JPH0593616A - 真直度測定方法および測定装置 - Google Patents
真直度測定方法および測定装置Info
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- JPH0593616A JPH0593616A JP25397491A JP25397491A JPH0593616A JP H0593616 A JPH0593616 A JP H0593616A JP 25397491 A JP25397491 A JP 25397491A JP 25397491 A JP25397491 A JP 25397491A JP H0593616 A JPH0593616 A JP H0593616A
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- laser
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定物の真直度をレーザビームを使用して
空気中で測定する際に、空気のゆらぎによる測定誤差を
無くすようにした真直度測定方法を提供することを目的
とする。 【構成】 波長の異なる２本のレーザビームを被測定物
を案内する移動体に設けた受光部２に照射し、この２本
のレーザビームの中心位置をそれぞれ四分割フォトダイ
オード24,25 にて検出し、これら各フォトダイオードか
らの出力およびあらかじめ求められた各波長に応じた空
気ゆらぎに対する出力感度を使用して、空気ゆらぎによ
るレーザビームのふらつきを除去することにより、受光
部の機械的変位を求めて被測定物の真直度を測定する方
法である。
空気中で測定する際に、空気のゆらぎによる測定誤差を
無くすようにした真直度測定方法を提供することを目的
とする。 【構成】 波長の異なる２本のレーザビームを被測定物
を案内する移動体に設けた受光部２に照射し、この２本
のレーザビームの中心位置をそれぞれ四分割フォトダイ
オード24,25 にて検出し、これら各フォトダイオードか
らの出力およびあらかじめ求められた各波長に応じた空
気ゆらぎに対する出力感度を使用して、空気ゆらぎによ
るレーザビームのふらつきを除去することにより、受光
部の機械的変位を求めて被測定物の真直度を測定する方
法である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械の案内用移送
軸などの真直度を、レーザビームを使用して測定する真
直度測定方法および測定装置に関する。
軸などの真直度を、レーザビームを使用して測定する真
直度測定方法および測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザビームを使用して真直度を
測定する方法としては、オートコリメーション法、干渉
法、２重像法、モアレ縞法、および２次元変位測定方法
などがある。
測定する方法としては、オートコリメーション法、干渉
法、２重像法、モアレ縞法、および２次元変位測定方法
などがある。
【０００３】例えば、２次元変位測定方法としては、特
開平１−１８９５０４号公報に開示されたものがあり、
この方法は、被測定面に装着された四分割フォトダイオ
ードにレーザビームを照射して、四分割フォトダイオー
ドの中心からのずれを検出して、測定面の変位を測定す
る方法である。
開平１−１８９５０４号公報に開示されたものがあり、
この方法は、被測定面に装着された四分割フォトダイオ
ードにレーザビームを照射して、四分割フォトダイオー
ドの中心からのずれを検出して、測定面の変位を測定す
る方法である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の各
測定方法においては、光を使用しており、したがって測
定を空気中で行う場合には、空気のゆらぎ（屈折率ゆら
ぎ）による測定誤差を伴うという問題があった。
測定方法においては、光を使用しており、したがって測
定を空気中で行う場合には、空気のゆらぎ（屈折率ゆら
ぎ）による測定誤差を伴うという問題があった。
【０００５】そこで、本発明は上記問題を解消し得る真
直度測定方法および測定装置を提供することを目的とす
る。
直度測定方法および測定装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の第１の手段は、波長の異なる２本のレーザ
ビームを混合器で１本のレーザビームとなし、このレー
ザビームを、被測定物を案内する移動体に取り付けられ
た受光部の分光器で２本のレーザビームに分割し、この
２本のレーザビームを、それぞれフィルターを通過させ
て元の波長成分のレーザビームを取り出し、これら取り
出された２本のレーザビームの中心位置をそれぞれ受光
素子にて検出し、これら各受光素子からの出力およびあ
らかじめ求められた各波長に応じた空気ゆらぎに対する
出力感度を使用して、空気ゆらぎによるレーザビームの
ふらつきを除去することにより、受光部の機械的変位を
求めて被測定物の真直度を測定する真直度測定方法であ
る。
め、本発明の第１の手段は、波長の異なる２本のレーザ
ビームを混合器で１本のレーザビームとなし、このレー
ザビームを、被測定物を案内する移動体に取り付けられ
た受光部の分光器で２本のレーザビームに分割し、この
２本のレーザビームを、それぞれフィルターを通過させ
て元の波長成分のレーザビームを取り出し、これら取り
出された２本のレーザビームの中心位置をそれぞれ受光
素子にて検出し、これら各受光素子からの出力およびあ
らかじめ求められた各波長に応じた空気ゆらぎに対する
出力感度を使用して、空気ゆらぎによるレーザビームの
ふらつきを除去することにより、受光部の機械的変位を
求めて被測定物の真直度を測定する真直度測定方法であ
る。
【０００７】また、上記課題を解決するため、本発明の
第２の手段は、波長の異なるレーザビームをそれぞれ発
射する２個のレーザ発振器と、これら各レーザ発振器か
ら発射されたレーザビームを混合する混合器とを有する
発光部、および上記混合器により混合されたレーザビー
ムを２つに分割する分光器と、この分割された各レーザ
ビームからそれぞれ元の波長成分を取り出す２個のフィ
ルターと、これら各フィルターを通過したレーザビーム
の中心位置をそれぞれ検出する２個の受光素子とを有す
る受光部、並びに上記両受光素子から得られた出力とあ
らかじめ求められた各波長に応じた空気ゆらぎに対する
出力感度とを使用することにより、空気ゆらぎを除去し
て受光部の機械的変位を演算する演算部とを具備した真
直度測定装置である。
第２の手段は、波長の異なるレーザビームをそれぞれ発
射する２個のレーザ発振器と、これら各レーザ発振器か
ら発射されたレーザビームを混合する混合器とを有する
発光部、および上記混合器により混合されたレーザビー
ムを２つに分割する分光器と、この分割された各レーザ
ビームからそれぞれ元の波長成分を取り出す２個のフィ
ルターと、これら各フィルターを通過したレーザビーム
の中心位置をそれぞれ検出する２個の受光素子とを有す
る受光部、並びに上記両受光素子から得られた出力とあ
らかじめ求められた各波長に応じた空気ゆらぎに対する
出力感度とを使用することにより、空気ゆらぎを除去し
て受光部の機械的変位を演算する演算部とを具備した真
直度測定装置である。
【０００８】
【作用】波長の異なる２本のレーザビームを混合して１
本になし、この１本にされたレーザビームを移動体に取
り付けられた受光部に照射し、そして受光部で元の波長
成分の２本のレーザビームに分割し、この分割された各
レーザビームの中心位置を受光素子により検出するとと
もに、これら両レーザビームの検出された出力に、あら
かじめ求められている各波長成分に応じた空気ゆらぎに
対する出力感度を考慮した演算を施すことにより、空気
ゆらぎによる影響を除去した受光部の機械的変位、すな
わち受光部を取り付けた移動体を案内する被測定物の真
直度を正確に求める方法である。
本になし、この１本にされたレーザビームを移動体に取
り付けられた受光部に照射し、そして受光部で元の波長
成分の２本のレーザビームに分割し、この分割された各
レーザビームの中心位置を受光素子により検出するとと
もに、これら両レーザビームの検出された出力に、あら
かじめ求められている各波長成分に応じた空気ゆらぎに
対する出力感度を考慮した演算を施すことにより、空気
ゆらぎによる影響を除去した受光部の機械的変位、すな
わち受光部を取り付けた移動体を案内する被測定物の真
直度を正確に求める方法である。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１および図２に
基づき説明する。本実施例に係る真直度測定装置は、図
１に示すように、波長の異なるレーザビームＡ，Ｂをそ
れぞれ発射する第１レーザ発振器（例えば、Ｈｅ−Ｃｄ
レーザ発振器、λ1 ＝0.44μm）１１および第２レーザ
発振器（例えば、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器、λ2 ＝0.63
μm）１２と、これら各レーザ発振器１１，１２から発
射された両レーザビームを混合する第１ビームスプリッ
タ（混合器の一例で、通常のビームスプリッタを逆に使
用したものである）１３と、第２レーザ発振器１２から
のレーザビームを第１ビームスプリッタ１３に導く反射
鏡１４とを有する発光部１、および上記第１ビームスプ
リッタ１３により混合されたレーザビームを２つのレー
ザビームに分割する第２ビームスプリッタ（分光器）２
１と、この第２ビームスプリッタ２１により分割された
各レーザビームをそれぞれ所定の波長成分、すなわち元
の波長成分だけを取り出す第１および第２干渉フィルタ
ー２２，２３と、これら各干渉フィルター２２，２３を
通過したレーザビームの中心位置を検出する第１および
第２四分割フォトダイオード（受光素子）２４，２５と
を有する受光部２、並びに上記各四分割フォトダイオー
ド２４，２５から得られた各波長成分の出力に基づき、
空気ゆらぎを除去した受光部２の機械的変位を求める演
算部（図示せず）を具備している。
基づき説明する。本実施例に係る真直度測定装置は、図
１に示すように、波長の異なるレーザビームＡ，Ｂをそ
れぞれ発射する第１レーザ発振器（例えば、Ｈｅ−Ｃｄ
レーザ発振器、λ1 ＝0.44μm）１１および第２レーザ
発振器（例えば、Ｈｅ−Ｎｅレーザ発振器、λ2 ＝0.63
μm）１２と、これら各レーザ発振器１１，１２から発
射された両レーザビームを混合する第１ビームスプリッ
タ（混合器の一例で、通常のビームスプリッタを逆に使
用したものである）１３と、第２レーザ発振器１２から
のレーザビームを第１ビームスプリッタ１３に導く反射
鏡１４とを有する発光部１、および上記第１ビームスプ
リッタ１３により混合されたレーザビームを２つのレー
ザビームに分割する第２ビームスプリッタ（分光器）２
１と、この第２ビームスプリッタ２１により分割された
各レーザビームをそれぞれ所定の波長成分、すなわち元
の波長成分だけを取り出す第１および第２干渉フィルタ
ー２２，２３と、これら各干渉フィルター２２，２３を
通過したレーザビームの中心位置を検出する第１および
第２四分割フォトダイオード（受光素子）２４，２５と
を有する受光部２、並びに上記各四分割フォトダイオー
ド２４，２５から得られた各波長成分の出力に基づき、
空気ゆらぎを除去した受光部２の機械的変位を求める演
算部（図示せず）を具備している。
【００１０】上記発光部１は被測定物例えば案内用移送
軸に沿った位置に固定されるとともに、受光部２全体は
移送軸に案内される直進移動体（図示せず）に取り付け
られており、移送軸の真直度が測定される。
軸に沿った位置に固定されるとともに、受光部２全体は
移送軸に案内される直進移動体（図示せず）に取り付け
られており、移送軸の真直度が測定される。
【００１１】以下、真直度の測定方法を具体的に説明す
る。各レーザ発振器１，２からそれぞれ波長がλ1 およ
びλ2 の２本のレーザビームＡ，Ｂを発射して、通常の
ビームスプリッタを逆に配置してなる第１ビームスプリ
ッタ１１により１本の２重波長レーザビームＣとなし、
このレーザビームＣを、直進移動体に取り付けられた受
光部２に照射する。
る。各レーザ発振器１，２からそれぞれ波長がλ1 およ
びλ2 の２本のレーザビームＡ，Ｂを発射して、通常の
ビームスプリッタを逆に配置してなる第１ビームスプリ
ッタ１１により１本の２重波長レーザビームＣとなし、
このレーザビームＣを、直進移動体に取り付けられた受
光部２に照射する。
【００１２】受光部２では、この２重波長レーザビーム
Ｃを第２ビームスプリッタ２１で２本に分割し、そして
この分割された各レーザビームをそれぞれ干渉フィルタ
ー２２，２３で元の単波長成分のレーザビームＤ，Ｅに
戻す。例えば、第１干渉フィルター２２を通過したレー
ザビームＤはλ1 の波長成分だけのものとなり、また第
２干渉フィルター２３を通過したレーザビームＥはλ2
の波長成分だけのものとなる。
Ｃを第２ビームスプリッタ２１で２本に分割し、そして
この分割された各レーザビームをそれぞれ干渉フィルタ
ー２２，２３で元の単波長成分のレーザビームＤ，Ｅに
戻す。例えば、第１干渉フィルター２２を通過したレー
ザビームＤはλ1 の波長成分だけのものとなり、また第
２干渉フィルター２３を通過したレーザビームＥはλ2
の波長成分だけのものとなる。
【００１３】そして、この２つの単波長レーザビーム
Ｄ，Ｅをそれぞれ四分割フォトダイオード２４，２５で
受光し、各レーザビームＤ，Ｅの中心位置を検出する。
受光部２全体は、直進移動体の上に載置されており、図
１の矢印ａにて示すように、２重波長レーザビームＣの
光軸に沿って移動させられる。
Ｄ，Ｅをそれぞれ四分割フォトダイオード２４，２５で
受光し、各レーザビームＤ，Ｅの中心位置を検出する。
受光部２全体は、直進移動体の上に載置されており、図
１の矢印ａにて示すように、２重波長レーザビームＣの
光軸に沿って移動させられる。
【００１４】この時、２つの四分割フォトダイオード２
４，２５により受光された出力に、演算部で所定の演算
を施すと、直進移動体を案内する移送軸の真直度が、測
定室内の空気のゆらぎによる誤差を除去した形で得られ
る。
４，２５により受光された出力に、演算部で所定の演算
を施すと、直進移動体を案内する移送軸の真直度が、測
定室内の空気のゆらぎによる誤差を除去した形で得られ
る。
【００１５】ここで、空気のゆらぎによる誤差を除去す
る演算方法について説明する。先に、実験室内で起こる
大気の状態を想定して、２つの異なる波長のレーザビー
ムによる光路差を求め、その光路差と検出しようとする
機械的変位（本実施例においては１μm 以下のオーダ
ー）とのオーダーが同じであるかどうかを調べてみる。
る演算方法について説明する。先に、実験室内で起こる
大気の状態を想定して、２つの異なる波長のレーザビー
ムによる光路差を求め、その光路差と検出しようとする
機械的変位（本実施例においては１μm 以下のオーダ
ー）とのオーダーが同じであるかどうかを調べてみる。
【００１６】すなわち、乾燥空気の屈折率ｎは、波長が
0.2 〜２μmの範囲内において、下記の実験式(1) によ
り表される。 （ｎ−１）×108 ＝8342.13 ＋2406030 ／（130 −σ
2 ）＋15997 ／（38.9−σ2 ） ・・・・(1) (1) 式中、σは波長の逆数（μm-1 ）である。
0.2 〜２μmの範囲内において、下記の実験式(1) によ
り表される。 （ｎ−１）×108 ＝8342.13 ＋2406030 ／（130 −σ
2 ）＋15997 ／（38.9−σ2 ） ・・・・(1) (1) 式中、σは波長の逆数（μm-1 ）である。
【００１７】一方、乾燥空気の屈折率ｎは、気圧と温度
の関数であり、下記(2) 式により表される。 ｎ＝１＋10-6（ｋ・Ｐ／Ｔ） ・・・・(2) (2) 式中、Ｐ（mbar）は気圧、Ｔ（Ｋ）は温度、ｋは定
数である。
の関数であり、下記(2) 式により表される。 ｎ＝１＋10-6（ｋ・Ｐ／Ｔ） ・・・・(2) (2) 式中、Ｐ（mbar）は気圧、Ｔ（Ｋ）は温度、ｋは定
数である。
【００１８】上記(1) 式および(2) 式により、各波長
（λ1 ，λ2 ）に対する屈折率（ｎ1，ｎ2 ）を求める
と、下記(3) 式および(4) 式のようになる。 ｎ1 ＝１＋10-6(79.89Ｐ／Ｔ) ( λ1 ＝0.44μm) ・・・・(3) ｎ2 ＝１＋10-6(78.80Ｐ／Ｔ) ( λ2 ＝0.63μm) ・・・・(4) (3) 式および(4) 式をテーラー級数展開して、温度ゆら
ぎ (Ｔ′) と屈折率ゆらぎ（ｎ1′) ，（ｎ2′) との
関係を求めると、下記(5) 式および(6) 式のようにな
る。
（λ1 ，λ2 ）に対する屈折率（ｎ1，ｎ2 ）を求める
と、下記(3) 式および(4) 式のようになる。 ｎ1 ＝１＋10-6(79.89Ｐ／Ｔ) ( λ1 ＝0.44μm) ・・・・(3) ｎ2 ＝１＋10-6(78.80Ｐ／Ｔ) ( λ2 ＝0.63μm) ・・・・(4) (3) 式および(4) 式をテーラー級数展開して、温度ゆら
ぎ (Ｔ′) と屈折率ゆらぎ（ｎ1′) ，（ｎ2′) との
関係を求めると、下記(5) 式および(6) 式のようにな
る。
【００１９】
【数１】
【００２０】上記(5) 式および(6) 式中、バーＰおよび
バーＴは、それぞれの平均値を示す。
バーＴは、それぞれの平均値を示す。
【００２１】この時、実験室中の空気を局所等方的乱流
と仮定すると、その内部尺度ηは、下記(7) 式のように
近似される。なお、内部尺度ηを概略的に説明すると、
最も小さな気体の乱れの尺度のことで、大気中の圧力ゆ
らぎおよび温度ゆらぎの空間分布がどうのような空間周
波数で広がっているかを測るための尺度であると考えら
れ、もう少し具体的に言うと、今、状態量（Ｐ，Ｔ）の
空気塊が空間に多数散らばってある分布を作っているも
のとすると、この時の空気塊の代表寸法が内部尺度のオ
ーダーに等しいと考えられる。
と仮定すると、その内部尺度ηは、下記(7) 式のように
近似される。なお、内部尺度ηを概略的に説明すると、
最も小さな気体の乱れの尺度のことで、大気中の圧力ゆ
らぎおよび温度ゆらぎの空間分布がどうのような空間周
波数で広がっているかを測るための尺度であると考えら
れ、もう少し具体的に言うと、今、状態量（Ｐ，Ｔ）の
空気塊が空間に多数散らばってある分布を作っているも
のとすると、この時の空気塊の代表寸法が内部尺度のオ
ーダーに等しいと考えられる。
【００２２】η≒ｌ・Ｒe -3/4 ・・・・(7) (7) 式中、ｌおよびＲe は、それぞれ考えている系の代
表長さおよびレイノルズ数を表す。
表長さおよびレイノルズ数を表す。
【００２３】例えば、ｌ＝１ｍ，Ｒe ＝105 とすると、
ηは約0.18となる。ところで、波長の違いによるレーザ
ビームの光路差である偏差の最大値ρmaxは、下記(8)
式により近似される。
ηは約0.18となる。ところで、波長の違いによるレーザ
ビームの光路差である偏差の最大値ρmaxは、下記(8)
式により近似される。
【００２４】 ρmax ＝Ｌ2 （ｄｎ1 ／ｄｚ−ｄｎ2 ／ｄｚ）／８ ・・・・(8) (8) 式中、Ｌは光路長を表す。上記(8) 式において、
（ｄｎ1 ／ｄｚ）が（ｎ1′／η）に、また（ｄｎ2 ／
ｄｚ）が（ｎ2′／η）にそれぞれ近似的に等しいこと
を利用すると、ρmax が求められる。
（ｄｎ1 ／ｄｚ）が（ｎ1′／η）に、また（ｄｎ2 ／
ｄｚ）が（ｎ2′／η）にそれぞれ近似的に等しいこと
を利用すると、ρmax が求められる。
【００２５】例えば、温度ゆらぎＴ′＝０．１とすると
（Ｌ＝１ｍに対して）、ρmax は約１μm となる。した
がって、レーザビームの偏差の最大値のオーダーと、測
定しようとする機械的変位のオーダーとが等しく、測定
精度を確保することができることが分かる。もし、偏差
が小さすぎれば、後述する(11)式の右辺の分母が小さく
なり、測定誤差の原因となり、逆に大きすぎると、機械
的変位の信号（Ｍ：後述する）が空気ゆらぎの信号（Ａ
・ε：後述する）に埋もれて、やはり測定誤差の原因と
なる。
（Ｌ＝１ｍに対して）、ρmax は約１μm となる。した
がって、レーザビームの偏差の最大値のオーダーと、測
定しようとする機械的変位のオーダーとが等しく、測定
精度を確保することができることが分かる。もし、偏差
が小さすぎれば、後述する(11)式の右辺の分母が小さく
なり、測定誤差の原因となり、逆に大きすぎると、機械
的変位の信号（Ｍ：後述する）が空気ゆらぎの信号（Ａ
・ε：後述する）に埋もれて、やはり測定誤差の原因と
なる。
【００２６】次に、空気のゆらぎを除去し得る演算方法
について説明する。すなわち、機械的変位に対する第１
四分割フォトダイオード２４と第２四分割フォトダイオ
ード２５との出力が同じになるように調節した後、空気
ゆらぎに対する各四分割フォトダイオード２４，２５の
出力感度（Ａ1 ，Ａ2 ）をあらかじめ測定しておく。
について説明する。すなわち、機械的変位に対する第１
四分割フォトダイオード２４と第２四分割フォトダイオ
ード２５との出力が同じになるように調節した後、空気
ゆらぎに対する各四分割フォトダイオード２４，２５の
出力感度（Ａ1 ，Ａ2 ）をあらかじめ測定しておく。
【００２７】そして、機械的変位による出力をＭ、各波
長に応じた空気ゆらぎに対する出力をＡ1・ε，Ａ1・εと
すると、各四分割フォトダイオード２４，２５の出力Ｓ
1 ，Ｓ2 は、下記(9) 式および(10)式で表される。
長に応じた空気ゆらぎに対する出力をＡ1・ε，Ａ1・εと
すると、各四分割フォトダイオード２４，２５の出力Ｓ
1 ，Ｓ2 は、下記(9) 式および(10)式で表される。
【００２８】Ｓ1 ＝Ｍ＋Ａ1・ε ・・・・(9) Ｓ2 ＝Ｍ＋Ａ2・ε ・・・・(10) 上記(9) 式および(10)式中、εは空気ゆらぎによるレー
ザビームのふらつきを表す。
ザビームのふらつきを表す。
【００２９】したがって、(9) 式および(10)式により、
機械的変位Ｍを求めると、下記(11)式のように表され、
εをキャンセルすることができる。 Ｍ＝（Ａ1・Ｓ1 −Ａ2・Ｓ2 ）／（Ａ1 −Ａ2 ） ・・・・(11) このように、空気ゆらぎに影響されることなく、直進移
動体の正確な機械的変位、すなわち移送軸の真直度を測
定することができる。
機械的変位Ｍを求めると、下記(11)式のように表され、
εをキャンセルすることができる。 Ｍ＝（Ａ1・Ｓ1 −Ａ2・Ｓ2 ）／（Ａ1 −Ａ2 ） ・・・・(11) このように、空気ゆらぎに影響されることなく、直進移
動体の正確な機械的変位、すなわち移送軸の真直度を測
定することができる。
【００３０】
【発明の効果】以上のように本発明の構成によると、波
長の異なる２本のレーザビームを使用して、それぞれの
レーザビームの位置を受光素子により検出するととも
に、これら両レーザビームの検出された出力に、あらか
じめ求められている各波長に応じた空気ゆらぎに対する
出力感度を考慮した演算を施すことにより、空気ゆらぎ
による影響を除去した受光部の機械的変位を求めること
ができ、したがってレーザビームを使用して、受光部を
取り付けた移動体を案内する被測定物の真直度の測定を
行う場合、通常の室内すなわち空気中においても正確な
測定を行うことができる。
長の異なる２本のレーザビームを使用して、それぞれの
レーザビームの位置を受光素子により検出するととも
に、これら両レーザビームの検出された出力に、あらか
じめ求められている各波長に応じた空気ゆらぎに対する
出力感度を考慮した演算を施すことにより、空気ゆらぎ
による影響を除去した受光部の機械的変位を求めること
ができ、したがってレーザビームを使用して、受光部を
取り付けた移動体を案内する被測定物の真直度の測定を
行う場合、通常の室内すなわち空気中においても正確な
測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例における真直度測定装置の概
略構成を示すブロック図である。
略構成を示すブロック図である。
【図２】同実施例における真直度測定装置の受光部の具
体的構成を示す斜視図である。
体的構成を示す斜視図である。
１ 発光部 ２ 受光部 ３ 演算部 １１ 第１レーザ発振器 １２ 第２レーザ発振器 １３ 第１ビームスプリッタ ２１ 第２ビームスプリッタ ２２ 干渉フィルター ２３ 干渉フィルター ２４ 第１四分割フィルター ２５ 第２四分割フィルター
Claims (2)
- 【請求項１】波長の異なる２本のレーザビームを混合器
で１本のレーザビームとなし、このレーザビームを、被
測定物を案内する移動体に取り付けられた受光部の分光
器で２本のレーザビームに分割し、この２本のレーザビ
ームを、それぞれフィルターを通過させて元の波長成分
のレーザビームを取り出し、これら取り出された２本の
レーザビームの中心位置をそれぞれ受光素子にて検出
し、これら各受光素子からの出力およびあらかじめ求め
られた各波長に応じた空気ゆらぎに対する出力感度を使
用して、空気ゆらぎによるレーザビームのふらつきを除
去することにより、受光部の機械的変位を求めて被測定
物の真直度を測定することを特徴とする真直度測定方
法。 - 【請求項２】波長の異なるレーザビームをそれぞれ発射
する２個のレーザ発振器と、これら各レーザ発振器から
発射されたレーザビームを混合する混合器とを有する発
光部、および上記混合器により混合されたレーザビーム
を２つに分割する分光器と、この分割された各レーザビ
ームからそれぞれ元の波長成分を取り出す２個のフィル
ターと、これら各フィルターを通過したレーザビームの
中心位置をそれぞれ検出する２個の受光素子とを有する
受光部、並びに上記両受光素子から得られた出力とあら
かじめ求められた各波長に応じた空気ゆらぎに対する出
力感度とを使用することにより、空気ゆらぎを除去して
受光部の機械的変位を演算する演算部とを具備したこと
を特徴とする真直度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25397491A JPH0593616A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 真直度測定方法および測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25397491A JPH0593616A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 真直度測定方法および測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0593616A true JPH0593616A (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=17258519
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25397491A Pending JPH0593616A (ja) | 1991-10-02 | 1991-10-02 | 真直度測定方法および測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0593616A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111193495A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-05-22 | 浙江工业大学 | 一种工件校直数据的滤波处理方法 |
| KR20210112298A (ko) * | 2018-10-12 | 2021-09-14 | 일렉트릭 파워 리서치 인스티튜트, 인크. | 광학적으로 왜곡하는 매체들에서의 표면 특성들을 측정하기 위한 방법 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04326005A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Res Dev Corp Of Japan | 真直度測定装置 |
-
1991
- 1991-10-02 JP JP25397491A patent/JPH0593616A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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