JPH0610643B2 - レンズの軸の傾き等の測定方法 - Google Patents
レンズの軸の傾き等の測定方法Info
- Publication number
- JPH0610643B2 JPH0610643B2 JP59231106A JP23110684A JPH0610643B2 JP H0610643 B2 JPH0610643 B2 JP H0610643B2 JP 59231106 A JP59231106 A JP 59231106A JP 23110684 A JP23110684 A JP 23110684A JP H0610643 B2 JPH0610643 B2 JP H0610643B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- light
- axis
- optical
- reference surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 146
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 6
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N chloromethane Chemical compound ClC NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003467 diminishing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007688 edging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、レンズの軸の傾き等を測定する方法、さらに
詳しくは、光学系の光軸に対する非球面成形レンズの表
面の対称軸の傾き、偏心等を光学的に測定する方法に関
するものである。
詳しくは、光学系の光軸に対する非球面成形レンズの表
面の対称軸の傾き、偏心等を光学的に測定する方法に関
するものである。
(発明の背景) 今日、光学系に用いられているレンズの大多数は、球面
である光学面を有している。このようなレンズの球面の
点対称性は、これらの面が形成された後、単純な機械的
な方法(例えば、エッジング技術)によってこれらの面
の光軸の位置決めを可能にする。このようなレンズの球
面の対称性は、このような面と光学系のアライメントを
比較的単純にする。これは、起こり得る球面の唯一のミ
スアライメントが、偏心を理由としているため比較的容
易に補正できるからである。
である光学面を有している。このようなレンズの球面の
点対称性は、これらの面が形成された後、単純な機械的
な方法(例えば、エッジング技術)によってこれらの面
の光軸の位置決めを可能にする。このようなレンズの球
面の対称性は、このような面と光学系のアライメントを
比較的単純にする。これは、起こり得る球面の唯一のミ
スアライメントが、偏心を理由としているため比較的容
易に補正できるからである。
非球面を有する光学レンズは、球面レンズに比して光学
的に大きな利点を有している。例えば、非球面レンズ
は、光学系中で球面収差やコマ収発生させないように設
計できる。しかしながら、この非球面レンズは、未だ広
く使用されているというわけではない。1つの理由は、
正確に位置決めできかつアライメント(角度決め)する
非球面をもったレンズの製造が困難だということであ
る。これについては、非球面レンズの製造、テストある
いは最終の使用段階で、非球面の対称軸の位置決めおよ
びアライメントを正確に行なうことが難しかったという
理由がある。
的に大きな利点を有している。例えば、非球面レンズ
は、光学系中で球面収差やコマ収発生させないように設
計できる。しかしながら、この非球面レンズは、未だ広
く使用されているというわけではない。1つの理由は、
正確に位置決めできかつアライメント(角度決め)する
非球面をもったレンズの製造が困難だということであ
る。これについては、非球面レンズの製造、テストある
いは最終の使用段階で、非球面の対称軸の位置決めおよ
びアライメントを正確に行なうことが難しかったという
理由がある。
従って、非球面の位置決めとアライメントを正しく行な
う唯一の方法には、非球面の正確な形状の測定が含まれ
る(例えば機械的な針を用いたり、干渉計を用いたりし
て)。このような測定は、実行するには本質的な複雑さ
がありかつ時間がかかる。またこのような測定は、ある
光学系においてはしばしば実施することが不可能になる
(スペースの制限の故に)。従ってレンズの非球面の位
置決めとアライメントを正確に行なうために他の方法が
考えられている。
う唯一の方法には、非球面の正確な形状の測定が含まれ
る(例えば機械的な針を用いたり、干渉計を用いたりし
て)。このような測定は、実行するには本質的な複雑さ
がありかつ時間がかかる。またこのような測定は、ある
光学系においてはしばしば実施することが不可能になる
(スペースの制限の故に)。従ってレンズの非球面の位
置決めとアライメントを正確に行なうために他の方法が
考えられている。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、使
用しようとする光学装置において非球面レンズを正確に
位置決めし、かつアライメントする、光学系の光軸に対
する非球面の対称軸の傾きと偏心および非球面レンズの
くさび角を光学的に測定する方法を提供することを目的
とする。
用しようとする光学装置において非球面レンズを正確に
位置決めし、かつアライメントする、光学系の光軸に対
する非球面の対称軸の傾きと偏心および非球面レンズの
くさび角を光学的に測定する方法を提供することを目的
とする。
(問題を解決しようとする手段) 本発明による光学系の光軸に対する非球面成形レンズの
表面の対称軸の傾きを光学的に測定する方法は、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズを成形する工程、 (b)前記光学系の光軸に向いている光を該レンズの前記
光学面に向ける工程、を行ない、その後、 (c)(1)前記基準面から反射された光と、該基準面と前記
光の光源の間において前記光学系の光軸に直角に配置さ
れた参照面で反射された光とによって生じぜしめられた
干渉パターン、あるいは (2)前記光が基準面で反射されたときの反射角度、ある
いは (3)前記光が前記基準面を透過するときに屈折されたと
きの屈折角度、のいずれかを観察する工程、 からなることを特徴とするものである。
表面の対称軸の傾きを光学的に測定する方法は、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズを成形する工程、 (b)前記光学系の光軸に向いている光を該レンズの前記
光学面に向ける工程、を行ない、その後、 (c)(1)前記基準面から反射された光と、該基準面と前記
光の光源の間において前記光学系の光軸に直角に配置さ
れた参照面で反射された光とによって生じぜしめられた
干渉パターン、あるいは (2)前記光が基準面で反射されたときの反射角度、ある
いは (3)前記光が前記基準面を透過するときに屈折されたと
きの屈折角度、のいずれかを観察する工程、 からなることを特徴とするものである。
また本発明による光学系の光軸に対する非球面成形レン
ズの表面の対称軸の偏心を光学的に測定する方法は、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズをその最終の大き
さと形状に成形する工程、 (b)前記光学系の光軸に収れんする光を該レンズの前記
光学面に向ける工程、を行ない、その後、 (c)(1)前記基準面で反射された光と、該基準面と前記光
の光源の間においてその回転軸が前記光学系の光軸上に
位置する参照面で反射された光とによって生ぜしめられ
た干渉パターン、あるいは (2)前記光が前記基準面で反射されたときの反射角度、
あるいは (3)前記光が前記基準面を透過するときに屈折されたと
きの屈折角度、を観察する工程、 からなることを特徴とするものである。
ズの表面の対称軸の偏心を光学的に測定する方法は、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズをその最終の大き
さと形状に成形する工程、 (b)前記光学系の光軸に収れんする光を該レンズの前記
光学面に向ける工程、を行ない、その後、 (c)(1)前記基準面で反射された光と、該基準面と前記光
の光源の間においてその回転軸が前記光学系の光軸上に
位置する参照面で反射された光とによって生ぜしめられ
た干渉パターン、あるいは (2)前記光が前記基準面で反射されたときの反射角度、
あるいは (3)前記光が前記基準面を透過するときに屈折されたと
きの屈折角度、を観察する工程、 からなることを特徴とするものである。
さらに、本発明による非球面成形レンズのくさび角を光
学的に測定する方法は、 (a)2つの光学面の対称軸あるいは対称点に対してそれ
ぞれ所定の位置と角度を有する基準面を備えたレンズを
その最終の形状に成形する工程、 (b)該レンズの前記基準面に平行光を向ける工程、を行
ない、その後 (c)前記各基準面で反射された前記光により生ぜしめら
れた干渉パターンを観察する工程、 からなることを特徴とするものである。
学的に測定する方法は、 (a)2つの光学面の対称軸あるいは対称点に対してそれ
ぞれ所定の位置と角度を有する基準面を備えたレンズを
その最終の形状に成形する工程、 (b)該レンズの前記基準面に平行光を向ける工程、を行
ない、その後 (c)前記各基準面で反射された前記光により生ぜしめら
れた干渉パターンを観察する工程、 からなることを特徴とするものである。
本発明の方法で使用される非球面成形レンズは、少なく
とも1つの非球面と、非球面の対称軸の側方に延びる少
なくとも1つの基準面を有する成形レンズである。1実
施例において、非球面レンズは、その長手方向の両側に
2つの非球面と2つの基準面を有し、該基準面はその隣
接する非球面の対称軸に対してほぼ同一の角度で側方に
突出する。したがって、これらの基準面は、ほぼ平行で
ある。非球面の対称軸に沿ってみたとき、2つの基準面
は、ほぼ重なり合うようにみえる。この実施例におい
て、レンズの2つの非球面の対称軸間の角度、すなわち
くさび角(ウエッジ)は、光学的方法により精密に決定
される。結果として、非球面レンズの2つの非球面の相
互の位置と角度は、必要な位置と角度を非球面に与える
ように製造工程中に調節できる。
とも1つの非球面と、非球面の対称軸の側方に延びる少
なくとも1つの基準面を有する成形レンズである。1実
施例において、非球面レンズは、その長手方向の両側に
2つの非球面と2つの基準面を有し、該基準面はその隣
接する非球面の対称軸に対してほぼ同一の角度で側方に
突出する。したがって、これらの基準面は、ほぼ平行で
ある。非球面の対称軸に沿ってみたとき、2つの基準面
は、ほぼ重なり合うようにみえる。この実施例におい
て、レンズの2つの非球面の対称軸間の角度、すなわち
くさび角(ウエッジ)は、光学的方法により精密に決定
される。結果として、非球面レンズの2つの非球面の相
互の位置と角度は、必要な位置と角度を非球面に与える
ように製造工程中に調節できる。
本発明によれば、非球面の対称軸の位置と角度を従来の
光学的なテスト技術によって迅速かつ容易で正確に決定
することができる。
光学的なテスト技術によって迅速かつ容易で正確に決定
することができる。
(発明の構成および作用) 本発明において成形される非球面レンズは、光学的に透
明なガラスあるいはプラスチック(ガラスが好ましい)
等の従来周知のレンズ材料から構成される。前記非球面
レンズは、米国特許第2410616号、同第3900
328号および第4139677号明細書に記載されて
いる成形方法のような適当なレンズ製造工程によって1
つあるいは複数の非球面、および本発明による1つある
いは複数の基準面を有するように構成される。
明なガラスあるいはプラスチック(ガラスが好ましい)
等の従来周知のレンズ材料から構成される。前記非球面
レンズは、米国特許第2410616号、同第3900
328号および第4139677号明細書に記載されて
いる成形方法のような適当なレンズ製造工程によって1
つあるいは複数の非球面、および本発明による1つある
いは複数の基準面を有するように構成される。
本発明で使用される非球面レンズは、1981年10月
30日に米国出願された“Process To Mo
ld Precision Glass Artick
s”(出願番号316861)に記載された方法と装置により
その最終の大きさと形状に成形されることが好ましい。
このような方法と装置は、例えば非球面の対称軸のよう
な他の要素に対して予め正確に決定された位置と角度を
有する基準面のような要素を持った特定の大きさと形状
のレンズを作るように構成されている。したがって、こ
の方法と装置は、その装置のレンズ成形面の幾何学的形
状を、製造されたレンズに写して、そのレンズに光学的
不規則がなくなるようにするために使用することができ
る。
30日に米国出願された“Process To Mo
ld Precision Glass Artick
s”(出願番号316861)に記載された方法と装置により
その最終の大きさと形状に成形されることが好ましい。
このような方法と装置は、例えば非球面の対称軸のよう
な他の要素に対して予め正確に決定された位置と角度を
有する基準面のような要素を持った特定の大きさと形状
のレンズを作るように構成されている。したがって、こ
の方法と装置は、その装置のレンズ成形面の幾何学的形
状を、製造されたレンズに写して、そのレンズに光学的
不規則がなくなるようにするために使用することができ
る。
第1図および第2図には、この発明の両面非球面レンズ
10が示されている。レンズ10は、レンズの各々の、前方
および後方の2つの非球面11および12を有する。非球面
11および12の対称軸(図示せず)は、レンズ10の光軸13
とほぼ一致する。各非球面11および12の各々の側部に
は、各々隣接する平らな基準面14と15が位置する。基準
面1415の側端は、滑らかで、長手方向に伸びるレンズ10
の円筒面16により接続され、この円筒面16の軸は、レン
ズの光軸13とほぼ一致する。
10が示されている。レンズ10は、レンズの各々の、前方
および後方の2つの非球面11および12を有する。非球面
11および12の対称軸(図示せず)は、レンズ10の光軸13
とほぼ一致する。各非球面11および12の各々の側部に
は、各々隣接する平らな基準面14と15が位置する。基準
面1415の側端は、滑らかで、長手方向に伸びるレンズ10
の円筒面16により接続され、この円筒面16の軸は、レン
ズの光軸13とほぼ一致する。
レンズ10の基準面14と15の各々は、その隣接する非球面
11および12の各々の対称軸の側方に突出する。この発明
の基準面に関して「側方」という用語の使用によって、
この用語は、非球面の対称軸と鋭角あるいは直角をなす
方向を意味し、これにより基準面は、精密な所定の位置
と角度を有する。この発明による非球面の対称軸の傾き
と偏心および非球面レンズのくさび角、の光学的測定を
行なうために、側方に突出する基準面(例えば基準面14
あるいは15)の使用は、長手方向に伸びる基準面(例え
ば円筒面16)よりも好ましい。この発明により、レン
ズ10のくさび角を定めるために、a)基準面14および15の
各々は、隣接する非球面11および12の対称軸に対してほ
ぼ同一の角度、好ましくは直角をなすように側方に突出
し、従って基準面14および15はほぼ平行であり、b)非球
面11および12の対称軸に沿ってみたとき、基準面14およ
び15がほぼ重なり合うことが好ましい。
11および12の各々の対称軸の側方に突出する。この発明
の基準面に関して「側方」という用語の使用によって、
この用語は、非球面の対称軸と鋭角あるいは直角をなす
方向を意味し、これにより基準面は、精密な所定の位置
と角度を有する。この発明による非球面の対称軸の傾き
と偏心および非球面レンズのくさび角、の光学的測定を
行なうために、側方に突出する基準面(例えば基準面14
あるいは15)の使用は、長手方向に伸びる基準面(例え
ば円筒面16)よりも好ましい。この発明により、レン
ズ10のくさび角を定めるために、a)基準面14および15の
各々は、隣接する非球面11および12の対称軸に対してほ
ぼ同一の角度、好ましくは直角をなすように側方に突出
し、従って基準面14および15はほぼ平行であり、b)非球
面11および12の対称軸に沿ってみたとき、基準面14およ
び15がほぼ重なり合うことが好ましい。
基準面14および15の各々は、その隣接する非球面11およ
び12に接触し、第1図および第2図に示す如くその隣接
する非球面の対称軸の周囲に突出していることが好まし
い。
び12に接触し、第1図および第2図に示す如くその隣接
する非球面の対称軸の周囲に突出していることが好まし
い。
光学系の光軸に対するレンズ10の前方非球面11の対称軸
(およびレンズの光軸13)の傾きは、前方の基準面14に
入射してそこから反射されるかそこを透過する所定の光
の挙動によって精密に定めることができる。この決定
は、例えば、(a)光学系の光軸に平行であり、レンズ10
の前方基準面14から反射された光と、前方基準面14の前
方に位置し光学系の光軸に直角に配置された平らな参照
面で反射された光とによって生じしめられた干渉パター
ンを観察することによって、あるいは(b)このような平
行光が前方基準面(14)から反射されたときの反射角度を
観察することによって、あるいは(c)このような平行光
が前方基準面14(および後方基準面15)を通過する際屈
折されるときの屈折角度で観察することによって行なわ
れる。レンズ10の前方基準面14の、光学系の光軸に直角
な方向とのアライメントのずれがあるかどうかを上記の
いずれかの観察も正確に示し、従って、光学系の光軸に
対するレンズ10の前方非球面11の対称軸の対応する傾き
を示す。
(およびレンズの光軸13)の傾きは、前方の基準面14に
入射してそこから反射されるかそこを透過する所定の光
の挙動によって精密に定めることができる。この決定
は、例えば、(a)光学系の光軸に平行であり、レンズ10
の前方基準面14から反射された光と、前方基準面14の前
方に位置し光学系の光軸に直角に配置された平らな参照
面で反射された光とによって生じしめられた干渉パター
ンを観察することによって、あるいは(b)このような平
行光が前方基準面(14)から反射されたときの反射角度を
観察することによって、あるいは(c)このような平行光
が前方基準面14(および後方基準面15)を通過する際屈
折されるときの屈折角度で観察することによって行なわ
れる。レンズ10の前方基準面14の、光学系の光軸に直角
な方向とのアライメントのずれがあるかどうかを上記の
いずれかの観察も正確に示し、従って、光学系の光軸に
対するレンズ10の前方非球面11の対称軸の対応する傾き
を示す。
光学系内での、第1図および第2図のレンズ10の前方非
球面11の対称軸の傾きは、第3図に示される如き、例え
ばフイゾー干渉計20により干渉学的に決定される。第3
図に示す如く、干渉計20は、レーザの如き単色光源21、
ピンホール22、ビームスプリッタ23、コリメータレンズ
24(ピンホール22に焦点を有し、ピンホールからの発散
光25を平行光25′に収れんさせる)、平らな参照面26
(レンズ10の前方に位置し、干渉計20の光軸27に直角に
配置され、反射防止膜をコートされた)、および、参照
面26とレンズ10の前方基準面14にほぼ直角に入射し、そ
こから反射されるコリメータレンズ24からの平行光25′
により形成される干渉パターンを観察者29が観察できる
ようにするピンホールの如き手段28からなる。この判断
を行なうために、干渉計20の光軸27は、レンズ10が使用
される光学系の光軸(図示せず)と一致することが好ま
しい。
球面11の対称軸の傾きは、第3図に示される如き、例え
ばフイゾー干渉計20により干渉学的に決定される。第3
図に示す如く、干渉計20は、レーザの如き単色光源21、
ピンホール22、ビームスプリッタ23、コリメータレンズ
24(ピンホール22に焦点を有し、ピンホールからの発散
光25を平行光25′に収れんさせる)、平らな参照面26
(レンズ10の前方に位置し、干渉計20の光軸27に直角に
配置され、反射防止膜をコートされた)、および、参照
面26とレンズ10の前方基準面14にほぼ直角に入射し、そ
こから反射されるコリメータレンズ24からの平行光25′
により形成される干渉パターンを観察者29が観察できる
ようにするピンホールの如き手段28からなる。この判断
を行なうために、干渉計20の光軸27は、レンズ10が使用
される光学系の光軸(図示せず)と一致することが好ま
しい。
レンズ10の前方基準面14から干渉計20により観察される
干渉パターンは、光学系内でのレンズのパーフォーマン
スを最良のものとするために、使用する光学系中のレン
ズの前方非球面11の対称軸(およびレンズの光軸13)の
傾きを最小にするように使用できる。この点に関して、
観察される干渉パターンは、干渉計20の光軸27に直角な
方向からのレンズ10の前方基準面14のアライメントのず
れを最小にするように使用することができ、干渉計20の
光軸に関するレンズ10の前方非球面11の対称軸の傾きを
最小にすることができる。特に、使用される光学系の光
軸に関しての、前方非球面11の対称軸の傾きが、干渉計
20のレンズ10の整列により最小になるので、干渉のライ
ンの最小の数、好ましくは0が、手段28を介して観察さ
れる。
干渉パターンは、光学系内でのレンズのパーフォーマン
スを最良のものとするために、使用する光学系中のレン
ズの前方非球面11の対称軸(およびレンズの光軸13)の
傾きを最小にするように使用できる。この点に関して、
観察される干渉パターンは、干渉計20の光軸27に直角な
方向からのレンズ10の前方基準面14のアライメントのず
れを最小にするように使用することができ、干渉計20の
光軸に関するレンズ10の前方非球面11の対称軸の傾きを
最小にすることができる。特に、使用される光学系の光
軸に関しての、前方非球面11の対称軸の傾きが、干渉計
20のレンズ10の整列により最小になるので、干渉のライ
ンの最小の数、好ましくは0が、手段28を介して観察さ
れる。
レンズ10の前方および後方の基準面14と15は、レンズ10
のくさび角を光学的方法によって精密に測定するために
使用される。この測定は、第4図において構成的に示す
フィゾー干渉計20Aのような装置を用いることによって
実行される。このフィゾー干渉計20Aは、レンズ10の前
方に平らな参照面を有していないところが、第3図のフ
ィゾー干渉計とは違うが、他は同様の構成である。第4
図の装置20Aは、レンズ10の基準面14と15に入射しかつ
反射される平行光25A′を出射する。必要があれば、光
25A′は、第4図に示す如くレンズ10(部材の傾きのな
い)の非球面11および12の対称軸の1つに平行にするこ
とができるが、これは必要なことではない。ほぼ平行な
基準面14および15間の角度およびレンズの2つの非球面
11および12の対称軸間の対応する角度、すなわちくさび
角は、平行光25A′による前方基準面14と後方基準面15
間に生じる干渉パターンから測定できる。干渉パターン
から測定されるくさび角を用いて、レンズ10が用いられ
る光学系中のレンズ10の角度を調整して、光学系内のレ
ンズのパーフォーマンスを最良のものとすることができ
る。レンズ10は、使用すべき光学系内でアライメントさ
れるので、光学系の光軸と、2つの非球面11と12の対称
軸の各々との間の角度は、最小のものとなる。このよう
にして測定されたくさび角は、光学部材10が製造される
際のプロセスおよび装置の調整に用いられて、いかなる
くさび角も最小にできあるいは必要な(場合によっては
大きな)くさび角をも得られるようにすることが好まし
い。
のくさび角を光学的方法によって精密に測定するために
使用される。この測定は、第4図において構成的に示す
フィゾー干渉計20Aのような装置を用いることによって
実行される。このフィゾー干渉計20Aは、レンズ10の前
方に平らな参照面を有していないところが、第3図のフ
ィゾー干渉計とは違うが、他は同様の構成である。第4
図の装置20Aは、レンズ10の基準面14と15に入射しかつ
反射される平行光25A′を出射する。必要があれば、光
25A′は、第4図に示す如くレンズ10(部材の傾きのな
い)の非球面11および12の対称軸の1つに平行にするこ
とができるが、これは必要なことではない。ほぼ平行な
基準面14および15間の角度およびレンズの2つの非球面
11および12の対称軸間の対応する角度、すなわちくさび
角は、平行光25A′による前方基準面14と後方基準面15
間に生じる干渉パターンから測定できる。干渉パターン
から測定されるくさび角を用いて、レンズ10が用いられ
る光学系中のレンズ10の角度を調整して、光学系内のレ
ンズのパーフォーマンスを最良のものとすることができ
る。レンズ10は、使用すべき光学系内でアライメントさ
れるので、光学系の光軸と、2つの非球面11と12の対称
軸の各々との間の角度は、最小のものとなる。このよう
にして測定されたくさび角は、光学部材10が製造される
際のプロセスおよび装置の調整に用いられて、いかなる
くさび角も最小にできあるいは必要な(場合によっては
大きな)くさび角をも得られるようにすることが好まし
い。
第5図および第6図に示すのは、この発明による他の両
面非球面レンズ30である。レンズ30は、各々前方および
後方に2つの非球面31と32を有する。非球面31および32
の対称軸(図示せず)は、レンズの長手方向の光軸33と
ほぼ一致しこれを構成する。前方の非球面31に隣接し
て、レンズ30の前方部には、球面34が位置する(球面34
は非球面31に対して基準面を構成している)。レンズ30
の後方部には、後方の非球面32に隣接して、第1図のレ
ンズ10の後方の非球面12に隣接する平らな基準面15と同
様に、平らな基準面35が位置する。
面非球面レンズ30である。レンズ30は、各々前方および
後方に2つの非球面31と32を有する。非球面31および32
の対称軸(図示せず)は、レンズの長手方向の光軸33と
ほぼ一致しこれを構成する。前方の非球面31に隣接し
て、レンズ30の前方部には、球面34が位置する(球面34
は非球面31に対して基準面を構成している)。レンズ30
の後方部には、後方の非球面32に隣接して、第1図のレ
ンズ10の後方の非球面12に隣接する平らな基準面15と同
様に、平らな基準面35が位置する。
球面34および平らな基準面35の各々は、その各々が隣接
する非球面31および32の対称軸の側方に突出している。
する非球面31および32の対称軸の側方に突出している。
この発明によれば、レンズ30の球面34の対称点(図示せ
ず)は、隣接する前方の非球面31の対称軸(図示せず)
上にあることが好ましい。球面34はまた、前方の非球面
31に隣接し、第5図および第6図の前方の非球面の対称
軸の周囲に位置する。
ず)は、隣接する前方の非球面31の対称軸(図示せず)
上にあることが好ましい。球面34はまた、前方の非球面
31に隣接し、第5図および第6図の前方の非球面の対称
軸の周囲に位置する。
レンズ30の球面34は、光学系の光軸に対して、隣接する
レンズ30の前方非球面31の対称軸(およびレンズの光軸
33)の偏心を精密に測定するのに用いられ、該偏心は、
球面34に入射し、これによって反射されるか透過する所
定の光の挙動から測定される。この測定は例えば、a)光
学系の光軸上で収れんし、球面34で反射された光と、球
面34の前方に位置しかつその回転軸が光学系の光軸上に
あるような球面の参照面で反射された球面光との干渉に
よる干渉パターンを観察するかあるいは、b)このような
収れんする球面光が球面34により反射されあるいは透過
されるときの反射角度あるいは屈曲角度を観察すること
によって行なうことができる。このような観察は、レン
ズ30の球面34の対称点と、光学系の光軸との間に距離が
あるかどうかを精密に示し、レンズ30の前方非球面31の
対称軸の、光学系の光軸に対する偏心を示すことにな
る。
レンズ30の前方非球面31の対称軸(およびレンズの光軸
33)の偏心を精密に測定するのに用いられ、該偏心は、
球面34に入射し、これによって反射されるか透過する所
定の光の挙動から測定される。この測定は例えば、a)光
学系の光軸上で収れんし、球面34で反射された光と、球
面34の前方に位置しかつその回転軸が光学系の光軸上に
あるような球面の参照面で反射された球面光との干渉に
よる干渉パターンを観察するかあるいは、b)このような
収れんする球面光が球面34により反射されあるいは透過
されるときの反射角度あるいは屈曲角度を観察すること
によって行なうことができる。このような観察は、レン
ズ30の球面34の対称点と、光学系の光軸との間に距離が
あるかどうかを精密に示し、レンズ30の前方非球面31の
対称軸の、光学系の光軸に対する偏心を示すことにな
る。
第5図および第6図のレンズ30の前方非球面31の対称軸
の偏心は、例えば、第7図に概略を示すフィゾー干渉計
20Bを用いることによって、干渉的方法によって測定で
きる。第7図の干渉計20Bは、第3図の干渉計20と同様
であって、単色光源21B、ピンホール22B、ピームスプ
リッタ23B、ピンホール22Bからの発散光25Bを収れん
光25B′とするレンズ24Bからなる。第7図に示す干渉
計20Bは、またレンズ30の前方に位置しかつ干渉計20B
の光軸27Bと回転軸が合致する凹面の参照面26Bと、レ
ンズ24B′から入射して参照面26Bとレンズ30の球面34
で反射された収れん光25B′による干渉パターンを観察
者29Bが観察するための手段28Bとを備える。この測定
を行なう際に、干渉計20Bの光軸27Bは、レンズ30の配
置される光学系(図示せず)の光軸と合致することが好
ましい。
の偏心は、例えば、第7図に概略を示すフィゾー干渉計
20Bを用いることによって、干渉的方法によって測定で
きる。第7図の干渉計20Bは、第3図の干渉計20と同様
であって、単色光源21B、ピンホール22B、ピームスプ
リッタ23B、ピンホール22Bからの発散光25Bを収れん
光25B′とするレンズ24Bからなる。第7図に示す干渉
計20Bは、またレンズ30の前方に位置しかつ干渉計20B
の光軸27Bと回転軸が合致する凹面の参照面26Bと、レ
ンズ24B′から入射して参照面26Bとレンズ30の球面34
で反射された収れん光25B′による干渉パターンを観察
者29Bが観察するための手段28Bとを備える。この測定
を行なう際に、干渉計20Bの光軸27Bは、レンズ30の配
置される光学系(図示せず)の光軸と合致することが好
ましい。
レンズ30の球面34を干渉系20Bで観察したときの干渉パ
ターンは、光学系で使用されるレンズ30の前方の非球面
31の対称軸(および光軸33)の偏心を最小にするために
用いられ、これによって光学系中のレンズのパーフォー
マンスを最高のものとすることができる。観察された干
渉パターンは、レンズ30の球面34の対称点と、干渉計20
Bの参照面26Bの回転軸の間の距離を最小とするのに用
いられ、干渉計20Bの光軸27Bに関してのレンズ30の前
方の非球面31の対称軸の偏心を最小とする。特に、干渉
計20Bの光軸27Bに対する前方の非球面31の対称軸の偏
心は、1)観察手段28Bを介して観察した球面34における
干渉のラインが、干渉計の光軸27Bに関して出来るだけ
対称であること、あるいは、2)干渉のラインが認められ
ないことのいずれかとなるように干渉計20Bでレンズ30
をアライメントさせることで最小とすることができる。
ターンは、光学系で使用されるレンズ30の前方の非球面
31の対称軸(および光軸33)の偏心を最小にするために
用いられ、これによって光学系中のレンズのパーフォー
マンスを最高のものとすることができる。観察された干
渉パターンは、レンズ30の球面34の対称点と、干渉計20
Bの参照面26Bの回転軸の間の距離を最小とするのに用
いられ、干渉計20Bの光軸27Bに関してのレンズ30の前
方の非球面31の対称軸の偏心を最小とする。特に、干渉
計20Bの光軸27Bに対する前方の非球面31の対称軸の偏
心は、1)観察手段28Bを介して観察した球面34における
干渉のラインが、干渉計の光軸27Bに関して出来るだけ
対称であること、あるいは、2)干渉のラインが認められ
ないことのいずれかとなるように干渉計20Bでレンズ30
をアライメントさせることで最小とすることができる。
レンズ30の平らな基準面35は、光学系の光軸に対して隣
接する後方非球面32の対称軸の傾きを精密に測定するた
めに用いることができる。これは例えば、レンズ10の前
方基準面14とレンズ10の前方非球面11との傾きを測定す
るための第3図に示すのと同じ干渉計20を用いて、同じ
やり方で行なうことができる。
接する後方非球面32の対称軸の傾きを精密に測定するた
めに用いることができる。これは例えば、レンズ10の前
方基準面14とレンズ10の前方非球面11との傾きを測定す
るための第3図に示すのと同じ干渉計20を用いて、同じ
やり方で行なうことができる。
この発明によれば、光学系の光軸に対しての、第1図お
よび第2図のレンズ10の光軸13の傾きは、レンズ10の側
方に位置し、長手方向に伸びる円筒面16により精密に測
定できる。円筒面16は、レンズ10の非球面11および12の
対称軸に対して予め精密に定めた位置および角度を有
し、この発明の基準面を構成している。
よび第2図のレンズ10の光軸13の傾きは、レンズ10の側
方に位置し、長手方向に伸びる円筒面16により精密に測
定できる。円筒面16は、レンズ10の非球面11および12の
対称軸に対して予め精密に定めた位置および角度を有
し、この発明の基準面を構成している。
光学系の光軸に対する、レンズ10の光軸13の傾きは、円
筒面16に対して入射し、この面について反射されるある
いは透過する所定の光の挙動によって精密に決定でき
る。この決定は、例えば、a)光学系の光軸に沿って収れ
んし、レンズ10の円筒面16で反射された円筒光と、この
円筒面16の前方においてその軸が、i)光学系の光軸上に
ありかつ、ii)収れん光に直角に配置されている円筒形
の参照面で反射された円筒波とによって形成された干渉
パターンの観察によって、あるいはb)この収れんする円
筒光が、レンズ10の円筒面16について反射されるあるい
はこれを透過するときの反射角度あるいは屈折角度を観
察することによって行なうことができる。このような観
察は、光学系の光軸に平行な方向とレンズ10の円筒面16
の軸のアライメントのずれがあるかどうかを示し、光学
系の光軸に対するレンズ10の光軸13の対応する傾きを示
す。
筒面16に対して入射し、この面について反射されるある
いは透過する所定の光の挙動によって精密に決定でき
る。この決定は、例えば、a)光学系の光軸に沿って収れ
んし、レンズ10の円筒面16で反射された円筒光と、この
円筒面16の前方においてその軸が、i)光学系の光軸上に
ありかつ、ii)収れん光に直角に配置されている円筒形
の参照面で反射された円筒波とによって形成された干渉
パターンの観察によって、あるいはb)この収れんする円
筒光が、レンズ10の円筒面16について反射されるあるい
はこれを透過するときの反射角度あるいは屈折角度を観
察することによって行なうことができる。このような観
察は、光学系の光軸に平行な方向とレンズ10の円筒面16
の軸のアライメントのずれがあるかどうかを示し、光学
系の光軸に対するレンズ10の光軸13の対応する傾きを示
す。
例えば、第8図に示す如きフィゾー干渉計20Cは、レン
ズ10が使用されるべき光学系に対する光軸13の傾きを干
渉的方法により決定することができる。第8図の干渉計
20Cは、その光軸が使用される光学系の光軸に直角であ
り、使用される光学系の光軸上にその軸を有する円筒形
の参照面26Cを有するということを除いては、第3図の
干渉計20と同様である。
ズ10が使用されるべき光学系に対する光軸13の傾きを干
渉的方法により決定することができる。第8図の干渉計
20Cは、その光軸が使用される光学系の光軸に直角であ
り、使用される光学系の光軸上にその軸を有する円筒形
の参照面26Cを有するということを除いては、第3図の
干渉計20と同様である。
レンズ10の円筒面16について、干渉計20Cにより観察さ
れた干渉パターンは、干渉計20Cの光軸に直角な(およ
び使用される光学系の光軸に平行な)方向と、円筒面16
のアライメントのずれを最小とし、使用される光学系の
光軸に対するレンズ10の光軸13の傾きを最小にする。特
に、使用される光学系の光軸に対してレンズ10の光軸13
の傾きは、干渉計20C内でのレンズ10のアライメントを
行なうことによって最小にでき、好ましくは0となる。
干渉ラインの数は観察手段28Cから観察される。
れた干渉パターンは、干渉計20Cの光軸に直角な(およ
び使用される光学系の光軸に平行な)方向と、円筒面16
のアライメントのずれを最小とし、使用される光学系の
光軸に対するレンズ10の光軸13の傾きを最小にする。特
に、使用される光学系の光軸に対してレンズ10の光軸13
の傾きは、干渉計20C内でのレンズ10のアライメントを
行なうことによって最小にでき、好ましくは0となる。
干渉ラインの数は観察手段28Cから観察される。
この発明において、以上述べてきたように両面非球面レ
ンズ10および30は、レンズの各々の非球面に1つあるい
は複数の基準面を有している。この発明の非球面レンズ
は、レンズの前方部および/または後方部に1つあるい
は複数の非球面を有し、および第3図、第4図および第
7図に示す如く例えばレンズの前方部および/または後
方部などのいずれかにあるいは第8図に示す如くレンズ
の側方に基準面を有することを意図している。またこの
発明の基準面は、これが関係する複数の非球面間の精密
な所定の位置と角度を予め決定するためにレンズの一側
に設けられ、あるいは非球面の周囲に設けられる。
ンズ10および30は、レンズの各々の非球面に1つあるい
は複数の基準面を有している。この発明の非球面レンズ
は、レンズの前方部および/または後方部に1つあるい
は複数の非球面を有し、および第3図、第4図および第
7図に示す如く例えばレンズの前方部および/または後
方部などのいずれかにあるいは第8図に示す如くレンズ
の側方に基準面を有することを意図している。またこの
発明の基準面は、これが関係する複数の非球面間の精密
な所定の位置と角度を予め決定するためにレンズの一側
に設けられ、あるいは非球面の周囲に設けられる。
以上の記述において、フィゾー干渉計の使用が、この発
明による基準面を備えた非球面レンズの対称軸の位置と
角度および非球面レンズのくさび角の測定のための干渉
的手段の一例として述べられた。適当なフィゾー干渉計
としては、米国、コネチカット州ミドルタウンのザイゴ
コーポレーションにより製造されているものがあり、こ
れは単色光源としてヘリウム・ネオンガスレーザーを用
いている。しかしながら、この発明の実施に際しては、
このような干渉法による測定手段を実施するために他の
適当な手段を用いてもよい。
明による基準面を備えた非球面レンズの対称軸の位置と
角度および非球面レンズのくさび角の測定のための干渉
的手段の一例として述べられた。適当なフィゾー干渉計
としては、米国、コネチカット州ミドルタウンのザイゴ
コーポレーションにより製造されているものがあり、こ
れは単色光源としてヘリウム・ネオンガスレーザーを用
いている。しかしながら、この発明の実施に際しては、
このような干渉法による測定手段を実施するために他の
適当な手段を用いてもよい。
以上の説明から、この発明およびこの発明に附随した事
項から種々の利点が見出されるが、この発明の非球面レ
ンズの部分の形状、構造および配置に種々の変更を行な
うことが可能であり、また様々な変形によってこの発明
による非球面レンズ対称軸の位置および角度の測定のた
めのプロセスのステップに変化を加えることができ、こ
のプロセスの各ステップの実施の順序に変更を加えるこ
とができる。従って以上の説明は、あくまでもいくつか
の実施例の説明であって、この発明の技術思想から離れ
ることなくかつこれから得られる効果を減殺することな
く種々の変形、変更を行なうことができるものであるこ
とは明らかである。
項から種々の利点が見出されるが、この発明の非球面レ
ンズの部分の形状、構造および配置に種々の変更を行な
うことが可能であり、また様々な変形によってこの発明
による非球面レンズ対称軸の位置および角度の測定のた
めのプロセスのステップに変化を加えることができ、こ
のプロセスの各ステップの実施の順序に変更を加えるこ
とができる。従って以上の説明は、あくまでもいくつか
の実施例の説明であって、この発明の技術思想から離れ
ることなくかつこれから得られる効果を減殺することな
く種々の変形、変更を行なうことができるものであるこ
とは明らかである。
例えば、この発明によるレンズは、非球面に加えて1つ
の球面を有するようにすることができる。この発明で
は、球面の対称点に対して、精密な所定の位置と角度を
有する基準面を独立の基準面として球面に設けることが
できる。
の球面を有するようにすることができる。この発明で
は、球面の対称点に対して、精密な所定の位置と角度を
有する基準面を独立の基準面として球面に設けることが
できる。
第1図および第2図に示すレンズ10の前方基準面14およ
び後方基準面15は、各々隣接する前方部および後方部の
非球面11および12の対称軸に対して、所定の精密な位置
と角度を有する精細な溝パターンを有することができ
る。例えばこの溝は、同心円の溝であることができ、そ
の各々は、隣接する非球面11および12の対称軸上に中心
を有する。この溝は、レンズ10の非球面11および12の精
密な位置と角度の測定に用いることができる。これは、
この溝に入射し、反射されるあるいは透過される光の挙
動であるモアレ干渉パターンによって測定される。
び後方基準面15は、各々隣接する前方部および後方部の
非球面11および12の対称軸に対して、所定の精密な位置
と角度を有する精細な溝パターンを有することができ
る。例えばこの溝は、同心円の溝であることができ、そ
の各々は、隣接する非球面11および12の対称軸上に中心
を有する。この溝は、レンズ10の非球面11および12の精
密な位置と角度の測定に用いることができる。これは、
この溝に入射し、反射されるあるいは透過される光の挙
動であるモアレ干渉パターンによって測定される。
さらに、第1図および第2図のレンズ10の前方基準面14
は、後方に突出することができ(前方球面11の後方の彎
曲の続きとして)、この前方基準面14に平行であること
が好ましいレンズ10の後方基準面15も後方に突出するこ
とができる。あるいは前方基準面14は前方に突出するこ
とができ、平行な後方基準面15は前方に突出するように
することができる(後方の非球面12の前方への彎曲の続
きとして)。いずれの場合においても、平行な、前方お
よび後方の基準面14と15は、この発明によるレンズ10に
おいてくさび角と同様傾きを測定するために有用であ
る。必要があれば、前方および後方の基準面14および15
は、反対の長手方向に突出することもでき、これらは平
行とはならず、レンズ10のくさび角を定めるためにも有
用ではない。
は、後方に突出することができ(前方球面11の後方の彎
曲の続きとして)、この前方基準面14に平行であること
が好ましいレンズ10の後方基準面15も後方に突出するこ
とができる。あるいは前方基準面14は前方に突出するこ
とができ、平行な後方基準面15は前方に突出するように
することができる(後方の非球面12の前方への彎曲の続
きとして)。いずれの場合においても、平行な、前方お
よび後方の基準面14と15は、この発明によるレンズ10に
おいてくさび角と同様傾きを測定するために有用であ
る。必要があれば、前方および後方の基準面14および15
は、反対の長手方向に突出することもでき、これらは平
行とはならず、レンズ10のくさび角を定めるためにも有
用ではない。
第1図は、この発明で使用した両面非球面レンズの構成
側面図。レンズは、その前面と後面に光学的な非球面を
有し、この非球面周囲に位置しかつ基準面となる一対の
平行な平らな基準面を有している。第2図は、第1図に
示すレンズの上面図、第3図は、光学系の構成図であっ
て、第1図のレンズの前方非球面の対称軸と光学系の光
軸との間の角度、すなわち傾きは、レンズの前方の前記
基準面に入射し、反射する光の干渉によって正確に決定
される。第4図は、光学系の構成図であって、第1図の
レンズの前方および後方の非球面のアライメントのとき
のくさび角が、レンズの前方および後方の前記基準面に
入射し、反射される光の干渉から正確に決定される。第
5図は、この発明で使用した他の両面非球面レンズの構
成側面図である。第5図に示すレンズは、第1図のレン
ズの前方基準面が、第5図のレンズにおいては、球面と
置き換えられているということを除いては、第1図のレ
ンズに似ている。この球面は、第5図のレンズの前方非
球面の周囲に位置しかつ基準面を構成する。第6図は、
第5図のレンズの上面図である。第7図は、光学系の平
面図であって、第5図のレンズの前方非球面の対称軸と
光学系の光軸との距離、すなわち偏心は、レンズの前方
球面に入射し、反射される光の干渉から正確に決定され
る。第8図は、光学系の平面図であって、光学系の光軸
に直角な軸に関しての、第1図のレンズの光軸の傾き
は、レンズの側面の円柱面に入射し、反射する光の干渉
から正確に決定できる。 10,30……非球面レンズ 11,12……非球面、13……光軸 14,15……基準面、16……円筒面 20,20A,20B,20C……干渉計 21,21A,21B,21C……単色光源 22,22A,22B,22C……ピンホール 24,24A,24B,24C……コリメートレンズ 25,25A,25B,25C……発散光 26,26B,26C……参照面 34……球面
側面図。レンズは、その前面と後面に光学的な非球面を
有し、この非球面周囲に位置しかつ基準面となる一対の
平行な平らな基準面を有している。第2図は、第1図に
示すレンズの上面図、第3図は、光学系の構成図であっ
て、第1図のレンズの前方非球面の対称軸と光学系の光
軸との間の角度、すなわち傾きは、レンズの前方の前記
基準面に入射し、反射する光の干渉によって正確に決定
される。第4図は、光学系の構成図であって、第1図の
レンズの前方および後方の非球面のアライメントのとき
のくさび角が、レンズの前方および後方の前記基準面に
入射し、反射される光の干渉から正確に決定される。第
5図は、この発明で使用した他の両面非球面レンズの構
成側面図である。第5図に示すレンズは、第1図のレン
ズの前方基準面が、第5図のレンズにおいては、球面と
置き換えられているということを除いては、第1図のレ
ンズに似ている。この球面は、第5図のレンズの前方非
球面の周囲に位置しかつ基準面を構成する。第6図は、
第5図のレンズの上面図である。第7図は、光学系の平
面図であって、第5図のレンズの前方非球面の対称軸と
光学系の光軸との距離、すなわち偏心は、レンズの前方
球面に入射し、反射される光の干渉から正確に決定され
る。第8図は、光学系の平面図であって、光学系の光軸
に直角な軸に関しての、第1図のレンズの光軸の傾き
は、レンズの側面の円柱面に入射し、反射する光の干渉
から正確に決定できる。 10,30……非球面レンズ 11,12……非球面、13……光軸 14,15……基準面、16……円筒面 20,20A,20B,20C……干渉計 21,21A,21B,21C……単色光源 22,22A,22B,22C……ピンホール 24,24A,24B,24C……コリメートレンズ 25,25A,25B,25C……発散光 26,26B,26C……参照面 34……球面
Claims (1)
- 【請求項1】光学系の光軸に対する非球面成形レンズの
表面の対称軸の傾きを光学的に測定する方法において、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズをその最終の大き
さと形状に成形し、 (b)前記光学系の光軸に向いている光を該レンズの前記
光学面に向け、そして (c)(1)前記基準面から反射された光と、該基準面と前記
光の光源の間において前記光学系の光軸に直角に配置さ
れた参照面で反射された光とによって生ぜしめられた干
渉パターン、あるいは(2)前記光が前記基準面で反射さ
れたときの反射角度、あるいは(3)前記光が前記基準面
を透過するときに屈折されたときの屈折角度、を観察す
ることを特徴とする方法。 (2)光学系の光軸に対する非球面成形レンズの表面の対
称軸の偏心を光学的に測定する方法において、 (a)光学面の対称軸あるいは対称点に対して所定の位置
と角度を有する基準面を備えたレンズをその最終の大き
さと形状に成形し、 (b)前記光学系の光軸に収れんする光を該レンズの前記
光学面に向け、そして (c)(1)前記基準面から反射された光と、該基準面と前記
光の光源の間においてその回転軸が前記光学系の光軸上
に配置する参照面で反射された光とによって生ぜしめら
れた干渉パターン、あるいは(2)前記光が前記基準面で
反射されたときの反射角度、あるいは(3)前記光が前記
基準面を透過するときに屈折されたときの屈折角度、を
観察することを特徴とする方法。 (3)非球面成形レンズのくさび角を光学的に測定する方
法において、 (a)2つの光学面の対称軸あるいは対称点に対してそれ
ぞれ所定の位置と角度を有する基準面を備えたレンズを
その最終の形状に成形し、 (b)該レンズの前記基準面に平行光を向け、そして (c)前記角基準面で反射された前記光により生ぜしめら
れた干渉パターンを観察することを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/639,738 US4537473A (en) | 1982-11-05 | 1984-08-13 | Fiducial surfaces |
| US639738 | 1984-08-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6153602A JPS6153602A (ja) | 1986-03-17 |
| JPH0610643B2 true JPH0610643B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=24565352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59231106A Expired - Lifetime JPH0610643B2 (ja) | 1984-08-13 | 1984-11-01 | レンズの軸の傾き等の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610643B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4633534B2 (ja) * | 2005-05-12 | 2011-02-16 | 富士フイルム株式会社 | 取付基準面付きレンズ |
| JP4710630B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2011-06-29 | パナソニック株式会社 | レンズ計測装置、及び計測方法 |
| JP4830837B2 (ja) * | 2006-12-19 | 2011-12-07 | パナソニック株式会社 | レンズ測定装置 |
| DE102008030664A1 (de) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Carl Zeiss Smt Ag | Optische Abbildungseinrichtung mit Bestimmung von Abbildungsfehlern |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1467285A (en) * | 1974-10-16 | 1977-03-16 | Combined Optical Ind Ltd | Multiple lens assembly |
-
1984
- 1984-11-01 JP JP59231106A patent/JPH0610643B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6153602A (ja) | 1986-03-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4537473A (en) | Fiducial surfaces | |
| CN107796329B (zh) | 一种凸非球面反射镜面形检测装置及检测方法 | |
| CN104568389B (zh) | 双边错位差动共焦元件参数测量方法 | |
| US4758729A (en) | Apparatus and method for measuring the included angle of a reflective cone | |
| CN104930971B (zh) | 非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法 | |
| CN109269443A (zh) | 一种激光差动共焦曲率半径测量方法与装置 | |
| US6909498B2 (en) | Method and apparatus for measuring the geometrical structure of an optical component in transmission | |
| US6327038B1 (en) | Linear and angular retroreflecting interferometric alignment target | |
| CN109341587A (zh) | 拼接测量装置和方法 | |
| JPH0610643B2 (ja) | レンズの軸の傾き等の測定方法 | |
| US6924897B2 (en) | Point source module and methods of aligning and using the same | |
| CN211696888U (zh) | 反射长焦望远镜装调中测量焦距的刀口装置 | |
| US8294904B2 (en) | Fizeau lens having aspheric compensation | |
| JP3140498B2 (ja) | レンズの測定方法 | |
| JP2008089356A (ja) | 非球面測定用素子、該非球面測定用素子を用いた光波干渉測定装置と方法、非球面の形状補正方法、およびシステム誤差補正方法 | |
| JPH06288735A (ja) | 放物面鏡形状検査測定用の位相共役干渉計 | |
| US4120590A (en) | Method for measuring the thickness of transparent articles | |
| JPH06174430A (ja) | 中心厚測定方法およびそれに使用する装置 | |
| CN212620587U (zh) | 一种适用于光学及类似测量系统长距离角度对光装置 | |
| JPH05223690A (ja) | レンズの透過性能測定装置 | |
| CN114486198B (zh) | 大口径反射镜检测系统 | |
| JP3229980B2 (ja) | フィゾー型干渉計 | |
| JPH03156305A (ja) | 非球面形状測定装置 | |
| JP2890639B2 (ja) | 真球度の絶対測定方法及び装置 | |
| JP3164444B2 (ja) | 干渉測定方法 |