪いので、シール材としての使用には適さ
ないものであった。
【0004】そこで、本発明は、上記PTFE製フィル
ムの気密性を高め、過酷な条件下での使用に適したシー
ル材とすることができるようなフッ素樹脂製フィルムの
封孔処理方法を提供しようとするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、ポリテトラフルオロエチレン製フィルム
に、10Km/sec 以下の流速で原子酸素を照射し、上記
フィルムに有する小孔を原子酸素による酸化反応により
封孔させることを特徴とするフッ素樹脂製フィルムの封
孔処理方法とする。
【0006】
【作用】ポリテトラフルオロエチレン製のフィルムに、
原子酸素を10Km/sec 以下の流速で照射すると、原子
酸素による酸化反応によって上記フィルムの小孔が塞が
れる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
【0008】図1は本発明のフッ素樹脂製フィルムの封
孔処理方法の実施に用いる原子酸素発生装置Iの一例を
示すもので、油回転ポンプやメカニカルブースタポンプ
等からなる排気装置1によって真空引きされるようにし
た真空チャンバー2に、直流定電流電源3によって駆動
されるようにしたアークジェット4を設置し、該アーク
ジェット4に、ガス制御器5と開閉弁6を介してアルゴ
ンガスボンベ7を接続すると共にガス制御器8と開閉弁
9を介して酸素ボンベ10を接続し、上記アルゴンガス
ボンベ7からのアルゴンガスをキャリアガスとして直流
定電流電源3によって直流のアークを放電させ、該直流
アークの放電により生成されたアルゴンプラズマ中に、
酸素ボンベ10からの酸素を、上記キャリアガスの流量
に対し約3〜5%の流量で添加することにより、酸素を
解離させてクリーンな状態の原子酸素11をアークジェ
ット4から発生させられるようにし、且つ該原子酸素1
1を、上記真空チャンバー2内の試料ホルダ12にセッ
トされたPTFE製フィルム13に向けて照射させられ
るようにしてある。図1において、14は排ガスを冷却
するためのヒートシンク、15は真空計を示す。
【0009】上記原子酸素発生装置Iを用いてフッ素樹
脂製フィルムにシール材としての機能をもたせるように
改質処理する場合、PTFE製フィルム13を真空チャ
ンバー2内の試料ホルダ12に保持させ、且つ上記真空
チャンバー2内を排気装置1により排気しながら、アー
クジェット4から発生させた原子酸素11のビームを上
記PTFE製フィルム13の表面に10Km/sec 以下の
流速で所要時間照射し、このとき、必要に応じてPTF
E製フィルム13の裏面を冷却させるようにして、PT
FE製フィルム13の小孔を封孔処理する。
【0010】一例として、アルゴンガス流量を2l/mi
n 、酸素流量を62cc/min 、アークジェット放電電圧
を20V、アークジェット放電電流を45A、雰囲気圧
力(真空度)を0.06Torr 、フィルム冷却水を−2
0℃で0.5l/min とし、このとき、原子酸素11が
PTFE製フィルム13に衝突する速度をアークジェッ
ト4の下流40cmの試料ホルダ12の位置で1Km/sec
の条件で30分間実施したところ、原子酸素11による
酸化反応と、アルゴンプラズマ中のアルゴンイオン及び
電子の衝突との相互作用により、5000倍の倍率で撮
影した図2の写真に示す如く、PTFE製フィルム13
の小孔が封孔された状態となり、又、かかる状態から更
に30分間継続して実施したところ、5000倍の倍率
で撮影した図3の写真に示す如く、上記小孔が完全に消
失した状態となり、PTFE製フィルム13の高気密化
を達成できた。なお、上記において、PTFE製フィル
ム13に対する原子酸素11の照射速度を10Km/sec
以下としたが、これは、アークジェット4から吹き出さ
れた原子酸素11はPTFE製フィルム13の表面に達
するだけの流速があればPTFE製フィルム13の小孔
を酸化反応により封孔できるのであるが、10Km/sec
以上では、小孔が削られることにより逆に拡げられてし
まったり、折角酸化しても酸化したところまで削られて
持って行かれてしまうからである。
【0011】本発明においては、上述した如く、材料の
物性から製造過程で小孔が生じ、ガス透過性を有してい
るため、耐熱性(−268〜260℃)などの優れた性
質を有しているが高気密性がないPTFE製フィルム1
3に、原子酸素11を照射することにより、小孔を封孔
して高い気密性をもたせることができる。かかる封孔処
理が行われたPTFE製フィルム13は耐熱性、耐薬品
性などのPTFEの優れた性質を維持しているため、た
とえば、高圧、高真空、高温雰囲気下等でのシール材と
して、あるいは、ガス透過のない気密性が要求される部
分のシール材として用いることができる。
【0012】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものではなく、原子酸素発生装置Iとしては、図1に
示したものの他、マイクロ波放電方式を利用した装置や
高周波放電(RF)方式を利用した装置等を採用しても
よいこと、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲内にお
いて種々変更を加え得ることは勿論である。
【0013】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明のフッ素樹脂製
フィルムの封孔処理方法によれば、元来、小孔を有する
ポリテトラフルオロエチレン製のフィルムに、原子酸素
を10Km/sec 以下の速度で照射することにより、原子
酸素の酸化反応で上記小孔を封孔処理するようにしたの
で、上記フィルムの物性を維持しつつ気密性を付加する
ことができ、したがって、処理後のフィルムを過酷な条
件下でのシール材として用いることができる、という優
れた効果を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のフッ素樹脂製フィルムの封孔処理方法
の実施に用いる原子酸素発生装置の一例を示す概要図で
ある。
【図2】本発明の封孔処理方法により原子酸素を30分
間照射した後のフィルムの粒子構造を示す写真である。
【図3】本発明の封孔処理方法により原子酸素を60分
間照射した後のフィルムの粒子構造を示す写真である。
【図4】PTFEの繊維組織を示す写真である。
【符号の説明】
I 原子酸素発生装置 2 真空チャンバー 4 アークジェット 10 酸素ボンベ 11 原子酸素 13 PTFE製フィルム

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 【請求項1】 ポリテトラフルオロエチレン製フィルム
    に、10Km/sec 以下の流速で原子酸素を照射し、上記
    フィルムに有する小孔を原子酸素による酸化反応により
    封孔させることを特徴とするフッ素樹脂製フィルムの封
    孔処理方法。
JP18952191A 1991-07-04 1991-07-04 フツ素樹脂製フイルムの封孔処理方法 Pending JPH059313A (ja)

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JP18952191A JPH059313A (ja) 1991-07-04 1991-07-04 フツ素樹脂製フイルムの封孔処理方法

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JPH059313A true JPH059313A (ja) 1993-01-19

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