JPH06109760A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH06109760A JPH06109760A JP25648892A JP25648892A JPH06109760A JP H06109760 A JPH06109760 A JP H06109760A JP 25648892 A JP25648892 A JP 25648892A JP 25648892 A JP25648892 A JP 25648892A JP H06109760 A JPH06109760 A JP H06109760A
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- JP
- Japan
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- acceleration sensor
- sensor chip
- base plate
- sensor
- chip
- Prior art date
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- Pending
Links
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
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Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】Ｇセンサチップが正常であるか否かを診断する
ことができる加速度センサを提供する。 【構成】歪みゲージ４を設けてなるＧセンサチップ３の
基端部１２を、ベースプレート１に固定するために、そ
の基端部１２とベースプレート１との間に介在せしめる
台座として圧電素子１３を使用し、さらにこの圧電素子
１３には、交流信号の供給源１４を接続しているもので
ある。なお圧電素子１３を診断手段とする。Ｇセンサチ
ップ３が正常であるか否かの診断を行なうときは、圧電
素子１３に所定周波数の交流を供給すると、該圧電素子
１３は、電歪作用により、伸縮動作を繰返し振動する。
この圧電素子の振動はＧセンサチップ３に伝達され、そ
の振動レベルに対応した出力が歪みゲージ４より出力さ
れる。
ことができる加速度センサを提供する。 【構成】歪みゲージ４を設けてなるＧセンサチップ３の
基端部１２を、ベースプレート１に固定するために、そ
の基端部１２とベースプレート１との間に介在せしめる
台座として圧電素子１３を使用し、さらにこの圧電素子
１３には、交流信号の供給源１４を接続しているもので
ある。なお圧電素子１３を診断手段とする。Ｇセンサチ
ップ３が正常であるか否かの診断を行なうときは、圧電
素子１３に所定周波数の交流を供給すると、該圧電素子
１３は、電歪作用により、伸縮動作を繰返し振動する。
この圧電素子の振動はＧセンサチップ３に伝達され、そ
の振動レベルに対応した出力が歪みゲージ４より出力さ
れる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車等に設備使用さ
れる半導体式加速度センサであって、特にＧセンサチッ
プの働きが正常であるか否かを診断して動作信頼性を高
めることができる加速度センサに関するものである。
れる半導体式加速度センサであって、特にＧセンサチッ
プの働きが正常であるか否かを診断して動作信頼性を高
めることができる加速度センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の半導体式加速度センサと
しては、図１及び図２に示す如き構造のものがある。す
なわち、１はパッケージ用ベースプレートであって、こ
のパッケージ用ベースプレート１の上面には台座２が固
定されており、この台座２上には、平面長方形に形成さ
れているＧセンサチップ３の一端が片持ち状に取付けら
れている。このＧセンサチップ３の断面形状は、図２に
示すように、その中央部が薄肉であって、その薄肉部表
面に歪みゲージ４が形成される加速度感知部５と、Ｇセ
ンサチップ３の自由端側に形成されている肉厚の質量保
持部６とからなっている。７は前記ベースプレート１を
貫通しかつ絶縁体８を介して固定されているリード端子
であって、このリード端子７と前記歪みゲージを含むセ
ンサ回路とはリード線９を介して接続されているもので
ある。１０は前記のベースプレート上において、上記Ｇ
センサチップ３、リード端子７、リード線９等の全体を
覆うようにして気密に被着されているキャップであっ
て、このキャップ１０と前記ベースプレート１との間に
生じる空間には、ダンピング用（機械的共振防止用）の
シリコンオイル１１が充填されているものである。
しては、図１及び図２に示す如き構造のものがある。す
なわち、１はパッケージ用ベースプレートであって、こ
のパッケージ用ベースプレート１の上面には台座２が固
定されており、この台座２上には、平面長方形に形成さ
れているＧセンサチップ３の一端が片持ち状に取付けら
れている。このＧセンサチップ３の断面形状は、図２に
示すように、その中央部が薄肉であって、その薄肉部表
面に歪みゲージ４が形成される加速度感知部５と、Ｇセ
ンサチップ３の自由端側に形成されている肉厚の質量保
持部６とからなっている。７は前記ベースプレート１を
貫通しかつ絶縁体８を介して固定されているリード端子
であって、このリード端子７と前記歪みゲージを含むセ
ンサ回路とはリード線９を介して接続されているもので
ある。１０は前記のベースプレート上において、上記Ｇ
センサチップ３、リード端子７、リード線９等の全体を
覆うようにして気密に被着されているキャップであっ
て、このキャップ１０と前記ベースプレート１との間に
生じる空間には、ダンピング用（機械的共振防止用）の
シリコンオイル１１が充填されているものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構造の半導体式加速度センサにあっては、そのセンサ
が、図２で示すＧ方向動作を受けることによりその質量
保持部６が変位（撓み）し、その結果歪みゲージ４に歪
みが生じ、この歪み量で加速度を検知するものである
が、この加速度センサが異常（過剰）な衝撃力を受けた
ことによって、Ｇセンサチップ３が折損されたままの状
態で使用されている場合は、その加速度センサによる適
正な加速度検出が検知できないことになる。
構造の半導体式加速度センサにあっては、そのセンサ
が、図２で示すＧ方向動作を受けることによりその質量
保持部６が変位（撓み）し、その結果歪みゲージ４に歪
みが生じ、この歪み量で加速度を検知するものである
が、この加速度センサが異常（過剰）な衝撃力を受けた
ことによって、Ｇセンサチップ３が折損されたままの状
態で使用されている場合は、その加速度センサによる適
正な加速度検出が検知できないことになる。
【０００４】そこで、そのＧセンサチップに異常が生じ
ている否かを定期的に知る必要があるが、その加速度セ
ンサは内部が密封されているためにＧセンサチップの状
況を目視確認（異常診断）することができないという不
便があった。
ている否かを定期的に知る必要があるが、その加速度セ
ンサは内部が密封されているためにＧセンサチップの状
況を目視確認（異常診断）することができないという不
便があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる不便を
解消するためになされたもので、歪みゲージを具備せし
めた片持ち状Ｇセンサチップをベースプレート１に固定
するための台座として、圧電素子を使用し、この圧電素
子に交流電圧を加えたときに発生する圧電素子の歪（電
歪作用）によりＧセンサチップを強制的に振動させ、こ
のＧセンサチップの加振時に生じる歪ゲージからの信号
を基にして、そのＧセンサチップが正常であるか否かを
診断することができる加速度センサを提供することにあ
る。
解消するためになされたもので、歪みゲージを具備せし
めた片持ち状Ｇセンサチップをベースプレート１に固定
するための台座として、圧電素子を使用し、この圧電素
子に交流電圧を加えたときに発生する圧電素子の歪（電
歪作用）によりＧセンサチップを強制的に振動させ、こ
のＧセンサチップの加振時に生じる歪ゲージからの信号
を基にして、そのＧセンサチップが正常であるか否かを
診断することができる加速度センサを提供することにあ
る。
【０００６】
【実施例】以下に本発明を図３に示す実施例に基いて詳
細に説明するが、本実施例の構造と従来例で説明した構
造との同一部分は、従来例で使用した符号を付して、そ
の同一構造部分の説明は省略する。
細に説明するが、本実施例の構造と従来例で説明した構
造との同一部分は、従来例で使用した符号を付して、そ
の同一構造部分の説明は省略する。
【０００７】すなわち本実施例においては、歪みゲージ
４を設けてなるＧセンサチップ３の基端部１２を、ベー
スプレート１に固定するために、その基端部１２とベー
スプレート１との間に介在せしめる台座として圧電素子
１３を使用し、さらにこの圧電素子１３には、交流信号
の供給源１４を接続しているものである。なお上記圧電
素子１３を診断手段とする。
４を設けてなるＧセンサチップ３の基端部１２を、ベー
スプレート１に固定するために、その基端部１２とベー
スプレート１との間に介在せしめる台座として圧電素子
１３を使用し、さらにこの圧電素子１３には、交流信号
の供給源１４を接続しているものである。なお上記圧電
素子１３を診断手段とする。
【０００８】以上が本実施例の構成であるが、次にその
作用について述べる。
作用について述べる。
【０００９】Ｇセンサチップ３が正常であるか否かの診
断を行なうときは、圧電素子１３に所定周波数の交流を
供給すると、該圧電素子１３は、電歪作用により、伸縮
動作を繰返し振動する。この圧電素子の振動はＧセンサ
チップ３に伝達され、その振動レベルに対応した出力が
歪みゲージ４より出力される。
断を行なうときは、圧電素子１３に所定周波数の交流を
供給すると、該圧電素子１３は、電歪作用により、伸縮
動作を繰返し振動する。この圧電素子の振動はＧセンサ
チップ３に伝達され、その振動レベルに対応した出力が
歪みゲージ４より出力される。
【００１０】この歪みゲージ４からの出力は、圧電素子
１３の振動に比例するため、その圧電素子１３の振動条
件が判っていれば、Ｇセンサチップで発生する出力電圧
は、特定の値に規定される。
１３の振動に比例するため、その圧電素子１３の振動条
件が判っていれば、Ｇセンサチップで発生する出力電圧
は、特定の値に規定される。
【００１１】この特定値と実際のＧセンサチップ３の出
力値を比較することで、そのＧセンサチップ３が正常で
あるか異常であるかの診断を行なうことができる。
力値を比較することで、そのＧセンサチップ３が正常で
あるか異常であるかの診断を行なうことができる。
【００１２】
【発明の効果】このように本発明は、方形をなして、少
なくともその一辺がベースプレート１に固定支持され、
しかもセンサ４が設けられている加速度感知部５と質量
保持部６とが一体に形成されているＧセンサチップ３を
有する加速度センサにおいて、上記Ｇセンサチップ３の
基端部１２を、ベースプレート１に固定するための中間
台座として、圧電素子材１３による診断手段を使用した
加速度センサであるから、これによれば、その診断手段
による圧電素子１３に所定周波数の交流を印加してＧセ
ンサチップを強制的に加振させ、この振動動作時の歪み
ゲージからの出力値を検出し、この出力値と予め知られ
ている正常時のセンサからの出力値を比較することによ
りＧセンサチップ３の破壊、劣化等を診断を有効に検知
することができ、これによって加速度センサ自体の信頼
性、及びこの加速度センサを使用する例えばエアバッグ
システムの信頼性を大幅に向上せしめることができると
いう効果が得られる。
なくともその一辺がベースプレート１に固定支持され、
しかもセンサ４が設けられている加速度感知部５と質量
保持部６とが一体に形成されているＧセンサチップ３を
有する加速度センサにおいて、上記Ｇセンサチップ３の
基端部１２を、ベースプレート１に固定するための中間
台座として、圧電素子材１３による診断手段を使用した
加速度センサであるから、これによれば、その診断手段
による圧電素子１３に所定周波数の交流を印加してＧセ
ンサチップを強制的に加振させ、この振動動作時の歪み
ゲージからの出力値を検出し、この出力値と予め知られ
ている正常時のセンサからの出力値を比較することによ
りＧセンサチップ３の破壊、劣化等を診断を有効に検知
することができ、これによって加速度センサ自体の信頼
性、及びこの加速度センサを使用する例えばエアバッグ
システムの信頼性を大幅に向上せしめることができると
いう効果が得られる。
【図１】従来例の加速度センサの平面構造説明図。
【図２】従来例の加速度センサの図１におけるＡ−Ａ線
断面構造説明図。
断面構造説明図。
【図３】本発明実施例の加速度センサの平面構造説明
図。
図。
１…ベースプレート ２…台座 ３…Ｇセンサチップ ４…歪みゲージ ５…加速度感知部 ６…質量保持部 ７…リード端子 ８…絶縁体 ９…リード線 １０…キャップ １１…シリコンオイル １２…基端部 １３…圧電素子 １４…交流信号供給源
Claims (1)
- 【請求項１】 方形をなして、少なくともその一辺がベ
ースプレート（１）に固定支持され、しかもセンサ
（４）が設けられている加速度感知部（５）と質量保持
部（６）とが一体に形成されているＧセンサチップ
（３）を有する加速度センサにおいて、上記Ｇセンサチ
ップ（３）の基端部（１２）を、ベースプレート（１）
に固定するための中間台座として、圧電素子材（１３）
による診断手段を使用したことを特徴とする加速度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25648892A JPH06109760A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25648892A JPH06109760A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06109760A true JPH06109760A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17293339
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25648892A Pending JPH06109760A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06109760A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007198744A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-09 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 圧電型加速度センサ |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP25648892A patent/JPH06109760A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007198744A (ja) * | 2006-01-23 | 2007-08-09 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 圧電型加速度センサ |
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