JPH06100406B2 - 恒温槽の出入口構造 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ICハンドラに設けられる低温恒温槽の入口、
及び出口の構造に関するものである。

〔発明の背景〕 ICハンドラは、多数のICを順次に搬送してこれを測定用
ソケットに装着し、離脱せしめた後、測定結果に基づい
て該多数のICを分類・搬出する自動機である。

上記の測定条件は、被測定物であるICの仕様に基づいて
定められる。そして、測定の温度条件に関しては常温に
比して高温の場合（例えば160℃）も有り、常温の場合
もあり、低温（例えば−40℃）の場合も有る。この為、
ICハンドラには通常、高温若しくは低温の恒温槽が設け
られる。

ICハンドラ内におけるICの搬送にはシュートレールが多
く用いられる。また、取扱い対象のICには、厚形，薄
形,PLCC型など各種のICが含まれる。第５図は厚形IC1を
シュートレールで搬送している状態の斜視図、第６図は
薄形IC1′を搬送している状態の斜視図、第７図はPLCC
型IC1″を搬送している状態の斜視図である。

上記のシュートレールは一般に傾斜を付して設置し、IC
を重力で滑走させる場合が多いが、垂直に設置される場
合や水平に設置される場合も有る。シュートレールを水
平に設置した場合は、例えば爪送り手段など、適宜の搬
送駆動手段が設けられる。

第４図は、従来一般に用いられている低温恒温槽の１例
を示し、その入口付近の断面を描いてある。

恒温槽２内には、パイプ３から液化窒素を送入し、槽内
を−40℃に保つ。

シュートレール４は、恒温槽２の端部の壁2aに設けられ
た入口開口2bを通過するように設置されており、多数の
IC1a,1b〜1fを矢印a,b,cの如く案内する。

５は、入口開口2bを覆って設置されたシャッタで、ICが
通過する時のみ開かれ、ICが通過しないときは閉じられ
る。このシャッタ５の開閉駆動は、ICの通過を検出する
センサ（図示せず）の出力信号に基づいて自動制御機構
（図示せず）によって行われる。

恒温槽２内に外気が流入しないよう、恒温槽２内は僅か
に正圧（例えば大気よりも数ミリバール高圧）に保たれ
る。

このため、シャッタ５を設けた個所から矢印ｄの如く僅
かな気体漏洩を生じることは避け難い。

上記の漏洩気体は−40℃であるため、シャッタ５に霜が
付着してその開閉作動を妨げる虞れが有る。こうした問
題は、恒温槽２を貫通しているシュートレール４の出口
付近においても発生する。

〔発明の目的〕

本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、恒温槽出
入口のシャッタに霜が付着して凍りつく虞れの無い、更
にはシャッタを省略することも出来る出入口構造を提供
しようとするものである。

〔発明の概要〕

上記の目的を達成する為、本発明の出入口構造は、常温
よりも低温の恒温槽を貫通してICの搬送路を設けたICハ
ンドラにおいて、前記搬送路が恒温槽の壁を貫通してい
る個所に設けられた開口部の上縁に沿ってパイプを配設
するとともに、該パイプにエアーを噴出するノズル孔を
設け、かつ前記のパイプを中心軸の回りに回動可能に支
承すると共に該パイプ内にドライエアーを圧送する手段
を設けたことを特徴とする。

〔発明の実施例〕

次に、本発明の１実施例を第１図乃至第３図について説
明する。

第１図は本発明の恒温槽出入口構造の１実施例を示す断
面図である。

第２図は第１図のII−II断面図、第３図は同じくIII部
拡大詳細図である。

この実施例は、第４図に示した従来例に本発明を適用し
て改良したもので、第４図と同一の図面参照番号を付し
たIC1a〜1f、恒温槽２、パイプ３、及びシュートレール
４は従来例におけると同様乃至類似の構成部材である。
本実施例においてはシャッタ５を設けていない。

第２図に示すように、本実施例においては５本のシュー
トレール4_-5，4_-2〜4_-5を平行に設置してある。1a_-1〜1
a_-5は上記それぞれのシュートレールによって搬送され
ているICである。

第１図に示すように、入口開口2bの上縁に沿ってパイプ
６を配設する。7,7′は上記パイプ６を回動可能に支承
している軸受である（第2,第３図参照）。上記のパイプ
６にはエアーを噴出させる為の透孔（ノズル孔）6aを列
設してある。

第３図に示した矢印Ａはエアーの噴出方向を表わしてい
る。パイプ６を軸受７に対して回動させるとエアー噴出
方向矢印Ａを自在に調節することができる。図示を省略
するが前記の軸受７にはパイプ６の回動を拘束する手段
を設けている。

図示を省略するが前記の軸受７はパイプ６に対してスイ
ベルジョイント機能を備えており、これを介して上記の
パイプ６内にドライエアーを圧送し得るように構成して
あり、上記ドライエアーの圧力調節手段を設けてある。

従来装置（第４図）においても、シャッタ５の霜による
凍りつきを防止するため、該シャッタ５にドライエアー
を吹きつける試みは為されていたが、従来技術における
ドライエアーの吹きつけは、その方向及び圧力、特に方
向を調節する手段を備えていない為、該シャッタ５を開
いてICを通過させる際はドライエアーの吹きつけを停止
しなければならなかった。その理由は、ドライエアーの
吹きつけを継続しつつICの搬送（恒温槽２内への搬入）
を行おうとすると、風圧でICを吹き戻したり吹き飛ばし
たりする虞れが有ったからである。

本発明者の実験によれば、噴出するドライエアーの流
速，流量を適正に選ぶと共に、その噴出方向を適宜に調
節すると、ドライエアー流によってICの搬送を妨げない
状態を探り当てることが出来る。上記の適正条件は、実
験的に求めておけば容易に再現せしめることができる。

特に、ICの型式が変わったとき（形状，寸法，重量が変
わったとき）、ドライエアーの噴出方向の調節によって
対応し得ることが実験によって確認された。

本発明の実施例（第１図，第２図）を使用するには、パ
イプ３から恒温槽２内へ液化窒素を供給して該恒温槽２
内を−40℃に保ちつつ、パイプ６の透孔（ノズル孔）6a
からドライエアーを噴出させ、その噴出方向矢印ＡをIC
の型式に応じた適正方向に調節する。

上記の状態においてはICの搬送が妨げられず、しかも、
ドライエアーの噴出流のエアーカーテン効果により恒温
槽２内と大気とが遮断される。このため、恒温槽の出入
口付近に結露したり、凍りついたりする虞れが無く、恒
温槽２内が目標温度に保たれる。更に、前述のエアーカ
ーテン効果により、本実施例の如くシャッタ５を省略し
ても恒温槽２内の条件保持に悪影響を及ぼさない。

第１図乃至第３図から明らかなように、本実施例の入口
構造は極めて簡単であり、従って製造コストも安い。そ
の上、ドライエアーは止めたり噴出させたりといった制
御を必要とせず、同一条件でも連続的に噴出させておけ
ば良いので制御が容易である。

搬送されているICの型式が変更されると、パイプ６を回
動させて迅速・容易に順応することが出来る。

本実施例（第１図）は、恒温槽２の入口構造について述
べたがICの搬送方向矢印a,b,cを左右反転して考える
と、これをこの儘で恒温槽２の出口について適用するこ
とができる（この場合、図の入口開口2bは出口開口と呼
称されることになる。

〔発明の効果〕

以上詳述したように、本発明を適用すると低温恒温槽出
入口部のシャッタに霜が付着して凍りつく虞れが無く、
更には、恒温槽の機能に悪影響を及ぼさずにシャッタの
設置を省略することも可能である。シャッタの省略によ
って該シャッタの駆動，制御系統も省略されるので構造
が著しく簡単になり、設備コスト低減や保守整備工数の
低減に貢献するのみならず、シャッタの作動に関するト
ラブルを未然に防止してICハンドラの信頼性向上に貢献
するところ多大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の１実施例を示す断面図である。第２図
は第１図のII−II断面図、第３図は同じくIII部拡大詳
細図である。 第４図は従来の恒温槽出入口構造を示す断面図である。
第５図乃至第７図はそれぞれICをシュートレールで搬送
している状態を示す斜視図である。 ２……恒温槽、2b……入口開口部、４……シュートレー
ル、５……シャッタ、６……パイプ、6a……ノズル孔、
7,7′……軸受。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】常温よりも低温の恒温槽を通過せしめるよ
   うに複数列の平行なICシュートレールを設けたICハンド
   ラの恒温槽において、上記のシュートレールが恒温槽の
   壁を貫通する個所に設けられた開口部の上縁に沿ってパ
   イプを配設するとともに、該パイプにエアーを噴出する
   ノズル孔を設け、かつ前記のパイプを中心軸の回りに回
   動可能に支承すると共に該パイプ内にドライエアーを圧
   送する手段を設けたことを特徴とする恒温槽の出入口構
   造。