JPH0595083A

JPH0595083A - 集積回路内の比例したキヤパシタンス

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Publication number: JPH0595083A
Application number: JP3174753A
Authority: JP
Inventors: Kenneth W Moulding; ウイリアムモールデイングケニス
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1990-06-20
Filing date: 1991-06-20
Publication date: 1993-04-16
Anticipated expiration: 2010-04-10
Also published as: DE69121795T2; DE69121795D1; EP0462653B1; GB2245419A; JPH0732234B2; GB9013741D0; EP0462653A3; US5204546A; EP0462653A2

Abstract

(57)【要約】【目的】集積回路内のコンデンサのキャパシタンスの
比率を正確に得る。【構成】ｋの比率となるように、二つのコンデンサの
相当する極板の面積を選択することにより、コンデンサ
の対のキャパシタンスが比率ｋになるように配設され、
且つこの板が板の境界線の全長が、製造公差に対するｋ
の感受性を低減するように、この比率内にあるように形
成され、この感受性がそれぞれの板により具現される90
°隅の数と、それぞれの板により具現される 270°隅の
数との間の比率が実質的にｋに等しい。この可能性を作
り出すために窓が各板内に存在するように配設されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、二つのコンデンサに対
して同じ性質と厚さとを有する誘電体材料の層により隔
てられている連続した極板の対を各々具えた第１及び第
２コンデンサを含んでいる集積回路であって、第１コン
デンサの第１極板の面積は第２コンデンサの相当する極
板の面積のｋ倍に等しく、それにより第２コンデンサの
キャパシタンスの実質的にｋ倍となるべき第１コンデン
サのキャパシタンスを決定し、ここでｋは１より大き
く、前記第１極板の境界線の全長は前記相当する極板の
境界線の全長のｋ倍である集積回路に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】そのような集積回路は米国特許第421095
0 号から既知である。そのような回路の製造は種々のエ
ッチング、又は同様の工程を含む処理過程を典型的に伴
う。第１コンデンサの第１極板の境界線の長さは、回路
の到るところでコンデンサ製造過程内に必然的に生じる
変動に対する、キャパシタンス間の比率の感受性を低減
するために、第２コンデンサの相当する極板の境界線の
全長のｋ倍になるように配設される。既知の回路におい
ては、第２コンデンサの前記相当する極板は、実質的に
Ｈ形であり、第１コンデンサの前記第１極板の形状は効
果的に衝合されたそれらの長辺を有する複数のＨ形であ
る。従って、各々の周辺は90°隅と 270°隅との系列を
含み、理想的には、相当する極板内の90°隅の数に対す
る第１極板内の90°隅の数の比率と、相当する極板内の
270°隅の数に対する第１極板内の270°隅の数の比率
との両方が、ｋと（実際には既知の回路ではｋの整数部
分、ただしｋは整数部分と小さい少数との和である）等
しくなくてはならないことが米国特許第4210950 号公報
内に指摘されている。これは境界線の全長が比率ｋにな
るように選択され、90°隅と 270°隅との場合に一般に
異なる隅丸め効果も、コンデンサを製造するために用い
られるエッチング工程内で生じると言う同じ意味のため
である。しかしながらこれらの比率は、Ｈ形極板は異な
る数の90°隅と270°隅とを（それぞれ８個と４個）含
んでいるのに、隣接するＨ形は等しい数（４個）の90°
隅と 270°隅とを加えるから、純粋にＨ形の相当する極
板と、既知の回路の隣接するＨ形として純粋に形成され
た第１極板とについて同時に達成することは本質的に不
可能である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記の問題点を克服す
ることを可能にすることが本発明の目的である。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明によると、冒頭に
定義したような集積回路において、前記第１極板と前記
相当する極板との両方に対して、極板の境界線の窪んだ
部分により外側へ向かう全角度が極板の境界線の突出し
た部分により内側へ向かう全角度に等しくなるように、
窓が前記第１極板と前記相当する極板との両方に存在
し、且つ前記境界線の形態は前記第１極板に対する前記
全角度が各々前記相当する極板に対する相当する前記全
角度の実質的にｋ倍となるようであることを特徴とす
る。

【０００５】既知回路のＨ形極板における90°隅の数と
270°隅の数との間の上述の差は、いかなる形でも極板
の外側即ち周辺境界線のもっと一般的な特性の特殊の例
であり、それはこの外側境界線が全体的に凸形である場
合には内側に向く全体角が正確に 360°であるのに対し
て、外側境界線が部分的に凸形と部分的に凹形とである
場合にはその凸形部分は 360°以上の全体角に内側に対
向し、その凹形部分は凸形部分により内側に対向する全
体角が 360°を超える量に正確に等しい全体角に外側に
対向することが今や認識された。かくして、例えば、既
知のＨ形極板の８個の90°（即ち凸形）隅は８×90°＝
360°＋ 360°の全体角に内側に対向するのに対して、
そのＨ形極板の４個の 270°（即ち凹形）隅は４×90°
＝ 360°の全体角に外側に対向する。この極板内に窓が
存在する場合には、極板境界線が今や部分的に外向きで
あり且つ部分的に内向きであるので、この境界線の内側
部分のそれぞれ凹形部分と、なんらかの凸形部分により
外側に向かう全体角と内側に向かう全体角とに関する状
態は、境界線の外側部分に関して構成されることと正確
に逆であり、その結果完全な境界線の凹形部分により外
側に対向する全体角は、完全な境界線の凸形部分により
内側に対向する全体角と等しくなる。今度はこれが前記
第１極板に対する前記全体角が、必要ならば、前記相当
する極板の相当する前記全体角の各々実質的にｋ倍とす
ることを許容する。例えば、矩形窓が米国特許第421095
0 号のＨ形の相当する極板内と、衝合したＨ形として純
粋に形成された第１極板内とに設けられた場合には、各
窓は関連する板に４個の 270°隅を加えるので、前記相
当する板は今や８個の90°隅と８個の90°隅とを含み、
ここで前記第１極板は（８＋４ｘ）個の90°隅と（８＋
４ｘ）個の 270°隅とを含み、ここでｘ＋１が衝合して
いるＨ形の数である。前記全体角はそれ故に各々比率
（２＋ｘ）：２となる。

【０００６】勿論、窓は矩形である必要はない。例え
ば、窓がＬ形をしている場合には、その窓は５個の 270
°隅と１個の90°隅とを加えるのに対して、窓が直線の
側辺と底辺とを有するＵ形である場合には、その窓は６
個の 270°隅と２個の90°隅とを加え、以下同様とな
る。窓は窓の境界線（相当する極板の境界線の内側部
分）が各々直角で相互に遭遇する直線部分の連続から成
るように好適に形成されるとは言え、これは相当する極
板の境界線の外側部分に対する場合もあり、これは必ず
しも問題ではない。例えば、円形の窓は内側境界線に全
体的に窪んでおり、且つ全体角 360°に内側に対向して
いる相当する極板の内側境界線部分を生じ、そのような
窓は少なくとも第１近似として、正方形又は矩形と同様
に相当する極板に４個の 270°隅を加える。

【０００７】この窓を設けることは明らかに、関連する
極板の面積からの減算に加えて、完全な境界線の内側部
分を創造することによりその極板の境界線の全長を増加
し、且つ極板の寸法を計算する場合にはこれが算入され
なくてはならない。

【０００８】前記第１極板と前記相当する極板との境界
線が各々前記各窪んだ部分は 270°隅の形態であり、前
記各凸形部分は90°隅の形態形態であるように、直角で
相互に遭遇する直線部分の連続からなる場合には、前記
全ての直線部分はそれらが他方の直線部分の各々に対し
て平行であるか又は直角であるかのいずれかであるよう
に好適に配向されているので、それらの第１組は互いに
平行な多数の各組により形成され、それらの第２組は多
数の他の組に対して直角な多数の各組により形成されて
いる。これが極板形状に第１組に属する前記第１極板の
それらの境界線部分が第１組に属する前記相当する極板
のそれらの境界線部分の全長のｋ倍である全長を有し、
且つ第２組に属する前記第１極板のそれらの境界線部分
が第２組に属する前記相当する極板の境界線部分の全長
のｋ倍である全長を有するように選択されることを許容
する。そのような形状の適用が、コンデンサ製造過程に
おける変動に対する第１コンデンサのキャパシタンスと
第２コンデンサとのキャパシタンスの間の比率の感受性
をなお更に低減する。

【０００９】

【実施例】以下、添付の図面を参照して、例を用いて本
発明の実施例を説明しよう。図1Aにおいて、集積回路に
含まれる第１コンデンサの第１連続極板１は、それぞれ
辺ａ及びａ＋（ａ＋ｓ）＋ｐ（ａ＋ｓ）の実質的に直角
な外側境界線を有している。辺ｓの正方形窓２が極板１
内に存在し、幅ｓの溝がこの矩形の長辺内に設けられて
おり、これらはこの矩形の長さ方向に隔てられていて、
且つこの矩形の二つの長辺の間で交互に置かれている。
連続内で点線により分離されて示されている極板１の部
分を考えた場合に、その極板の全体面積は、ａ²＋ｓ² ＋ａ（ａ＋ｓ）／２−ｓ（ａ＋ｓ）／２＋ａ（ａ＋ｓ）／２−ｓ（ａ＋ｓ）／２＋ａｐ（ａ＋ｓ）−ｓｐ（ａ＋ｓ）＝（ａ²−ｓ²）＋（ａ²−ｓ²）／２＋（ａ²−ｓ²）／２＋ｐ（ａ²−ｓ²）＝ｋ（ａ²−ｓ²）（ここでｋ＝２＋ｐである）であることが分かる。この
極板１の全面積はそれ故、（図１内で極板１の左側部分
に類似した）中に辺ｓの正方形窓が存在する辺ａの正方
形極板の全面積のｋ倍であることは明らかである。（窓
２を限定している境界線を含んで）この極板１の境界線
の水平部分の組の全長は、２（２＋ｐ）（ａ＋ｓ）、即
ち、中に辺ｓの正方形窓が存在する辺ａの、同様に配向
された正方形極板の境界線の水平部分の組の全長の２＋
ｐ＝ｋ倍であることが分かるであろう。同様に、この極
板１の境界線の垂直部分の組の全長は、２（ａ＋ｓ）
（２＋ｐ）、即ち、（窓の辺が極板の辺と整列されてい
ることを想定して）中に辺ｓの正方形窓が存在する辺ａ
の同様に配向された正方形極板の境界線の垂直部分の組
の全長の再びｋ倍であることが分かるであろう。この極
板１は10個の90°隅及びと10個の 270°隅（窓２を接合
する隅を含み）、即ち中に辺ｓの正方形窓が存在する辺
ａの正方形極板により具現される隅の相当する数の (２
＋0.5 ) 倍を有する。以下の説明から明らかになるよう
に、ｐは0.25と0.75との間にあるので、90°隅と270°
隅との二つの極板内の数の間の比率は実質的にｋと等し
い。

【００１０】点線により分割して示した極板１の二つの
中心部分のいずれかが削除された場合には（且つその時
右側部分が極板１の残りの部分に衝合された場合に
は）、上記で指摘したｋを伴う関連性はなお保たれる
が、今や 1.5＋ｐに等しいｋによることが見出されるで
あろう。90°隅と 270°隅との数の両方が８個に減少す
るので、 270°隅と90°隅との間の前述の比率はなお実
質的にｋと等しくなり得る。同様に、前記の中心部分の
両方共が削除された場合には（今や右側の残りの部分が
左側の残りの部分と衝合する）、再びｋを伴う関連性が
なお維持されるけれども、今や１＋ｐに等しいｋによ
る。90°隅と 270°隅との数は両方とも６個に減少する
ので、 270°隅と90°隅との数の間の前述の比率はなお
実質的にｋと等しくなり得る。一般に（事実は必ずしも
そうはないが、対称のために互いの鏡像として示されて
いる）図示された二つの中心部分のいずれかに同等の極
板１のそれぞれの部分を加えるか又は除去することによ
り、上記で指摘したｋを伴う関連性及び90°隅と 270°
隅との数の間の前述の比率の正当性に影響することな
く、ｋの数は 0.5の単位で増減され得る。かくして、設
けられる極板１の中心部分の数の適当な選択及び0.25と
0.75との間のｐの値の適当な選択により、ｋは（これが
1.25より大きい場合には）必要な如何なる値をも与えら
れ得る。

【００１１】図1Bは図1Aの線1A〜1Aに沿って取った、図
1Aに上極板を示したコンデンサの断面図である。このコ
ンデンサは、残りの部分が図示されておらず、且つ上面
に極板１の全体矩形形状と少なくとも同じ大きさの面積
を有する不純物拡散４を設けられた半導体基板３上に形
成された、モノリシック集積回路内に含まれている。こ
の不純物拡散４は極板１の範囲の全体の下に且つ好適に
は極板１を超えてさえも延在し、且つ従ってこのコンデ
ンサの他方の極板を形成する。このコンデンサ誘電体は
絶縁酸化物層５により構成され、金属板１がこの層５上
に堆積されている。（勿論使用され得るこの (MOS)構造
は一つのみではなく、例えばその他の可能性は絶縁酸化
物層により分離された二つの電極、あるいは多結晶珪素
による少なくとも一つの電極の金属の置換である。）

【００１２】図1Aに類似して、図2Aは図1A及び図1Bのコ
ンデンサと同じ集積回路内に含まれる第２コンデンサの
一方の連続極板６の平面図である。この極板６は辺ａの
正方形の形状であり、辺ｓの正方形窓７がその中に存在
している。従ってこの極板６は図1Aの電極の左側部分に
同等であり、実際にはこの部分と同じ集積回路内での配
向を有している。従って、図1Aの極板１と辺ｓの正方形
窓を設けられた辺ａの正方形極板との間の上述の種々の
比較は、図2Aの極板６に関して適用される。

【００１３】図1Bに類似して、図2Bは図2A内の線2A〜2A
上で取った、図2Aに上極板を示したコンデンサの断面図
である。極板６の全体正方形形状と少なくとも同じ大き
さの面積を有する不純物拡散８が、図1Bの不純物拡散４
と同じ処理工程の間に基板３の上面に設けられる。この
不純物拡散８は極板６の範囲の全体の下に、且つ好適に
はその不純物拡散を超えてさえ延在し、且つ従って第２
コンデンサの他方の極板を形成している。（各コンデン
サの一つの電極が、他方の一つの電極へ接続されること
が必要な場合には、ある種の環境において不純物拡散８
と４とは併合され得る。）図2A及び図2Bのコンデンサの
誘電体は絶縁酸化物層５により構成されて、かくして、
二つのコンデンサ用の誘電体材料は、層５の全体が同じ
工程の間に形成されるので、同じ性質と厚さとを有して
いる。例えば隣接する部分がエッチングし去られている
かいないかに依存して、図2Bに示した層５の部分は図1B
に示した層５の部分と接触してもよいし、接触しなくて
もよい。図1Bの極板１が堆積される処理工程と同じ処理
工程の間に、金属極板６が層５上に堆積される。一般に
両コンデンサ用に使用される構造は互いに類似していな
くてはならないけれども、図2Aと2Bとのコンデンサ用の
MOS 構造に対する可能な代替品に関連する上述の論評
は、図2A及び2Bのコンデンサに関しても同様に適用す
る。

【００１４】不純物拡散４と８とがそれぞれ極板１と６
と少なくとも同じ大きさなので、図1A及び図1Bのコンデ
ンサのキャパシタンスと図2A及び2Bのコンデンサのキャ
パシタンスとの間の比率は、極板１の面積と極板６の面
積との間の比率、即ち、上記で用いられた値ｋと実質的
に等しい。

【００１５】上述のように、ｋは値ｐの適当な選択と一
緒に（必要ならば）図1Aの極板６内に設けられた中心部
分の数の適当な選択により、1.25より大きいいかなる必
要な値をも与えられ得る。１と1.25との間の値がｋに対
して必要な場合には、図1Aに示した極板形状が図3Aに示
した形状ににり置き換えられてもよい。

【００１６】図1Aに類似して、図3Aは（今や少なくとも
図2A及び図2Bを参照して説明したコンデンサをも含んで
いる）前述の集積回路内に含まれる第１コンデンサの第
１極板９の平面図である。この極板９は、それぞれ辺ａ
及びｋａ＋ｓ（ｋ−１）を有する全体形態における矩形
であり、且つそれぞれ辺ｓ及びｋｓ＋ａ（ｋ−１）の矩
形窓10を設けられている。その極板の面積はそれ故にｋ
（ａ²−ｓ²）、すなわち、図2Aの極板６の面積のｋ倍
である。極板９は図面に示した方法で極板６に対して集
積回路内に配向されている。従って、極板９の境界線の
水平部分の組の全長 (＝２ｋ (ａ＋ｓ))は極板６の境界
線の水平部分の組の全長のｋ倍である。また、極板９の
境界線の垂直部分の組の全長 (再び＝２ｋ (ａ＋ｓ))
は、必要なように、極板６の境界線の垂直部分の組の全
長のｋ倍である。極板９と極板６とは、両方とも４個の
90°隅と４個の 270°隅とを有し、二つの極板内の隅の
各種類の数の間の（１の）比率は従って（既に述べたよ
うに、図3Aの形状が使用された場合には１と1.25との間
にある）ｋに実質的に等しい。

【００１７】図1Bに類似して、図3Bは図3A内の線3A〜3A
に沿って取った、上極板を図3Aに示したコンデンサの断
面図である。極板９の全体矩形形態と少なくとも同じ大
きさの面積を有する不純物拡散11が図2Bの不純物拡散８
と同じ処理工程の間に基板３の上面に設けられている。
この不純物拡散11は極板９の範囲の全体の下に、且つ好
適には極板９を超えてさえ延在し、それ故に、図1A及び
図1Bのコンデンサに対する置換の他方の極板を形成す
る。（各コンデンサの一方の電極が、他方のコンデンサ
の電極へ接続されることが必要な場合には、ある種の環
境において不純物拡散８と11とが配設され得る。）図3A
及び図3Bのコンデンサの誘電体は絶縁酸化物層５により
構成され、それ故に二つのコンデンサ用の誘電体材料
は、層５の全体が（図2Bと図3Bと内に示した層５の部分
が相互に物理的に分離されてもよいけれども）同じ製造
工程の間に形成されるので、再び同じ性質と厚さとを有
する。図2A及び図2Bの金属極板６が堆積される製造工程
の間と同じ製造工程の間に、金属極板９が層５上に堆積
される。図1A及び図1Bのコンデンサ用のMOS 構造に対す
る可能な代替品に関する前述の論評は、一般に図2A及び
図2Bと図3A及び図3Bとのコンデンサ用に使用される構造
が互いに類似しなくてはならないけれども、図3A及び図
3Bとのコンデンサに関しても同様に適用される。

【００１８】二つのコンデンサの上極板に対して説明し
たこの特殊の形状は、それらが面積有効であり、両者が
全体的に矩形形状を有し、且つ各々の（図面での）垂直
辺が同じ長さを有するので、それらの上極板は相互に隣
接する各々からそれらの辺の一方と共に位置決めされ得
て、それ故にそれらの間の空間の最小浪費により位置決
めされ得る。しかしながら、多くの他の形状が特許請求
の範囲により限定されたような本発明の範囲内で可能で
あることは明らかであろう。例えば、この極板の境界線
は互いに平行であり、且つ直角である直線の系列により
限定される必要はなく、種々の「隅」が簡単に丸められ
てもよく、且つ又はあるいは種々の直線が互いにその他
の角度であってもよい。種々の直線が曲線により完全に
置き換えられてさえもよい。例えば図2Aに示した形状は
中に半径Ｒ₂の円形窓が存在する半径Ｒ₁の円形電極に
より置き換えられてもよく、そこではＲ₁＝（１／π＋１／４）ａ＋（１／π−１／４）ｓ及びＲ₂＝（１／π−１／４）ａ＋（１／π＋１／４）ｓである。そのような電極は図2Aに示した電極と同じ面積
及び境界線全長を有するであろう。更にその上その電極
の境界線の凸部は再び 360°の全範囲に内側に向かい、
その電極の境界線の凹部は再び 360°の全範囲に外側に
向かうであろう。

【００１９】図1Aを参照して説明した形状について、90
°隅と 270°隅との数は、全体的に矩形の極板の上側縁
と下側縁とにおいて幅ｓと深さ（ａ＋ｓ）／２のもっと
多くの溝の含有の結果により、すなわち、この極板境界
線の外側部分の形状を調節することによって、（点線に
より区画された二つの中心部分に類似する部分を増加さ
せることによって）面積を増加させることにより増加さ
れる。（溝の数は実際には２（ｋ′−１）であり、ここ
で、ｋ′は0.5 の次に大きい倍数に丸められたｋであ
る。）隅の数は極板境界線の内側部分の形状、すなわち
窓２の形状を調節することにより、代えられるかあるい
は加えられてもよい。この窓が、例えば正方形の代わり
にＬ形である場合には、その窓は４個の 270°隅と０個
の90°隅との代わりに、５個の270°隅と１個の90°隅
とに寄与し得る。

【００２０】本発明が集積回路がモノリシック形式のも
のである例によって説明されてきたけれども、これが必
ずしも事実ではないことは認識されるであろう。集積回
路がもう一つの形態、例えばいわゆる「薄膜回路」の形
態を取る場合にも、本発明は適用できる。

【００２１】本開示を読むことにより、その他の変形が
本技術に熟達した人々に対しては明らかであろう。その
ような変形は集積回路とそれの構成部品との設計、製造
及び使用においてすでに知られており、且つここにすで
に説明した特徴の代わりに、あるいはその特徴に加えて
用いられてもよいその他の特徴を伴ってもよい。特許請
求の範囲はこの明細書では特徴の特定の組み合わせに対
して策定されてきたとは言え、それがいずれかの特許請
求の範囲に現在記載されているのと同じ発明に関係する
か否かにかかわらず、且つ本発明が成したと同じ技術的
問題点のいずれかあるいは全てを緩和するか否かにかか
わらず、本明細書の開示の範囲が、明示的にであれ暗示
的にであれここに開示されたいかなる新奇な特徴又は特
徴のいかなる組み合わせをも含むことは理解されるべき
である。本出願のあるいは本出願から得られるなんらか
の他の出願の継続中に、そのような特徴とそのような特
徴の組み合わせとの両方又はいずれか一方に対して、新
しい特許請求の範囲が策定され得ることの注意を本出願
はここに与える。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は第１コンデンサの図であって、図1Aは第
１極板の平面図であり、図1Bは第１コンデンサを含んで
いる集積回路の一部の、図1Aの線1A〜1Aに沿って取った
断面図である。

【図２】図２はその集積回路に含まれる第２コンデンサ
の図であって、図2Aは相当する極板の平面図であり、図
2Bは第２コンデンサを含んでいる集積回路の一部の、図
2Aの線2A〜2Aに沿って取った断面図である。

【図３】図３は図１のコンデンサに対して可能な代替品
コンデンサの図であって、図3Aは第１極板の平面図であ
り、図3Bは図3Aに示した代替品を含んでいる集積回路の
一部の、図3Aの線3A〜3Aに沿って取った断面図である。

【符号の説明】

１第１連続極板すなわち一方の電極２正方形窓３半導体基板４不純物拡散５絶縁酸化物層６第１連続極板すなわち一方の電極７正方形窓８不純物拡散９第１連続極板すなわち一方の電極 10 矩形窓 11 不純物拡散ａ，ｓ辺ｋ比率ｐ選択値

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】二つのコンデンサに対して同じ性質と厚さ
とを有する誘電体材料の層により隔てられている連続し
た極板の対を各々具えた第１及び第２コンデンサを含ん
でいる集積回路であって、第１コンデンサの第１極板の
面積は第２コンデンサの相当する極板の面積のｋ倍に等
しく、それにより第２コンデンサのキャパシタンスの実
質的にｋ倍となるべき第１コンデンサのキャパシタンス
を決定し、ここでｋが１より大きく、前記第１極板の境
界線の全長は前記相当する極板の境界線の全長のｋ倍で
ある集積回路において、前記第１極板と前記相当する極板との両方に対して、極
板の境界線の窪んだ部分により外側へ向かう全角度が、
極板の境界線の突出した部分により内側へ向かう全角度
に等しくなるように、窓が前記第１極板と前記相当する
極板との両方に存在し、且つ前記境界線の形態は前記第
１極板に対する前記全角度が各々前記相当する極板に対
する相当する前記全角度の実質的にｋ倍となるようであ
ることを特徴とする集積回路内の比例したキャパシタン
ス。
【請求項２】前記第１極板と前記相当する極板との境界
線が各々直角で互いに遭遇する直線部分の連続から成る
ので、前記各窪んだ部分は 270°隅の形態であり、前記
各突出した部分は90°隅の形態であることを特徴とする
請求項１記載の集積回路内の比例したキャパシタンス。
【請求項３】全部の前記直線部分が他方の前記直線部分
の各々に対して平行であるか又は直角であるかのいずれ
かであるので、直線部分の第１の組は多数の互いに平行
な各組により形成され、直線部分の第２の組は多数の他
方の組に直角な各組により形成され、第１組に属する前
記第１極板のそれらの境界線部分は、第１組に属する前
記相当する極板のそれらの境界線部分の全長のｋ倍であ
る全長を有し、第２組に属する前記第１極板のそれらの
境界線部分は第２組に属する前記相当する極板のそれら
の境界線部分の全長のｋ倍である全長を有することを特
徴とする請求項２記載の集積回路内の比例したキャパシ
タンス。
【請求項４】前記相当する極板の境界線の外側部分が、
少なくとも前記第１極板の境界線の外側部分の全体形態
であるように、実質的に矩形であることを特徴とする前
記いずれかの請求項記載の集積回路内の比例したキャパ
シタンス。
【請求項５】各矩形の辺が他方の辺に平行であるか又は
垂直であり、且つ各矩形の辺の一対が他方の矩形の辺の
平行な対と同じ長さを有することを特徴とする請求項４
記載の集積回路内の比例したキャパシタンス。
【請求項６】前記相当する極板が正方形であることを特
徴とする請求項５記載の集積回路内の比例したキャパシ
タンス。
【請求項７】前記第１極板の外側境界線の実質的に矩形
の全体形態が他方より長い一対の辺を有し、且つ２
（ｋ′−１）個の溝がこの一対を作り上げる辺内に存在
し、ここで、ｋ′は0.5 の次にに高い倍数に丸められた
ｋであることを特徴とする請求項４、５、又は６のいず
れか記載の集積回路内の比例したキャパシタンス。
【請求項８】ｋ′は1.5 より大きく、前記溝が前記実質
的に矩形の全体形態の長さ方向に沿って隔てられ、且つ
該溝は前記一対を作り上げる二つの辺の間に交互に並ぶ
ことを特徴とする請求項４記載の集積回路内の比例した
キャパシタンス。