JPH06105598B2 - 荷電ビーム用レンズ - Google Patents
荷電ビーム用レンズInfo
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- JPH06105598B2 JPH06105598B2 JP4069231A JP6923192A JPH06105598B2 JP H06105598 B2 JPH06105598 B2 JP H06105598B2 JP 4069231 A JP4069231 A JP 4069231A JP 6923192 A JP6923192 A JP 6923192A JP H06105598 B2 JPH06105598 B2 JP H06105598B2
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- quadrupole
- quadrupole lens
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/12—Lenses electrostatic
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、開口（球面）収差の
制御が可能な荷電ビーム用のレンズに関するものであ
る。
制御が可能な荷電ビーム用のレンズに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から、電子ビームやイオンビーム装
置で使用されている荷電ビーム用のレンズの多くは、荷
電ビームの飛翔方向の中心を光軸（Ｚ軸）とすると、光
軸に対して回転（軸）対称な形状を有する磁界レンズや
電界レンズであり、これら軸対称レンズでは開口収差
（球面収差）を補正できない。
置で使用されている荷電ビーム用のレンズの多くは、荷
電ビームの飛翔方向の中心を光軸（Ｚ軸）とすると、光
軸に対して回転（軸）対称な形状を有する磁界レンズや
電界レンズであり、これら軸対称レンズでは開口収差
（球面収差）を補正できない。
【０００３】一方、光軸に平行に４つの電極や磁極を配
置した四極子レンズは電界或は磁界の主成分が荷電ビー
ムと直交して作用するため、強いレンズ作用が得られる
反面、１段の四極子レンズではＸ−Ｚ面で発散（凹）レ
ンズ作用、Ｙ−Ｚ面で集束（凸）レンズ作用を有すると
いうように、極端な軸非対称レンズである。
置した四極子レンズは電界或は磁界の主成分が荷電ビー
ムと直交して作用するため、強いレンズ作用が得られる
反面、１段の四極子レンズではＸ−Ｚ面で発散（凹）レ
ンズ作用、Ｙ−Ｚ面で集束（凸）レンズ作用を有すると
いうように、極端な軸非対称レンズである。
【０００４】このため、イオンマイクロアナライザ、イ
オンビームリソグラフィ装置、オージェ電子分光装置や
Ｘ線マイクロアナライザ等のビーム集束に四極子レンズ
を利用する場合、２段乃至３段以上の四極子レンズを組
み合わせて使用する必要がある。
オンビームリソグラフィ装置、オージェ電子分光装置や
Ｘ線マイクロアナライザ等のビーム集束に四極子レンズ
を利用する場合、２段乃至３段以上の四極子レンズを組
み合わせて使用する必要がある。
【０００５】上記のような荷電ビーム装置では微小ビー
ム径にビームを集束した時のビーム電流値が大きいほ
ど、装置の特性やスループットを向上させることがで
き、またビーム電流を増大させるためには荷電ビーム源
等に問題がなければビームの有効開き角を大きくすれば
良い。
ム径にビームを集束した時のビーム電流値が大きいほ
ど、装置の特性やスループットを向上させることがで
き、またビーム電流を増大させるためには荷電ビーム源
等に問題がなければビームの有効開き角を大きくすれば
良い。
【０００６】しかし、これを規制しているのはレンズの
開口（球面）収差である。一般に、ビーム光軸に対して
回転対称形の磁界レンズ、円筒レンズ、三枚電極レンズ
等による結像位置における開口収差によるボケΔｒは、
ビームの開き角をβとすると次式で表わされる。
開口（球面）収差である。一般に、ビーム光軸に対して
回転対称形の磁界レンズ、円筒レンズ、三枚電極レンズ
等による結像位置における開口収差によるボケΔｒは、
ビームの開き角をβとすると次式で表わされる。
【０００７】 Δｒ＝Ｃs β3 （１） ここで、Ｃs は開口収差係数である。
【０００８】これに対して、球面レンズ作用をもたない
四極子レンズでは、開口収差は更に複雑となり、Ｘ−Ｚ
面とＹ−Ｚ面における開口収差によるボケΔＸ、ΔＹは
各々の面でのビームの開き角α，βに依存する開口収差
係数をＣA30 ，ＣA12 ，ＣA21 ，ＣA03 とすると、次式
で表わすことができる。
四極子レンズでは、開口収差は更に複雑となり、Ｘ−Ｚ
面とＹ−Ｚ面における開口収差によるボケΔＸ、ΔＹは
各々の面でのビームの開き角α，βに依存する開口収差
係数をＣA30 ，ＣA12 ，ＣA21 ，ＣA03 とすると、次式
で表わすことができる。
【０００９】 ΔＸ＝（ＣA30・α2 ＋ＣA12・β2 ）α （２）
【００１０】 ΔＹ＝（ＣA21・α2 ＋ＣA03・β2 ）β （３）
【００１１】四極子レンズを３段以上組み合わせてレン
ズ系を構成し回転対称レンズと同様な使い方して、Ｘ−
Ｚ面のレンズ倍率とＹ−Ｚ面のレンズ倍率が|MX|=|MY|=
1 と等しい場合、α＝βの関係が成り立ち、ＣA21 ＝Ｃ
A12 となる。
ズ系を構成し回転対称レンズと同様な使い方して、Ｘ−
Ｚ面のレンズ倍率とＹ−Ｚ面のレンズ倍率が|MX|=|MY|=
1 と等しい場合、α＝βの関係が成り立ち、ＣA21 ＝Ｃ
A12 となる。
【００１２】このようなステイグマティックな条件のも
とでは３項［（２）式、（３）式のＣＡ１２とＣＡ２１
は等しい］の開口収差係数の値が小さいほどレンズ特性
が優れていることになる。
とでは３項［（２）式、（３）式のＣＡ１２とＣＡ２１
は等しい］の開口収差係数の値が小さいほどレンズ特性
が優れていることになる。
【００１３】上記のような四極子レンズ系では、八極子
レンズ作用と組み合わせることによって、開口収差の補
正が可能であり、また四極子レンズ系は八極子レンズと
組み合わせなくとも、四極子レンズ系と光軸を同じくす
る開口電極と組み合わせることにより八極子レンズ作用
を励起させて開口収差の補正が可能である（特公昭53-3
0628号公報、特公昭55-28179号公報）。
レンズ作用と組み合わせることによって、開口収差の補
正が可能であり、また四極子レンズ系は八極子レンズと
組み合わせなくとも、四極子レンズ系と光軸を同じくす
る開口電極と組み合わせることにより八極子レンズ作用
を励起させて開口収差の補正が可能である（特公昭53-3
0628号公報、特公昭55-28179号公報）。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、３段四極子レ
ンズ系において、四極子レンズの励起条件が第２四極子
レンズに対して左右対称でない場合は、ＣA12 ≠ＣA21
となり、４つの開口収差係数を完全に同じように制御す
ることは非常に難しい。
ンズ系において、四極子レンズの励起条件が第２四極子
レンズに対して左右対称でない場合は、ＣA12 ≠ＣA21
となり、４つの開口収差係数を完全に同じように制御す
ることは非常に難しい。
【００１５】即ち、ＣA30 の補正によってＣA12 、Ｃ
A21 が増大し、ＣA12 、ＣA21 の補正ではＣA30 やＣ
A03 が増大するというように非常に大きな係数が相互に
打ち消し合わなければならないため、八極子レンズの励
起作用も強くなり、僅かなミスアライメントから残留す
る収差が大きいことやミスアライメントに起因する機械
的な収差によって補正特性が著しく損なわれるため現実
的には補正が困難となる。
A21 が増大し、ＣA12 、ＣA21 の補正ではＣA30 やＣ
A03 が増大するというように非常に大きな係数が相互に
打ち消し合わなければならないため、八極子レンズの励
起作用も強くなり、僅かなミスアライメントから残留す
る収差が大きいことやミスアライメントに起因する機械
的な収差によって補正特性が著しく損なわれるため現実
的には補正が困難となる。
【００１６】例えば、図２に示すような３段の四極子レ
ンズと開口電極を組み合わせた補正系（特許第1458265
号) において、１、２、３は四極子レンズ、４、５は開
口電極、ＸはＸ−Ｚ面のビーム軌道、ＹはＹ−Ｚ面のビ
ーム軌道であるが、この補正系においては四極子レンズ
系が３段であり、ＣA12 ≠ＣA21 となる励起条件下で収
差補正を行なうところから、上記の開口収差係数を自由
に補正制御する完全補正系を実現することができないと
いう課題を残している。
ンズと開口電極を組み合わせた補正系（特許第1458265
号) において、１、２、３は四極子レンズ、４、５は開
口電極、ＸはＸ−Ｚ面のビーム軌道、ＹはＹ−Ｚ面のビ
ーム軌道であるが、この補正系においては四極子レンズ
系が３段であり、ＣA12 ≠ＣA21 となる励起条件下で収
差補正を行なうところから、上記の開口収差係数を自由
に補正制御する完全補正系を実現することができないと
いう課題を残している。
【００１７】上記補正系では加速電圧に対する印加電圧
の比で表わした励起強度（図２で四極子レンズ系や開口
電極上に示した数値）で明らかなように、第２四極子の
入射端面付近で線状集束させるために、強い四極子励起
強度を必要とし、このためＸ−Ｚ面（発散−集束−発
散）面のビームの離軸距離も大きくなるなどの難点があ
る。
の比で表わした励起強度（図２で四極子レンズ系や開口
電極上に示した数値）で明らかなように、第２四極子の
入射端面付近で線状集束させるために、強い四極子励起
強度を必要とし、このためＸ−Ｚ面（発散−集束−発
散）面のビームの離軸距離も大きくなるなどの難点があ
る。
【００１８】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、この発明では四極子レンズとこれと光軸を同じく
する軸上に開口を有する開口電極を組み合わせることに
よって開口収差を制御する荷電ビーム用レンズにおい
て、第１、第２、第３、第４の四極子レンズと前記第１
四極子レンズの前に配置された第１開口電極、第１四極
子レンズと第２四極子レンズ間に配置された第２開口電
極、第２四極子レンズと第３四極子レンズ間に配置され
た第３開口電極、第３四極子レンズと第４四極子レンズ
間に配置された第４開口電極及び第４四極子レンズの後
に配置された第５開口電極からなり、更に荷電ビームを
第３開口電極付近で線状に集束させるように前記四極子
レンズを励起する手段と第１〜第５開口電極の励起によ
って誘起される八極子レンズ作用で開口収差を補正制御
するための電圧を印加する手段を具備せしめた荷電ビー
ム用レンズを提供するものである。
めに、この発明では四極子レンズとこれと光軸を同じく
する軸上に開口を有する開口電極を組み合わせることに
よって開口収差を制御する荷電ビーム用レンズにおい
て、第１、第２、第３、第４の四極子レンズと前記第１
四極子レンズの前に配置された第１開口電極、第１四極
子レンズと第２四極子レンズ間に配置された第２開口電
極、第２四極子レンズと第３四極子レンズ間に配置され
た第３開口電極、第３四極子レンズと第４四極子レンズ
間に配置された第４開口電極及び第４四極子レンズの後
に配置された第５開口電極からなり、更に荷電ビームを
第３開口電極付近で線状に集束させるように前記四極子
レンズを励起する手段と第１〜第５開口電極の励起によ
って誘起される八極子レンズ作用で開口収差を補正制御
するための電圧を印加する手段を具備せしめた荷電ビー
ム用レンズを提供するものである。
【００１９】ここで、四極子レンズは電界型或は磁界型
の四極子レンズ何れをも使用することができる。
の四極子レンズ何れをも使用することができる。
【００２０】
【作用】この発明に係るレンズ系は４つの四極子レンズ
と５つの開口電極とからなり、構成要素は多いが、制御
は下記のように極めて簡単に行なわれる。
と５つの開口電極とからなり、構成要素は多いが、制御
は下記のように極めて簡単に行なわれる。
【００２１】即ち、この発明による荷電ビーム用レンズ
の特徴とレンズ作用を次に示すと、（１）第１、第４四
極子レンズと第２、第３四極子レンズの励起強度を各々
等しくし、第３開口電極付近で線状に集束する励起条件
を使用することにより、Ｘ−Ｚ（発散−集束−集束−発
散レンズ作用）面の倍率は１、Ｙ−Ｚ（集束−発散−発
散−集束レンズ作用）面の倍率は−１となる。（２）第
３開口電極の励起によって、Ｙ−Ｚ面のビーム軌道が光
軸と交差する位置で、Ｘ−Ｚ面の開口収差係数ＣA30 を
補正することにより他の収差係数の増大を抑えることが
できる。（３）励起条件が第３開口電極を中心に対称で
あるため、収差係数はＣA12 ＝ＣA21 となる。（４）こ
のため、第１、第５開口電極と第２、第４開口電極の励
起を等しく、この２つの励起の調整によって、ＣA03 と
ＣA12 を補正することができる。
の特徴とレンズ作用を次に示すと、（１）第１、第４四
極子レンズと第２、第３四極子レンズの励起強度を各々
等しくし、第３開口電極付近で線状に集束する励起条件
を使用することにより、Ｘ−Ｚ（発散−集束−集束−発
散レンズ作用）面の倍率は１、Ｙ−Ｚ（集束−発散−発
散−集束レンズ作用）面の倍率は−１となる。（２）第
３開口電極の励起によって、Ｙ−Ｚ面のビーム軌道が光
軸と交差する位置で、Ｘ−Ｚ面の開口収差係数ＣA30 を
補正することにより他の収差係数の増大を抑えることが
できる。（３）励起条件が第３開口電極を中心に対称で
あるため、収差係数はＣA12 ＝ＣA21 となる。（４）こ
のため、第１、第５開口電極と第２、第４開口電極の励
起を等しく、この２つの励起の調整によって、ＣA03 と
ＣA12 を補正することができる。
【００２２】
【実施例】図１はこの発明の一実施例を示すもので、1
1,12,13,14 はそれぞれ電界型の第１、第２、第３、第
４の四極子レンズ、21,22,23,24,25はそれぞれ第１、第
２、第３、第４、第５開口電極、Ｘ´はＸ−Ｚ面、Ｙ´
はＹ−Ｚ面のビーム軌道、αはＸ−Ｚ面、βはＹ−Ｚ面
のビームの開き角である。
1,12,13,14 はそれぞれ電界型の第１、第２、第３、第
４の四極子レンズ、21,22,23,24,25はそれぞれ第１、第
２、第３、第４、第５開口電極、Ｘ´はＸ−Ｚ面、Ｙ´
はＹ−Ｚ面のビーム軌道、αはＸ−Ｚ面、βはＹ−Ｚ面
のビームの開き角である。
【００２３】なお、各四極子レンズ11〜14及び第１〜第
５開口電極21〜25への電圧を印加する手段は省略してあ
る。
５開口電極21〜25への電圧を印加する手段は省略してあ
る。
【００２４】このレンズ系では、第１四極子レンズ11と
第４四極子レンズ14、第２四極子レンズ12と第３四極子
レンズ13の励起強度を各々等しくし、第３開口電極23付
近で荷電ビームが線状に集束されるようにする。
第４四極子レンズ14、第２四極子レンズ12と第３四極子
レンズ13の励起強度を各々等しくし、第３開口電極23付
近で荷電ビームが線状に集束されるようにする。
【００２５】更に第３開口電極２３の励起によってＸ−
Ｚ面の開口収差係数ＣＡ３０を補正し、また第１開口電
極２１、第５開口電極２５と第２開口電極２２、第４開
口電極２４の励起が各々等しくなるように調整して開口
収差係数ＣＡ０３とＣＡ１２並びにＣＡ２１を調整す
る。
Ｚ面の開口収差係数ＣＡ３０を補正し、また第１開口電
極２１、第５開口電極２５と第２開口電極２２、第４開
口電極２４の励起が各々等しくなるように調整して開口
収差係数ＣＡ０３とＣＡ１２並びにＣＡ２１を調整す
る。
【００２６】即ち、この実施例によれば第１四極子レン
ズ11と第４四極子レンズ14、第２四極子レンズ12と第３
四極子レンズ13の励起強度を各々等しくし、第３開口電
極23付近で荷電ビームが線状に集束する励起条件を使用
することにより、レンズ系におけるＸ−Ｚ面の倍率は
１、Ｙ−Ｚ面での倍率は−１となる。
ズ11と第４四極子レンズ14、第２四極子レンズ12と第３
四極子レンズ13の励起強度を各々等しくし、第３開口電
極23付近で荷電ビームが線状に集束する励起条件を使用
することにより、レンズ系におけるＸ−Ｚ面の倍率は
１、Ｙ−Ｚ面での倍率は−１となる。
【００２７】このため、第３開口電極２３の励起によ
り、ビーム軌道Ｙ′がビーム光軸２８と交差する位置近
傍で開口収差係数ＣＡ３０を補正でき、しかも他の収差
係数の増大を抑えることができる。
り、ビーム軌道Ｙ′がビーム光軸２８と交差する位置近
傍で開口収差係数ＣＡ３０を補正でき、しかも他の収差
係数の増大を抑えることができる。
【００２８】また励起条件が第３開口電極２３を中心に
対称であるため、開口収差係数ＣＡ１２＝ＣＡ２１とな
り、更に第１、第５開口電極２１、２５と第２、第４開
口電極２２、２４を等しく励起させる条件下で、開口収
差係数ＣＡ０３とＣＡ１２を補正することができる。
対称であるため、開口収差係数ＣＡ１２＝ＣＡ２１とな
り、更に第１、第５開口電極２１、２５と第２、第４開
口電極２２、２４を等しく励起させる条件下で、開口収
差係数ＣＡ０３とＣＡ１２を補正することができる。
【００２９】下記の表１は４つの四極子レンズと５つの
開口電極から構成される本発明のレンズ系において、励
起強度によって開口収差係数がどのように変化するかを
計算から求めた開口収差制御特性の例であり、表中開口
電極励起前とは４段四極子レンズ系の特性である。
開口電極から構成される本発明のレンズ系において、励
起強度によって開口収差係数がどのように変化するかを
計算から求めた開口収差制御特性の例であり、表中開口
電極励起前とは４段四極子レンズ系の特性である。
【００３０】また、電界型四極子レンズの電極長を14m
m、四極子レンズ及び開口電極の開口径を約7mm 、開口
電極の厚さを2mm 、ビーム源から第１四極子レンズ11中
心までの距離Ｚ1 と第４四極子14中心から集束点までの
距離Ｚ0 はＺ1 ＝Ｚ0 ＝57mmの一定条件で計算した。
m、四極子レンズ及び開口電極の開口径を約7mm 、開口
電極の厚さを2mm 、ビーム源から第１四極子レンズ11中
心までの距離Ｚ1 と第４四極子14中心から集束点までの
距離Ｚ0 はＺ1 ＝Ｚ0 ＝57mmの一定条件で計算した。
【００３１】
【表１】
【００３２】表１中において、励起強度は加速電圧に対
する印加電圧の比で表わし、例えばＶＱ１／Ｖａ＝±
０．０３８６９９は加速電圧がＶａ＝２０ｋＶであれ
ば、第１四極子レンズ１１と第４四極子レンズ１４に印
加する電圧は±７７３．９８Ｖとなる。
する印加電圧の比で表わし、例えばＶＱ１／Ｖａ＝±
０．０３８６９９は加速電圧がＶａ＝２０ｋＶであれ
ば、第１四極子レンズ１１と第４四極子レンズ１４に印
加する電圧は±７７３．９８Ｖとなる。
【００３３】したがって、開口電極の励起前と励起後の
四極子レンズ励起強度がＶＱ１、ＶＱ２で０．１９％、
０．１２％程度異なるのは開口電極の励起によって誘起
される電界レンズ作用による焦点位置のズレを四極子レ
ンズの励起で補償したことを示している。
四極子レンズ励起強度がＶＱ１、ＶＱ２で０．１９％、
０．１２％程度異なるのは開口電極の励起によって誘起
される電界レンズ作用による焦点位置のズレを四極子レ
ンズの励起で補償したことを示している。
【００３４】また、図１の31( 実線) は四極子レンズフ
ィールドを表わす電位分布、32( 一点鎖線）は八極子レ
ンズフィールドを表わす電位分布、33（破線）は電界レ
ンズフィールドを表わす電位分布である。
ィールドを表わす電位分布、32( 一点鎖線）は八極子レ
ンズフィールドを表わす電位分布、33（破線）は電界レ
ンズフィールドを表わす電位分布である。
【００３５】これらの電位分布は四極子レンズと開口電
極による補正レンズの特徴で、開口電極励起による軸対
称な電界レンズ作用が非常に弱く、レンズの焦点特性は
ほぼ四極子レンズの励起で決まり、開口電極励起によっ
て開口収差を制御できることを示している。
極による補正レンズの特徴で、開口電極励起による軸対
称な電界レンズ作用が非常に弱く、レンズの焦点特性は
ほぼ四極子レンズの励起で決まり、開口電極励起によっ
て開口収差を制御できることを示している。
【００３６】表１に示した開口収差の補正例では、四極
子レンズ及び開口電極には加速電圧の3.9%以下の印加電
圧で、四極子電極及び開口電極の励起強度が比較的弱
く、励起制御も簡単な条件で、全ての開口収差係数を０
にすることができることを示している。
子レンズ及び開口電極には加速電圧の3.9%以下の印加電
圧で、四極子電極及び開口電極の励起強度が比較的弱
く、励起制御も簡単な条件で、全ての開口収差係数を０
にすることができることを示している。
【００３７】また、この発明によれば従来不可能であっ
た開口収差を自由に制御できるので、軸対称な磁界レン
ズや電界レンズの前或は後にこの発明によるレンズを配
置することにより、軸対称レンズの開口収差係数ＣS を
打ち消すことができる。
た開口収差を自由に制御できるので、軸対称な磁界レン
ズや電界レンズの前或は後にこの発明によるレンズを配
置することにより、軸対称レンズの開口収差係数ＣS を
打ち消すことができる。
【００３８】即ち、四極子レンズ及び開口電極の励起条
件を制御することにより、ＣA30 ＝ＣA12 ＝ＣA21 ＝Ｃ
A03 ＝−ＣS となるような収差補正レンズシステムを実
現できる。
件を制御することにより、ＣA30 ＝ＣA12 ＝ＣA21 ＝Ｃ
A03 ＝−ＣS となるような収差補正レンズシステムを実
現できる。
【００３９】
【発明の効果】以上要するに、この発明によれば比較的
弱いレンズ励起強度によって開口収差を規制する４つの
収差係数を任意に制御できることになる。特に倍率１の
レンズにおいて開口収差０のレンズ系を実現することが
できる。
弱いレンズ励起強度によって開口収差を規制する４つの
収差係数を任意に制御できることになる。特に倍率１の
レンズにおいて開口収差０のレンズ系を実現することが
できる。
【図１】この発明による荷電ビーム用レンズの構成とビ
ーム軌道を示す図
ーム軌道を示す図
【図２】従来の３段の四極子レンズと開口電極とから構
成される荷電ビーム用レンズにおけるビーム軌道と励起
強度及びその特性を示す図
成される荷電ビーム用レンズにおけるビーム軌道と励起
強度及びその特性を示す図
11,12,13,14 は第１、第２、第３、第４四極子レンズ 21,22,23,24,25は第１、第２、第３、第４、第５開口電
極 31,32,33は四極子レンズ、八極子レンズ、電界レンズの
電位分布 Ｘ´はＸ−Ｚ面のビーム軌道 Ｙ´はＹ−Ｚ面のビーム軌道 αはＸ−Ｚ面のビームの開き角 βはＹ−Ｚ面のビームの開き角
極 31,32,33は四極子レンズ、八極子レンズ、電界レンズの
電位分布 Ｘ´はＸ−Ｚ面のビーム軌道 Ｙ´はＹ−Ｚ面のビーム軌道 αはＸ−Ｚ面のビームの開き角 βはＹ−Ｚ面のビームの開き角
Claims (1)
- 【請求項１】 四極子レンズとこれと光軸を同じくする
軸上に開口を有する開口電極を組み合わせることによっ
て開口収差を制御する荷電ビーム用レンズにおいて、第
１、第２、第３、第４の四極子レンズと前記第１四極子
レンズの前に配置された第１開口電極、第１四極子レン
ズと第２四極子レンズ間に配置された第２開口電極、第
２四極子レンズと第３四極子レンズ間に配置された第３
開口電極、第３四極子レンズと第４四極子レンズ間に配
置された第４開口電極及び第４四極子レンズの後に配置
された第５開口電極からなり、更に荷電ビームを第３開
口電極付近で線状に集束させるように前記四極子レンズ
を励起する手段と第１〜第５開口電極の励起によって誘
起される八極子レンズ作用で開口収差を補正制御するた
めの電圧を印加する手段を具備せしめたことを特徴とす
る荷電ビーム用レンズ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4069231A JPH06105598B2 (ja) | 1992-02-18 | 1992-02-18 | 荷電ビーム用レンズ |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4069231A JPH06105598B2 (ja) | 1992-02-18 | 1992-02-18 | 荷電ビーム用レンズ |
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| JPH05234550A JPH05234550A (ja) | 1993-09-10 |
| JPH06105598B2 true JPH06105598B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=13396756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4069231A Expired - Lifetime JPH06105598B2 (ja) | 1992-02-18 | 1992-02-18 | 荷電ビーム用レンズ |
Country Status (2)
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-
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|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |