JPH06100443B2 - 電磁誘導形肉厚測定方法およびその測定装置 - Google Patents
電磁誘導形肉厚測定方法およびその測定装置Info
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- JPH06100443B2 JPH06100443B2 JP16988286A JP16988286A JPH06100443B2 JP H06100443 B2 JPH06100443 B2 JP H06100443B2 JP 16988286 A JP16988286 A JP 16988286A JP 16988286 A JP16988286 A JP 16988286A JP H06100443 B2 JPH06100443 B2 JP H06100443B2
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、屋外作業に用いる(金属材料)肉厚測定方法
およびその測定装置に関するものである。
およびその測定装置に関するものである。
(従来技術および発明が解決しようとする問題点) 金属の肉厚の非破壊測定としては、超音波の反射を利用
した超音波測定法および渦電流を利用した電磁誘導法が
用いられている。超音波法は、被測定物の端面で反射し
てくる超音波パルスの遅延時間を測定し、遅延時間の変
化から、肉厚を測定する方法である。しかし、この方法
は被測定物表面の腐蝕を研摩除去し、超音波センサと被
測定物間の音響インピーダンスのミスマツチングを防ぐ
ために、両者の間にマツチングオイルまたは水を充填す
る必要があり、屋外作業に用いる場合は、非常に煩雑な
作業になる欠点があつた。
した超音波測定法および渦電流を利用した電磁誘導法が
用いられている。超音波法は、被測定物の端面で反射し
てくる超音波パルスの遅延時間を測定し、遅延時間の変
化から、肉厚を測定する方法である。しかし、この方法
は被測定物表面の腐蝕を研摩除去し、超音波センサと被
測定物間の音響インピーダンスのミスマツチングを防ぐ
ために、両者の間にマツチングオイルまたは水を充填す
る必要があり、屋外作業に用いる場合は、非常に煩雑な
作業になる欠点があつた。
また電磁誘導法は、試験コイルが発生する交番磁界によ
り、導体中に誘起する渦電流が交番磁界の周波数,導体
の透磁率および導電率により変化することを利用して肉
厚を測定するものである。しかし、この方法は肉厚の測
定精度を上げるためには、試験コイルと被測定物の相対
位置を精度良く制御する必要がある。電磁誘導形肉厚測
定装置は屋内で用いる場合は、試験コイルと被測定物を
固定し、その相対位置の誤差による測定誤差は小さく、
十分な精度で測定を行うことができる。しかし、この測
定方法を屋外で用いる場合には、被測定物とセンサの相
対位置を正確には制御することができず、その相対位置
誤差の測定精度に与える影響は大きく、十分な測定精度
を得ることができなかつた。
り、導体中に誘起する渦電流が交番磁界の周波数,導体
の透磁率および導電率により変化することを利用して肉
厚を測定するものである。しかし、この方法は肉厚の測
定精度を上げるためには、試験コイルと被測定物の相対
位置を精度良く制御する必要がある。電磁誘導形肉厚測
定装置は屋内で用いる場合は、試験コイルと被測定物を
固定し、その相対位置の誤差による測定誤差は小さく、
十分な精度で測定を行うことができる。しかし、この測
定方法を屋外で用いる場合には、被測定物とセンサの相
対位置を正確には制御することができず、その相対位置
誤差の測定精度に与える影響は大きく、十分な測定精度
を得ることができなかつた。
(問題点を解決するための手段) 本発明は上記の欠点を改善するために提案されたもの
で、屋外作業で電磁誘導形肉厚センサの精度を向上させ
るために必要とするセンサと被測定物の相対位置の問題
を解決した肉厚測定方法およびその測定装置を提供する
ことを目的とする。
で、屋外作業で電磁誘導形肉厚センサの精度を向上させ
るために必要とするセンサと被測定物の相対位置の問題
を解決した肉厚測定方法およびその測定装置を提供する
ことを目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明はコイルから発生す
る交番磁界を被測定物である金属に印加して、該金属導
体中に誘起された渦電流を利用して、被測定物の肉厚を
測定する測定方法において、交番磁界を発生する試験コ
イルと、前記試験コイルに低周波領域並びに、高周波領
域の二周波数の正弦波を送出する可変周波数交流電源
と、前記試験コイルの検出信号の検出感度を向上させる
ブリツジ回路部と、前記ブリツジ回路部の出力信号を検
出する検出回路部と、前記試験コイルを被測定物に一定
の力で加圧する押しつけ機構部とを設け、前記の可変周
波数交流電源から高周波領域の周波数の正弦波を用い
て、ブリツジ回路の平衡をとり、次いで押しつけ機構部
で試験コイルを被測定物に一定の力で加圧し、前記試験
コイルに高周波領域の正弦波を印加して、前記ブリツジ
回路部の測定電圧と、予め作成した各種材料のサビ厚あ
るいは被覆層の影響を更生した更生値を用いて被測定物
のサビあるいは被覆層の厚を求め、次いで前記可変周波
数交流電源から低周波領域周波数の正弦波を用いて、前
記ブリツジ回路の平衡をとり、次いで前記押しつけ機構
部を用いて前記試験コイルを被測定物に一定の力で加圧
し、前記試験コイルに低周波領域周波数の正弦波を印加
して、前記ブリツジ回路部の出力電圧と予め作成した各
種材料のサビ厚の影響を更生した更生値から、サビ層あ
るいは被覆層も含めた被測定物全体の厚さを求め、次い
で被測定物のサビ厚と、サビ厚あるいは被覆層も含めた
被測定物全体の厚さの測定値の差から被測定物の真の肉
厚を測定する電磁誘導形肉厚測定方法を発明の要旨とす
るものである。
る交番磁界を被測定物である金属に印加して、該金属導
体中に誘起された渦電流を利用して、被測定物の肉厚を
測定する測定方法において、交番磁界を発生する試験コ
イルと、前記試験コイルに低周波領域並びに、高周波領
域の二周波数の正弦波を送出する可変周波数交流電源
と、前記試験コイルの検出信号の検出感度を向上させる
ブリツジ回路部と、前記ブリツジ回路部の出力信号を検
出する検出回路部と、前記試験コイルを被測定物に一定
の力で加圧する押しつけ機構部とを設け、前記の可変周
波数交流電源から高周波領域の周波数の正弦波を用い
て、ブリツジ回路の平衡をとり、次いで押しつけ機構部
で試験コイルを被測定物に一定の力で加圧し、前記試験
コイルに高周波領域の正弦波を印加して、前記ブリツジ
回路部の測定電圧と、予め作成した各種材料のサビ厚あ
るいは被覆層の影響を更生した更生値を用いて被測定物
のサビあるいは被覆層の厚を求め、次いで前記可変周波
数交流電源から低周波領域周波数の正弦波を用いて、前
記ブリツジ回路の平衡をとり、次いで前記押しつけ機構
部を用いて前記試験コイルを被測定物に一定の力で加圧
し、前記試験コイルに低周波領域周波数の正弦波を印加
して、前記ブリツジ回路部の出力電圧と予め作成した各
種材料のサビ厚の影響を更生した更生値から、サビ層あ
るいは被覆層も含めた被測定物全体の厚さを求め、次い
で被測定物のサビ厚と、サビ厚あるいは被覆層も含めた
被測定物全体の厚さの測定値の差から被測定物の真の肉
厚を測定する電磁誘導形肉厚測定方法を発明の要旨とす
るものである。
さらに本発明はコイルから発生する交番磁界を被測定物
である金属に印加して、該金属導体中に誘起された渦電
流を利用して、被測定物の肉厚を測定する装置におい
て、交番磁界を発生する試験コイルと、前記試験コイル
に低周波領域並びに、高周波領域の二周波数の正弦波を
送出する可変周波数交流電源と、前記試験コイルの検出
信号の検出感度を向上させるブリツジ回路部と、前記ブ
リツジ回路部の出力信号を検出する検出回路部と、前記
試験コイルを被測定物に一定の力で加圧する押しつけ機
構部とからなることを特徴とする電磁誘導形肉厚測定装
置を発明の要旨とするものである。
である金属に印加して、該金属導体中に誘起された渦電
流を利用して、被測定物の肉厚を測定する装置におい
て、交番磁界を発生する試験コイルと、前記試験コイル
に低周波領域並びに、高周波領域の二周波数の正弦波を
送出する可変周波数交流電源と、前記試験コイルの検出
信号の検出感度を向上させるブリツジ回路部と、前記ブ
リツジ回路部の出力信号を検出する検出回路部と、前記
試験コイルを被測定物に一定の力で加圧する押しつけ機
構部とからなることを特徴とする電磁誘導形肉厚測定装
置を発明の要旨とするものである。
しかして本発明の主要な特徴とする点は、センサ部に力
付加機能をつけ加えることにより、センサと被測定物の
距離を一定に保つことおよび測定周波数として低周波と
高周波の2つの周波数を用い、低周波測定周波数を用い
て、被測定物全体の肉厚を測定し、高周波測定周波数を
用いて被測定物表面上のサビ層または被覆層厚を測定す
ることにより、被測定物の真の肉厚および被測定物の表
面のサビ厚または被覆層の肉厚を測定することにある。
付加機能をつけ加えることにより、センサと被測定物の
距離を一定に保つことおよび測定周波数として低周波と
高周波の2つの周波数を用い、低周波測定周波数を用い
て、被測定物全体の肉厚を測定し、高周波測定周波数を
用いて被測定物表面上のサビ層または被覆層厚を測定す
ることにより、被測定物の真の肉厚および被測定物の表
面のサビ厚または被覆層の肉厚を測定することにある。
従来の技術は、センサを固定することにより被測定物と
の距離を一定にする必要があるため、屋内で使用される
ものがほとんどである。本発明は従来技術で不可能であ
つた屋外での測定、さらには、サビ層および被覆層厚の
補正を行うことにより真の肉厚の測定を可能とした点が
異なるものである。
の距離を一定にする必要があるため、屋内で使用される
ものがほとんどである。本発明は従来技術で不可能であ
つた屋外での測定、さらには、サビ層および被覆層厚の
補正を行うことにより真の肉厚の測定を可能とした点が
異なるものである。
次に本発明の実施例について説明する。
なお実施例は一つの例示であつて、本発明の精神を逸脱
しない範囲で、種々の変更あるいは改良を行いうること
は言うまでもない。
しない範囲で、種々の変更あるいは改良を行いうること
は言うまでもない。
第1図は本発明の測定測置の実施例を示すものであつ
て、交番磁界を発生する試験コイル1と、この試験コイ
ルに低周波領域並びに、高周波領域の二周波数の正弦波
を送出する可変周波数交流電源4と、この試験コイル1
の検出信号の検出感度を向上させるブリツジ回路部2
と、このブリツジ回路部の出力信号を検出する検出回路
部7と、試験コイル1を被測定物に一定の力で加圧する
押しつけ機構部とから構成されているものである。
て、交番磁界を発生する試験コイル1と、この試験コイ
ルに低周波領域並びに、高周波領域の二周波数の正弦波
を送出する可変周波数交流電源4と、この試験コイル1
の検出信号の検出感度を向上させるブリツジ回路部2
と、このブリツジ回路部の出力信号を検出する検出回路
部7と、試験コイル1を被測定物に一定の力で加圧する
押しつけ機構部とから構成されているものである。
しかして押しつけ機構部は、圧力センサ3と、加圧駆動
部5並びに駆動制御部6からなり、測定時に、被測定物
に試験コイル1が常に一定の接触力を与える力制御機構
を有するものである。
部5並びに駆動制御部6からなり、測定時に、被測定物
に試験コイル1が常に一定の接触力を与える力制御機構
を有するものである。
また検出回路部は、ブリツジ回路部2の計測制御並びに
計測結果を自動的に再生処理する演算機能を備えた演算
処理装置7を有するものである。
計測結果を自動的に再生処理する演算機能を備えた演算
処理装置7を有するものである。
第2図に試料表面から試験コイルまでの距離に対する出
力電圧の特性を示す。図中の…〇…は試料にサビが無い
時、…△…は試料にサビが有る時である。図よりサビの
有無により、出力信号に明らかに差が現れているが、試
料からコイルが離れるにつれ、その差が小さくなる。距
離が数10μm変化しても、出力電圧は大きく変化し、測
定精度を向上させるためには、距離数10μm程度の制御
の必要なことが判かる。しかし、屋外では距離精度を数
10μm程度で制御することは非常に難しい。このため、
本発明では力制御機構を付加し、被測定物との距離を力
制御することによつて測定精度の向上を図つている。
力電圧の特性を示す。図中の…〇…は試料にサビが無い
時、…△…は試料にサビが有る時である。図よりサビの
有無により、出力信号に明らかに差が現れているが、試
料からコイルが離れるにつれ、その差が小さくなる。距
離が数10μm変化しても、出力電圧は大きく変化し、測
定精度を向上させるためには、距離数10μm程度の制御
の必要なことが判かる。しかし、屋外では距離精度を数
10μm程度で制御することは非常に難しい。このため、
本発明では力制御機構を付加し、被測定物との距離を力
制御することによつて測定精度の向上を図つている。
第3図にコイルと試料との間の接触力と出力電圧との関
係を示す。この図に示すように接触力がある一定力以上
であれば、出力電圧は安定し、力制御機構を付加するこ
とにより、精度良く測定することができることが判か
る。この力制御機構を用いると、数10μm以下の精度で
被測定物との距離を制御できるので、サビ厚と出力電圧
の較正表をあらかじめ作製しておくことにより、ブリツ
ジの出力電圧からサビ層を求めることができる。サビの
導電率及び透磁率は、空気とほぼ同じなのでサビ層と出
力電圧の較正表は、第2図のサビが無い時の計測値とほ
ぼ一致する。さらに、試料の表面状態がサビ状態でな
く、被覆層でも同様な手順で測定が可能である。
係を示す。この図に示すように接触力がある一定力以上
であれば、出力電圧は安定し、力制御機構を付加するこ
とにより、精度良く測定することができることが判か
る。この力制御機構を用いると、数10μm以下の精度で
被測定物との距離を制御できるので、サビ厚と出力電圧
の較正表をあらかじめ作製しておくことにより、ブリツ
ジの出力電圧からサビ層を求めることができる。サビの
導電率及び透磁率は、空気とほぼ同じなのでサビ層と出
力電圧の較正表は、第2図のサビが無い時の計測値とほ
ぼ一致する。さらに、試料の表面状態がサビ状態でな
く、被覆層でも同様な手順で測定が可能である。
第4図に試料の厚さ(3,6,9mm)を変えた場合の周波数
に対する出力電圧を示す。図より試料の厚さにより出力
電圧に明らかな差が現れており、材質および肉厚と出力
電圧の較正表を作製すれば、サビ厚を含めた導体の厚さ
を測定することができる。
に対する出力電圧を示す。図より試料の厚さにより出力
電圧に明らかな差が現れており、材質および肉厚と出力
電圧の較正表を作製すれば、サビ厚を含めた導体の厚さ
を測定することができる。
第5図は、被測定物の概略図であつて、1は試験コイ
ル、△L2はサビ厚または被覆層、△L1はサビ厚(または
被覆層を含に被測定物の厚さ)である。測定にあたつて
は、金属の影響のない所でブリツジの平衡をとり、次に
測定を行うとする管状又は平板の導体に試験コイル1
を、力制御機構を用いて、一定力で押しつける。可変周
波数交流電源4の周波数を数kHz〜数MHzの周波数に設定
する。ブリツジ2の出力電圧と較正表から、被測定物表
面のサビ厚(または被覆層)△L2を測定できる。次に再
度金属の影響のないところで、ブリツジの平衡をとりな
おし、数Hz〜数100Hzの低周波領域の周波数で同じ手順
で測定し、出力電圧と較正表から肉厚△L1を測定する。
低周波領域の測定結果の肉厚△L1と高周波領域の測定結
果の金属表面のサビ厚または被覆層△L2を測定すること
により、真の肉厚△L=△L1−△L2を求めることができ
る。この低周波と高周波の測定周波数は、測定対象物が
限定される場合には、固定して用いることができる。
ル、△L2はサビ厚または被覆層、△L1はサビ厚(または
被覆層を含に被測定物の厚さ)である。測定にあたつて
は、金属の影響のない所でブリツジの平衡をとり、次に
測定を行うとする管状又は平板の導体に試験コイル1
を、力制御機構を用いて、一定力で押しつける。可変周
波数交流電源4の周波数を数kHz〜数MHzの周波数に設定
する。ブリツジ2の出力電圧と較正表から、被測定物表
面のサビ厚(または被覆層)△L2を測定できる。次に再
度金属の影響のないところで、ブリツジの平衡をとりな
おし、数Hz〜数100Hzの低周波領域の周波数で同じ手順
で測定し、出力電圧と較正表から肉厚△L1を測定する。
低周波領域の測定結果の肉厚△L1と高周波領域の測定結
果の金属表面のサビ厚または被覆層△L2を測定すること
により、真の肉厚△L=△L1−△L2を求めることができ
る。この低周波と高周波の測定周波数は、測定対象物が
限定される場合には、固定して用いることができる。
第6図は力付加機構の一実施例であつて、1は試験コイ
ル、8はバネである。図に示すような機構を用いれば、
第1図に示すようなサーボを用いなくても、簡単に力制
御機構を実現でき精度良くサビ厚を測定できる。第7図
は本発明を利用した橋梁添架設備自動点検装置の概略図
を示すものであり、9は点検車、5はマニピユレータ、
10は肉厚センサである。このように人間が直接作業現場
に行き難い状態で、肉厚測定を行なわせる場合には、超
音波センサを用いる場合を想定すると、被測定物表面の
腐蝕を研摩除去し、さらに超音波センサと被測定物間の
音響インピーダンスのミスマツチングを防ぐためにオイ
ル等の充填が必要であり、機械でこれらの複雑な作業を
行なわせるのは非常に難しい。しかし本発明の肉厚測定
測置を用いると、一定以上の力でセンサを管路に押しつ
けるだけで、測定を行うことが可能であるので、この実
施例のように作業者が測定現場に行けない場所にも適応
可能である。さらに高低の二周波数を用いた測定を行う
ことにより、被測定物表面のサビまたは被覆層の影響も
除去でき、精度のよい測定が可能である。
ル、8はバネである。図に示すような機構を用いれば、
第1図に示すようなサーボを用いなくても、簡単に力制
御機構を実現でき精度良くサビ厚を測定できる。第7図
は本発明を利用した橋梁添架設備自動点検装置の概略図
を示すものであり、9は点検車、5はマニピユレータ、
10は肉厚センサである。このように人間が直接作業現場
に行き難い状態で、肉厚測定を行なわせる場合には、超
音波センサを用いる場合を想定すると、被測定物表面の
腐蝕を研摩除去し、さらに超音波センサと被測定物間の
音響インピーダンスのミスマツチングを防ぐためにオイ
ル等の充填が必要であり、機械でこれらの複雑な作業を
行なわせるのは非常に難しい。しかし本発明の肉厚測定
測置を用いると、一定以上の力でセンサを管路に押しつ
けるだけで、測定を行うことが可能であるので、この実
施例のように作業者が測定現場に行けない場所にも適応
可能である。さらに高低の二周波数を用いた測定を行う
ことにより、被測定物表面のサビまたは被覆層の影響も
除去でき、精度のよい測定が可能である。
(発明の効果) 以上説明したように、本発明によれば力制御機構を有し
ているので、屋外でも簡単にセンサと被測定物の距離を
一定に保つことができ、測定精度の向上を図ることがで
きる。
ているので、屋外でも簡単にセンサと被測定物の距離を
一定に保つことができ、測定精度の向上を図ることがで
きる。
また、高周波および低周波の2つの測定周波数を用いて
いるので、低周波の測定による被測定物の全体厚の測定
のみならず、高周波を用いた測定により被測定物体表面
のサビ厚または被覆層を測定することができるので、真
の肉厚のみならず、被覆状態も測定することができる効
果を有するものである。
いるので、低周波の測定による被測定物の全体厚の測定
のみならず、高周波を用いた測定により被測定物体表面
のサビ厚または被覆層を測定することができるので、真
の肉厚のみならず、被覆状態も測定することができる効
果を有するものである。
第1図は本発明の肉厚測定装置の概略図、第2図は試料
表面から試験コイルまでの距離に対する出力電圧の特性
図、第3図はコイルと試料との間の接触力と出力電圧と
の関係、第4図は試料の厚さを変えた場合の周波数に対
する出力電圧、第5図は被測定物の概略図、第6図は力
付加機構の一実施例、第7図は本発明を利用した橋梁添
架設備自動点検装置の概略図を示す。 1……試験コイル、2……交流ブリツジ回路部、3……
圧力センサ、4……可変周波数交流電源、5……加圧駆
動部、6……サーボアンプ、7……マイクロコンピユー
タ、8……バネ、9……試験車、10……肉厚センサ。
表面から試験コイルまでの距離に対する出力電圧の特性
図、第3図はコイルと試料との間の接触力と出力電圧と
の関係、第4図は試料の厚さを変えた場合の周波数に対
する出力電圧、第5図は被測定物の概略図、第6図は力
付加機構の一実施例、第7図は本発明を利用した橋梁添
架設備自動点検装置の概略図を示す。 1……試験コイル、2……交流ブリツジ回路部、3……
圧力センサ、4……可変周波数交流電源、5……加圧駆
動部、6……サーボアンプ、7……マイクロコンピユー
タ、8……バネ、9……試験車、10……肉厚センサ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藪田 哲郎 茨城県那珂郡東海村大字白方字白根162番 地 日本電信電話株式会社茨城電気通信研 究所内 (72)発明者 辻村 健 茨城県那珂郡東海村大字白方字白根162番 地 日本電信電話株式会社茨城電気通信研 究所内 (72)発明者 森光 武則 茨城県那珂郡東海村大字白方字白根162番 地 日本電信電話株式会社茨城電気通信研 究所内 (56)参考文献 特開 昭59−54902(JP,A)
Claims (4)
- 【請求項1】コイルから発生する交番磁界を被測定物で
ある金属に印加して、該金属導体中に誘起された渦電流
を利用して、被測定物の肉厚を測定する測定方法におい
て、交番磁界を発生する試験コイルと、前記試験コイル
低周波領域並びに、高周波領域の二周波数の正弦波を送
出する可変周波数交流電源と、前記試験コイルの検出信
号の検出感度を向上させるブリツジ回路部と、前記ブリ
ツジ回路部の出力信号を検出する検出回路部と、前記試
験コイルを被測定物に一定の力で加圧する押しつけ機構
部とを設け、前記の可変周波数交流電源から高周波領域
の周波数の正弦波を用いて、ブリツジ回路の平衡をと
り、次いで押しつけ機構部で試験コイルを被測定物に一
定の力で加圧し、前記試験コイルに高周波領域の正弦波
を印加して、前記ブリツジ回路部の測定電圧と、予め作
成した各種材料のサビ厚あるいは被覆層の影響を更生し
た更生値を用いて被測定物のサビあるいは被覆層の厚を
求め、次いで前記可変周波数交流電源から低周波領域周
波数の正弦波を用いて、前記ブリツジ回路の平衡をと
り、次いで前記押しつけ機構部を用いて前記試験コイル
を被測定物に一定の力で加圧し、前記試験コイルに低周
波領域周波数の正弦波を印加して、前記ブリツジ回路部
の出力電圧と予め作成した各種材料のサビ厚の影響を更
生した更生値から、サビ層あるいは被覆層も含めた被測
定物全体の厚さを求め、次いで被測定物のサビ厚と、サ
ビ層あるいは被覆層も含めた被測定物全体の厚さの測定
値の差から被測定物の真の肉厚を測定する電磁誘導形肉
厚測定方法。 - 【請求項2】コイルから発生する交番磁界を被測定物で
ある金属に印加して、該金属導体中に誘起された渦電流
を利用して、被測定物の肉厚を測定する装置において、
交番磁界を発生する試験コイルと、前記試験コイルに低
周波領域並びに、高周波領域の二周波数の正弦波を送出
する可変周波数交流電源と、前記試験コイルの検出信号
の検出感度を向上させるブリツジ回路部と、前記ブリツ
ジ回路部の出力信号を検出する検出回路部と、前記試験
コイルを被測定物に一定の力で加圧する押しつけ機構部
とからなることを特徴とする電磁誘導形肉厚測定装置。 - 【請求項3】押しつけ機構部は、圧力センサと、加圧駆
動部並びに、駆動制御部からなり、測定時に、前記被測
定物に前記試験コイルが常に一定の接触力を与える力制
御機構を有することを特徴とする特許請求の範囲第2項
記載の電磁誘導形肉厚測定装置。 - 【請求項4】検出回路部は、ブリツジ回路部の計測制御
並びに、計測結果を自動的に更生処理する演算機能を備
えた演算処理装置を有することを特徴とする特許請求の
範囲第2項記載の電磁誘導形肉厚測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16988286A JPH06100443B2 (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 電磁誘導形肉厚測定方法およびその測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16988286A JPH06100443B2 (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 電磁誘導形肉厚測定方法およびその測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6326502A JPS6326502A (ja) | 1988-02-04 |
| JPH06100443B2 true JPH06100443B2 (ja) | 1994-12-12 |
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ID=15894700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP16988286A Expired - Fee Related JPH06100443B2 (ja) | 1986-07-21 | 1986-07-21 | 電磁誘導形肉厚測定方法およびその測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH06100443B2 (ja) |
-
1986
- 1986-07-21 JP JP16988286A patent/JPH06100443B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6326502A (ja) | 1988-02-04 |
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