JPH0610298Y2 - 発光分光分析装置 - Google Patents
発光分光分析装置Info
- Publication number
- JPH0610298Y2 JPH0610298Y2 JP1987084747U JP8474787U JPH0610298Y2 JP H0610298 Y2 JPH0610298 Y2 JP H0610298Y2 JP 1987084747 U JP1987084747 U JP 1987084747U JP 8474787 U JP8474787 U JP 8474787U JP H0610298 Y2 JPH0610298 Y2 JP H0610298Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- background
- detecting
- diffracted light
- order diffracted
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 イ．産業上の利用分野 本考案は、発光分光分析装置におけるバックグラウンド
補正技術に関する。
補正技術に関する。
ロ．従来の技術 従来多元素同時型分光器を用いる分析でバックグラウン
ド補正を行うには、入口スリットを移動させることによ
り、出口スリット面上でスペクトル線を移動させてバッ
クグラウンドを測定しているが、不安定なスパーク放電
のような発光経過の速い光源を用いて分析している場合
には、測定光が瞬時で変化するので、スリットを移動さ
せている時間がなく、正確なバックグラウンドを測定で
きないと云う問題があった。
ド補正を行うには、入口スリットを移動させることによ
り、出口スリット面上でスペクトル線を移動させてバッ
クグラウンドを測定しているが、不安定なスパーク放電
のような発光経過の速い光源を用いて分析している場合
には、測定光が瞬時で変化するので、スリットを移動さ
せている時間がなく、正確なバックグラウンドを測定で
きないと云う問題があった。
ハ．考案が解決しようとする問題点 本考案は上述した問題点を解消し、瞬時の発光を測定す
る場合でも、バックグラウンド補正ができるようにし
て、測定精度を向上させることを目的とする。
る場合でも、バックグラウンド補正ができるようにし
て、測定精度を向上させることを目的とする。
ニ．問題点解決のための手段 回折格子を用い、輝線光を検出する分光器において、目
的輝線の一次回折ピークを検出する検出手段と、上記輝
線の高次回折ピークの近傍の光を検出する検出手段を設
け、上記両検出手段から得られる検出信号によりバック
グラウンド補正を行う演算手段を設けた。
的輝線の一次回折ピークを検出する検出手段と、上記輝
線の高次回折ピークの近傍の光を検出する検出手段を設
け、上記両検出手段から得られる検出信号によりバック
グラウンド補正を行う演算手段を設けた。
ホ．作用 バックグラウンドの大きさは、光源の元素構成，発光方
法や分光器内の光散乱状況によって決まる。各回折次数
の回折光の強度比は分光器により決まっている。高次回
折光のバックグラウンドから一次回折光のバックグラウ
ンドを求めようとした場合、第１の原因が無視できる場
合、予め分かっている回折次数と強度比のデータを使用
し、第１の原因が無視できない場合、予め同種試料で一
次，高次輝線近傍のバックグラウンドを測定して、その
強度比を実測で求めるようにすれば、何れにしても、高
次回折光の輝線近傍のバックグラウンドと一次回折光の
バックグラウンドとの比を求めることが可能である。本
考案は、上記強度比を用いて、高次回折光のバックグラ
ウンド値から一次回折光のバックグラウンド補正をしよ
うとするものである。
法や分光器内の光散乱状況によって決まる。各回折次数
の回折光の強度比は分光器により決まっている。高次回
折光のバックグラウンドから一次回折光のバックグラウ
ンドを求めようとした場合、第１の原因が無視できる場
合、予め分かっている回折次数と強度比のデータを使用
し、第１の原因が無視できない場合、予め同種試料で一
次，高次輝線近傍のバックグラウンドを測定して、その
強度比を実測で求めるようにすれば、何れにしても、高
次回折光の輝線近傍のバックグラウンドと一次回折光の
バックグラウンドとの比を求めることが可能である。本
考案は、上記強度比を用いて、高次回折光のバックグラ
ウンド値から一次回折光のバックグラウンド補正をしよ
うとするものである。
ヘ．実施例 第１図に本考案の一実施例を示す。第１図において、Ｓ
１は光源からの光束を規制する入口スリット、Ｗは入口
スリットＳ１からの入射光を分光する回折格子である。
ＳＰは第２図Ａに示すように元素Ｐの一次回折光を出射
させるスリットで、元素ＰのピークＰの中心に位置さ
れ、波長換算幅ｔのスリット幅を持たせてある。スリッ
トＳＰの透過光を光検出器ＫＰで検出する。以下ＳＱ，
ＳＲ，…は夫々元素Ｑ，Ｒ，…の一次回折光を出射させ
るスリットであり、ＫＱ，ＫＲ，…は夫々元素Ｑ，Ｒ，
…の一次回折光を検出する光検出器である。ＳＰ′は第
２図ｂに示すように元素ＰのピークＰ′の二次回折光の
バックグラウンド光を出射させるスリットで、ピーク
Ｐ′の裾に接して配置され、スリットＳＰ′の透過光を
光検出器ＫＰ′で検出する。以下ＳＱ′，ＳＰ′，…は
夫々元素Ｑ，Ｒ，…の二次回折光のバックグラウンド光
を出射させるスリットであり、ＫＱ′，ＫＲ′，…は夫
々元素Ｑ，Ｒ，…の二次回折光のバックグラウンドを検
出する光検出器である。ＣＰＵは夫々の光検出器で得ら
れた検出信号を処理・演算するマイクロコンピュータで
ある。Ｍはメモリーで検出信号及び各種データを記憶す
る。Ｈは表示装置で測定結果を表示する。
１は光源からの光束を規制する入口スリット、Ｗは入口
スリットＳ１からの入射光を分光する回折格子である。
ＳＰは第２図Ａに示すように元素Ｐの一次回折光を出射
させるスリットで、元素ＰのピークＰの中心に位置さ
れ、波長換算幅ｔのスリット幅を持たせてある。スリッ
トＳＰの透過光を光検出器ＫＰで検出する。以下ＳＱ，
ＳＲ，…は夫々元素Ｑ，Ｒ，…の一次回折光を出射させ
るスリットであり、ＫＱ，ＫＲ，…は夫々元素Ｑ，Ｒ，
…の一次回折光を検出する光検出器である。ＳＰ′は第
２図ｂに示すように元素ＰのピークＰ′の二次回折光の
バックグラウンド光を出射させるスリットで、ピーク
Ｐ′の裾に接して配置され、スリットＳＰ′の透過光を
光検出器ＫＰ′で検出する。以下ＳＱ′，ＳＰ′，…は
夫々元素Ｑ，Ｒ，…の二次回折光のバックグラウンド光
を出射させるスリットであり、ＫＱ′，ＫＲ′，…は夫
々元素Ｑ，Ｒ，…の二次回折光のバックグラウンドを検
出する光検出器である。ＣＰＵは夫々の光検出器で得ら
れた検出信号を処理・演算するマイクロコンピュータで
ある。Ｍはメモリーで検出信号及び各種データを記憶す
る。Ｈは表示装置で測定結果を表示する。
上記の構成により、まず、一次回折光のバックグラウン
ドＩｂと二次回折光のバックグラウンドＩＢとの強度比
Ｆ＝Ｉｂ／ＩＢを較正測定により求める動作を説明す
る。試料として目的試料と同種の試料で元素組成が既知
の標準試料を用い、第１図の状態でＫＰ′，ＫＱ′，Ｋ
Ｒ′，…により夫々元素Ｐ，Ｑ，Ｒ，…の二次回折光の
バックグラウンドを検出し、検出データをメモリーＭに
記憶させる。入口スリットＳ１を移動させることによ
り、スリットＳＰ，ＳＱ，ＳＲ，…上のスペクトルを移
動させて、スリットＳＰ，ＳＱ，ＳＲ，…上に各元素の
一次回折光のバックグラウンド光が位置するようにす
る。このバックグラウンド光を光検出器ＫＰ，ＫＱ，Ｋ
Ｒ，…で検出し、その検出データをメモリーＭに記憶す
る。ＣＰＵで上記データにより強度比Ｆ＝Ｉｂ／ＩＢを
求める。較正測定が終われば、入口スリットＳ１を元の
位置に戻して、本測定を行う。第２図に示す元素Ｐ，
Ｑ，Ｒ，…の検出ピーク強度Ｉｐが検出器ＫＰ，ＫＱ，
ＫＲ，…で、バックグラウンド強度ＩＢが検出器Ｋ
Ｐ′，ＫＱ′，ＫＲ′，…で同時に得られる。ＣＰＵに
おいて、これらＩＢに予め較正測定で求められた強度比
Ｆ＝Ｉｂ／ＩＢを掛け、一次回折光のバックグラウンド
値Ｉｂを求め、上記検出ピーク強度Ｉｐからバックグラ
ウンド値Ｉｂを引散することにより、不安定なスパーク
光でも確実に真の測定値Ｉｐ−Ｉｂが得られる。
ドＩｂと二次回折光のバックグラウンドＩＢとの強度比
Ｆ＝Ｉｂ／ＩＢを較正測定により求める動作を説明す
る。試料として目的試料と同種の試料で元素組成が既知
の標準試料を用い、第１図の状態でＫＰ′，ＫＱ′，Ｋ
Ｒ′，…により夫々元素Ｐ，Ｑ，Ｒ，…の二次回折光の
バックグラウンドを検出し、検出データをメモリーＭに
記憶させる。入口スリットＳ１を移動させることによ
り、スリットＳＰ，ＳＱ，ＳＲ，…上のスペクトルを移
動させて、スリットＳＰ，ＳＱ，ＳＲ，…上に各元素の
一次回折光のバックグラウンド光が位置するようにす
る。このバックグラウンド光を光検出器ＫＰ，ＫＱ，Ｋ
Ｒ，…で検出し、その検出データをメモリーＭに記憶す
る。ＣＰＵで上記データにより強度比Ｆ＝Ｉｂ／ＩＢを
求める。較正測定が終われば、入口スリットＳ１を元の
位置に戻して、本測定を行う。第２図に示す元素Ｐ，
Ｑ，Ｒ，…の検出ピーク強度Ｉｐが検出器ＫＰ，ＫＱ，
ＫＲ，…で、バックグラウンド強度ＩＢが検出器Ｋ
Ｐ′，ＫＱ′，ＫＲ′，…で同時に得られる。ＣＰＵに
おいて、これらＩＢに予め較正測定で求められた強度比
Ｆ＝Ｉｂ／ＩＢを掛け、一次回折光のバックグラウンド
値Ｉｂを求め、上記検出ピーク強度Ｉｐからバックグラ
ウンド値Ｉｂを引散することにより、不安定なスパーク
光でも確実に真の測定値Ｉｐ−Ｉｂが得られる。
ト．効果 本考案によれば、瞬時の光でもバックグラウンド測定が
可能になったことで、測定精度及び能力が向上し、スリ
ット駆動装置が必要でなくなったので、低価格化が促進
された。
可能になったことで、測定精度及び能力が向上し、スリ
ット駆動装置が必要でなくなったので、低価格化が促進
された。
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は検出信号
図で、同図Ａは検出ピーク信号図、同図Ｂはバックグラ
ウンド信号図である。 Ｓ１……入口スリット、Ｗ……回折格子、ＳＰ，ＳＱ，
ＳＲ……一次回折ピーク用出口スリット、ＫＰ，ＫＱ，
ＫＲ……光検出器、ＳＰ′……バックグラウンド用出口
スリット、ＫＰ′……光検出器、ＣＰＵ……マイクロコ
ンピュータ、Ｍ……メモリー、Ｈ……表示装置。
図で、同図Ａは検出ピーク信号図、同図Ｂはバックグラ
ウンド信号図である。 Ｓ１……入口スリット、Ｗ……回折格子、ＳＰ，ＳＱ，
ＳＲ……一次回折ピーク用出口スリット、ＫＰ，ＫＱ，
ＫＲ……光検出器、ＳＰ′……バックグラウンド用出口
スリット、ＫＰ′……光検出器、ＣＰＵ……マイクロコ
ンピュータ、Ｍ……メモリー、Ｈ……表示装置。
Claims (1)
- 【請求項１】回折格子を用い、輝線光を検出する分光器
において、目的輝線の一次回折ピークを検出する検出手
段と、上記輝線の高次回折ピークの近傍の光を検出する
検出手段を設けると共に、上記各検出手段上でスペクト
ル像を移動させる手段と、スペクトル像を正規位置から
移動させたときの上記一次回折光を検出する手段の出力
Ｉｂと、スペクトル像が正規位置にあるときの上記高次
回折光検出手段の出力ＩＢを記憶しておく手段と、分析
時に高次回折光検出手段の出力に上記ＩｂとＩＢとの比
Ｉｂ／ＩＢを掛けて一次回折光検出手段の出力から引算
してバックグラウンド補正を行う演算手段とを設けたこ
とを特徴とする発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987084747U JPH0610298Y2 (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | 発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987084747U JPH0610298Y2 (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | 発光分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63193351U JPS63193351U (ja) | 1988-12-13 |
| JPH0610298Y2 true JPH0610298Y2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=30939525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987084747U Expired - Lifetime JPH0610298Y2 (ja) | 1987-05-30 | 1987-05-30 | 発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610298Y2 (ja) |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5132483A (ja) * | 1974-09-14 | 1976-03-19 | Toyo Boseki | Renzokukaitenshikikyuchakusochi |
| JPS5475784U (ja) * | 1977-11-09 | 1979-05-29 | ||
| JPS5478510A (en) * | 1977-12-02 | 1979-06-22 | Toshiba Corp | Pumping apparatus |
| JPS583622A (ja) * | 1981-06-29 | 1983-01-10 | Nippon Soda Co Ltd | 活性炭担持シ−ト |
| JPS58156521U (ja) * | 1982-04-12 | 1983-10-19 | 安藤 治好 | 脱臭器 |
| JPS58187837A (ja) * | 1982-04-27 | 1983-11-02 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 発光分光分析装置 |
-
1987
- 1987-05-30 JP JP1987084747U patent/JPH0610298Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63193351U (ja) | 1988-12-13 |
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