JPH06106545A - インラインベーキング装置 - Google Patents
インラインベーキング装置Info
- Publication number
- JPH06106545A JPH06106545A JP26106392A JP26106392A JPH06106545A JP H06106545 A JPH06106545 A JP H06106545A JP 26106392 A JP26106392 A JP 26106392A JP 26106392 A JP26106392 A JP 26106392A JP H06106545 A JPH06106545 A JP H06106545A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat insulating
- insulating chamber
- guide rails
- width
- tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、被処理体４を連続して加熱するイ
ンラインベーキング装置に関し、特に断熱室６を開閉す
ることなく巾の異なる被処理体４を連続して処理するこ
との出来るインラインベーキング装置に関する。 【構成】 本発明は、加熱手段１３を内蔵した断熱室６
内に供給した被処理体４を加熱しつつ搬送路８、１０に
沿って搬送するインラインベーキング装置において、上
記搬送路８、１０は断熱室６外より操作可能な巾調整手
段９、１２が設けられていることを特徴とするインライ
ンベーキング装置を提供する。この搬送路は、多段に水
平配置した複数のガイドレール８とガイドレール８の端
部間に配置されガイドレール８上を搬送される被処理体
４を次のガイドレール８に送り込むスプロケットホイー
ル１０とで構成することが出来る。 【効果】 以上のように、本発明によれば断熱室６の外
部から搬送路の巾を変更可能にしたから被処理体を連続
的に供給でき、内部の熱が外部に漏れることも最小に抑
えることが出来る。
ンラインベーキング装置に関し、特に断熱室６を開閉す
ることなく巾の異なる被処理体４を連続して処理するこ
との出来るインラインベーキング装置に関する。 【構成】 本発明は、加熱手段１３を内蔵した断熱室６
内に供給した被処理体４を加熱しつつ搬送路８、１０に
沿って搬送するインラインベーキング装置において、上
記搬送路８、１０は断熱室６外より操作可能な巾調整手
段９、１２が設けられていることを特徴とするインライ
ンベーキング装置を提供する。この搬送路は、多段に水
平配置した複数のガイドレール８とガイドレール８の端
部間に配置されガイドレール８上を搬送される被処理体
４を次のガイドレール８に送り込むスプロケットホイー
ル１０とで構成することが出来る。 【効果】 以上のように、本発明によれば断熱室６の外
部から搬送路の巾を変更可能にしたから被処理体を連続
的に供給でき、内部の熱が外部に漏れることも最小に抑
えることが出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被処理体を連続して加
熱するインラインベーキング装置に関し、特に断熱室を
開閉することなく巾の異なる被処理体を連続して処理す
ることの出来るインラインベーキング装置に関する。
熱するインラインベーキング装置に関し、特に断熱室を
開閉することなく巾の異なる被処理体を連続して処理す
ることの出来るインラインベーキング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】樹脂モールド型電子部品は樹脂封止後、
ベーキング装置に収容して樹脂の硬化を促進させてい
る。
ベーキング装置に収容して樹脂の硬化を促進させてい
る。
【０００３】この電子部品としてリードフレームを用い
たものは、多数のリードフレームをトレイに収容した状
態でベーキング装置に投入されるが、リードフレームは
熱伝導性が良好であるためトレイ内部の電子部品でもリ
ードフレームを介して樹脂に熱を伝えることが出来、効
率よく樹脂硬化出来る。
たものは、多数のリードフレームをトレイに収容した状
態でベーキング装置に投入されるが、リードフレームは
熱伝導性が良好であるためトレイ内部の電子部品でもリ
ードフレームを介して樹脂に熱を伝えることが出来、効
率よく樹脂硬化出来る。
【０００４】一方、透孔を有する長尺の絶縁フィルムに
積層した導電パターンの一部を透孔内に延在させてイン
ナリードを形成したＴＡＢテープを用い、このインナリ
ードと電子部品本体の電極とを接続し、電子部品本体表
面を保護するなどの目的で樹脂被覆した構造のＴＡＢ式
電子部品は、一般的にＴＡＢテープをリールに巻回して
保管、運搬されるが、樹脂硬化はリールに巻回した状態
では熱が内部に伝わり難いため所定寸法に切断して短冊
状のＴＡＢテープをベーキング装置内で搬送したり、リ
ールから繰り出したＴＡＢテープを搬送路に沿ってガイ
ドしつつ移動させるようにしている。ＴＡＢテープは熱
伝導性が良好でないため、搬送路に沿って加熱手段を配
置し輻射熱が直接樹脂に当たるようにしている。
積層した導電パターンの一部を透孔内に延在させてイン
ナリードを形成したＴＡＢテープを用い、このインナリ
ードと電子部品本体の電極とを接続し、電子部品本体表
面を保護するなどの目的で樹脂被覆した構造のＴＡＢ式
電子部品は、一般的にＴＡＢテープをリールに巻回して
保管、運搬されるが、樹脂硬化はリールに巻回した状態
では熱が内部に伝わり難いため所定寸法に切断して短冊
状のＴＡＢテープをベーキング装置内で搬送したり、リ
ールから繰り出したＴＡＢテープを搬送路に沿ってガイ
ドしつつ移動させるようにしている。ＴＡＢテープは熱
伝導性が良好でないため、搬送路に沿って加熱手段を配
置し輻射熱が直接樹脂に当たるようにしている。
【０００５】図３はＴＡＢ式電子部品の樹脂を連続的に
硬化させるインラインベーキング装置の一例を示す。図
において、１は断熱材で構成された断熱室で両側壁１
ａ、１ｂに小さな窓１ｃ、１ｄを設けている。また図示
しないが正面には開閉可能な扉が設けられている。２
ａ、２ｂ、２ｃは断熱室１の内部で高さ位置を異ならせ
て配置したガイドレール、３ａ、３ｂはガイドレール２
ａ、２ｂ、２ｃの各終端部に配置されたスプロケットホ
イール、４は電子部品本体（図示せず）を接続し、その
表面を樹脂（図示せず）で被覆したＴＡＢテープで、窓
１ｃから断熱室１内に挿入され、ガイドレールにてガイ
ドされ、スプロケットホイールにて方向が変えられ順次
搬送されて他の窓１ｄから断熱室１の外部に引き出され
る。５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅはＴＡＢテープ４の
移動経路に沿って配置されたヒータを示す。
硬化させるインラインベーキング装置の一例を示す。図
において、１は断熱材で構成された断熱室で両側壁１
ａ、１ｂに小さな窓１ｃ、１ｄを設けている。また図示
しないが正面には開閉可能な扉が設けられている。２
ａ、２ｂ、２ｃは断熱室１の内部で高さ位置を異ならせ
て配置したガイドレール、３ａ、３ｂはガイドレール２
ａ、２ｂ、２ｃの各終端部に配置されたスプロケットホ
イール、４は電子部品本体（図示せず）を接続し、その
表面を樹脂（図示せず）で被覆したＴＡＢテープで、窓
１ｃから断熱室１内に挿入され、ガイドレールにてガイ
ドされ、スプロケットホイールにて方向が変えられ順次
搬送されて他の窓１ｄから断熱室１の外部に引き出され
る。５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ、５ｅはＴＡＢテープ４の
移動経路に沿って配置されたヒータを示す。
【０００６】ＴＡＢテープ４は電子部品の機種により電
子部品本体のサイズが異なり、集積度によって電極数も
異なるため例えば、３５ｍｍ巾、４８ｍｍ巾、７０ｍｍ
巾のものが用いられているため、このインラインベーク
装置のガイドレール２、スプロケットホイール３はその
巾変更可能にしている。
子部品本体のサイズが異なり、集積度によって電極数も
異なるため例えば、３５ｍｍ巾、４８ｍｍ巾、７０ｍｍ
巾のものが用いられているため、このインラインベーク
装置のガイドレール２、スプロケットホイール３はその
巾変更可能にしている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＴＡＢテー
プ４の巾を変更するには、前のＴＡＢテープが断熱室１
から完全に取り出された後、断熱室１の扉を開け、ガイ
ドレール２、スプロケットホイール３の巾変更を行な
い、次のＴＡＢテープを断熱室１に導入するガイドテー
プをセットしてから扉を閉じ、次のＴＡＢテープのベー
キングを行なうことができる。
プ４の巾を変更するには、前のＴＡＢテープが断熱室１
から完全に取り出された後、断熱室１の扉を開け、ガイ
ドレール２、スプロケットホイール３の巾変更を行な
い、次のＴＡＢテープを断熱室１に導入するガイドテー
プをセットしてから扉を閉じ、次のＴＡＢテープのベー
キングを行なうことができる。
【０００８】そのため、前のＴＡＢテープから次のＴＡ
Ｂテープに切り換えるのに時間を要する上、扉の解放に
より断熱室１内の熱が外部に逃げ、所定温度に達するま
で時間を要し所定温度に達するまで次のＴＡＢテープの
搬送速度をおそくしなければならないため、さらに時間
を要するという問題があった。
Ｂテープに切り換えるのに時間を要する上、扉の解放に
より断熱室１内の熱が外部に逃げ、所定温度に達するま
で時間を要し所定温度に達するまで次のＴＡＢテープの
搬送速度をおそくしなければならないため、さらに時間
を要するという問題があった。
【０００９】また用力費も無駄であるという問題があっ
た。
た。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題の解決
を目的として提案されたもので、加熱手段を内蔵した断
熱室内に供給した被処理体を加熱しつつ搬送路に沿って
搬送するインラインベーキング装置において、上記搬送
路は断熱室外より操作可能な巾調整手段が設けられてい
ることを特徴とするインラインベーキング装置を提供す
る。
を目的として提案されたもので、加熱手段を内蔵した断
熱室内に供給した被処理体を加熱しつつ搬送路に沿って
搬送するインラインベーキング装置において、上記搬送
路は断熱室外より操作可能な巾調整手段が設けられてい
ることを特徴とするインラインベーキング装置を提供す
る。
【００１１】この搬送路は、多段に水平配置した複数の
ガイドレールとガイドレールの端部間に配置されガイド
レール上を搬送される被処理体を次のガイドレールに送
り込むスプロケットホイールとで構成することが出来
る。
ガイドレールとガイドレールの端部間に配置されガイド
レール上を搬送される被処理体を次のガイドレールに送
り込むスプロケットホイールとで構成することが出来
る。
【００１２】
【作用】本発明によれば、搬送路が断熱室外から巾調整
可能であるため、前の被処理体に引続き巾の異なる被処
理体を供給して、後続の被処理体の進行に連れて搬送路
の巾調整が可能となり、扉を解放する必要がない。
可能であるため、前の被処理体に引続き巾の異なる被処
理体を供給して、後続の被処理体の進行に連れて搬送路
の巾調整が可能となり、扉を解放する必要がない。
【００１３】
【実施例】以下に本発明の実施例を図１及び図２から説
明する。図において６は断熱室で、両側壁６ａ、６ｂに
窓６ｃ、６ｄを開口している。７は断熱室６内に配置し
たフレームで、所定の高さ位置に水平方向のフレーム片
７ａを複数配置している。８、８はフレーム片７ａにス
ライド自在に支持されたフレーム片７ａと直交する水平
方向に延びる一対のガイドレールで、被処理体であるＴ
ＡＢテープ４をガイドする。このガイドレール８、８は
高さ位置を異ならせて複数組配置されている。このガイ
ドレール８、８のうち少なくとも一側方のガイドレール
は断熱室６の壁面に近接した把っ手９に接続され、断熱
室６の外部からガイドレール８をフレーム片７ａ上でス
ライドさせてガイドレール８、８の間隔を調整可能にし
ている。１０、１０はガイドレール８、８のＴＡＢテー
プ４の搬送方向終端部に配置したスプロケットホイール
で、フレーム片７ａと平行配置された回転軸１１に軸支
されている。このスプロケットホイール１０、１０のう
ち、可動ガイドレールと同じ側方のホイールは回転軸１
１に対して二重軸になっており、断熱室６の壁面に近接
した把っ手１２に接続され、断熱室６の外部からスプロ
ケットホイール１０、１０の間隔を調整可能にしてい
る。１２はＴＡＢテープ４の移動経路に沿って配置され
たヒータで、巾方向に分割され、分割されたヒータに選
択的に通電することにより搬送されるＴＡＢテープ４の
所望部分に熱を集中させることが出来る。６ｅは断熱室
６の把っ手９、１２側の壁を開閉する扉で、この扉６ｅ
には各把っ手９、１２と対向する部分に小扉６ｆ、６ｇ
を設けている。
明する。図において６は断熱室で、両側壁６ａ、６ｂに
窓６ｃ、６ｄを開口している。７は断熱室６内に配置し
たフレームで、所定の高さ位置に水平方向のフレーム片
７ａを複数配置している。８、８はフレーム片７ａにス
ライド自在に支持されたフレーム片７ａと直交する水平
方向に延びる一対のガイドレールで、被処理体であるＴ
ＡＢテープ４をガイドする。このガイドレール８、８は
高さ位置を異ならせて複数組配置されている。このガイ
ドレール８、８のうち少なくとも一側方のガイドレール
は断熱室６の壁面に近接した把っ手９に接続され、断熱
室６の外部からガイドレール８をフレーム片７ａ上でス
ライドさせてガイドレール８、８の間隔を調整可能にし
ている。１０、１０はガイドレール８、８のＴＡＢテー
プ４の搬送方向終端部に配置したスプロケットホイール
で、フレーム片７ａと平行配置された回転軸１１に軸支
されている。このスプロケットホイール１０、１０のう
ち、可動ガイドレールと同じ側方のホイールは回転軸１
１に対して二重軸になっており、断熱室６の壁面に近接
した把っ手１２に接続され、断熱室６の外部からスプロ
ケットホイール１０、１０の間隔を調整可能にしてい
る。１２はＴＡＢテープ４の移動経路に沿って配置され
たヒータで、巾方向に分割され、分割されたヒータに選
択的に通電することにより搬送されるＴＡＢテープ４の
所望部分に熱を集中させることが出来る。６ｅは断熱室
６の把っ手９、１２側の壁を開閉する扉で、この扉６ｅ
には各把っ手９、１２と対向する部分に小扉６ｆ、６ｇ
を設けている。
【００１４】以下にこの装置の動作を説明する。まず既
にある巾のＴＡＢテープ４に合わせてガイドレール８と
スプロケットホイール１０の間隔が設定されて窓６ｃか
ら供給され、ガイドレール８にガイドされてスプロケッ
トホイール１０で方向が変えられて順次断熱室６内をＴ
ＡＢテープ４が移動してベーキングが行なわれ窓６ｄか
ら取り出されているものとする。そしてこのＴＡＢテー
プの終端部が窓６ｃに近接するとガイドテープ（図示せ
ず）を先行のＴＡＢテープに接続し、窓６ｃから断熱室
６内に送り込む、このガイドテープの巾はＴＡＢテープ
の最小巾より小さく設定しておくことにより全ての巾の
ＴＡＢテープに使用することが出来る。
にある巾のＴＡＢテープ４に合わせてガイドレール８と
スプロケットホイール１０の間隔が設定されて窓６ｃか
ら供給され、ガイドレール８にガイドされてスプロケッ
トホイール１０で方向が変えられて順次断熱室６内をＴ
ＡＢテープ４が移動してベーキングが行なわれ窓６ｄか
ら取り出されているものとする。そしてこのＴＡＢテー
プの終端部が窓６ｃに近接するとガイドテープ（図示せ
ず）を先行のＴＡＢテープに接続し、窓６ｃから断熱室
６内に送り込む、このガイドテープの巾はＴＡＢテープ
の最小巾より小さく設定しておくことにより全ての巾の
ＴＡＢテープに使用することが出来る。
【００１５】またこのガイドテープには先頭位置が断熱
室６内のどこにあるのか分かるように目盛を設けておく
こともできる。このようにしてガイドテープが断熱室６
内に供給され、最下層のガイドレール８を通過すると、
小扉６ｆを通して把っ手９により、ガイドレールの巾を
次に供給されるＴＡＢテープの巾に調整する。そして、
同様にしてスプロケットホイール１０を通過すると、そ
の巾を小扉６ｇを通して把っ手１２にて調整し、この作
業をガイドテープの進行に合わせて行なうと、先のＴＡ
Ｂテープが窓６ｄ出て、続いてガイドテープの先端が窓
６ｄから出た時には、断熱室６の搬送路の間隔は次に供
給されるＴＡＢテープの巾に設定されている。
室６内のどこにあるのか分かるように目盛を設けておく
こともできる。このようにしてガイドテープが断熱室６
内に供給され、最下層のガイドレール８を通過すると、
小扉６ｆを通して把っ手９により、ガイドレールの巾を
次に供給されるＴＡＢテープの巾に調整する。そして、
同様にしてスプロケットホイール１０を通過すると、そ
の巾を小扉６ｇを通して把っ手１２にて調整し、この作
業をガイドテープの進行に合わせて行なうと、先のＴＡ
Ｂテープが窓６ｄ出て、続いてガイドテープの先端が窓
６ｄから出た時には、断熱室６の搬送路の間隔は次に供
給されるＴＡＢテープの巾に設定されている。
【００１６】ガイドテープの末端に、後続のＴＡＢテー
プを接続して連続して断熱室６に供給できる。
プを接続して連続して断熱室６に供給できる。
【００１７】また、ガイドテープの長さを断熱室６内の
区画された搬送路の長さ即ち、図示例では３本のガイド
レール、スプーロケットホイール周りの搬送路長の最大
の長さよりやや長く設定しておけば、その長さ分の時間
遅れで次のＴＡＢテープをベーキング出来る。
区画された搬送路の長さ即ち、図示例では３本のガイド
レール、スプーロケットホイール周りの搬送路長の最大
の長さよりやや長く設定しておけば、その長さ分の時間
遅れで次のＴＡＢテープをベーキング出来る。
【００１８】扉６ｅは断熱室内でＴＡＢテープが切断す
るなどのトラブルに対応するもので、通常は開閉する必
要がなく熱損失を最小に出来る。
るなどのトラブルに対応するもので、通常は開閉する必
要がなく熱損失を最小に出来る。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば断熱室の
外部から搬送路の巾を変更可能にしたから被処理体（Ｔ
ＡＢテープ）を連続的に供給でき、内部の熱が外部に漏
れることも最小に抑えることが出来る。
外部から搬送路の巾を変更可能にしたから被処理体（Ｔ
ＡＢテープ）を連続的に供給でき、内部の熱が外部に漏
れることも最小に抑えることが出来る。
【図１】 本発明の実施例を示す正断面図
【図２】 図１のＡ−Ａ面よりみた断面図
【図３】 従来のインラインベーキング装置の正断面図
４ 被処理体（ＴＡＢテープ） ６ 断熱室 ８ ガイドレール １０ スプロケットホイール
Claims (2)
- 【請求項１】加熱手段を内蔵した断熱室内に供給した被
処理体を加熱しつつ搬送路に沿って搬送するインライン
ベーキング装置において、上記搬送路は巾調整手段が設
けられていることを特徴とするインラインベーキング装
置。 - 【請求項２】搬送路が、多段に水平配置した複数のガイ
ドレールとガイドレールの端部間に配置したスプロケッ
トホイールとからなることを特徴とするインラインベー
キング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26106392A JPH06106545A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | インラインベーキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26106392A JPH06106545A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | インラインベーキング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06106545A true JPH06106545A (ja) | 1994-04-19 |
Family
ID=17356567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26106392A Pending JPH06106545A (ja) | 1992-09-30 | 1992-09-30 | インラインベーキング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06106545A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07231004A (ja) * | 1994-02-15 | 1995-08-29 | Toray Eng Co Ltd | 半導体チップ樹脂封止用硬化炉におけるテープ交換方法及び半導体チップ樹脂封止用硬化炉 |
| JP2010245285A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Fenwall Controls Of Japan Ltd | 樹脂硬化装置 |
| JP2016002770A (ja) * | 2014-06-18 | 2016-01-12 | 大恩産業株式会社 | 加熱装置及びこれを具備する包装用バンドの製造装置 |
-
1992
- 1992-09-30 JP JP26106392A patent/JPH06106545A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07231004A (ja) * | 1994-02-15 | 1995-08-29 | Toray Eng Co Ltd | 半導体チップ樹脂封止用硬化炉におけるテープ交換方法及び半導体チップ樹脂封止用硬化炉 |
| JP2010245285A (ja) * | 2009-04-06 | 2010-10-28 | Fenwall Controls Of Japan Ltd | 樹脂硬化装置 |
| JP2016002770A (ja) * | 2014-06-18 | 2016-01-12 | 大恩産業株式会社 | 加熱装置及びこれを具備する包装用バンドの製造装置 |
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