JPH06102037A - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置Info
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- JPH06102037A JPH06102037A JP1558191A JP1558191A JPH06102037A JP H06102037 A JPH06102037 A JP H06102037A JP 1558191 A JP1558191 A JP 1558191A JP 1558191 A JP1558191 A JP 1558191A JP H06102037 A JPH06102037 A JP H06102037A
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
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- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】被測定物の被測定面の形状を精度良く検出測定
することができるとともに、測定速度を速めることがで
きる。 【構成】スクロール部材４１をＸ軸テーブル３及び水平
回転テーブル５により支持して回転させるとともに、Ｘ
軸方向に位置制御動作させて、一方向にのみ測定動作可
能な形状測定用プローブ１７をスクロール部材４１の被
測定面に接触させ形状誤差を測定する。この時、Ｙ軸コ
ラム１２をＹ軸サーボモータ１３により位置制御して、
形状測定用プローブ１７が常にスクロール部材４１の被
測定面に対し直角方向、つまり法線方向に対向するよう
に位置制御し、精度の高い形状測定を行い、測定速度を
速めることができる。
することができるとともに、測定速度を速めることがで
きる。 【構成】スクロール部材４１をＸ軸テーブル３及び水平
回転テーブル５により支持して回転させるとともに、Ｘ
軸方向に位置制御動作させて、一方向にのみ測定動作可
能な形状測定用プローブ１７をスクロール部材４１の被
測定面に接触させ形状誤差を測定する。この時、Ｙ軸コ
ラム１２をＹ軸サーボモータ１３により位置制御して、
形状測定用プローブ１７が常にスクロール部材４１の被
測定面に対し直角方向、つまり法線方向に対向するよう
に位置制御し、精度の高い形状測定を行い、測定速度を
速めることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は例えばスクロール型圧
縮機に使用される旋回スクロール部材及び固定スクロー
ル部材などのスクロール部の形状あるいはカムの形状を
測定するための形状測定装置に関するものである。
縮機に使用される旋回スクロール部材及び固定スクロー
ル部材などのスクロール部の形状あるいはカムの形状を
測定するための形状測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の形状測定装置として、ベース上面
にＸ軸（左右）方向に往復動されるＸ軸テーブルを装設
するとともに、該Ｘ軸テーブル上面に対し垂直軸線の回
りで回転する回転テーブルを装設し、前記ベース上面に
立設したコラムに対し前記回転テーブル上面に取付た被
測定物としてのスクロール部材の被測定面に接触して形
状を測定する形状測定用プローブをＺ（上下）軸方向の
移動可能に装着した所謂曲座標形状測定装置が提案され
ている。そして、予め制御装置に記憶された理想スクロ
ール形状データに基づいて前記Ｘ軸テーブル及び回転デ
ーブルを動作し、スクロール部材の被測定面を所定位置
に保持した形状測定用プローブに接触させて、該形状測
定用プローブの往復動作により被測定面の形状を測定す
るようになっていた。
にＸ軸（左右）方向に往復動されるＸ軸テーブルを装設
するとともに、該Ｘ軸テーブル上面に対し垂直軸線の回
りで回転する回転テーブルを装設し、前記ベース上面に
立設したコラムに対し前記回転テーブル上面に取付た被
測定物としてのスクロール部材の被測定面に接触して形
状を測定する形状測定用プローブをＺ（上下）軸方向の
移動可能に装着した所謂曲座標形状測定装置が提案され
ている。そして、予め制御装置に記憶された理想スクロ
ール形状データに基づいて前記Ｘ軸テーブル及び回転デ
ーブルを動作し、スクロール部材の被測定面を所定位置
に保持した形状測定用プローブに接触させて、該形状測
定用プローブの往復動作により被測定面の形状を測定す
るようになっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述した形
状測定装置は、形状測定用プローブが一方向へのみ往復
動可能に支持構成されているので、スクロール部材の被
測定面に対し形状測定用プローブを直角方向、つまり法
線方向に常時当てることができず、このため形状測定用
プローブの最も感度の良くなる法線方向以外の方向にお
いて形状測定用プローブの測定量が変化し、従って測定
精度が低下するとともに、測定速度を速くすると形状測
定用プローブのヘッドが被測定面に正確に接触した状態
を維持することが難しくなるので、測定作業能率を上げ
ることができないという問題があった。
状測定装置は、形状測定用プローブが一方向へのみ往復
動可能に支持構成されているので、スクロール部材の被
測定面に対し形状測定用プローブを直角方向、つまり法
線方向に常時当てることができず、このため形状測定用
プローブの最も感度の良くなる法線方向以外の方向にお
いて形状測定用プローブの測定量が変化し、従って測定
精度が低下するとともに、測定速度を速くすると形状測
定用プローブのヘッドが被測定面に正確に接触した状態
を維持することが難しくなるので、測定作業能率を上げ
ることができないという問題があった。
【０００４】この発明の目的は、一方向に動作される測
定用フローブの測定動作を円滑かつ適正に行い測定精度
及び作業能率を向上することができる形状測定装置を提
供することにある。
定用フローブの測定動作を円滑かつ適正に行い測定精度
及び作業能率を向上することができる形状測定装置を提
供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は上記の目的を
達成するため、コラム上において被測定物を支持する支
持部材と、前記コラムに装設され、前記被測定物の被測
定面に接触して形状を測定可能な形状測定用プローブ
と、前記支持部材及び形状測定用プローブを予め記憶し
た設定形状データに基づいて動作させて前記被測定面の
形状を測定させる被測定物の測定動作指令手段とを備え
た形状測定装置において、前記コラムに対し往復駆動機
構により往復動作される可動支持体を装設し、該可動支
持体に前記形状測定用プローブを装着し、さらに前記形
状測定用プローブによる被測定物の測定動作時に該形状
測定用プローブの動作方向を被測定面と直交する方向に
指向するように、前記可動支持体を予め記憶した位置制
御データに基づいて制御するプローブ位置制御手段を設
けるという手段をとっている。
達成するため、コラム上において被測定物を支持する支
持部材と、前記コラムに装設され、前記被測定物の被測
定面に接触して形状を測定可能な形状測定用プローブ
と、前記支持部材及び形状測定用プローブを予め記憶し
た設定形状データに基づいて動作させて前記被測定面の
形状を測定させる被測定物の測定動作指令手段とを備え
た形状測定装置において、前記コラムに対し往復駆動機
構により往復動作される可動支持体を装設し、該可動支
持体に前記形状測定用プローブを装着し、さらに前記形
状測定用プローブによる被測定物の測定動作時に該形状
測定用プローブの動作方向を被測定面と直交する方向に
指向するように、前記可動支持体を予め記憶した位置制
御データに基づいて制御するプローブ位置制御手段を設
けるという手段をとっている。
【０００６】
【作用】この発明は被測定物の測定動作指令手段から出
力された設定形状データに基づいて被測定物を支持した
支持部材及び形状測定用プローブを動作させて、被測定
物の被測定面に前記プローブを当接し形状測定を行な
う。この形状測定用プローブによる測定動作時におい
て、プローブ位置制御手段から出力された位置制御デー
タに基づいて形状測定用プローブが前記被測定面と直交
する方向に位置制御される。このため形状測定用プロー
ブは被測定面に対し常に最も感度の良くなる法線方向に
対向して測定動作が行われ、測定精度が向上するととも
に、測定用プーロブの被測定面への追従性を高めること
ができ、作業能率を向上することができる。
力された設定形状データに基づいて被測定物を支持した
支持部材及び形状測定用プローブを動作させて、被測定
物の被測定面に前記プローブを当接し形状測定を行な
う。この形状測定用プローブによる測定動作時におい
て、プローブ位置制御手段から出力された位置制御デー
タに基づいて形状測定用プローブが前記被測定面と直交
する方向に位置制御される。このため形状測定用プロー
ブは被測定面に対し常に最も感度の良くなる法線方向に
対向して測定動作が行われ、測定精度が向上するととも
に、測定用プーロブの被測定面への追従性を高めること
ができ、作業能率を向上することができる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明をスクロール型圧縮機のスク
ロール部材の形状を測定するスクロール形状測定装置と
して具体化した一実施例を図１〜図７に基づいて説明す
る。図１及び図２に示すようにベース１の上面にはコラ
ム２が載置され、該コラム２の水平支持部２ａの上面に
はＸ軸テーブル３がＸ軸サーボモータ４によりＸ軸方向
（左右方向）の往復動可能に支持されている。又、この
Ｘ軸テーブル３の上面には水平（θ軸）回転テーブル５
がダイレクトサーボモータ６により回転可能に支持され
ている。前記Ｘ軸テーブル３及び回転テーブル５はリニ
ヤスケール７及びロータリーエンコーダ８により移動距
離が直接測定される。前記水平回転テーブル５の上面に
は自動芯出・傾斜補正装置９が載置され、該補正装置９
の上面には図４に示す旋回スクロール部材４１又は図５
に示す固定スクロール部材４２を載置して固定するため
の治具１０が設けられている。
ロール部材の形状を測定するスクロール形状測定装置と
して具体化した一実施例を図１〜図７に基づいて説明す
る。図１及び図２に示すようにベース１の上面にはコラ
ム２が載置され、該コラム２の水平支持部２ａの上面に
はＸ軸テーブル３がＸ軸サーボモータ４によりＸ軸方向
（左右方向）の往復動可能に支持されている。又、この
Ｘ軸テーブル３の上面には水平（θ軸）回転テーブル５
がダイレクトサーボモータ６により回転可能に支持され
ている。前記Ｘ軸テーブル３及び回転テーブル５はリニ
ヤスケール７及びロータリーエンコーダ８により移動距
離が直接測定される。前記水平回転テーブル５の上面に
は自動芯出・傾斜補正装置９が載置され、該補正装置９
の上面には図４に示す旋回スクロール部材４１又は図５
に示す固定スクロール部材４２を載置して固定するため
の治具１０が設けられている。
【０００８】前記コラム２の上部には可動支持体として
のＹ軸コラム１２がＹ軸サーボモータ１３により前記Ｘ
軸方向と直交する水平なＹ軸方向（図１の紙面直交方
向）の往復動可能に支持されている。このＹ軸コラム１
２の側面にはＺ軸コラム１４がＺ軸サーボモータ１５に
よりＺ軸方向（上下方向）の往復動可能に支持されてい
る。さらに前記Ｚ軸コラム１４にはヘッド１６を備えた
測定用プローブ１７が一方向への測定動作可能に支持さ
れている。同じくＺ軸コラム１４には図２に示すように
治具１０の傾斜測定用プローブ１８が取付られている。
前記Ｙ軸コラム１２及びＺ軸コラム１４の往復移動距離
はリニヤスケール１９及び２０によりそれぞれ直接測定
されるようになっている。
のＹ軸コラム１２がＹ軸サーボモータ１３により前記Ｘ
軸方向と直交する水平なＹ軸方向（図１の紙面直交方
向）の往復動可能に支持されている。このＹ軸コラム１
２の側面にはＺ軸コラム１４がＺ軸サーボモータ１５に
よりＺ軸方向（上下方向）の往復動可能に支持されてい
る。さらに前記Ｚ軸コラム１４にはヘッド１６を備えた
測定用プローブ１７が一方向への測定動作可能に支持さ
れている。同じくＺ軸コラム１４には図２に示すように
治具１０の傾斜測定用プローブ１８が取付られている。
前記Ｙ軸コラム１２及びＺ軸コラム１４の往復移動距離
はリニヤスケール１９及び２０によりそれぞれ直接測定
されるようになっている。
【０００９】次に、図３により形状測定装置の制御回路
図について説明する。中央演算処理回路２１には実測ス
クロール形状データＤt1等を記憶するランダム・アクセ
ス・メモリ（ＲＡＭ）及び理想スクロール形状データＤ
t0等を記憶するリード・オンリー・メモリ（ＲＯＭ）が
接続されている。又、前記処理回路２１には入力インタ
ーフェース２４を介して前述したリニヤスケール７、ロ
ータリーエンコーダ８、形状測定用プローブ１７、傾斜
測定用プローブ１８、リニヤスケール１９，２０等が接
続されている。同じく処理回路２１には出力インターフ
ェース２５及び駆動回路２６〜３０を介して前記Ｘ軸サ
ーボモータ４、ダイレクトサーボモータ６、Ｙ軸サーボ
モータ１３、Ｚ軸サーボモータ１５、自動芯出・傾斜補
正装置９等が接続され、処理回路２１から動作指令信号
が出力されるようになっている。さらに、前記処理回路
２１にはＸ軸テーブル３及び水平回転テーブル５を予め
記憶した理想スクロール形状データＤt0に基づいて動作
させ、スクロール部材４１，４２のスクロール部４１
ａ，４２ａの被測定面Ｓを前記形状測定用プローブ１７
に接触させて測定動作指令を出力するための測定動作指
令手段としての測定動作指令回路３１が接続されてい
る。同じく処理回路２１にはプローブ位置制御手段とし
てのプローブ位置制御回路３２が接続され、スクロール
部材４１，４２の測定動作時に予め記憶した位置制御デ
ータに基づいて前記Ｙ軸コラム１２を形状測定用プロー
ブ１７の被測定面Ｓと直交する法線方向に指向させる制
御動作を行うようにしている。
図について説明する。中央演算処理回路２１には実測ス
クロール形状データＤt1等を記憶するランダム・アクセ
ス・メモリ（ＲＡＭ）及び理想スクロール形状データＤ
t0等を記憶するリード・オンリー・メモリ（ＲＯＭ）が
接続されている。又、前記処理回路２１には入力インタ
ーフェース２４を介して前述したリニヤスケール７、ロ
ータリーエンコーダ８、形状測定用プローブ１７、傾斜
測定用プローブ１８、リニヤスケール１９，２０等が接
続されている。同じく処理回路２１には出力インターフ
ェース２５及び駆動回路２６〜３０を介して前記Ｘ軸サ
ーボモータ４、ダイレクトサーボモータ６、Ｙ軸サーボ
モータ１３、Ｚ軸サーボモータ１５、自動芯出・傾斜補
正装置９等が接続され、処理回路２１から動作指令信号
が出力されるようになっている。さらに、前記処理回路
２１にはＸ軸テーブル３及び水平回転テーブル５を予め
記憶した理想スクロール形状データＤt0に基づいて動作
させ、スクロール部材４１，４２のスクロール部４１
ａ，４２ａの被測定面Ｓを前記形状測定用プローブ１７
に接触させて測定動作指令を出力するための測定動作指
令手段としての測定動作指令回路３１が接続されてい
る。同じく処理回路２１にはプローブ位置制御手段とし
てのプローブ位置制御回路３２が接続され、スクロール
部材４１，４２の測定動作時に予め記憶した位置制御デ
ータに基づいて前記Ｙ軸コラム１２を形状測定用プロー
ブ１７の被測定面Ｓと直交する法線方向に指向させる制
御動作を行うようにしている。
【００１０】次に、前記のように構成したスクロール形
状測定装置により、旋回スクロール部材の被測定面Ｓの
形状を測定する動作について説明する。最初に、スクロ
ール部材を取り付けない状態で、形状測定用プローブ１
７により治具１０に形成した基準ピン穴１０ａの位置を
自動測定する。次に傾斜測定用プローブ１８の下端を治
具１０の上面に接触した状態で回転テーブル５を一回転
させて治具１０の傾きを自動測定する。さらに、両測定
用プローブ１７，１８の測定データに基づいて、自動芯
出・自動傾斜補正装置９を動作させて治具１０の中心軸
線をθ軸回転テーブル５の中心軸線に合わせる。
状測定装置により、旋回スクロール部材の被測定面Ｓの
形状を測定する動作について説明する。最初に、スクロ
ール部材を取り付けない状態で、形状測定用プローブ１
７により治具１０に形成した基準ピン穴１０ａの位置を
自動測定する。次に傾斜測定用プローブ１８の下端を治
具１０の上面に接触した状態で回転テーブル５を一回転
させて治具１０の傾きを自動測定する。さらに、両測定
用プローブ１７，１８の測定データに基づいて、自動芯
出・自動傾斜補正装置９を動作させて治具１０の中心軸
線をθ軸回転テーブル５の中心軸線に合わせる。
【００１１】次に、前記治具１０の上面に旋回スクロー
ル部材４１を載置固定し、スクロール部４１ａの形状を
以下のようにして測定する。図４に示すように旋回スク
ロール部材４１のスクロール部４１ａの被測定面Ｓは、
基礎円Ｃが決定されると、それにより特定のインボリュ
ート曲線として表される形状となっている。この形状の
測定範囲は図４のＰ1 〜Ｐ2 である。
ル部材４１を載置固定し、スクロール部４１ａの形状を
以下のようにして測定する。図４に示すように旋回スク
ロール部材４１のスクロール部４１ａの被測定面Ｓは、
基礎円Ｃが決定されると、それにより特定のインボリュ
ート曲線として表される形状となっている。この形状の
測定範囲は図４のＰ1 〜Ｐ2 である。
【００１２】今、形状測定用プローブ１７を基礎円Ｃの
中心Ｏ2 からＹ軸方向に該基礎円の半径分だけ変位した
位置に移動調節して動作制御回路３１により回転テーブ
ル５をサーボモータ６により回転するとともにＸ軸テー
ブル３をサーボモータ４によりＸ軸方向に動作させて、
形状測定用プローブ１７により被測定面Ｓの形状を測定
する。この時、前記測定点開始点Ｐ1 から終了点Ｐ2 ま
での理想スクロール形状軌跡Ｔ0 及びそのデータＤtOは
いずれも予め判っているので、この理想スクロール形状
軌跡Ｔ0 となるようにスクロール部材４１が位置制御動
作される。ここで、被測定面Ｓのインボリュート曲線部
分においては、プローブ１７の中心Ｏ3が基礎円Ｃの半
径Ｒｃだけ偏心した位置に配置されているので、プロー
ブ１７が被測定面Ｓに対して最も感度の良い法線方向に
当たることになり、測定精度を向上することができる。
又、スクロール部４１ａの中心部の軌跡は、インボリュ
ート曲線と異なるため、その箇所においてはサーボモー
タ１３によりＹ軸コラム１２が動作されて形状測定用プ
ローブ１７の位置が法線方向に向くように連続して位置
制御動作される。
中心Ｏ2 からＹ軸方向に該基礎円の半径分だけ変位した
位置に移動調節して動作制御回路３１により回転テーブ
ル５をサーボモータ６により回転するとともにＸ軸テー
ブル３をサーボモータ４によりＸ軸方向に動作させて、
形状測定用プローブ１７により被測定面Ｓの形状を測定
する。この時、前記測定点開始点Ｐ1 から終了点Ｐ2 ま
での理想スクロール形状軌跡Ｔ0 及びそのデータＤtOは
いずれも予め判っているので、この理想スクロール形状
軌跡Ｔ0 となるようにスクロール部材４１が位置制御動
作される。ここで、被測定面Ｓのインボリュート曲線部
分においては、プローブ１７の中心Ｏ3が基礎円Ｃの半
径Ｒｃだけ偏心した位置に配置されているので、プロー
ブ１７が被測定面Ｓに対して最も感度の良い法線方向に
当たることになり、測定精度を向上することができる。
又、スクロール部４１ａの中心部の軌跡は、インボリュ
ート曲線と異なるため、その箇所においてはサーボモー
タ１３によりＹ軸コラム１２が動作されて形状測定用プ
ローブ１７の位置が法線方向に向くように連続して位置
制御動作される。
【００１３】ところで、旋回スクロール部材４１の基礎
円Ｃの中心Ｏ2 と前記回転テーブル５の中心Ｏ1 は加工
誤差などにより図４に示すように偏心している場合が生
じる。この時には図６に示すようにθ軸回転テーブル５
を３６０°以上回転させた場合における実測スクロール
形状データＤt1から理想スクロール形状データＤt0を減
算して得られた図７に示す形状誤差成分データＴ3 に基
づいて、図４に示す両中心Ｏ1,Ｏ2 のＸ軸方向の変位量
Δｘと変位角Δθを演算制御回路２１により回転周期成
分の１次分を使って求めることもできる。これらの変位
量Δｘと変位角Δθが零以外の場合には、旋回スクロー
ル部材４１の加工時において位置ずれにより生じたと見
なし、演算制御回路２１によりこの変位量Δｘ、変位角
Δθを除去したスクロール形状データ、即ち、基礎円Ｃ
の中心Ｏ2 に関する形状の誤差成分のみを求めることが
できる。
円Ｃの中心Ｏ2 と前記回転テーブル５の中心Ｏ1 は加工
誤差などにより図４に示すように偏心している場合が生
じる。この時には図６に示すようにθ軸回転テーブル５
を３６０°以上回転させた場合における実測スクロール
形状データＤt1から理想スクロール形状データＤt0を減
算して得られた図７に示す形状誤差成分データＴ3 に基
づいて、図４に示す両中心Ｏ1,Ｏ2 のＸ軸方向の変位量
Δｘと変位角Δθを演算制御回路２１により回転周期成
分の１次分を使って求めることもできる。これらの変位
量Δｘと変位角Δθが零以外の場合には、旋回スクロー
ル部材４１の加工時において位置ずれにより生じたと見
なし、演算制御回路２１によりこの変位量Δｘ、変位角
Δθを除去したスクロール形状データ、即ち、基礎円Ｃ
の中心Ｏ2 に関する形状の誤差成分のみを求めることが
できる。
【００１４】ところで、図５に示す固定スクロール部材
４２のスクロール部４２ａは旋回スクロール部材のスク
ロール部４１ａと方向が逆のため、この固定スクロール
部材４２の形状測定時においては、形状測定用プローブ
１７の偏位方向を逆とすることによってＸ軸ストローク
範囲を小さくすることができる。又、前記形状測定用プ
ローブ１７は、スクロール部４１ａの直角度の測定も行
なうことができる。
４２のスクロール部４２ａは旋回スクロール部材のスク
ロール部４１ａと方向が逆のため、この固定スクロール
部材４２の形状測定時においては、形状測定用プローブ
１７の偏位方向を逆とすることによってＸ軸ストローク
範囲を小さくすることができる。又、前記形状測定用プ
ローブ１７は、スクロール部４１ａの直角度の測定も行
なうことができる。
【００１５】なお、Ｙ軸コラム１２の動作は形状測定用
プローブ１７と傾斜測定用プローブ１８の位置切換に利
用することもできるので、両プローブ１７，１８を交換
しなくても済み、自動測定が可能となる。さらに、測定
動作指令回路３１及びプローブ位置制御回路３２は予め
数回繰り返し動作されて逆伝達関数による繰り返し補償
法などを用いて高速、高精度化されている。
プローブ１７と傾斜測定用プローブ１８の位置切換に利
用することもできるので、両プローブ１７，１８を交換
しなくても済み、自動測定が可能となる。さらに、測定
動作指令回路３１及びプローブ位置制御回路３２は予め
数回繰り返し動作されて逆伝達関数による繰り返し補償
法などを用いて高速、高精度化されている。
【００１６】さて、この発明の実施例においては、形状
測定用プローブ１７をスクロール部材４１，４２のスク
ロール部４１ａ，４２ａの被測定面Ｓに対し常に法線方
向に対向するようにＹ軸コラム１２により位置制御動作
するようにしたので、測定精度を向上することができる
とともに、被測定面Ｓに対するプローブ１７の追従性が
向上して測定速度を速くすることができる。
測定用プローブ１７をスクロール部材４１，４２のスク
ロール部４１ａ，４２ａの被測定面Ｓに対し常に法線方
向に対向するようにＹ軸コラム１２により位置制御動作
するようにしたので、測定精度を向上することができる
とともに、被測定面Ｓに対するプローブ１７の追従性が
向上して測定速度を速くすることができる。
【００１７】次に、この発明の別の実施例を図８〜図１
０に基づいて説明する。図８及び図９に示す別例は、Ｚ
軸コラム１４に対し可動支持体としての回転軸３５を取
付け、該回転軸を往復駆動機構としてのサーボモータ３
６により回転制御させ、形状測定用プローブ１７を被測
定面Ｓに対し法線方向に指向するように制御動作するこ
とも可能である。
０に基づいて説明する。図８及び図９に示す別例は、Ｚ
軸コラム１４に対し可動支持体としての回転軸３５を取
付け、該回転軸を往復駆動機構としてのサーボモータ３
６により回転制御させ、形状測定用プローブ１７を被測
定面Ｓに対し法線方向に指向するように制御動作するこ
とも可能である。
【００１８】図１０に示す別例はベース１に水平支持台
３７を固設し、該水平支持台３７に固定コラム３８を取
付け、該コラム３８に前記回転テーブル５を支持すると
ともに、支持台３７に対しＸ軸コラム３９をサーボモー
タ４によりＸ軸方向の往復動可能に支持し、さらに該Ｘ
軸コラム３８に前記Ｙ軸コラム１２を支持するように構
成することもできる。この実施例の場合には形状測定用
プローブ１７がＸ軸方向及びＹ軸方向に制御動作され、
スクロール部材４１は所定位置において回転テーブル５
により回転動作される。
３７を固設し、該水平支持台３７に固定コラム３８を取
付け、該コラム３８に前記回転テーブル５を支持すると
ともに、支持台３７に対しＸ軸コラム３９をサーボモー
タ４によりＸ軸方向の往復動可能に支持し、さらに該Ｘ
軸コラム３８に前記Ｙ軸コラム１２を支持するように構
成することもできる。この実施例の場合には形状測定用
プローブ１７がＸ軸方向及びＹ軸方向に制御動作され、
スクロール部材４１は所定位置において回転テーブル５
により回転動作される。
【００１９】なお、この発明は前記実施例に限定される
ものではなく、例えば二つの一軸プローブを直交方向に
動作可能に組み合わせたプローブを使用することによ
り、方線方向を検知し、ソフト的に測定データを補正す
るように構成したり、スクロール形状以外にカムの形状
を測定する装置に具体化したりするなど、この発明の趣
旨を逸脱しない範囲で任意に変更して具体化することも
できる。
ものではなく、例えば二つの一軸プローブを直交方向に
動作可能に組み合わせたプローブを使用することによ
り、方線方向を検知し、ソフト的に測定データを補正す
るように構成したり、スクロール形状以外にカムの形状
を測定する装置に具体化したりするなど、この発明の趣
旨を逸脱しない範囲で任意に変更して具体化することも
できる。
【００２０】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明は被測定
物の被測定面に形状測定用プローブを常に法線方向に対
向して接触させることができるので、測定精度を向上す
ることができるととともに、プローブの被測定面への追
従性を高めて測定速度を向上することができる効果があ
る。
物の被測定面に形状測定用プローブを常に法線方向に対
向して接触させることができるので、測定精度を向上す
ることができるととともに、プローブの被測定面への追
従性を高めて測定速度を向上することができる効果があ
る。
【図１】この発明をスクロール形状を測定装置に具体化
した一実施例を示す左側面図である。
した一実施例を示す左側面図である。
【図２】形状測定装置の正面図である。
【図３】形状測定装置の制御回路図である。
【図４】旋回スクロール部材の正面図である。
【図５】固定スクロール部材の正面図である。
【図６】回転角と基礎円中心からの距離を示グラフであ
る。
る。
【図７】形状誤差成分を示すグラフである。
【図８】この発明の別例を示す部分側面図である。
【図９】図８の部分正面図である。
【図１０】この発明の別の形状測定装置の左側面図であ
る。
る。
２ コラム、３ Ｘ軸テーブル、５ 水平回転テーブ
ル、１２ 可動支持体としてのＹ軸コラム、１３ 往復
駆動機構としてのＹ軸サーボモータ、１７ 形状測定用
プローブ、２１ 中央演算処理回路、３１ 被測定物の
測定動作指令手段としての測定動作指令回路、３２ プ
ローブの位置制御手段としての位置制御回路、３５ 可
動支持体としての回転軸、３６ 往復駆動機構としての
サーボモータ、４１ 旋回スクロール部材、４２ 固定
スクロール部材、Ｓ 被測定面
ル、１２ 可動支持体としてのＹ軸コラム、１３ 往復
駆動機構としてのＹ軸サーボモータ、１７ 形状測定用
プローブ、２１ 中央演算処理回路、３１ 被測定物の
測定動作指令手段としての測定動作指令回路、３２ プ
ローブの位置制御手段としての位置制御回路、３５ 可
動支持体としての回転軸、３６ 往復駆動機構としての
サーボモータ、４１ 旋回スクロール部材、４２ 固定
スクロール部材、Ｓ 被測定面
Claims (1)
- 【請求項１】 コラム上において被測定物を支持する支
持部材と、前記コラムに装設され、前記被測定物の被測
定面に接触して形状を測定可能な形状測定用プローブ
と、前記支持部材及び形状測定用プローブを予め記憶し
た設定形状データに基づいて動作させて前記被測定面の
形状を測定させる被測定物の測定動作指令手段とを備え
た形状測定装置において、前記コラムに対し往復駆動機
構により往復動作される可動支持体を装設し、該可動支
持体に前記形状測定用プローブを装着し、さらに前記形
状測定用プローブによる被測定物の測定動作時に該形状
測定用プローブの動作方向を被測定面と直交する方向に
指向するように、前記可動支持体を予め記憶した位置制
御データに基づいて制御するプローブ位置制御手段を設
けた形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3015581A JP2975434B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3015581A JP2975434B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06102037A true JPH06102037A (ja) | 1994-04-12 |
| JP2975434B2 JP2975434B2 (ja) | 1999-11-10 |
Family
ID=11892700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3015581A Expired - Lifetime JP2975434B2 (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2975434B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10300455A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-11-13 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定装置を目標データに従って制御する方法 |
| JP2009536332A (ja) * | 2006-05-08 | 2009-10-08 | テイラー・ホブソン・リミテッド | 表面特性を測定するための測定器 |
| JP5801796B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2015-10-28 | Hoya株式会社 | レンズ形状測定装置 |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP3015581A patent/JP2975434B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10300455A (ja) * | 1997-03-21 | 1998-11-13 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定装置を目標データに従って制御する方法 |
| JP2009536332A (ja) * | 2006-05-08 | 2009-10-08 | テイラー・ホブソン・リミテッド | 表面特性を測定するための測定器 |
| JP5801796B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2015-10-28 | Hoya株式会社 | レンズ形状測定装置 |
| US9714824B2 (en) | 2010-03-31 | 2017-07-25 | Hoya Corporation | Lens shape measurement device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2975434B2 (ja) | 1999-11-10 |
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