JPH0610968B2 - 電子顕微鏡用導電性両面粘着シート - Google Patents
電子顕微鏡用導電性両面粘着シートInfo
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- JPH0610968B2 JPH0610968B2 JP63240573A JP24057388A JPH0610968B2 JP H0610968 B2 JPH0610968 B2 JP H0610968B2 JP 63240573 A JP63240573 A JP 63240573A JP 24057388 A JP24057388 A JP 24057388A JP H0610968 B2 JPH0610968 B2 JP H0610968B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子顕微鏡用導電性両面粘着シートに関する
ものであり、詳細には、電子顕微鏡で試料を観察する
際、試料を導電状態にして試料載台に貼り付けるための
導電性両面粘着シートに関するものである。
ものであり、詳細には、電子顕微鏡で試料を観察する
際、試料を導電状態にして試料載台に貼り付けるための
導電性両面粘着シートに関するものである。
電子顕微鏡で試料を観察する際は試料を導電状態にして
試料載台に貼り付ける必要がある。従来この試料の貼り
付けには、カーボン粉末混合接着剤または銀粉末混合接
着剤等の通常の導電性接着剤が用いられていた。
試料載台に貼り付ける必要がある。従来この試料の貼り
付けには、カーボン粉末混合接着剤または銀粉末混合接
着剤等の通常の導電性接着剤が用いられていた。
しかしながら、試料を試料載台に貼つた接着剤中に、接
着剤の粘度調整にいられた溶剤が残留したままで、試料
の貼られた試料載台を試料室に入れ、その後試料室を真
空化した際、接着剤層中に残留していた溶剤がガス化し
て排出する。
着剤の粘度調整にいられた溶剤が残留したままで、試料
の貼られた試料載台を試料室に入れ、その後試料室を真
空化した際、接着剤層中に残留していた溶剤がガス化し
て排出する。
このガスは試料室内を汚し、電子顕微鏡の観察を困難に
する。
する。
従って、従来上記の方法においては、接着剤に含有する
溶剤が発揮して接着剤が固化するのを待ってから試料載
台を試料室に入れていた。
溶剤が発揮して接着剤が固化するのを待ってから試料載
台を試料室に入れていた。
このように上記従来の接着剤による方法では、試料を試
料載台に接着してから実際に観察するまで待ち時間を要
するという不便があった。
料載台に接着してから実際に観察するまで待ち時間を要
するという不便があった。
また、現在使用されている導電性接着剤は電子顕微鏡の
使用に適するよう組成されていないため、金属系不純物
を含んでいる。そのために電子顕微鏡に付属するＸ線マ
イクロアナライザー等で組成分析する時に、その不純物
が検出されるため、バックグランドを意識せざるを得な
い不便もある。
使用に適するよう組成されていないため、金属系不純物
を含んでいる。そのために電子顕微鏡に付属するＸ線マ
イクロアナライザー等で組成分析する時に、その不純物
が検出されるため、バックグランドを意識せざるを得な
い不便もある。
本発明者はかかる実情に鑑み、前記の如き問題点を解消
すべく鋭意研究の結果従来の接着剤にかえて、本発明の
導電性両面粘着シートを用いて試料を貼った場合試料を
試料載台に貼り終え次第、試料を試料室にセツトし直ち
に試料室を真空にしても溶剤の揮発がないため直ちに電
子顕微鏡の観察が可能になることを見い出し本発明を完
成したものである。
すべく鋭意研究の結果従来の接着剤にかえて、本発明の
導電性両面粘着シートを用いて試料を貼った場合試料を
試料載台に貼り終え次第、試料を試料室にセツトし直ち
に試料室を真空にしても溶剤の揮発がないため直ちに電
子顕微鏡の観察が可能になることを見い出し本発明を完
成したものである。
すなわち本発明は複数の開孔を有する絶縁性支持体シー
トの両面および上記開孔中に導電性フイラーを含有し、
溶剤を実質的に含有しない接着剤層を形成した両面相互
導電性を有する電子顕微鏡用導電性両面粘着シートであ
る。
トの両面および上記開孔中に導電性フイラーを含有し、
溶剤を実質的に含有しない接着剤層を形成した両面相互
導電性を有する電子顕微鏡用導電性両面粘着シートであ
る。
本発明に使用する絶縁性支持体シートは、天然または合
成繊維からなる織布または不織布、ポリエステル等の合
成樹脂フイルム、場合によって紙のシートを使用でき
る。これらには後述する導電性フイラーを含有する粘着
剤を塗布したとき、これが侵入充填でき、シート両面を
連通する複数の開孔を設ける必要がある。このため支持
体シートにパンチング加工して必要とする開孔を設ける
とよい。また織布を支持体シートとして用いる場合には
導電性フィラー含有粘着剤が侵入しうる程度の開孔を有
する形の粗い織目のものを用いてもよく、不織布の場合
は単位面積当りの繊維密度を比較的疎にしてやはり上記
粘着剤が侵入しうる開孔を設けるようにしてもよい。こ
れらの場合にはパンチング加工を必要としない。これら
の材料自体は電気絶縁性材料で構成できる。
成繊維からなる織布または不織布、ポリエステル等の合
成樹脂フイルム、場合によって紙のシートを使用でき
る。これらには後述する導電性フイラーを含有する粘着
剤を塗布したとき、これが侵入充填でき、シート両面を
連通する複数の開孔を設ける必要がある。このため支持
体シートにパンチング加工して必要とする開孔を設ける
とよい。また織布を支持体シートとして用いる場合には
導電性フィラー含有粘着剤が侵入しうる程度の開孔を有
する形の粗い織目のものを用いてもよく、不織布の場合
は単位面積当りの繊維密度を比較的疎にしてやはり上記
粘着剤が侵入しうる開孔を設けるようにしてもよい。こ
れらの場合にはパンチング加工を必要としない。これら
の材料自体は電気絶縁性材料で構成できる。
なお、支持体シートとして金属箔を用いた導電性支持体
シートを採用する場合は、この金属に含まれている不純
物までの多くの金属元素をバックグランドに意識しなけ
ればならないので、かかる支持体シートは本発明におい
ては好ましくない。
シートを採用する場合は、この金属に含まれている不純
物までの多くの金属元素をバックグランドに意識しなけ
ればならないので、かかる支持体シートは本発明におい
ては好ましくない。
本発明に用いる導電性フィラーとしては、カーボン粉、
銀粉、銅粉、ニッケル粉等の大きさが０．０１μｍ〜１
０μｍの微細な導電性フィラーを用いることができる
が、これらは、観察の際、不純物が検出されない程度の
純度のものでなければならない。
銀粉、銅粉、ニッケル粉等の大きさが０．０１μｍ〜１
０μｍの微細な導電性フィラーを用いることができる
が、これらは、観察の際、不純物が検出されない程度の
純度のものでなければならない。
また本発明に用いる粘着剤材料としては、アクリル系樹
脂、天然ゴム、スチレン・ブタジエン系樹脂及び必要に
より、イソシアネート、メラミン、エポキシ等のこれら
の架橋硬化剤成分からなる材料が使用できる。
脂、天然ゴム、スチレン・ブタジエン系樹脂及び必要に
より、イソシアネート、メラミン、エポキシ等のこれら
の架橋硬化剤成分からなる材料が使用できる。
（導電性粘着剤の調整） 銀粉 ７０重量部 （福田金属箔粉社製シルコ-トAGC-B） アクリル樹脂系粘着剤 ７５重量部 （三洋化成社製ポリシック３１０Ｓ） 溶剤（トルエン/酢酸エチル＝１／１） ８０重量部 を非金属製分散機にて均一に混合分散して本発明の導電
性粘着剤を調製した。
性粘着剤を調製した。
（電子顕微鏡用導電性両面粘着シートの形成） 剥離性を有するポリプロピレンフィルムの上に、上記の
導電性粘着剤を４０μｍの厚みに均一に塗布し、８０℃
で５分間加熱して溶剤を発揮させた導電性粘着剤層を形
成したものを２枚製作した。
導電性粘着剤を４０μｍの厚みに均一に塗布し、８０℃
で５分間加熱して溶剤を発揮させた導電性粘着剤層を形
成したものを２枚製作した。
次にそのうちの一枚の導電性粘着剤層の面上に開孔を有
する絶縁性支持体シート材料のポリエステルシートを積
重し、更にその上に他の一枚の導電性粘着剤層を積重し
た。しかる後、常温にて２０kgの加重を加えて４８時間
圧着し本発明の電子顕微鏡用導電性両面粘着シートを形
成した。
する絶縁性支持体シート材料のポリエステルシートを積
重し、更にその上に他の一枚の導電性粘着剤層を積重し
た。しかる後、常温にて２０kgの加重を加えて４８時間
圧着し本発明の電子顕微鏡用導電性両面粘着シートを形
成した。
このようにして形成した本発明の粘着シートを用いて試
料を試料載台に接着して電子顕微鏡で観察したところ、
試料室を真空化した際溶剤の排出がなく、直ちに観察す
ることができ、また導電性フィラー以外の金属元素の混
入が少ないのでバックグランドを無視して観察すること
ができた。
料を試料載台に接着して電子顕微鏡で観察したところ、
試料室を真空化した際溶剤の排出がなく、直ちに観察す
ることができ、また導電性フィラー以外の金属元素の混
入が少ないのでバックグランドを無視して観察すること
ができた。
本発明のシートを用いた場合は、従来の導電性接着剤を
用いたときのような待ち時間を要することもなく、また
バックグランドを意識する必要もないので、電子顕微鏡
観察の際試料を貼付るための導電性両面粘着シートとし
て好適である。
用いたときのような待ち時間を要することもなく、また
バックグランドを意識する必要もないので、電子顕微鏡
観察の際試料を貼付るための導電性両面粘着シートとし
て好適である。
Claims (1)
- 【請求項１】複数の開孔を有する絶縁性支持体シートの
両面及び上記開孔中に導電性フィラーを含有し、溶剤を
実質的に含有しない粘着剤層を形成した両面相互導電性
を有する電子顕微鏡用導電性両面粘着シート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63240573A JPH0610968B2 (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | 電子顕微鏡用導電性両面粘着シート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63240573A JPH0610968B2 (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | 電子顕微鏡用導電性両面粘着シート |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0287452A JPH0287452A (ja) | 1990-03-28 |
| JPH0610968B2 true JPH0610968B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=17061532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63240573A Expired - Lifetime JPH0610968B2 (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 | 電子顕微鏡用導電性両面粘着シート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0610968B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3273372B2 (ja) * | 1991-02-22 | 2002-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 投射型液晶プロジェクタ |
| US5698856A (en) * | 1996-08-05 | 1997-12-16 | Frasca; Peter | Specimen holder for electron microscope |
| DE10227761A1 (de) * | 2002-06-21 | 2004-01-15 | Rjl Micro & Analytic Gmbh | Verfahren und Mittel zur Fixierung von Partikeln an einem Filtermedium |
-
1988
- 1988-09-26 JP JP63240573A patent/JPH0610968B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0287452A (ja) | 1990-03-28 |
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Legal Events
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