JPH06101770A - 圧力制御用可変容量バルブ - Google Patents
圧力制御用可変容量バルブInfo
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- JPH06101770A JPH06101770A JP27553592A JP27553592A JPH06101770A JP H06101770 A JPH06101770 A JP H06101770A JP 27553592 A JP27553592 A JP 27553592A JP 27553592 A JP27553592 A JP 27553592A JP H06101770 A JPH06101770 A JP H06101770A
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- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】制御性能を向上させると共に省スペース化を図
った圧力制御用可変容量バルブを提供する。 【構成】気密容器１を有する各種装置に於いて、複数の
固定弁孔１２，２６を有する固定弁板４，２４を気密容
器等装置内部にガスの流れを遮断する様に設けると共に
前記固定弁孔に合致可能な可動弁孔１４，２７を有する
可動弁板１３，２５を前記固定弁板に対して移動可能に
設け、両弁板の位置調整により前記固定弁孔と可動弁孔
とがなす開口面積を変更する様にし、気密容器内の圧力
を制御する。
った圧力制御用可変容量バルブを提供する。 【構成】気密容器１を有する各種装置に於いて、複数の
固定弁孔１２，２６を有する固定弁板４，２４を気密容
器等装置内部にガスの流れを遮断する様に設けると共に
前記固定弁孔に合致可能な可動弁孔１４，２７を有する
可動弁板１３，２５を前記固定弁板に対して移動可能に
設け、両弁板の位置調整により前記固定弁孔と可動弁孔
とがなす開口面積を変更する様にし、気密容器内の圧力
を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ製造装置、ＬＣ
Ｄ製造装置等、真空処理室を有する各種装置に用いられ
る圧力制御用可変容量バルブ（ＶＣＶ）に関するもので
ある。
Ｄ製造装置等、真空処理室を有する各種装置に用いられ
る圧力制御用可変容量バルブ（ＶＣＶ）に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来の可変コンダクタンスバルブについ
て図１１に於いて説明する。
て図１１に於いて説明する。
【０００３】気密容器１の内部には上電極２、下電極３
が相対向して設けられ、被処理基板は前記下電極３に載
置される。前記上電極２から反応ガスが供給され、又前
記上電極２、下電極３に高周波電力が印加され両電極間
にプラズマが発生され、前記被処理基板の表面にＣＶＤ
処理（化学気相蒸着）、エッチング等の処理が行われ
る。
が相対向して設けられ、被処理基板は前記下電極３に載
置される。前記上電極２から反応ガスが供給され、又前
記上電極２、下電極３に高周波電力が印加され両電極間
にプラズマが発生され、前記被処理基板の表面にＣＶＤ
処理（化学気相蒸着）、エッチング等の処理が行われ
る。
【０００４】前記気密容器１はバッフル板４によって真
空処理室５と排気室６に区画され、更に該排気室６には
排気管７が連通されている。
空処理室５と排気室６に区画され、更に該排気室６には
排気管７が連通されている。
【０００５】該排気管７にはメインバルブ８、可変容量
バルブ９が設けられ、更に排気ポンプ１０が接続されて
いる。前記上電極２より真空処理室５に供給された反応
ガスは前記バッフル板４を通って排気室６に至り、更に
排気管７を経て排気される。
バルブ９が設けられ、更に排気ポンプ１０が接続されて
いる。前記上電極２より真空処理室５に供給された反応
ガスは前記バッフル板４を通って排気室６に至り、更に
排気管７を経て排気される。
【０００６】処理品質を一定にする為には、前記気密容
器１内の圧力を所定の値に保持する必要があるが、この
圧力制御は圧力計１１によって前記気密容器１内の圧力
を検知し、前記圧力計１１の検知した圧力が設定した圧
力と同一となる様、前記可変容量バルブ９の排気容量を
変更することで行っていた。
器１内の圧力を所定の値に保持する必要があるが、この
圧力制御は圧力計１１によって前記気密容器１内の圧力
を検知し、前記圧力計１１の検知した圧力が設定した圧
力と同一となる様、前記可変容量バルブ９の排気容量を
変更することで行っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが前記した従来
の圧力制御用可変容量バルブは排気管の途中に設けてあ
る為、排気管７の径に応じたスペースを必要としてい
る。
の圧力制御用可変容量バルブは排気管の途中に設けてあ
る為、排気管７の径に応じたスペースを必要としてい
る。
【０００８】更に、圧力制御を行う場合圧力計１１と可
変容量バルブ９が離れていると、制御時間が長くなり、
制御精度が低下する。前記した従来の圧力制御用可変容
量バルブでは圧力計１１と可変容量バルブ９が離れてお
り、而も構造上両者を近付けることができないという問
題があった。
変容量バルブ９が離れていると、制御時間が長くなり、
制御精度が低下する。前記した従来の圧力制御用可変容
量バルブでは圧力計１１と可変容量バルブ９が離れてお
り、而も構造上両者を近付けることができないという問
題があった。
【０００９】本考案は斯かる実情に鑑み、可変容量バル
ブを気密容器内に組込む様にし、圧力計と可変容量バル
ブとを接近させ、制御性能を向上させると共に省スペー
ス化を図ろうとするものである。
ブを気密容器内に組込む様にし、圧力計と可変容量バル
ブとを接近させ、制御性能を向上させると共に省スペー
ス化を図ろうとするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、気密容器を有
する各種装置に於いて、複数の固定弁孔を有する固定弁
板を気密容器等装置内部にガスの流れを遮断する様に設
けると共に前記固定弁孔に合致可能な可動弁孔を有する
可動弁板を前記固定弁板に対して移動可能に設け、両弁
板の位置調整により前記固定弁孔と可動弁孔とがなす開
口面積を変更する様にしたことを特徴とするものであ
る。
する各種装置に於いて、複数の固定弁孔を有する固定弁
板を気密容器等装置内部にガスの流れを遮断する様に設
けると共に前記固定弁孔に合致可能な可動弁孔を有する
可動弁板を前記固定弁板に対して移動可能に設け、両弁
板の位置調整により前記固定弁孔と可動弁孔とがなす開
口面積を変更する様にしたことを特徴とするものであ
る。
【００１１】
【作用】可動弁板を固定弁板に対して変位させることで
固定弁孔と可動弁孔とがなす開口面積が変化し、圧力降
下が制御され、気密容器内の圧力が制御される。
固定弁孔と可動弁孔とがなす開口面積が変化し、圧力降
下が制御され、気密容器内の圧力が制御される。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を
説明する。
説明する。
【００１３】図１〜図３により本考案の第１の実施例を
説明する。尚、図１〜図３中、図１１中で示したものと
同一のものには同符号を付しその説明を省略する。
説明する。尚、図１〜図３中、図１１中で示したものと
同一のものには同符号を付しその説明を省略する。
【００１４】固定弁板を兼ねるバッフル板４の下電極３
両側方には、それぞれ固定弁孔を兼ねる通気孔１２を所
要数穿設し、前記バッフル板４の下面に気密に可動弁板
１３を下電極３両側方に摺動自在に設ける。該可動弁板
１３には前記通気孔１２に合致する可動弁孔１４を穿設
する。前記左右の可動弁板１３は連結部材１５によって
前後が連結され、左右の可動弁孔１４は一体に摺動する
様になっている。
両側方には、それぞれ固定弁孔を兼ねる通気孔１２を所
要数穿設し、前記バッフル板４の下面に気密に可動弁板
１３を下電極３両側方に摺動自在に設ける。該可動弁板
１３には前記通気孔１２に合致する可動弁孔１４を穿設
する。前記左右の可動弁板１３は連結部材１５によって
前後が連結され、左右の可動弁孔１４は一体に摺動する
様になっている。
【００１５】前記連結部材１５の一方には、駆動シャフ
ト１６が連結され、該駆動シャフト１６は気密容器１を
貫通し、該駆動シャフト１６の気密容器１貫通箇所はベ
ローズ１７によって気密にシールしてある。
ト１６が連結され、該駆動シャフト１６は気密容器１を
貫通し、該駆動シャフト１６の気密容器１貫通箇所はベ
ローズ１７によって気密にシールしてある。
【００１６】ステッピングシリンダ、モータ等適宜な駆
動手段１８を前記駆動シャフト１６に連結し、該駆動手
段１８により前記可動弁板１３を移動させることで前記
通気孔１２と前記可動弁孔１４のなす開口面積を変更
し、バッフル板４、可動弁板１３を通過するガスの排気
量を制御する。尚、可動弁板１３の移動量については圧
力計１１の検出結果に基づき図示しない制御器が、前記
駆動手段１８を制御することで決定される。
動手段１８を前記駆動シャフト１６に連結し、該駆動手
段１８により前記可動弁板１３を移動させることで前記
通気孔１２と前記可動弁孔１４のなす開口面積を変更
し、バッフル板４、可動弁板１３を通過するガスの排気
量を制御する。尚、可動弁板１３の移動量については圧
力計１１の検出結果に基づき図示しない制御器が、前記
駆動手段１８を制御することで決定される。
【００１７】前記可動弁板１３を移動させ、該可動弁板
１３により完全に前記通気孔１２を閉塞することが可能
であり、又、バッフル板４に対して前記可動弁板１３が
摺動するので両者の間に間隙が生じガス漏れが考えられ
るが、前記可動弁板１３の移動量はガス漏れを考慮して
決定される。尚、図中、２２は排気マニホールドを示
す。
１３により完全に前記通気孔１２を閉塞することが可能
であり、又、バッフル板４に対して前記可動弁板１３が
摺動するので両者の間に間隙が生じガス漏れが考えられ
るが、前記可動弁板１３の移動量はガス漏れを考慮して
決定される。尚、図中、２２は排気マニホールドを示
す。
【００１８】図４は第２の実施例を示しており、該実施
例では前記通気孔１２が下電極３の周囲に穿設された例
であり、この場合可動弁板１３は矩形枠状となり、前記
全ての通気孔１２に対応する可動弁孔１４が穿設されて
いることは言う迄もない。
例では前記通気孔１２が下電極３の周囲に穿設された例
であり、この場合可動弁板１３は矩形枠状となり、前記
全ての通気孔１２に対応する可動弁孔１４が穿設されて
いることは言う迄もない。
【００１９】次に、図５、図６は第３の実施例を示し、
該実施例では電極が円形状をしている場合であり、バッ
フル板４はドーナッツ形状をしており、又通気孔１２は
同心状に穿設されている。又、可動弁板１３もドーナッ
ツ形状で回転可能に設けられ、且前記通気孔１２に合致
する可動弁孔１４が穿設されている。前記可動弁板１３
の円周にはギア１９が刻設され、該ギア１９には駆動手
段１８の回転出力軸に嵌着された駆動ギア２０が噛合
し、該駆動ギア２０を介して前記駆動手段１８によって
前記可動弁板１３が回転され、通気孔１２と可動弁孔１
４がなす開口面積が調整される様になっている。図６
中、２１は可動弁板１３のガイドローラである。
該実施例では電極が円形状をしている場合であり、バッ
フル板４はドーナッツ形状をしており、又通気孔１２は
同心状に穿設されている。又、可動弁板１３もドーナッ
ツ形状で回転可能に設けられ、且前記通気孔１２に合致
する可動弁孔１４が穿設されている。前記可動弁板１３
の円周にはギア１９が刻設され、該ギア１９には駆動手
段１８の回転出力軸に嵌着された駆動ギア２０が噛合
し、該駆動ギア２０を介して前記駆動手段１８によって
前記可動弁板１３が回転され、通気孔１２と可動弁孔１
４がなす開口面積が調整される様になっている。図６
中、２１は可動弁板１３のガイドローラである。
【００２０】図７〜図１０は第４の実施例を示してお
り、該実施例では圧力制御用可変容量バルブを気密容器
１の排気マニホールド２２の所要位置、例えば気密容器
１の排気口２３に設けた場合を示している。
り、該実施例では圧力制御用可変容量バルブを気密容器
１の排気マニホールド２２の所要位置、例えば気密容器
１の排気口２３に設けた場合を示している。
【００２１】排気口２３に固定弁板２４を設け、又可動
弁板２５を摺動自在に設け、前記固定弁板２４には固定
弁孔２６が穿設され、前記可動弁板２５には可動弁孔２
７が穿設されている。前記可動弁板２５は駆動手段１８
によってスライドされ、前記固定弁孔２６と前記可動弁
孔２７とがなす開口の面積が調整される。
弁板２５を摺動自在に設け、前記固定弁板２４には固定
弁孔２６が穿設され、前記可動弁板２５には可動弁孔２
７が穿設されている。前記可動弁板２５は駆動手段１８
によってスライドされ、前記固定弁孔２６と前記可動弁
孔２７とがなす開口の面積が調整される。
【００２２】図９は該実施例における全開状態を示し、
図１０は全閉状態を示している。
図１０は全閉状態を示している。
【００２３】尚、固定弁孔、可動弁孔の形状、数、更に
可動弁板の可動手段等、種々変更を加え得ることは言う
迄もない。
可動弁板の可動手段等、種々変更を加え得ることは言う
迄もない。
【００２４】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、下記の
優れた効果を発揮する。
優れた効果を発揮する。
【００２５】 圧力制御用可変容量バルブを気密容器
等装置内に組込んでいるので、圧力制御用可変容量バル
ブの為のケースが不要となると共に圧力制御用可変容量
バルブ設置の為のスペースが不要となり、装置の小型化
ができる。
等装置内に組込んでいるので、圧力制御用可変容量バル
ブの為のケースが不要となると共に圧力制御用可変容量
バルブ設置の為のスペースが不要となり、装置の小型化
ができる。
【００２６】 圧力制御用可変容量バルブを気密容器
等装置内に組込んでいるので圧力計を圧力制御用可変容
量バルブに近接させて設けることができ、圧力制御性能
が向上し、圧力設定を短時間で行える。
等装置内に組込んでいるので圧力計を圧力制御用可変容
量バルブに近接させて設けることができ、圧力制御性能
が向上し、圧力設定を短時間で行える。
【００２７】 気密容器の保守、清浄時に圧力制御用
可変容量バルブの清浄を合わせて行うことができる。
可変容量バルブの清浄を合わせて行うことができる。
【図１】本発明の一実施例を示す概略立断面図である。
【図２】同前一実施例を示す概略側断面図である。
【図３】同前一実施例を示す概略平断面図である。
【図４】第２の実施例を示す要部斜視図である。
【図５】第３の実施例を示す要部斜視図である。
【図６】同前実施例の要部断面図である。
【図７】第４の実施例を示す概略平断面図である。
【図８】同前実施例の概略側断面図である。
【図９】同前実施例の作動説明図である。
【図１０】同前実施例の作動説明図である。
【図１１】従来例を示す概略断面図である。
１ 気密容器 ４ バッフル板 １２ 通気孔 １３ 可動弁板 １４ 可動弁孔 １８ 駆動手段 ２４ 固定弁板 ２５ 可動弁板 ２６ 固定弁孔 ２７ 可動弁孔
Claims (5)
- 【請求項１】 気密容器を有する各種装置に於いて、複
数の固定弁孔を有する固定弁板を気密容器等装置内部に
ガスの流れを遮断する様に設けると共に前記固定弁孔に
合致可能な可動弁孔を有する可動弁板を前記固定弁板に
対して移動可能に設け、両弁板の位置調整により前記固
定弁孔と可動弁孔とがなす開口面積を変更する様にした
ことを特徴とする圧力制御用可変容量バルブ。 - 【請求項２】 気密容器内部を仕切る様に固定弁板を設
けた請求項１の圧力制御用可変容量バルブ。 - 【請求項３】 気密容器の排気口に固定弁板を設けた請
求項１の圧力制御用可変容量バルブ。 - 【請求項４】 固定弁板に対し可動弁板を摺動自在に設
けた請求項１の圧力制御用可変容量バルブ。 - 【請求項５】 固定弁板に対し可動弁板を回転自在に設
けた請求項１の圧力制御用可変容量バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27553592A JPH06101770A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 圧力制御用可変容量バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27553592A JPH06101770A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 圧力制御用可変容量バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06101770A true JPH06101770A (ja) | 1994-04-12 |
Family
ID=17556806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27553592A Pending JPH06101770A (ja) | 1992-09-18 | 1992-09-18 | 圧力制御用可変容量バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101770A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006118801A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Daido Steel Co Ltd | ダスト排出口 |
| JP2013103167A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Jfe Steel Corp | 圧力スイング吸着法によるガス分離装置 |
| CN108731235A (zh) * | 2018-07-30 | 2018-11-02 | 奥克斯空调股份有限公司 | 一种空调室外机外壳与室外机及空调器 |
| JP2020180692A (ja) * | 2019-04-26 | 2020-11-05 | 有限会社イー・ネットワーク・システムズ | 圧力制御バルブ |
-
1992
- 1992-09-18 JP JP27553592A patent/JPH06101770A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006118801A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Daido Steel Co Ltd | ダスト排出口 |
| JP2013103167A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Jfe Steel Corp | 圧力スイング吸着法によるガス分離装置 |
| CN108731235A (zh) * | 2018-07-30 | 2018-11-02 | 奥克斯空调股份有限公司 | 一种空调室外机外壳与室外机及空调器 |
| CN108731235B (zh) * | 2018-07-30 | 2024-04-09 | 奥克斯空调股份有限公司 | 一种空调室外机外壳与室外机及空调器 |
| JP2020180692A (ja) * | 2019-04-26 | 2020-11-05 | 有限会社イー・ネットワーク・システムズ | 圧力制御バルブ |
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