JPH06100498B2

JPH06100498B2 - スリツト装置

Info

Publication number: JPH06100498B2
Application number: JP5143387A
Authority: JP
Inventors: 寛塚田
Original assignee: Jasco Corp
Current assignee: Jasco Corp
Priority date: 1987-03-06
Filing date: 1987-03-06
Publication date: 1994-12-12
Anticipated expiration: 2009-12-12
Also published as: JPS63217233A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、スリット装置に係り、特に分光光度計などで
使用される開口幅の可変な２光軸用のスリット装置に関
する。

［従来の技術］例えば分光光度計で波長（波数）走査を行う際、光検出
器側に導かれる光ビームのエネルギーが常に一定となる
ように、光路中のセクターミラーとモノクロメータの間
及びモノクロメータと光検出器の間に、同期的に開口幅
が可変される２つのスリットを設置し、通過ビームの幅
を調整するようにしている。

分光光度計の光学系にリトローマウンティングが使用さ
れているとき、モノクロメータの放物面鏡に入射する光
ビームと放物面鏡から出射する光ビームの光軸は原理的
には平行であるが、各々の光軸間隔が大きくなると平行
度が落ち測定精度を劣化させる。

このため従来は、例えば第８図（Ａ）に示す如く、２組
のスリット200、202を直交配置してセクターミラーから
の入射ビーム204をスリット200を通して放物面鏡206へ
入射させ、放物面鏡206から出射した出射ビーム208を一
旦ミラー210で直角に折曲した後スリット202を通して光
検出器側へ導き、スリット200、202の間隔（スリット開
口幅）を変化させて光エネルギーの調整を行なったり、
第８図（Ｂ）に示す如く、２組のスリット212、214を前
後に並べて配置し、セクターミラーからの入射ビーム21
6をスリット212を通して一旦ミラー218で直角に折曲し
たあと放物面鏡220へ入射させ、放物面鏡220から出射し
た出射ビーム222を一旦ミラー224で直角に折曲したあと
スリット214を通して光検出器側へ導き、スリット212、
214の間隔を変化させるようにしていた。

［発明が解決しようとする問題点］けれども、第８図（Ａ）では各スリット200、202のスリ
ット刃200A、スリット刃200B、スリット刃202A、スリッ
ト刃202Bを個別に４つの移動台226、228、230、232に装
着し、各移動台を各々所定方向へ移動させるようにして
いるので部品点数が多く高価で、構成も大型、複雑とな
り、しかも２つのスリットの同期的移動の為の調整に時
間が掛かっていた。

一方、第８図（Ｂ）では、スリット212のスリット刃212
Aとスリット214のスリット刃214Aが１つの移動台234、
スリット212のスリット刃212Bとスリット214のスリット
刃214Bが１つの移動台236に装着されているものの、ス
リット212と放物面鏡220の間、放物面鏡220とスリット2
14の間に位置の微調整が必要なミラーを別々に２つ設け
ているのでミラーの部品点数が多く高価で光路調整に多
大な手間がかかり、また、ミラーの設置スペースを確保
するためにスリット装置も大型なものとならざるを得な
かった。

本発明の目的は、上記問題点に鑑み、部品点数が少な
く、小型で低廉化を図れ、かつ、組立調整の手間が簡素
なスリット装置を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］本発明に係るスリット装置では、所定の同一面内で所定
の直線上を移動自在な２つの移動架台と、一方の移動架台に前記所定の同一面と平行で段違いに装
備され、他方の移動架台方向へ一方が短く、他方が長く
配設された第１スリット刃及び第２スリット刃と、他方の移動架台に前記所定の同一面と平行で段違いに装
備されるとともに、各々前記第１スリット刃と第２スリ
ット刃に同一面上で相隣るようにして、前記一方の移動
架台方向へ一方が長く、他方が短く配設された第３スリ
ット刃及び第４スリット刃と、前記第１スリット刃と第３スリット刃間の開口に対応し
て前記第２スリット刃に形成された窓と、前記第２スリット刃と第４スリット刃間の開口に対応し
て前記第３スリット刃に形成された窓と、を有することを特徴としている。

［実施例］図面に基づいて本発明の実施例を説明する。第１図乃至
第７図には本発明に係る、分光光度計用の平行２光軸ス
リット装置が示されている。

前ベース10と後ベース12が複数の固定柱14を介して一体
的に結合され、支持枠体16が形成されている。この支持
枠体16の内部には、ギア機構17が設けられており、後ベ
ース12の背面に装備されたステッピングモータ18のモー
タ軸19の回転を減速しながら、前ベース10の中央からや
や下寄りに、前ベース10の前方へ突出するように設けら
れた出力軸20へ伝達する。

出力軸20の先端にはカム取付台としての回転台22が装着
され、更に、この回転台22にカム24が位置決めした状態
で取着されており、ステッピングモータ18の正・逆回転
に応じて、所定の回転角範囲をカム24が時計方向・反時
計方向へ回転する。回転台22には２つの位置合せピン2
6、28が前方に突出するように植設されている。この位
置合せピン26、28は、回転台22の直径上で、第１図の中
心点C₀（回転中心）から互いに対称な距離Ｐだけ離れた
点C₁、C₂を中心として設けられた半径ｑの部材である。

カム24は、２枚の第１カム板30、第２カム板32から成
る。これらの第１カム板30、第２カム板32は半径Ｒの略
半円板状に形成され、各々、位置合せピン26、28に対応
して直径側端縁に穿設された部分円状のピン溝34、36、
38、40を位置合せピン26、28に嵌め合せ位置決めした状
態で、ねじ42により回転台22に取付けられている。

第１カム板30、第２カム板32は、C₀に点対称で、互いの
直径側端縁が平行に向かい合っている。そして、第１カ
ム板30、第２カム板32はその周面が各々、C₁、C₂を結ぶ
直線D₀から見て互いに対称な距離Ｓだけ離れた点e₁、e₂
を中心とする半径Ｒの略半円弧状のカム輪郭線をなすよ
うに配置されている。つまり、カム24は、半径Ｒの円板
を直径に沿って２つ割りし切断線に沿って反対方向へ距
離2Sだけずらした形状を有している。

ここで、カム24の作成手順を説明すると、第４図に示す
ように、まず、一枚の板材から半径Ｒの円板90を打抜き
等で形成する（第４図（Ａ））。次に、円板90の中心Ｃ
を通る直径上で、ＣからＳだけ離れた偏心点ｅより互い
に対称な距離Ｐだけ離れた点f₁、f₂を中心に半径ｑの穴
92、94をドリル等で穿設し、更に、点ｅを中心にf₁、f₂
と同心上でf₁、f₂を結ぶ中心線D₀から反時計方向に45
°、135°、225°、315°の位置にねじ42を通す穴96を
穿設する（第４図（Ｂ））。

続いて、線D₀に沿って。カッターなどで円板90を２つに
切断し、第１カム板30、第２カム板32を形成する（第４
図（Ｃ））。これにより、各第１カム板30、第２カム板
32の直径側端縁にピン溝34、36、38、40が残る。

一方、回転台22には、中心C₀を通る直径上で、C₀から互
いに対称な距離Ｐだけ離れた点C₁、C₂を中心に、半径ｑ
の位置合せピン26、28を植設しておき、また、点C₀を中
心にC₁、C₂と同心上で中心線D₀から反時計方向に45°、
135°、225°、315°の位置に４つの雌ねじ98を形成し
ておく（第４図（Ｄ））。

そして、前記第１カム板30を、ピン溝34、36が位置合せ
ピン26、28に嵌まるようにして回転台22上に位置決め
し、ねじ42を穴96を通し雌ねじ98に螺合して固定する
（第４図（Ｅ）、（Ｆ））。同様に、第２カム板32を、
第１カム板30に対し裏返した状態で、ピン溝38、40が位
置合せピン26、28に嵌まるようにして回転台22上に位置
決めし、ねじ42を穴96を通し雌ねじ98に螺合して固定す
る（第４図（Ｅ）、（Ｆ））。これでカム24が完成す
る。

このようにカム24の構成部材が、円板を形成し２つにカ
ットするだけで出来上るので、製造が極めて簡単であ
り、必要な加工精度を容易に得られ、カム24の複雑な輪
郭を一度に形成する場合に用いる複雑で高価な打抜型等
が要らない。しかも、回転台22に植設した位置合せピン
26、28に、ピン溝34、36、38、40を合わせて位置決めす
ることにより、簡単に組立後の正確な位置精度が出る。
そして、ピン溝34、36、38、40は、円板90の切断前に２
箇所に穴92を穿設するだけで良く、手間が少ない。

前ベース10の上端部には、横方向（第１図の左右方向）
にリニアガイドレール44が装着されており、このリニア
ガイドレール44に２組の移動架台46、48が横移動自在に
結合されている。移動架台46、48は左右対称に構成され
ており、リニアガイドレール44に嵌合した移動台50、52
と、この移動台50、52に各々ねじ54で装着された取付支
柱56、58とから成る。移動台50、52は、第２図に示す如
く、断面略コ字状に形成され、内面側にリニアベアリン
グ66が設けられてリニアガイドレール44のベアリング溝
45に嵌まっており、リニアガイドレール44に対する移動
架台46、48の同一面内における円滑で高精度な直線左右
方向（リニアガイドレール44の軸方向）への移動と、リ
ニアガイドレール44と移動架台46及びリニアガイドレー
ル44と移動架台48間の確実な結合が確保されるととも
に、リニアガイドレール44の軸回りへの移動が拘束され
ている。

取付支柱56、58は、リニアガイドレール44に対し直角に
第１図の上下方向へ配設されている。そして、下端部で
C₀と同じ高さには、左右のリニアガイドレール44、移動
架台48に対し対称に、各々第１カム板30、第２カム板32
に接するようにして同径のローラ60、62が装着されてお
り、カム24が第１図の時計方向へ回転するとき、ローラ
62と第１カム板30の当接位置が除々に左へずれていきロ
ーラ62が第１カム板30に押圧されて左方の力を受け、逆
にローラ60と第２カム板32の当接位置が除々に右へずれ
ていきローラ60が第２カム板32に押圧されて右方の力を
受け、２つの移動架台46、48がリニアガイドレール44に
案内されながら互いに横方向反対側へ同じ距離ずつ対称
移動し間隔を広げる。移動台50、52とローラ60、62の中
間の取付支柱56、58に固着されたばね止めピン64、65間
には引張コイルスプリング68が張設されて取付支柱56、
58を、各々常時右方と左方へ引張っておりローラ60、62
を第２カム板32、第１カム板30に押しつけている。よっ
て、カム24が第１図の半時計方向へ回転するとき、２つ
の移動架台46、48はリニアガイドレール44に案内されな
がら互いに横方向反対側へC₀に向かって同じ距離ずつ対
称移動し間隔を狭める。

移動架台46、48の移動中、取付支柱56、58は互いに平行
を保ち、かつ、前面が常に同一平面に含まれるようにな
っている。

第５図（Ａ）、（Ｂ）に示すように取付支柱56の上部に
は、２枚の左第１スリット刃70、左第２スリット刃72
が、当て板74を介してねじ76により取着されている。
又、取付支柱58の上部にも、同様にして２枚の右第１ス
リット刃78、右第２スリット刃80が、当て板74を介して
ねじ76により取着されている。左第１スリット刃70、左
第２スリット刃72及び、右第１スリット刃78、右第２ス
リット刃80は、それぞれ前後に２枚重ね合わされてお
り、かつ、左第１スリット刃70と右第１スリット刃78、
左第２スリット刃72と右第２スリット刃80が各々取付支
柱56、58の移動面と平行な面内で面一となっている。左
第１スリット刃70、左第２スリット刃72、右第１スリッ
ト刃78、右第２スリット刃80は、例えば、厚さ100μ程
度でエッチング等によりタワミや曲りが無いように加工
されている。左第１スリット刃70と右第２スリット刃80
は方形の同一の大きさに形成され、又、左第２スリット
刃72と右第１スリット刃78も方形の同一の大きさに形成
され、左第２スリット刃72、右第１スリット刃78が左第
１スリット刃70、右第２スリット刃80より大きく形成さ
れており、移動架台46、48の間隔の大小に拘わらず、左
第２スリット刃72の前面と右第１スリット刃78の背面は
常時接するようになっている（第５図（Ｂ））。つま
り、左第１スリット刃70と左第２スリット刃72は段違い
で、取付支柱58方向へ左第１スリット刃70が短く、左第
２スリット刃72が長く配設されており、また、右第１ス
リット刃78と左第１スリット刃70も段違いで取付支柱56
方向へ右第１スリット刃78が長く右第２スリット刃80が
短く配設されている。また、左第２スリット刃72と右第
１スリット刃78は前方から見て左右対称の所定位置に窓
73、79が穿設されている。

左第２スリット刃72と右第２スリット刃80の対向側端縁
の刃先84、88は互いに平行で、リニアガイドレール44に
対し直角となっており、また、左第１スリット刃70、右
第１スリット刃78の対向側の刃先82、86も互いに平行
で、リニアガイドレール44に対し直角方向とされてい
る。そしてC₀を含み、リニアガイドレール44を垂直に横
切る面PL₀から刃先82までの距離と刃先88までの距離は
常に等しく、又、面PL₀から刃先84までの距離と刃先86
までの距離も常に等しくなるように、各左第１スリット
刃70、左第２スリット刃72、右第１スリット刃78、右第
２スリット刃80が取付支柱56、58に取付けられており、
従って、カム24が反時計方向に回転して行き移動架台46
と左第１スリット刃70、左第２スリット刃72、及び、移
動架台48と右第１スリット刃78、右第２スリット刃80が
一体的に移動すると、或る回転角度の所で刃先82と刃先
86、刃先84と刃先88が同時に接する（第１図参照）。こ
のときの接触線をA₀、B₀とし、当該回転角度をスタート
位置にして、カム24が時計方向へ回転して行くと、刃先
82と刃先86、刃先84と刃先88が互いに同一面内で開いて
行き、この際移動台50と移動台52の移動距離が常に等し
く互いに反対なので、A₀から刃先82、86までの距離t₁、
t₂、B₀から刃先84、88までの距離t₃、t₄も全て等しくな
る。即ち刃先82と刃先86、刃先84と刃先88の開口の幅方
向の中心は常に一定でA₀、B₀である。カム24の時計方向
回転が所定の回転角度までに制限されているとき、該回
転角度に達したときに刃先82と刃先86、刃先84と刃先88
の開口幅（スリット幅）Ｔは最大となる（第３図参
照）。これをTmaxとすると、前記窓73は刃先82と刃先86
がＴ＝０〜Tmaxまで変化する間、刃先82、86間の開口を
前後方向に通過する光ビームを左第２スリット刃72で遮
ぎらないよう最大開口幅を含めて形成されており、同様
にして、窓79は、刃先84と刃先88がＴ＝０〜Tmaxまで変
化する間、刃先84、88間の開口を、前後に通過する光ビ
ームを右第２スリット刃80で遮ぎらないよう最大開口幅
を含めて形成されている。

刃先82、86、窓73で囲まれる範囲が第１スリット部10
0、刃先84、88、窓79で囲まれる範囲が第２スリット部1
02となる。この第１スリット部100と第２スリット部102
は、互いにほぼ同一面内に横に並んで形成されており、
かつ、至近距離に隣り合わせることができるので、平行
近接２光軸の光ビームにそのまま適用でき、ミラーが要
らないスリット装置が得られる。しかも、２つの第１ス
リット部100、第２スリット部102のスリット幅の可変を
１本のリニアガイドレール44に結合した２つの移動台5
0、52の移動だけで行なえるので、部品点数が少なくて
済み構成が小型で簡単、安価となる。

スリット装置は、例えばリトローマウンティングを用い
た分光光度計の中で、第６図の如き位置に配置され、セ
クターミラー（図示せず）側からミラーの反射などを経
て第１光軸LK1に沿って入射された光ビーム（参照光
束、試料光束）は、第１スリット部100の中心を通った
あと、放物面鏡104で反射され、回折格子106で所定の波
数の単色光に分光される。そして、回折格子106から反
射した単色光ビームは放物面鏡104で再び反射され第１
光軸LK1と平行な第２光軸LK2に沿って進み、第２スリッ
ト部102の中心を通ったあと、光検出器側へ導かれる。

リトローマウンティングを使用した光学系では、第１光
軸LK1と第２光軸LK2が近いほど第１光軸LK1に沿って放
物面鏡104へ入射する光ビームと放物面鏡104で反射し第
２光軸LK2に沿って出射する光ビームの平行度が向上す
る。従って、本実施例に係るスリット装置では、第１ス
リット部100と第２スリット部102の間隔（A₀-B₀）を小
さくできるので、セクタミラー側から光検出器側に至る
光学系の特性が良好となる。分光光度計は波数走査しな
がら試料光強度／参照光強度の測定を行なうがこの波数
走査に連動してステッピングモータ18が回転制御され第
１スリット部100、第２スリット部102のスリット幅Ｔが
変えられて各波数での光検出器側に導かれる光エネルギ
を一定とする。任意の波数に対し、該波数のときに必要
なスリット幅は予めわかっており、必要なスリット幅と
なるようにステッピングモータ18に対しモータ駆動回路
300を介して接続されたスリットコントローラ302の制御
で回転制御される。

スリットコントローラ302は例えばバス接続されたメモ
リ304とCPU306を含むマイクロコンピュータで構成され
ており、メモリ304には、CPU306にスリット制御処理を
実行させるためのスリット制御用のプログラム並びに波
数と回転角（ステップ数；スリット幅に対応）の対応テ
ーブルが格納されている。そして、CPU306は、外部から
例えば一定波数ずつ変化される波数走査データを入力す
る毎に、テーブルを参照して現在位置から進めるべき或
は戻すべきステップ変化量を求めステップパルス信号を
モータ駆動回路300へ出力する。モータ駆動回路300はス
テップパルス信号を入力すると、対応する量だけステッ
ピングモータ18を回転駆動する。このステッピングモー
タ18の回転で、スリット幅Ｔが波数走査に応じて変化し
ていく。

ここで、通例、走査は高波数から低波数へなされ、波数
が大きい走査領域では光エネルギーが強いので、スリッ
ト幅Ｔを小さく絞り単位波数分走査が進むときのスリッ
ト幅変化を小さくしないと、光検出器側に入射される光
エネルギが大きく変化してしまい、検出信号のS/Nや波
数分解能に悪影響を与える。

逆に、波数が小さい走査領域では光エネルギーが弱いの
で、スリット幅Ｔを大きくするとともに、単位波数分走
査が進むときのスリット幅変化も大きくないと、波数低
下に伴う光エネルギーの低下速度にスリット幅変化が追
いつかず、光検出器側に入射される光エネルギーが大き
く減少変化してしまう。

よって、仮にステッピングモータの１ステップ当りのス
リット幅変化量が、ステップ数によらずほぼ一定の場
合、１ステップ当りのスリット幅変化量が大きく設定さ
れたとき、高い波数域で検出信号のS/Nや測定値の波数
分解能が悪化する問題が生じ、逆に１ステップ当りのス
リット幅変化量が小さく設定されたとき低い波数域でス
テッピングモータの回転が間に合わなくなり同様の問題
が生じる。

ステッピングモータ18のステップ数はカム24の回転角に
対応しており、ここで本実施例に示したスリット装置に
おけるカム24の回転角とスリット幅Ｔの関係を求める。
第１図で、C₀を通り左方へ水平に引いた直線Ｘを基準に
直線D₀とのなす角度をθとし、C₀〜e₁＝C₀〜e₂＝1.5m
m、Ｒ＝13.5mmとした場合、θ＝12°の最小位置からθ
＝135°の最大位置までカム24が時計方向へ回転する間
のスリット幅Ｔの変化は簡単な極座標計算で求まり第７
図の如くなる。この第７図を参照すると、θ＝12°の位
置をステップ零としステッピングモータ18を正転方向
（カム24が時計方向へ回転する方向）へ回転し始めたと
き、ステップ数が少ない間は１ステップ当りのスリット
幅変化量が小さく、ステップ数が多くなると１ステップ
当りのスリット幅変化量が大きくなることがわかる。

従って、波数走査に連動してスリットコントローラ302
でステッピングモータ18を回転制御する際、高い波数域
に対してはスリット幅Ｔが狭い状態で１ステップずつ変
化させれば、光エネルギーが細かく調整されるので容易
に光検出器側に入射する光エネルギーを一定とでき、ま
た、波数の低下に応じてステップ数を増して行くと１ス
テップ当りのスリット幅変化量が大きくなるので波数低
下に伴う光エネルギの低下に十分追従した速い速度でス
リットが開き、高波数のときと同様に容易に光検出器へ
の入射エネルギーを一定とできる。

前記メモリ304に格納された波数−ステップ数の対応テ
ーブルは、第７図の関係を前提にして作成されているの
は勿論である。

CPU306は、走査を開始する前に、ステッピングモータ18
を回転させ、ギヤ機構17に設けた位置センサがギアの所
定の回転位置を検出したところでステッピングモータ18
を停止し、波数走査の開始波数に対応したスリット幅T₀
（≠0;例えばT₀＝1mm）にイニシャライズ設定する。こ
れにより、その後CPU306で行われるスリット制御中、波
数走査に正確に対応したスリット幅変化を得ることがで
きる。なお、高い波数から低い波数へ走査する間に、ス
テッピングモータ18のステップ数が常に増大されるので
なく、光源の波数特性によっては一部の範囲で減少され
ることもある。

本実施例では、移動架台46、48に、各々、左第１スリッ
ト刃70、左第２スリット刃72と右第１スリット刃78、右
第２スリット刃80を取着し、この際左第１スリット刃7
0、左第２スリット刃72と右第１スリット刃78、右第２
スリット刃80が段違いで対称な逆合せ状態となるように
配設し、かつ、移動架台48方向に延びた左第２スリット
刃72と、移動架台46方向へ延びた右第１スリット刃78
に、左第１スリット刃70、右第２スリット刃80との段差
箇所を含み移動架台46、48の近くまで穿設された窓73、
79を設け、移動架台46、48が互いに左右反対方向へ等距
離ずつ対称移動するようにしたことにより、至近した距
離に２つの第１スリット部100、第２スリット部102を横
に並べて形成し、かつ、スリット中心線を不変にした状
態で同期的に開閉させることができ、リトローマウンテ
ィングを用いた分光光度計に対し、放物面鏡104への入
射光ビームとこの入射光ビームに至近した放物面鏡104
からの出射光ビームをミラーで折曲させることなくその
まま第１スリット部100、第２スリット部102に通し光エ
ネルギーの調節を行なうことが可能となり、スリット装
置と放物面鏡104間の光学系が単純化して光路に対する
位置調整が容易になる。これに対し、スリットと放物面
鏡104間にミラーが入る場合には、スリットとミラー、
ミラーと放物面鏡104の位置関係を微調整しなければな
らない。しかも、２つの第１スリット部100、第２スリ
ット部102の同期的開口幅変更が移動架台46、48を対称
に移動させるだけで行なえるので移動架台が２つで済む
とともに、移動架台を付勢する移動機構も簡単で済み、
部品点数の減少によるコストの低廉化と組立の容易化を
図れ、合わせて、２つの第１スリット部100、第２スリ
ット部102の同期的移動動作の為の面倒な調整の手間も
殆ど無くすことができる。

また、１つのリニアガイドレール44に、移動架台46、48
を嵌合し、リニアガイドレール44の軸方向に対する移動
架台46、48の移動を自在とし、リニアガイドレール44の
軸回りへの移動を拘束したことにより、簡単な構成で移
動架台46、48を同一平面上に配置し、かつ、同一面内に
おける直線的対称移動を精度良く行わせることができ、
移動架台46、48に左第１スリット刃70、左第２スリット
刃72、右第１スリット刃78、右第２スリット刃80を取付
ける際の左第１スリット刃70、左第２スリット刃72、右
第１スリット刃78、右第２スリット刃80の取付姿勢調整
が簡略になるとともに、第１スリット部100、第２スリ
ット部102の幅変化の再現性が向上する。また移動架台4
6、48とリニアガイドレール44間にリニアベアリング66
を介在させ、更に、左第２スリット刃72と右第２スリッ
ト刃80を接触させて互いに案内させるようにしたことに
より、移動架台46、48の移動も円滑になされる。

また、略半円状の２枚の第１カム板30、第２カム板32を
直径側端縁に沿って反対方向へ偏心させ回転台22に取着
して形成したカム24で移動架台46、48の移動を行うよう
にしたことにより、カム24の構成部材が円板を形成し２
つにカットするだけでできるので、製造が極めて容易で
あり、しかも、回転台22に植設した位置合せピン26、28
に、ピン溝34、36、38、40を合わせて第１カム板30、第
２カム板32の位置決めをさせたことにより組立後の正確
な位置精度を確保できる。そして、ピン溝34、36、38、
40は、円板90の切断前に２箇所に穴92を穿設するだけで
良く、加工の手間が省ける。更に、カム24の輪郭が、回
転中心に対し円を偏心させた形となっており、移動架台
46、48間の間隔が狭い状態では回転角の変化に対するス
リット幅変化の割合が小さく、従って高い波数域での細
かい光エネルギー調整を容易に行え、移動架台46、48の
間隔が広くなると前記割合が大きくなって、低い波数域
での走査速度に比し速い光エネルギー低下に十分追従し
たスリット開制御が可能となり、波数域に拘わらず光検
出器への入射光エネルギーを略一定に保てるので、検出
信号のS/Nや測定値の波数走査分解能が良好となる。

なお、上記実施例では、左第１スリット刃70と左第２ス
リット刃72、右第１スリット刃78と右第２スリット刃80
をじかに重ねたが間にスペーサを介装してもよい。ま
た、リニアガイドレール44に対し移動台50、52が略コ字
状に嵌合されているが、レールを断面口状に囲むように
嵌合させてもよく、更に、レールも一続きでなく、真中
（第１図PL₀面）部分で分かれた２つのレール部材を直
線状に配設して構成してもよい。また、回転台22に対す
る第１カム板30、第２カム板32の位置決めを円形断面の
位置合せピン26、28で行なうようにしているが、方形、
六角その他の断面形状のピンを用いても良い。また、位
置決めピンの位置は必ずしも回転台22の直径上でなくて
もよい。

［発明の効果］本発明に係るスリット装置では、所定の同一面内で所定
の直線上を移動自在に備えた２つの移動架台の内、一方
の移動架台に前記所定の同一面と平行で段違いに他方の
移動架台方向へ一方を短く、他方を長くして、第１スリ
ット刃と第２スリット刃を装備し、他方の移動架台に前
記所定の同一面と平行で段違いに、かつ、各々第１スリ
ット刃と第２スリット刃に同一面上で相隣るようにし
て、前記一方の移動架台方向へ一方を長く他方を短くし
た第３スリット刃と第４スリット刃を装備し、第１スリ
ット刃と第３スリット刃間の開口に対応して第２スリッ
ト刃に窓を設け、第２スリット刃と第４スリット刃間の
開口に対応して第３スリット刃に窓を設けたことによ
り、２つの移動架台の移動に応じて同期的にスリット幅
の変化する２つのスリット部を至近距離に並置して形成
することができ、略平行で間隔の近い２光軸を通る光ビ
ームに対するスリット幅調整を、２つの移動架台の移動
だけでミラーを用いずに可能となり、部品点数が少なく
簡単な構成となるのでスリット装置の小型、低廉化を図
れるとともに組立、調整の簡素化が可能になるという優
れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る平行二光軸用スリット装置の正面
図、第２図は第１図の側面図、第３図は第１図のスリッ
ト装置がスリット幅を最大にした状態を示す正面図、第
４図は第１図中のカムの製造、組立手順を示す説明図、
第５図は第１図中のスリット刃の組立手順を示す図であ
り、その内図（Ａ）は組立説明図、図（Ｂ）は組立後の
斜視図、第６図は第１図のスリット装置を分光光度計に
組み込んで使用している状態を示す説明図、第７図は第
１図中のカムの回転角とスリット幅の関係を示す線図、
第８図は従来の分光光度計の光学系の一部を示す概略構
成図であり、図（Ａ）は２つのスリットが直交配置され
た例、図（Ｂ）は２つのスリットが前後に配置された例
を示す。 44:リニアガイドレール 46、48:移動架台 70:左第１スリット刃 72:左第２スリット刃 78:右第１スリット刃 80:右第２スリット刃

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の同一面内で所定の直線上を移動自在
な２つの移動架台と、一方の移動架台に前記所定の同一面と平行で段違いに装
備され、他方の移動架台方向へ一方が短く、他方が長く
配設された第１スリット刃及び第２スリット刃と、他方の移動架台に前記所定の同一面と平行で段違いに装
備されるとともに、各々前記第１スリット刃と第２スリ
ット刃に同一面上で相隣るようにして、前記一方の移動
架台方向へ一方が長く、他方が短く配設された第３スリ
ット刃及び第４スリット刃と、前記第１スリット刃と第３スリット刃間の開口に対応し
て前記第２スリット刃に形成された窓と、前記第２スリット刃と第４スリット刃間の開口に対応し
て前記第３スリット刃に形成された窓と、を有することを特徴とするスリット装置。
【請求項２】前記第１スリット刃と第３スリット刃の対
向側端縁及び第２スリット刃と第４スリット刃の対向側
端縁は、前記２つの移動架台が移動する前記所定の直線
上に対し直角に形成されていることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のスリット装置。
【請求項３】前記第１スリット刃と第３スリット刃間の
開口幅が零のとき、前記第２スリット刃と第４スリット刃の開口幅も零であ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のスリッ
ト装置。
【請求項４】前記２つの移動架台は互いに反対方向へ等
距離ずつ移動されることを特徴とする特許請求の範囲第
１項又は第３項記載のスリット装置。