JPH0610607Y2 - 電子ビーム発生装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は電子ビーム発生装置におけるビームを確認す
るための確認窓に関するものである。周知の通り，電子
ビーム発生装置においては，電子ビームの通過領域の圧
力を１０^-4Torr程度に保持することにより，電子ビーム
の通過状況を肉眼で観測するようにしている。即ち，電
子ビーム中の任意の電子がビームの通過領域中に存在す
る気体分子と衝突すると，衝突された気体分子内の軌道
中の電子が衝突したきた電子の運動エネルギーのために
励起状態へとあげられ，その後元の状態にもどる時，余
分なエネルギーを光子として放出する。この放出された
光子が、可視領域の周波数のため発光現象として観測で
きるからである。

［従来の技術］ 第３図は従来の電子ビーム発生装置の概略内部図を示
し、この図中１はビーム発生器で、熱電子発生源である
陰極１ａを有し、プレート２に支持されている。３はリ
ング状の加速陽極、４ａ，４ｂは円筒状のビーム通路、
５ａ，５ｂはリング状の収束コイル、６は偏向コイルで
図示する位置に幾何学的或いは電磁気的に正確に配置し
てある。７は調整装置で、前記陰極１ａの位置を調節す
る。８ａ，８ｂはノズルで、それぞれビーム発生室９
ａ，中間室９ｂの側壁に設けられ、図示しない真空ポン
プにより、それぞれの室を真空状態となるように排気す
る。１０はビーム観測窓で、前記中間室の側壁にこのビ
ーム発生装置の中心軸であるビーム軸（以下単に軸心と
称する）とほぼ垂直に設けてあり、ビームの位置を観測
する。

以上の構成において、公知の作用によりビーム発生器１
はビームを発生する。このとき、ビームが軸心を通って
いるか否かを観測窓１０で観測し、ビームが軸心から外
れていた場合には、調節装置７で、ビーム発生器１の陰
極１ａの微調節を行ない、ビームが軸心を通るようにす
る。なお、圧力が５×１０^-4Torr程度のときが電子ビー
ムの発光現象を良く観測できるが，これ以上の圧力にな
ると，発光現象がかなり激しくなってきて，ビームが散
乱してしまう。

そこで，電子ビーム発生装置においては，５×１０^-4To
rr程度の圧力となるように中間室への気体導入の調整を
行う圧力調整機構（図示せず）を設けている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ところで、ビームが軸心にあっているか否かは非常に重
要で、ビームが軸心からずれていると、ビームがビーム
通路に当たり、この通路を破壊するという問題が生じ
る。しかし、前記従来の観測方法では、観測窓が一つし
かないため、ビームを１方向でしか観測できず、正確に
ビームが軸心にあっているか否かを確認できないという
欠点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

そこでこの考案は、従来の観測窓のほかに、前記観測窓
と軸周方向にほぼ９０°ずらした位置に第２の観測窓を
設けることにより、２か所からビームを観測できるよう
にし、前記従来の問題を解決するものである。

［実施例］ 第１図及び第２図はこの考案の１実施例を示すそれぞれ
内部図，断面図で、これらの図中第３図と同符号を付し
たものは第３図と同一の構成である。１１は第２の観測
窓で、従来の観測窓１０と軸周方向にほぼ９０°ずらし
た位置に設置してある。

［作用］ この考案のものでは、ビーム発生器１がビームを発生す
るとき、ビームが軸心を通っているか否かを観測窓１０
及び第２の観測窓１１の２カ所から観測でき、調節装置
７により、ビーム発生器１の陰極１ａの微調節を行なえ
る。

［考案の効果］ 以上説明したようにこの考案では、軸心に対してほぼ９
０°ずらした２カ所からビームを観測できるようにした
ため、従来のものよりはるかに正確にビームを観測でき
るようになり、ビームの軸心合わせをよりいっそう正確
に行えるようになったという優れた効果を生ずる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例を示す内部図、第２図は第
１図のＡ−Ａ断面図、第３図は従来の電子ビーム発生装
置の内部図である。 １……ビーム発生器 ９ａ……ビーム発生室 ９ｂ……中間室 １０……観測窓 １１……第２の観測窓

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ビーム発生室と中間室を有する電子ビーム
   を発生する装置において、前記中間室の側壁に前記ビー
   ムのビーム軸に対しほぼ垂直な位置に、前記ビームを観
   測する第１のビーム観測窓と第２のビーム観測窓とを前
   記ビームの軸周方向にほぼ９０°ずらして配置したこと
   を特徴とする電子ビーム発生装置。