JPH06111747A - 電子顕微鏡等の試料装置 - Google Patents
電子顕微鏡等の試料装置Info
- Publication number
- JPH06111747A JPH06111747A JP4256508A JP25650892A JPH06111747A JP H06111747 A JPH06111747 A JP H06111747A JP 4256508 A JP4256508 A JP 4256508A JP 25650892 A JP25650892 A JP 25650892A JP H06111747 A JPH06111747 A JP H06111747A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- pipe
- sample
- hollow pipe
- movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 別機構としてのＸ軸方向の駆動機構を不要と
し、試料室の構造を単純化し、かつ水平方向の微小な動
きを可能にする。 【構成】 試料室壁を通して装着するサイドエントリー
ゴニオメータにおいて、筒状体内面に形成された球面軸
受によって支持され、少なくともＹ軸駆動手段及びＺ軸
駆動手段により前記軸受を中心として揺動する第１の中
空パイプと、第１の中空パイプ内に同軸に設けられた第
２の中空パイプとを備え、第２の中空パイプを軸方向に
駆動するＸ軸駆動手段を第１の中空パイプ上に取付けた
ことを特徴とする。
し、試料室の構造を単純化し、かつ水平方向の微小な動
きを可能にする。 【構成】 試料室壁を通して装着するサイドエントリー
ゴニオメータにおいて、筒状体内面に形成された球面軸
受によって支持され、少なくともＹ軸駆動手段及びＺ軸
駆動手段により前記軸受を中心として揺動する第１の中
空パイプと、第１の中空パイプ内に同軸に設けられた第
２の中空パイプとを備え、第２の中空パイプを軸方向に
駆動するＸ軸駆動手段を第１の中空パイプ上に取付けた
ことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡等の試料装置
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７により従来のサイドエントリタイプ
のゴニオメータについて説明する。
のゴニオメータについて説明する。
【０００３】図７は電子顕微鏡の電子線光軸と垂直な断
面を示す図、図８は電子線光軸に平行な断面を示す図で
ある。
面を示す図、図８は電子線光軸に平行な断面を示す図で
ある。
【０００４】電子線光軸の方向をＺ軸、試料装置の軸方
向をＸ軸、試料装置の軸に垂直な方向をＹ軸とする。試
料装置ユニット１０の軸１１の外周部にはＹ軸およびＺ
軸駆動ユニットが設けられ、軸全体は球面軸受２２によ
ってフレームに支持されている。Ｙ軸駆動ユニットは図
示しない駆動用モータによって、図７に示すＹ軸駆動用
テコ１２がＹ軸方向に駆動されて、軸１１をスプリング
１３ａに抗してＹ方向に移動させ、軸１１の先端部に連
結された試料操作棒１５を変位させて試料室１４内の試
料をＹ方向に変位させる。Ｚ軸方向への移動は、図８に
示すように、Ｚ軸駆動ユニット１６により支点１８を中
心にＺ軸駆動用テコ１７を回転させ、軸１１をスプリン
グ１３ｂに抗してＺ方向に移動させている。このＹ動、
Ｚ動は球面軸受２２によって行われる。
向をＸ軸、試料装置の軸に垂直な方向をＹ軸とする。試
料装置ユニット１０の軸１１の外周部にはＹ軸およびＺ
軸駆動ユニットが設けられ、軸全体は球面軸受２２によ
ってフレームに支持されている。Ｙ軸駆動ユニットは図
示しない駆動用モータによって、図７に示すＹ軸駆動用
テコ１２がＹ軸方向に駆動されて、軸１１をスプリング
１３ａに抗してＹ方向に移動させ、軸１１の先端部に連
結された試料操作棒１５を変位させて試料室１４内の試
料をＹ方向に変位させる。Ｚ軸方向への移動は、図８に
示すように、Ｚ軸駆動ユニット１６により支点１８を中
心にＺ軸駆動用テコ１７を回転させ、軸１１をスプリン
グ１３ｂに抗してＺ方向に移動させている。このＹ動、
Ｚ動は球面軸受２２によって行われる。
【０００５】Ｘ軸周りのティルト（傾斜）はＸ軸傾斜ユ
ニット１９により行わている。これは図８に示すよう
に、Ｘ軸傾斜ユニット１９によりウォームギヤ２０が回
転駆動され、これと係合した回転ギヤ２１が回転して軸
１１を回転駆動し、その結果試料はＸ軸の周りに傾斜す
る。
ニット１９により行わている。これは図８に示すよう
に、Ｘ軸傾斜ユニット１９によりウォームギヤ２０が回
転駆動され、これと係合した回転ギヤ２１が回転して軸
１１を回転駆動し、その結果試料はＸ軸の周りに傾斜す
る。
【０００６】Ｘ軸方向の移動は、図示しないＸ軸駆動ユ
ニットによって、支点を中心に回転するＸ軸駆動用テコ
２６によって行われ（図７）、この場合ホルダ側から試
料室側への移動は、試料室と大気圧との圧力差によって
行われ、テコ２６は試料室側からホルダ側への移動を行
う。なお、Ｘ，Ｙ，Ｚ動およびＸ軸傾斜は４軸ユーセン
トリックに行われ、また試料室真空側と試料装置大気側
とはバイトンＯリング２３，２４，２５によって真空シ
ールされている。
ニットによって、支点を中心に回転するＸ軸駆動用テコ
２６によって行われ（図７）、この場合ホルダ側から試
料室側への移動は、試料室と大気圧との圧力差によって
行われ、テコ２６は試料室側からホルダ側への移動を行
う。なお、Ｘ，Ｙ，Ｚ動およびＸ軸傾斜は４軸ユーセン
トリックに行われ、また試料室真空側と試料装置大気側
とはバイトンＯリング２３，２４，２５によって真空シ
ールされている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】従来のサイドエンドリ
タイプのゴニオメータでは、Ｘ動（軸方向）はゴニオメ
ータに組み込まれていない別の機構によっており、その
ため別途水平駆動用の機構が必要となって試料室の構造
が複雑化していた。また、ゴニオメータとは別の機械的
な減速機構により微小な水平方向の動きをさせることは
極めて困難であった。
タイプのゴニオメータでは、Ｘ動（軸方向）はゴニオメ
ータに組み込まれていない別の機構によっており、その
ため別途水平駆動用の機構が必要となって試料室の構造
が複雑化していた。また、ゴニオメータとは別の機械的
な減速機構により微小な水平方向の動きをさせることは
極めて困難であった。
【０００８】本発明は上記課題を解決するためのもの
で、軸方向の移動機構をゴニオメータに組み込むことに
より、別の軸方向の駆動機構が不要となり、試料室の構
造を単純化し、かつ水平方向の微小な動きを行うことが
できる電子顕微鏡等の試料装置を提供することを目的と
する。
で、軸方向の移動機構をゴニオメータに組み込むことに
より、別の軸方向の駆動機構が不要となり、試料室の構
造を単純化し、かつ水平方向の微小な動きを行うことが
できる電子顕微鏡等の試料装置を提供することを目的と
する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は試料室壁を通し
て装着するサイドエントリーゴニオメータにおいて、筒
状体内面に形成された球面軸受によって支持され、少な
くともＹ軸駆動手段及びＺ軸駆動手段により前記軸受を
中心として揺動する第１の中空パイプと、第１の中空パ
イプ内に同軸に設けられた第２の中空パイプとを備え、
第２の中空パイプを軸方向に駆動するＸ軸駆動手段を第
１の中空パイプ上に取付けたことを特徴とする。
て装着するサイドエントリーゴニオメータにおいて、筒
状体内面に形成された球面軸受によって支持され、少な
くともＹ軸駆動手段及びＺ軸駆動手段により前記軸受を
中心として揺動する第１の中空パイプと、第１の中空パ
イプ内に同軸に設けられた第２の中空パイプとを備え、
第２の中空パイプを軸方向に駆動するＸ軸駆動手段を第
１の中空パイプ上に取付けたことを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明はＹ動、Ｚ動、Ｘ傾斜をユーセントリッ
クに行うゴニオメータのシャフト上にＸ動テコとＸ動送
り機構を取り付けることにより、ゴニオメータ単体で４
軸ユーセントリックとすることができ、ゴニオメータと
は別個の軸方向の駆動機構を不要とし、試料室の構造を
単純化することが可能となる。
クに行うゴニオメータのシャフト上にＸ動テコとＸ動送
り機構を取り付けることにより、ゴニオメータ単体で４
軸ユーセントリックとすることができ、ゴニオメータと
は別個の軸方向の駆動機構を不要とし、試料室の構造を
単純化することが可能となる。
【００１１】
【実施例】以下、実施例を図面を参照して説明する。図
１は本発明の試料装置の電子線光軸に垂直な断面図、図
２は試料装置の電子線光軸方向における断面図、図３は
Ｘ動を説明するための図、図４はＺ動を説明するための
図、図５はＺ動を説明するための図、図６はＹ動を説明
するための図である。図中、３１は試料ホルダ、３２は
試料ホルダ受台、３３は試料室壁、３４は試料室、４０
は円筒状支持体、４１は球面軸受、４２はメタルベロー
ズ、４３はメタルＯリング、４４はベアリング、４５は
ブロック、４６はベアリング、５０はパイプ状基本フレ
ーム、５１はパイプ状フレーム、５２は球面状膨出部、
５４はマグネット、５５はＸ軸傾斜用パイプ、５６はマ
グネット、５７はＸ軸傾斜用ギヤ、５８はＸ軸傾斜用ユ
ニット、６０はＹ軸駆動用テコ、６１はスプリング、６
２はＹ軸駆動用モータ、６３，６４はギヤ、６５はネ
ジ、６６はスライダ、７０はＺ軸駆動用モータ、７１，
７２はギヤ、７３は送りネジ、７４はスライダ、７５は
テコ、７６は支点、７７はスプリング、８０はＸ軸駆動
用モータ、８１，８２はギヤ、８３はネジ、８４はスラ
イダ、８５はテコ、８６は支軸、８７は支点、８８は
軸、８９はリング、９０はＹ軸傾斜用モータ、９１，９
２はギヤ、９３はネジ、９４はシャフト、９５はメタル
ベローズである。
１は本発明の試料装置の電子線光軸に垂直な断面図、図
２は試料装置の電子線光軸方向における断面図、図３は
Ｘ動を説明するための図、図４はＺ動を説明するための
図、図５はＺ動を説明するための図、図６はＹ動を説明
するための図である。図中、３１は試料ホルダ、３２は
試料ホルダ受台、３３は試料室壁、３４は試料室、４０
は円筒状支持体、４１は球面軸受、４２はメタルベロー
ズ、４３はメタルＯリング、４４はベアリング、４５は
ブロック、４６はベアリング、５０はパイプ状基本フレ
ーム、５１はパイプ状フレーム、５２は球面状膨出部、
５４はマグネット、５５はＸ軸傾斜用パイプ、５６はマ
グネット、５７はＸ軸傾斜用ギヤ、５８はＸ軸傾斜用ユ
ニット、６０はＹ軸駆動用テコ、６１はスプリング、６
２はＹ軸駆動用モータ、６３，６４はギヤ、６５はネ
ジ、６６はスライダ、７０はＺ軸駆動用モータ、７１，
７２はギヤ、７３は送りネジ、７４はスライダ、７５は
テコ、７６は支点、７７はスプリング、８０はＸ軸駆動
用モータ、８１，８２はギヤ、８３はネジ、８４はスラ
イダ、８５はテコ、８６は支軸、８７は支点、８８は
軸、８９はリング、９０はＹ軸傾斜用モータ、９１，９
２はギヤ、９３はネジ、９４はシャフト、９５はメタル
ベローズである。
【００１２】図１、図２において、試料装置の先端部は
試料ホルダ受台３２に試料ホルダ３１が取り付けられ、
試料室壁３３を通して試料室３６に挿入されている。試
料装置は先端部内面が球面軸受４１となっている円筒状
支持体４０内に電子線光軸に垂直な軸芯を持つパイプ状
基本フレーム５０が設けられ、この周囲に設けられたパ
イプ状フレーム５１の球面状膨出部５２が球面軸受４１
に揺動可能に支持されている。パイプ状基本フレーム５
０内には、パイプ状フレーム５１に取付けられたマグネ
ット５４と磁気結合するマグネット５６が取付けられた
Ｘ軸傾斜用パイプ５５が設けられ、パイプ状フレーム５
１の回転に追従して回転するようになっている。さらに
パイプ５５内にはＹ軸試料傾斜用シャフト９４が設けら
れている。パイプ状基本フレーム５０はＸ，Ｙ，Ｚ動等
の動きを許容するメタルベローズ４２の一端に取り付け
られており、ベローズ４２の他端は円筒状支持体４０に
固定されて試料室内と試料装置の大気側との真空シール
を行っている。
試料ホルダ受台３２に試料ホルダ３１が取り付けられ、
試料室壁３３を通して試料室３６に挿入されている。試
料装置は先端部内面が球面軸受４１となっている円筒状
支持体４０内に電子線光軸に垂直な軸芯を持つパイプ状
基本フレーム５０が設けられ、この周囲に設けられたパ
イプ状フレーム５１の球面状膨出部５２が球面軸受４１
に揺動可能に支持されている。パイプ状基本フレーム５
０内には、パイプ状フレーム５１に取付けられたマグネ
ット５４と磁気結合するマグネット５６が取付けられた
Ｘ軸傾斜用パイプ５５が設けられ、パイプ状フレーム５
１の回転に追従して回転するようになっている。さらに
パイプ５５内にはＹ軸試料傾斜用シャフト９４が設けら
れている。パイプ状基本フレーム５０はＸ，Ｙ，Ｚ動等
の動きを許容するメタルベローズ４２の一端に取り付け
られており、ベローズ４２の他端は円筒状支持体４０に
固定されて試料室内と試料装置の大気側との真空シール
を行っている。
【００１３】また、円筒状支持体４０のパイプ状フレー
ム５１に対する軸受部はＹ，Ｚ動の中心となっており、
軸受面にはベローズ４２にかかる大気圧がかかり、パイ
プ状フレーム５１の球面が押しつけられている。パイプ
状基本フレーム５０の外周部にはパイプ状フレーム５１
が設けられ、パイプ状フレーム５１をＹ軸駆動用テコで
Ｙ方向に押すことによりＹ動が得られる。
ム５１に対する軸受部はＹ，Ｚ動の中心となっており、
軸受面にはベローズ４２にかかる大気圧がかかり、パイ
プ状フレーム５１の球面が押しつけられている。パイプ
状基本フレーム５０の外周部にはパイプ状フレーム５１
が設けられ、パイプ状フレーム５１をＹ軸駆動用テコで
Ｙ方向に押すことによりＹ動が得られる。
【００１４】すなわち、図２のＣ−Ｃ断面図である図６
を参照すると、Ｙ軸駆動用モータ６２によりギヤ６３，
６４が回転駆動され、ネジ６５が回動することによりス
ライダ６６がスライドし、その結果テコ６０が支点６０
ａを中心に回動して反対側に設けられたスプリング６１
に抗してパイプ状フレーム５１をＹ軸方向に移動させ、
その反対側への移動はスプリング６１によって行い、こ
うして試料はＹ軸方向に動かされる。
を参照すると、Ｙ軸駆動用モータ６２によりギヤ６３，
６４が回転駆動され、ネジ６５が回動することによりス
ライダ６６がスライドし、その結果テコ６０が支点６０
ａを中心に回動して反対側に設けられたスプリング６１
に抗してパイプ状フレーム５１をＹ軸方向に移動させ、
その反対側への移動はスプリング６１によって行い、こ
うして試料はＹ軸方向に動かされる。
【００１５】Ｚ動は、図１の矢印Ｄ方向から見た図４、
および図２のＡ−Ａ断面図である図５に示すように、Ｚ
軸駆動用モータ７０によりギヤ７１，７２が回転駆動さ
れて送りネジ７３が回動スライドしてＺ軸用テコ７５が
支点７６を中心に回転し、パイプ状フレーム５１をＺ軸
方向に変位させるようになっている。この時反対側への
移動はスプリング７７によって行われ、こうして試料を
Ｚ軸方向に動かせるようになっている。
および図２のＡ−Ａ断面図である図５に示すように、Ｚ
軸駆動用モータ７０によりギヤ７１，７２が回転駆動さ
れて送りネジ７３が回動スライドしてＺ軸用テコ７５が
支点７６を中心に回転し、パイプ状フレーム５１をＺ軸
方向に変位させるようになっている。この時反対側への
移動はスプリング７７によって行われ、こうして試料を
Ｚ軸方向に動かせるようになっている。
【００１６】また図１におけるブロック４５には、べア
リング４４が取り付けられ、Ｘ軸傾斜用の軸受になって
いると共に、図示しない手段でブロック４５を微小に動
かすことにより、ゴニオメータ全体の軸合わせ（ユーセ
ントリック合わせ）ができるようになっている。
リング４４が取り付けられ、Ｘ軸傾斜用の軸受になって
いると共に、図示しない手段でブロック４５を微小に動
かすことにより、ゴニオメータ全体の軸合わせ（ユーセ
ントリック合わせ）ができるようになっている。
【００１７】Ｘ軸傾斜はＸ軸傾斜用駆動ユニット５８に
よりウォームギヤ５９、傾斜用ギヤ５７が回転駆動さ
れ、その結果、パイプ状フレーム５１が回転駆動されて
マグネット５４が回動し、このマグネットと磁気結合す
るマグネット５６の回転により、これが取り付けられた
Ｘ軸傾斜用パイプ５５が回転して試料をＸ軸の周りに傾
斜させることができる。この時、ベアリング４６がパイ
プ５５の回転軸受となっている。
よりウォームギヤ５９、傾斜用ギヤ５７が回転駆動さ
れ、その結果、パイプ状フレーム５１が回転駆動されて
マグネット５４が回動し、このマグネットと磁気結合す
るマグネット５６の回転により、これが取り付けられた
Ｘ軸傾斜用パイプ５５が回転して試料をＸ軸の周りに傾
斜させることができる。この時、ベアリング４６がパイ
プ５５の回転軸受となっている。
【００１８】次にＸ動について説明すると、図１および
図３（ａ）に示すように、Ｘ軸駆動用モータ８０により
ギヤ８１，８２が回転駆動され、その結果ネジ８３が回
転すると、スライダ８４が軸方向に移動して、テコ８５
を支軸８６を中心に揺動させる。図１のＢ−Ｂ断面図で
ある図３（ｂ）に示すように、支軸８６を中心に揺動す
るテコ８５にはベアリングからなる支点８７が左右に設
けられ、パイプ状基本フレーム５１に取り付けられたリ
ング８９を軸方向に押すようになっている。
図３（ａ）に示すように、Ｘ軸駆動用モータ８０により
ギヤ８１，８２が回転駆動され、その結果ネジ８３が回
転すると、スライダ８４が軸方向に移動して、テコ８５
を支軸８６を中心に揺動させる。図１のＢ−Ｂ断面図で
ある図３（ｂ）に示すように、支軸８６を中心に揺動す
るテコ８５にはベアリングからなる支点８７が左右に設
けられ、パイプ状基本フレーム５１に取り付けられたリ
ング８９を軸方向に押すようになっている。
【００１９】これらＸ軸駆動用モータ８０、テコ８５等
からなるＸ軸駆動機構はパイプ状フレーム５１に取付け
られ、リング８９はパイプ状基本フレーム５０に取付け
られている。その結果パイプ状基本フレーム５０が軸方
向に移動し、軸方向の移動が得られる。この時の移動は
ベローズ４２によって真空を保ちながら許容される。な
お、支点８７はベアリングとなっており、図２に示すよ
うに、軸８８の周りに回動し、リング８９と回転可能に
係合するようになっている。
からなるＸ軸駆動機構はパイプ状フレーム５１に取付け
られ、リング８９はパイプ状基本フレーム５０に取付け
られている。その結果パイプ状基本フレーム５０が軸方
向に移動し、軸方向の移動が得られる。この時の移動は
ベローズ４２によって真空を保ちながら許容される。な
お、支点８７はベアリングとなっており、図２に示すよ
うに、軸８８の周りに回動し、リング８９と回転可能に
係合するようになっている。
【００２０】このように円筒状支持体４０に球面軸受さ
れてユーセントリックに駆動されるパイプ状フレーム５
１にＸ動テコとＸ動送り機構を取り付けることにより、
Ｘ，Ｙ，Ｚ動、Ｘ軸傾斜の４軸ユーセントリックゴニオ
メータが可能になる。
れてユーセントリックに駆動されるパイプ状フレーム５
１にＸ動テコとＸ動送り機構を取り付けることにより、
Ｘ，Ｙ，Ｚ動、Ｘ軸傾斜の４軸ユーセントリックゴニオ
メータが可能になる。
【００２１】また、パイプ５５内には、一端がメタルベ
ローズ９５に接続されたシャフト９４が設けられてい
る。図２に示すように、Ｙ軸傾斜駆動用モータ９１によ
りギヤ９１を介してギヤ９２を回すと、ネジ９３が前後
動し、これによってシャフト９４が前後に移動する。シ
ャフト９４の前後動はメタルベローズ９５によって許容
されると共に、この部分の真空シールが行われる。この
結果図示しない機構により、試料ホルダ３１がＹ軸の周
りに回転されるようになっている。
ローズ９５に接続されたシャフト９４が設けられてい
る。図２に示すように、Ｙ軸傾斜駆動用モータ９１によ
りギヤ９１を介してギヤ９２を回すと、ネジ９３が前後
動し、これによってシャフト９４が前後に移動する。シ
ャフト９４の前後動はメタルベローズ９５によって許容
されると共に、この部分の真空シールが行われる。この
結果図示しない機構により、試料ホルダ３１がＹ軸の周
りに回転されるようになっている。
【００２２】次に試料ホルダの操作方法について説明す
ると、ゴニオメータ全体の軸合わせ、すなわちユーセン
トリック合わせは図示しない機構によりブロック４５を
微小に動かすことにより行う。Ｘ動はモータ８０を駆動
することによりギヤ８１，８２、ネジ８３を回動し、そ
の結果スライダ８３を移動させてテコ８５を支軸８６の
周りに揺動させ、支点８７でパイプ状基本フレーム５０
に取り付けられたリング８９を押すことによって試料を
Ｘ軸方向に移動させる。Ｙ動についてはＹ軸駆動用モー
タ６２を回転させ、ギヤ６３，６４、ネジ６５を介して
スライダ６６を移動させて、テコ６０により反対側のス
プリング６１に抗してＹ軸方向への移動を行う。Ｚ動に
ついてはモータ７０により、ギヤを介してテコ７５を支
点７６を中心に回動させることによりスプリング７７の
力の抗して、パイプ状フレーム５１をＺ軸方向に移動さ
せる。
ると、ゴニオメータ全体の軸合わせ、すなわちユーセン
トリック合わせは図示しない機構によりブロック４５を
微小に動かすことにより行う。Ｘ動はモータ８０を駆動
することによりギヤ８１，８２、ネジ８３を回動し、そ
の結果スライダ８３を移動させてテコ８５を支軸８６の
周りに揺動させ、支点８７でパイプ状基本フレーム５０
に取り付けられたリング８９を押すことによって試料を
Ｘ軸方向に移動させる。Ｙ動についてはＹ軸駆動用モー
タ６２を回転させ、ギヤ６３，６４、ネジ６５を介して
スライダ６６を移動させて、テコ６０により反対側のス
プリング６１に抗してＹ軸方向への移動を行う。Ｚ動に
ついてはモータ７０により、ギヤを介してテコ７５を支
点７６を中心に回動させることによりスプリング７７の
力の抗して、パイプ状フレーム５１をＺ軸方向に移動さ
せる。
【００２３】Ｘ軸周りの傾斜は、Ｘ軸傾斜駆動ユニット
５８を回転駆動することによりウォームギヤ５９、ギヤ
５７を介してパイプ状フレーム５１を回転させてパイプ
状フレーム５１に取り付けられた磁石を回転させ、これ
によってパイプ５５を回転させることにより行う。ま
た、Ｙ軸周りの試料傾斜はモータ９０により、ツマミ９
２を回転させてネジ９３を前後動させ、パイプ５５内に
設けられたシャフト９４を前後動させることにより行
う。
５８を回転駆動することによりウォームギヤ５９、ギヤ
５７を介してパイプ状フレーム５１を回転させてパイプ
状フレーム５１に取り付けられた磁石を回転させ、これ
によってパイプ５５を回転させることにより行う。ま
た、Ｙ軸周りの試料傾斜はモータ９０により、ツマミ９
２を回転させてネジ９３を前後動させ、パイプ５５内に
設けられたシャフト９４を前後動させることにより行
う。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、従来のゴ
ニオメータの球面シャフトの上にＸ動テコとＸ動送り機
構を取り付けることにより、４軸ユーセントリックゴニ
オメータが可能になり、従来４軸ユーセントリックにす
るためにＹ動、Ｚ動、Ｘ軸傾斜の３軸をゴニオメータ
で、１軸（Ｘ動）水平駆動で動かしていたが、本発明に
より４軸ユーセントリックをゴニオメータ単体で動かす
ことができ、別機構による水平駆動が不要となり、試料
室の構造を単純化することが可能となると共に、微小な
Ｘ方向の移動を実現することも可能となる。
ニオメータの球面シャフトの上にＸ動テコとＸ動送り機
構を取り付けることにより、４軸ユーセントリックゴニ
オメータが可能になり、従来４軸ユーセントリックにす
るためにＹ動、Ｚ動、Ｘ軸傾斜の３軸をゴニオメータ
で、１軸（Ｘ動）水平駆動で動かしていたが、本発明に
より４軸ユーセントリックをゴニオメータ単体で動かす
ことができ、別機構による水平駆動が不要となり、試料
室の構造を単純化することが可能となると共に、微小な
Ｘ方向の移動を実現することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の試料装置の電子線光軸に垂直な断面
図である。
図である。
【図２】 試料装置の電子線光軸方向における断面図で
ある。
ある。
【図３】 Ｘ動を説明するための図である。
【図４】 Ｚ動を説明するための図である。
【図５】 Ｚ動を説明するための図である。
【図６】 Ｙ動を説明するための図である。
【図７】 従来のサイドエントリタイプのゴニオメータ
について説明する図である。
について説明する図である。
【図８】 従来のサイドエントリタイプのゴニオメータ
について説明する図である。
について説明する図である。
３１…試料ホルダ、３２…試料ホルダ受台、３３…試料
室壁、３４…試料室、４０…円筒状支持体、４１…球面
軸受、４２…メタルベローズ、５０…パイプ状基本フレ
ーム、５１…フレーム、５２…球面状膨出部、５４…マ
グネット、５５…Ｘ軸傾斜用パイプ、５６…マグネッ
ト、５７…Ｘ軸傾斜用ギヤ、５８…Ｘ傾斜用ユニット、
６０…Ｙ軸駆動用テコ、６１…スプリング、６２…モー
タ、７０…Ｚ軸駆動用モータ、７５…テコ、７６…支
点、７７…スプリング、８０…Ｘ軸駆動用モータ、８５
…テコ、８６…支軸、８７…支点、８９…リング、９０
…Ｙ軸傾斜用モータ、９４…シャフト、８５…メタルベ
ローズ。
室壁、３４…試料室、４０…円筒状支持体、４１…球面
軸受、４２…メタルベローズ、５０…パイプ状基本フレ
ーム、５１…フレーム、５２…球面状膨出部、５４…マ
グネット、５５…Ｘ軸傾斜用パイプ、５６…マグネッ
ト、５７…Ｘ軸傾斜用ギヤ、５８…Ｘ傾斜用ユニット、
６０…Ｙ軸駆動用テコ、６１…スプリング、６２…モー
タ、７０…Ｚ軸駆動用モータ、７５…テコ、７６…支
点、７７…スプリング、８０…Ｘ軸駆動用モータ、８５
…テコ、８６…支軸、８７…支点、８９…リング、９０
…Ｙ軸傾斜用モータ、９４…シャフト、８５…メタルベ
ローズ。
Claims (1)
- 【請求項１】 試料室壁を通して装着するサイドエント
リーゴニオメータにおいて、筒状体内面に形成された球
面軸受によって支持され、少なくともＹ軸駆動手段及び
Ｚ軸駆動手段により前記軸受を中心として揺動する第１
の中空パイプと、第１の中空パイプ内に同軸に設けられ
た第２の中空パイプとを備え、第２の中空パイプを軸方
向に駆動するＸ軸駆動手段を第１の中空パイプ上に取付
けたことを特徴とする電子顕微鏡等の試料装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4256508A JPH06111747A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 電子顕微鏡等の試料装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4256508A JPH06111747A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 電子顕微鏡等の試料装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06111747A true JPH06111747A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17293607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4256508A Pending JPH06111747A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 電子顕微鏡等の試料装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06111747A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3823003A3 (en) * | 2019-11-15 | 2022-09-14 | FEI Company | Electron microscope stage |
| CN115881500A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-03-31 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种回转密封结构及设计方法 |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP4256508A patent/JPH06111747A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3823003A3 (en) * | 2019-11-15 | 2022-09-14 | FEI Company | Electron microscope stage |
| CN115881500A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-03-31 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种回转密封结构及设计方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4587431A (en) | Specimen manipulating mechanism for charged-particle beam instrument | |
| US6669121B2 (en) | Holder support device | |
| JP3736772B2 (ja) | 電子顕微鏡用試料保持装置 | |
| JP2008107226A (ja) | 試料作成装置 | |
| JP2839695B2 (ja) | 電子顕微鏡等における試料装置 | |
| JP2965186B2 (ja) | 電子顕微鏡等の試料装置 | |
| JP2001312989A (ja) | 電子顕微鏡用試料ステージ | |
| JP2895673B2 (ja) | 電子顕微鏡等の試料装置 | |
| JP2021082586A (ja) | 電子顕微鏡ステージ | |
| JP3702685B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JPS59196549A (ja) | 電子線装置等用試料装置 | |
| JPH06215717A (ja) | 試料ホルダ保持機構 | |
| JPH0787084B2 (ja) | 真空装置の試料交換機構 | |
| JP3175864B2 (ja) | 分析及び観察装置用案内棒装置 | |
| JP2001256912A (ja) | 試料ホルダおよびそれが使用された試料移動装置並びに電子顕微鏡 | |
| CN114203504B (zh) | 透射电镜样品台倾转结构 | |
| JPH02239560A (ja) | 電子顕微鏡等用試料装置 | |
| JPS59196548A (ja) | 超高真空装置用試料装置 | |
| JPH0584014U (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| GB2274196A (en) | Manipulating a sample | |
| JP3256895B2 (ja) | 直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置 | |
| JPH06187937A (ja) | 試料パーキング装置 | |
| JPH0744021B2 (ja) | 電子顕微鏡等における試料傾斜移動装置 | |
| JP2000315471A (ja) | 試料ホルダ支持装置 | |
| JPS6244454Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000613 |