JPH0599614A

JPH0599614A - 透過波面測定用干渉計

Info

Publication number: JPH0599614A
Application number: JP3262381A
Authority: JP
Inventors: Ichiji Ohashi; 一司大橋; Yoichi Iba; 陽一井場
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1991-10-09
Filing date: 1991-10-09
Publication date: 1993-04-23
Anticipated expiration: 2015-08-07
Also published as: JP3072925B2

Abstract

(57)【要約】【目的】光源の空間的コヒーレンシーがある程度悪く
ても、必要な明るさでコントラストの高い干渉縞が得ら
れる透過波面測定用干渉計を提供する。【構成】時間的コヒーレンスの要請から決まる参照光
路の波動光学的光路長を変えず、参照光路を経由して見
たときの光源７′と観測面１４の幾何光学的関係と、被
検光路を経由して見たときの光源７′と観測面１４の幾
何光学的関係との関係を等価にするため、参照光路に補
正光学系としてアフォーカル光学系２２を添装した。こ
の結果、参照光路を経由したある光線と被検光路を経由
したある光線が、観測面上のある１点でコヒーレントに
重ね合わされときの位相差が、光源上の発光点の位置に
関係なく揃う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レンズ等の光学部品の
性能を、光学部品の透過波面で測定するのに用いるトワ
イマン‐グリーン型、マイケルソン型及びマッハ‐ツェ
ンダー型等の干渉計の構成に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】干渉計は古くから光学的測定に用いられ
てきたが、Ｈｅ‐Ｎｅ（ヘリウム−ネオン）レーザーの
ように、時間的にも空間的にもコヒーレンシーのよい光
源が出現してから、特にその適用範囲は広まり、今日で
は光学部品の測定、検査に不可欠なものになっている。
干渉計の構成にはいろいろあるが、現在最も用いられ
ているのは、Ｈｅ‐Ｎｅレーザーを光源としたフィゾー
干渉計である。その理由は、参照光路と被検光路で共通
光路となる部分が多く、干渉計に用いる光学部品に要求
される精度がきびしくなく、また、空気のじょう乱や振
動に強いことなどによる。

【０００３】ところで、レンズの透過波面を干渉縞とし
て観測する場合、被検レンズに対して適正な波長の光を
発生する光源を、干渉計用光源とすべきであるが、波長
が適正でしかも十分にコヒーレンシーのよい光を発生す
る光源が得られないことが少なくない。その場合は、例
えば、Ｎａ（ナトリウム）ランプや水銀ランプ等の適当
な中心波長の輝線スペクトルを有する光源を準単色光源
として用い、コヒーレンス長の関係から、干渉計の構成
としてはトワイマン‐グリーン型、あるいはマッハ‐ツ
ェンダー型を採用している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】Ｎａランプや水銀ラン
プ等の適当な中心波長の輝線スペクトルを有する光源
を、干渉計用光源として用いた場合、時間的コヒーレン
ス、すなわち、コヒーレンス長（可干渉距離）の問題
は、干渉計の構成をトワイマン‐グリーン型やマッハ‐
ツェンダー型とすることで解決できる。しかし、これら
のランプ光源は、発光点がある大きさを有し、空間的コ
ヒーレンシーも悪いので、干渉計用光源としたとき、コ
ントラストの高い干渉縞が得られず、被検物である光学
部品によっては、測定ができないという問題がある。

【０００５】実効的に光源の大きさを小さくするため、
レンズでランプ光源の発光点をピンホール上に結像し、
このピンホールを通過した光を用いる方法も考えられる
が、得られる干渉縞が観測不可能な程度に暗いという欠
点がある。また近年、光学系の解像限界を高める目的か
ら、紫外領域で発振するエキシマーレーザー（ＸｅＦ，
ＸｅＣｌ，ＫｒＦ，ＡｒＦ等）がその光源として、しば
しば用いられるようになった。この光学系の光学部品を
透過波面で測定する場合、他に適当な代替光源が得られ
ないことが多いので、該エキシマーレーザーを光源とし
干渉計を構成することになる。しかし、レーザーである
にもかかわらず、エキシマーレーザーも空間的コヒーレ
ンシーが悪く、得られる干渉縞のコントラストが低く、
必要精度の測定ができないという問題がある。前述のよ
うに、エキシマーレーザー光源をピンホール上に結像す
る案も考えられるが、エキシマーレーザーの高いパルス
エネルギーにより、ピンホールの著しい損傷を生じる。
ピンホールの損傷を防ぐため、エキシマーレーザーのパ
ルスエネルギーを下げると、必要な明るさで干渉縞を観
測できないという二律背反になる。

【０００６】前述した課題を図解したものが、トワイマ
ン‐グリーン干渉計を例にとり図６〜図１０で示してあ
る。図６で、１は輝線スペクトルを有するＮａランプや
水銀ランプ等の光源、２は光源１の発光部で、ある大き
さを有する。３は集光レンズ、４は所定の穴径のピンホ
ール、５はコリメーターレンズ、６は所望の中心波長の
輝線スペクトルのみを通過させるフィルターである。光
源１〜フィルター６で、光源系７を構成する。９は半透
鏡、１２は参照側平面鏡、１３はレンズ、１４は観測
面、１５は被検物である被検レンズ、１６は被検側球面
鏡である。半透鏡９は、２個の直角三角プリズムの斜面
を半透明膜を介在させ接合し構成した直方体または立方
体型のプリズムビームスプリッター、あるいは両面平面
のガラス基板の片面に半透明膜をはりつけたビームスプ
リッターなどであるが、ここでは議論を簡単で容易なも
のにするため、膜厚の極めて薄い半透明膜ビームスプリ
ッターとする。被検側球面鏡１６は、その球心が被検レ
ンズ１５の後側（射出側）焦点と一致するよう配置して
ある。なお、観測面１４は、例えば写真フィルム、テレ
ビカメラ撮像面、すりガラス等であり、光源系７より射
出する光の波長が紫外領域の場合は、可視化できる蛍光
面としてもよい。

【０００７】上述した図６のトワイマン‐グリーン干渉
計で、発光部２は集光レンズ３によりピンホール４の上
に結像される。ピンホール４は、干渉縞が光量不足にな
らない程度に、十分大きいものである。ピンホール４を
通過した光は、コリメーターレンズ５によりほぼ平行な
光線となり、更にフィルター６を通過して準単色光とし
て干渉計本体に入る。光源系７より射出した準単色光の
ほぼ平行な光線８は、半透鏡９で参照光１０と被検光１
１に分割され、参照光１０は、参照側平面鏡１２で反射
して再び半透鏡９に入り、更にレンズ１３を透過し観測
面１４に至る。一方、被検光１１は、被検レンズ１５を
透過してから被検側球面鏡１６で反射して往路と同一の
光路を戻り、再び被検レンズ１５，半透鏡９，更にレン
ズ１３を経て観測面１４に至る。上述のごとくそれぞれ
の光路を経由した参照光１０と被検光１１は、観測面１
４で重なり合って干渉縞を生ずる。生じた干渉縞にゆが
みがあれば、そのゆがみは、被検レンズ１５の収差に対
応するので、干渉縞のゆがみを解析することにより、被
検レンズ１５の検査、測定が可能になる。

【０００８】ここで、光源系７より射出する光束につい
て考察する。必要な明るさの干渉縞を得るためには、ピ
ンホール４の穴径は相当に大きくなければならず、その
結果コリメーターレンズ５を透過した後、ある拡がり角
を有する光束として干渉計本体に入ることになるが、こ
のわずかに拡がる光束が干渉縞のコントラスト低下の原
因となる。なお、発光源がエキシマーレーザーの場合、
一般にエキシマーレーザーは空間的コヒーレンシーが悪
く、射出ビームもある拡がり角を持つので、光源系７全
体をエキシマーレーザーに置き換えても、同じことがい
える。

【０００９】拡がり角を持つ光束が干渉計本体に入った
場合、生ずる干渉縞のコントラストが悪い理由を、図７
〜図１０を用いて細述する。図７に示す構成は、基本的
に図６で示した構成と同じであるが、光源系７′は、あ
る大きさを持つ発光面１７，前側焦平面に発光面１７が
位置するコリメーターレンズ５′から構成してある。１
８は干渉計の光軸であり、図６と対比すれば、発光面１
７は図６のピンホール４に相当するものである。いま、
発光面１７上で光軸１８から外れた一点であるＱ点より
発し、それぞれ参照光路と被検光路を経由して、観測面
１４と光軸１８との交点であるＰ点に到達する２本の光
線について考察する。１９はＱ点を発し参照光路を経由
してＰ点に到達する光線、２０はＱ点を発し被検光路を
経由してＰ点に到達する光線である。光軸１８に対し
て、参照側平面鏡１２は垂直、被検レンズ１５と被検側
球面鏡１６は偏心がないとする。光線１９と光線２０
は、それぞれ参照側平面鏡１２，被検側球面鏡１６で反
射して、再び半透明鏡９に到達する際にＣ点で交差し、
以後は同一光路を経由してＰ点に到達する。光線１９と
光線２０はともに同じＱ点より発した光線であり、互い
にコヒーレントであるので、被検側光路長に対し参照側
光路長が、時間的コヒーレンスの観点から適切に設定さ
れていれば、つまり、参照側平面鏡１２の位置が適切で
あれば、Ｐ点において干渉を生じる。この干渉によるＰ
点での明暗は、Ｐ点における光線１９と光線２０との位
相差によって決まる。

【００１０】Ｐ点における光線１９と光線２０との位相
差は、次のようになる。参照側平面鏡１２の位置は、被
検光学系の構成・位置が決まれば、時間的コヒーレンス
の観点からおのずから確定する。一方、被検光学系をみ
ると、往復を考えればアフォーカル比が１倍のアフォー
カル光学系を構成しており、被検レンズ１５に関する被
検側球面鏡１６の共役面に、仮想平面鏡２１がちょうど
存在しているかのように光線２０は進行する。図８に、
仮想平面鏡２１から被検側球面鏡１６までの光路を無視
し、被検側を経由して見たときの、光源系７′から観測
面１４までの光路を展開して示した。図９には、参照側
を経由して見たときの、光源系７′から観測面１４まで
の光路を展開して示した。図８、図９に示すように見か
け上、両光路はあるずれ（ΔＺ）を生ずるのが一般的で
ある。ΔＺは参照側平面鏡１２の位置にも依存するの
で、直ちにΔＺが、仮想平面鏡２１から被検側球面鏡１
６までの往復の波動光学的光路長になるとは限らない。

【００１１】しかし、議論を簡単で容易なものにするた
め、波長λ_sの単色光における被検光路の波動光学的光
路長が、参照光路の波動光学的光路長に等しいとした場
合、ΔＺは、仮想平面鏡２１から被検側球面鏡１６まで
の往復の波動光学的光路長に等しくなる。図１０は、こ
の条件で被検側を経由する場合と参照側を経由する場合
とを重ねて、展開図として示したものである。往復を考
えれば、被検側光学系がアフォーカル光学系になるの
で、図８で無視した光路の波動光学的光路長は、仮想平
面鏡２１から被検側球面鏡１６までの光軸１８に沿った
往復の波動光学的光路長に等しくなる。ゆえに、図８の
光線２０′の波動光学的光路長にΔＺを加えたものが、
実際の光線２０（図１０）の波動光学的光路長となる。
したがって、図１０から、Ｐ点における光線１９と光線
２０との位相差を求めることができる。

【００１２】光線１９と光線２０はともに同じＱ点より
発しているので、Ｅ点、Ｆ点までは同位相である。一
方、Ｇ点からＰ点までは、光線１９と光線２０は同じ光
路を進行するので、この間は位相差を生じない。その結
果、光線１９のＦＧ間（ΔＺ）と光線２０のＥＧ間（Δ
Ｚ′）で生じる位相差が、求める位相差（Ｐ点における
光線１９と光線２０との位相差）Δφとなる。すなわ
ち、

【００１３】 Δφ＝（２π／λ_s）（ΔＺ−ΔＺ′）＝（２π／λ_s）ΔＺ（１−ｃｏｓθ）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）

【００１４】ここで、θは光束の拡がり角である。式
（１）より、位相差Δφは光源系７′から射出した光束
の拡がり角θに依存し、これによりコントラストが低下
することが分かる。例えば、被検レンズ１５が回路パタ
ーン露光用撮影レンズのように大型のものになると、Δ
Ｚは１ｍから２ｍにも及ぶ。光源がＫｒＦエキシマーレ
ーザー、スペクトルの中心波長λ_sが２４８ｎｍ，光束
の拡がり角θが１ｍｒａｄ，ΔＺが１ｍとして計算する
と、Δφは約２πとなる。つまり、光束の拡がり角θ＝
０〜１ｍｒａｄの間で、位相は一回りすることになり、
コントラストのついた干渉縞は、ほとんど得られないこ
とになる。ここまでは、理解しやすいように、観測面１
４の軸上の点Ｐについて説明してきたが、軸外の観測点
についても同様な方法により、同じ結果が得られる。

【００１５】本発明は、透過波面測定用干渉計がかかえ
る上述の課題に鑑みて、用いる光源の空間的コヒーレン
シーがある程度悪くても、被検物である光学部品の測定
ができる明るさ、コントラストを有する干渉縞を生じる
透過波面測定用干渉計を提供することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明による透過波面測
定用干渉計は、光源よりある拡がり角をもって射出する
略平行光束を二分割し、一方を参照光束、他方を被検光
束とし、該被検光束中に、光学材料素子で構成された被
検物たる光学部品を配置し、参照光学系を通過した該参
照光束と被検光学系を通過した該被検光束を再び重ね合
わせ、所定の観測面で干渉縞を形成するよう構成した干
渉計において、該参照光学系を経由して見たときの該光
源と該観測面の間の幾何光学的関係と、該被検光学系を
経由して見たときの該光源と該観測面の間の幾何光学的
関係とが等価になるように、該参照光学系を構成したこ
とを特徴としたものである。

【００１７】

【作用】前述した構成によれば、光源がある大きさを有
し、空間的コヒーレンシーが悪い場合でも、光源の任意
の点を発した光線のうち、参照光路を経由したある光線
と、被検光路を経由したある光線とが、観測面上のある
一点でコヒーレントに重ね合わさるときの位相差が、光
源上の発光点の位置に関係なく揃うので、観測される干
渉縞のコントラストが高くなり、高精度の測定、検査が
可能になる。

【００１８】

【実施例】図１は、本発明の第１実施例であり、トワイ
マン‐グリーン干渉計に適用した場合を示す。基本的構
成は、図６及び図７に関し既述した構成と同様であり、
以降のすべての記述において、同じ機能に係る部分は、
同一符号を用いており、再述しない。２２はアフォーカ
ル光学系であって、補正光学系として参照光路に添装し
たものである。アフォーカル光学系２２を添装すること
で、時間的コヒーレンスの要請から決まる参照光路の波
動光学的光路長の変化なしに、参照光路を経由して見た
ときの光源と観測面の幾何光学的関係と、被検光路を経
由して見たときの光源と観測面の幾何光学的関係とが等
価になることを図った。より具体的には、参照側平面鏡
１２と実質無収差のアフォーカル光学系２２に関して共
役である仮想平面鏡２３が、被検側の仮想平面鏡２１の
位置に対して、参照側において観測面１４上のＰ点から
見て等価な位置に来るようにアフォーカル光学系２２を
参照光路に添装する。このように構成することにより、
光束の拡がり角θが存在しても、図１０において光線１
９は光線２０に一致するので、位相差Δφは、光束の拡
がり角θに依存せずに一定となる。したがって、コント
ラストの高い干渉縞が得られるのである。

【００１９】本実施例において、参照側平面鏡１２の位
置は、時間的コヒーレンスの要請からおのずと決まる
が、アフォーカル光学系２２は光軸に沿って自由に移動
してもよい。その際、参照側の仮想平面鏡２３の位置も
移動するので、実際に干渉縞を見ながら、容易に最適位
置を選択できる。このように操作しやすいのは、参照側
反射鏡を平面鏡とし、アフォーカル光学系と組み合わせ
て構成したからである。なお、アフォーカル光学系（補
正光学系）２２は、往復として見れば必ずアフォーカル
比は１となるので、片道として見たときのアフォーカル
比は、理論的には何倍であってもよい。また、アフォー
カル光学系（補正光学系）２２は参照光路に添装される
ので、無収差でなければならないが、原理的には球面収
差だけが問題となるに過ぎないので（場合によっては、
光源系より射出される光の波長スペクトルの範囲の軸上
色収差も考える必要があるが）、設計的にはもちろん製
作的にも、今日の進んだ精密光学素子製造技術をもって
すれば，少ない素子数で容易に無収差を実現できる。

【００２０】なお、図６〜図１０において、集光レンズ
３，コリメーターレンズ５，５′，レンズ１３，被検レ
ンズ１５，アフォーカル光学系（補正光学系）２２の各
群、を単レンズとして図示してあるが、当然のことなが
ら、実際には場合と必要により複数のレンズ素子より構
成される。

【００２１】第２実施例は、図１において光源系７′の
空間的コヒーレンシーは悪いが、時間的コヒーレンシー
は十分に良いと見なせる場合に適用し、参照側平面鏡１
２を仮想平面鏡２３の位置に配置する。これにより、第
１実施例で説明したように、空間的コヒーレンシーに起
因する干渉縞コントラストの低下は解消する。

【００２２】第３実施例群も、トワイマン‐グリーン干
渉計に適用した例である。第１実施例では、被検光学系
で被検レンズ１５を全体として凸レンズ、被検側球面鏡
１６を凹面鏡とした。他の組み合わせとしては、被検レ
ンズが全体として凸レンズ−被検側球面鏡が凸面鏡、被
検レンズが全体として凹レンズ−被検側球面鏡が凹面鏡
の場合がある。この被検光学系の３種類の組み合わせを
上述した順に（１），（２）及び（３）とし、その各々
に好適であり、本発明の適用により構成した参照光学系
を、図２に一覧表的に示した。しかし、これらの組み合
わせが、常に最適であるとは限らない。参照光学系
（ａ）は、平面鏡とアフォーカル光学系（凸＋凸、凸＋
凹、凹＋凸）の組み合わせ、（ｂ）は、球面鏡（凸、
凹）とレンズ（凸、凹）の組み合わせである。また、図
示はしてないが、被検光学系がアフォーカル光学系と平
面鏡の組み合わせであってもよい。図２で示す構成で、
（１）−（ａ）の組み合わせは、第１実施例として既述
した。いずれの場合も、被検側の仮想平面鏡と参照側の
仮想平面鏡が等価な位置に来るように、参照光学系を構
成する。参照光学系としては、（ａ）、（ｂ）いずれも
効果は同じであるが、既述したように調整が容易な点か
ら、（ａ）の平面鏡との組み合わせが実用的で便利であ
る。

【００２３】図３は、本発明の第４実施例であり、物点
が有限位置にあるレンズを被検レンズとした場合で、ト
ワイマン‐グリーン干渉計の被検光学系の構成を示して
ある。１５′は被検レンズ、２４は鏡筒レンズである。
鏡筒レンズ２４が被検レンズ１５′の物点位置Ｑ点にス
ポットをつくる。鏡筒レンズ２４は、実質無収差である
ことを要するが、原理的には球面収差と、場合により光
源の波長スペクトルの範囲の軸上色収差さえ考えればよ
いので、少ないレンズ素子数で容易に実質無収差を実現
できる。鏡筒レンズ２４と被検レンズ１５′を組み合わ
せて、被検レンズ１５と考えれば、これは図２における
（３）に相当する。しかし、被検レンズ１５′が、回路
パターン露光用投影レンズのように大型の場合、対応で
きる参照光学系としては、図２における（１）−（ａ）
の凸凸アフォーカル光学系と平面鏡の組み合わせが好適
である。

【００２４】図４は本発明の第５実施例であり、被検レ
ンズの軸外物点に対する測定に応用する場合で、トワイ
マン‐グリーン干渉計の被検光学系の構成を示してあ
る。基本的には、図１で示した第１の実施例の構成と同
様であるが、光軸１８に対して被検レンズ１５が所定の
角度で傾いて設置されている。被検レンズ１５は薄肉レ
ンズで、その節点は光軸１８上にあるとして示した。厚
肉レンズの場合は、その後側主点（節点）を中心に傾け
た場合を除き、被検レンズ１５による集光点が大きく移
動するので、被検側球面鏡１６の球心も集光点に一致さ
せて動かす必要がある。この状態で、被検側球面鏡１６
の球心を通り光軸１８に平行な直線が被検側球面鏡１６
と交わる点を定め、この点の被検レンズ１５に関する共
役点（図示のＪ点）を通り光軸１８に垂直な面に、既述
したような仮想平面鏡２１′を考え、参照光学系を第１
〜第３実施例で示したように構成する。厳密にいえば、
光軸１８に対してある角度で被検光学系に入ったすべて
の光線が、仮想平面鏡２１′で反射するように見えるわ
けではない。しかし、本実施例のように構成することに
より、本発明を適用しない場合に比べて、実用上、大き
な改善が得られる。

【００２５】図５は、本発明の第６実施例で、マッハ‐
ツェンダー型の干渉計に応用した場合の構成を示す。２
６は被検側平面鏡、２７は第２半透鏡、２８は参照側平
面鏡である。光源系７′より射出した略平行光束８は、
第１半透鏡９により参照光１０と被検光１１に分割され
る。被検光１１は、実質無収差の鏡筒レンズ２４′で絞
られ、スポット２５を形成する。スポット２５が被検レ
ンズ１５′の物点となる。なお、鏡筒レンズ２４′と被
検レンズ１５′の位置は、逆であってもよい。鏡筒レン
ズ２４′と被検レンズ１５′を組み合わせて被検レンズ
系１５とすると、被検レンズ系１５はアフォーカル系と
なる。被検レンズ系１５より射出した光束は、被検側平
面鏡２６で反射し、第２半透鏡２７へ進む。

【００２６】一方、参照光路には、補正光学系であるア
フォーカル光学系２２′が添装される。アフォーカル光
学系２２′は、幾何光学的に被検レンズ系１５と等価な
光学系であり、同じアフォーカル比を有するよう構成す
る。また、アフォーカル光学系２２′の参照光路におけ
る位置は、被検レンズ系１５の被検光路における位置と
等価にするのが望ましいが、原理的には、必ずしも厳密
に等価である必要はない。なお、アフォーカル光学系２
２′の群構成は、被検レンズ系１５の構成に対し幾何光
学的に等価に構成しやすいものを選択する。参照光１０
は、アフォーカル光学系２２′を透過し、参照側平面鏡
２８で反射してから第２半透鏡２７へ進み、一部が反射
してレンズ１３を通過し観測面１４に至り、観測面１４
上で被検光と重なり合って、被検レンズ１５′の性能を
反映した干渉縞を形成する。このように構成することに
より、第１実施例で既述したのと同様の効果で、光源系
７′より射出した光束にある程度の拡がり角があって
も、干渉縞のコントラストを損なうことなく、高精度の
測定を行うことができる。

【００２７】

【発明の効果】以上説明したように本発明の透過波面測
定用干渉計は、光源の空間的コヒーレンシーが悪く、光
源より射出される光束にある程度の拡がり角があって
も、コントラストの高い明瞭な干渉縞が得られるので、
高精度で光学部品の検査、測定を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による透過波面測定用干渉計の第１実施
例の説明図である。

【図２】本発明による透過波面測定用干渉計の第３実施
例の諸態様の一覧図である。

【図３】本発明による透過波面測定用干渉計の第４実施
例の説明図である。

【図４】本発明による透過波面測定用干渉計の第５実施
例の説明図である。

【図５】本発明による透過波面測定用干渉計の第６実施
例の説明図である。

【図６】トワイマン‐グリーン干渉計を例にした干渉計
の説明図である。

【図７】トワイマン‐グリーン干渉計を例にした課題の
説明図である。

【図８】トワイマン‐グリーン干渉計を例にした課題の
説明図である。

【図９】トワイマン‐グリーン干渉計を例にした課題の
説明図である。

【図１０】トワイマン‐グリーン干渉計を例にした課題
の説明図である。

【符号の説明】

１光源８略平行光束線１０参照光１２参照側平面鏡１４観測面１５被検レンズ２２アフォーカル光学系

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源よりある拡がり角をもって射出する
略平行光束を二分割し、一方を参照光束、他方を被検光
束とし、該被検光束中に、光学材料素子で構成された被
検物たる光学部品を配置し、参照光学系を通過した該参
照光束と被検光学系を通過した該被検光束を再び重ね合
わせ、所定の観測面で干渉縞を形成するよう構成した干
渉計において、該参照光学系を経由して見たときの該光源と該観測面の
間の幾何光学的関係と、該被検光学系を経由して見たと
きの該光源と該観測面の間の幾何光学的関係とが等価に
なるように、該参照光学系を構成したことを特徴とする
透過波面測定用干渉計。
【請求項２】干渉計がトワイマン‐グリーン型、又は
マッハ‐ツェンダー型干渉計であり、該参照光学系が平
面鏡とアフォーカル光学系の組み合わせより構成されこ
とを特徴とする請求項１の透過波面測定用干渉計。