JPH0610971B2 - マイクロ波放電装置 - Google Patents

マイクロ波放電装置

Info

Publication number
JPH0610971B2
JPH0610971B2 JP60196959A JP19695985A JPH0610971B2 JP H0610971 B2 JPH0610971 B2 JP H0610971B2 JP 60196959 A JP60196959 A JP 60196959A JP 19695985 A JP19695985 A JP 19695985A JP H0610971 B2 JPH0610971 B2 JP H0610971B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ridge
microwave
discharge device
waveguide
discharge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60196959A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6258564A (ja
Inventor
長吉郎 柴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Radio Co Ltd
Original Assignee
Japan Radio Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Japan Radio Co Ltd filed Critical Japan Radio Co Ltd
Priority to JP60196959A priority Critical patent/JPH0610971B2/ja
Publication of JPS6258564A publication Critical patent/JPS6258564A/ja
Publication of JPH0610971B2 publication Critical patent/JPH0610971B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
  • Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マイクロ波放電装置に係り、特に、紫外線等
を発生させる放電管をマイクロ波により無電極で放電さ
せる機構に関する。
〔従来の技術〕
半導体に回路パターンを形成するためのフォトレジスト
やある種の塗料などは、紫外線を照射すると、急速に硬
化あるいは不溶物化させることができる。紫外線はま
た、殺菌などにも広く利用されている。この紫外線等を
発生させるには、一般にガス入り放電管が用いられる。
従来の放電管は、金属電極を封入し、これに電圧を加え
て放電を発生させていた。そのため、電極の耐電力以上
の電力を加えることができず、高出力が得られなかつ
た。また、ハロゲンやハライドなどの腐蝕性ガスを封入
できないので、利用可能な封入ガスの種類が限定され、
所望のスペクトル成分が得られない問題点もあった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は、従来の放電管の種々の欠点が主に封入された
金属電極に起因することに着目し、無電極放電管により
それらの問題点を解決するために、マイクロ波放電装置
を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、上記目的を達成するために、誘電体にガスを
封入した無電極放電管をリッジ型導波管の電界最大部に
挿入設置し、この導波管にマイクロ波を導入することに
より、無電極で放電を発生させるマイクロ波放電装置を
提案する。
〔発明の作用〕
第２図は、リッジ型導波管の斜視図である。図におい
て、導波管１の内部にはリッジ２が形成されており、点
線の電気力線で示すように、リッジ２の部分に電界が集
中している。ガスを封入した放電管をこのリッジの強電
界部に挿入すると、ガスはエネルギーを付与されて放電
することになる。従って、金属電極を封封入しておく必
要はない。
さて、マイクロ波放電をさせるには、空胴共振器を用い
ることも考えられる。ところが空胴共振器ではマイクロ
波は定在波となるために、長い発光管を一様に発光させ
ることができない。これに対し、本発明で利用するリッ
ジ型導波管中のマイクロ波は進行波であるから、長い発
光管も一様に発光させることが可能である。
〔発明の実施例〕
次に、第１図により、本発明の一実施例を説明する。第
１図は、本発明によるマイクロ波放電装置の断面図であ
る。図において、１は導波管、２はリッジ、３は放電
管、４は導波管壁に設けた網目構造部分である。放電管
３はリッジ２の強電界部に挿入されている。
ここでは、ガス入り放電管３に接するリッジ電極の上面
２Ａを、放物面等の光を集光する曲面にしてある。この
ようにすると、放電により発光した光を矢印方向の目標
物に投光するのに効率がよく好都合である。
また、リッジに対向した導波管壁に設けた網目構造４
は、発光した光を通すが、マイクロ波をカットオフする
ピッチにしてある。その結果、マイクロ波が外部に漏洩
することなく、発光した光を利用できる。
本実施例ではガス入り放電管３に金属電極を封入してい
ないので、耐電力性が高く、高出力の光が得られる。ま
た、ハロゲンやハライドなどの腐蝕性ガスも自由に封入
できるから、利用可能な封入ガスの種類が拡大し、所望
のスペクトル成分の光を利用可能である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、次の効果が得られる。
(1) 放電管に金属電極を封入しない無電極放電である
から、耐電力が増し、高出力の光を取出すことができ
る。
(2) ハロゲン等の腐蝕性ガスを封入し、従来は未利用
のスペクトル成分が得られる。
(3) リッジ型導波管を用いており、この導波管中のマ
イクロ波は進行波であるから、長い発光管も一様に発光
させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
第１図はリッジ型導波管と無電極放電管を用いた本発明
マイクロ波放電装置の断面図、第２図は本発明に用いる
リッジ型導波管の電界の様子を示す斜視図である。 １…リッジ型導波管、２…リッジ 2A…リッジ上面、３…ガス入り放電管 ４…導波管壁網目構造

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】リッジ型導波管と、誘電体にガスを封入し
    て形成され前記リッジ型導波管の電界最大部に挿入設置
    される放電管とからなり、リッジ型導波管に導入したマ
    イクロ波により放電を発生させることを特徴とするマイ
    クロ波放電装置。
  2. 【請求項２】特許請求の範囲第１項のマイクロ波放電装
    置において、リッジ上面を集光性の曲面に形成する一
    方、これに対向する導波管壁が光透過性でマイクロ波を
    通過させない網目構造であることを特徴とするマイクロ
    波放電装置。
JP60196959A 1985-09-06 1985-09-06 マイクロ波放電装置 Expired - Lifetime JPH0610971B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60196959A JPH0610971B2 (ja) 1985-09-06 1985-09-06 マイクロ波放電装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60196959A JPH0610971B2 (ja) 1985-09-06 1985-09-06 マイクロ波放電装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6258564A JPS6258564A (ja) 1987-03-14
JPH0610971B2 true JPH0610971B2 (ja) 1994-02-09

Family

ID=16366492

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60196959A Expired - Lifetime JPH0610971B2 (ja) 1985-09-06 1985-09-06 マイクロ波放電装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0610971B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006516804A (ja) * 2003-01-31 2006-07-06 ラクシム コーポレーション 誘電体導波路を備えたマイクロ波力によるプラズマランプ

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007050965A2 (en) * 2005-10-27 2007-05-03 Luxim Corporation Plasma lamp with dielectric waveguide
US7791280B2 (en) 2005-10-27 2010-09-07 Luxim Corporation Plasma lamp using a shaped waveguide body
US11759089B2 (en) 2021-03-02 2023-09-19 Helen Of Troy Limited Lint brush

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5535825A (en) * 1978-09-06 1980-03-13 Itsuki Ban Lighter equipped with watch

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006516804A (ja) * 2003-01-31 2006-07-06 ラクシム コーポレーション 誘電体導波路を備えたマイクロ波力によるプラズマランプ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6258564A (ja) 1987-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0329143B1 (en) Discharge lamp
US4507587A (en) Microwave generated electrodeless lamp for producing bright output
RU2130214C1 (ru) Лампа, обеспечивающая излучение в видимой части спектра (варианты)
JPS63141256A (ja) 放電ランプ
JP3346190B2 (ja) 希ガス放電ランプ
JPH0610971B2 (ja) マイクロ波放電装置
JP3506055B2 (ja) 誘電体バリア放電ランプ、およびその光照射装置
US4063132A (en) DC powered microwave discharge in an electrodeless light source
JP2002541643A (ja) 口金付き放電ランプ
US4745335A (en) Magnesium vapor discharge lamp
KR19980080496A (ko) 유전체배리어 방전램프 및 유전체배리어 방전램프장치
US3110833A (en) Multiple envelope high pressure mercury vapor discharge lamp
JP2775698B2 (ja) 誘電体バリヤ放電ランプ装置
JP2518015B2 (ja) 放電灯
CA2185267A1 (en) High intensity electrodeless low pressure light source
JP3637697B2 (ja) 紫外線ランプおよびその点灯装置
JPS63284744A (ja) プラズマｘ線源
JPS6258565A (ja) マイクロ波放電装置
KR102903790B1 (ko) 플라즈마 형성용 트리거를 구비한 엑시머 램프 어셈블리
JPS6196649A (ja) 無電極放電灯
JPH0610972B2 (ja) マイクロ波放電装置
JPH11191396A5 (ja)
JP2007080705A (ja) マイクロ波放電ランプおよび当該マイクロ波放電ランプを備えたマイクロ波放電光源装置
JP3209094B2 (ja) 誘電体バリア放電ランプ
SU972249A1 (ru) Лампа дл облучени в вакуумной ультрафиолетовой области спектра