JPH06112758A - 水晶振動子 - Google Patents
水晶振動子Info
- Publication number
- JPH06112758A JPH06112758A JP25515292A JP25515292A JPH06112758A JP H06112758 A JPH06112758 A JP H06112758A JP 25515292 A JP25515292 A JP 25515292A JP 25515292 A JP25515292 A JP 25515292A JP H06112758 A JPH06112758 A JP H06112758A
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- JP
- Japan
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- electrode layer
- crystal
- container
- lead portion
- layer
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- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 容器を構成する上体，下体の封着の際に電極
層のＡｇが蒸発し導電性接着剤のガスと反応して封着の
前後で周波数変化が大きくなるのを防止する。 【構成】 水晶片５の表面に少なくとも一対の電極とリ
ード部とを設けた水晶振動子片を、容器内に収納すると
ともに容器を高温で封着し、リード部と容器外に設けた
外部端子とを接続した水晶振動子において、電極および
リード部を、ニッケルからなる下地メッキ層１２と、該
下地メッキ層１２の上に設けられるとともに銀又は金か
らなる電極層１６と、電極層１６の上に設けられるとと
もにニッケルよりなる被覆層１７とで被って水晶振動子
を構成する。
層のＡｇが蒸発し導電性接着剤のガスと反応して封着の
前後で周波数変化が大きくなるのを防止する。 【構成】 水晶片５の表面に少なくとも一対の電極とリ
ード部とを設けた水晶振動子片を、容器内に収納すると
ともに容器を高温で封着し、リード部と容器外に設けた
外部端子とを接続した水晶振動子において、電極および
リード部を、ニッケルからなる下地メッキ層１２と、該
下地メッキ層１２の上に設けられるとともに銀又は金か
らなる電極層１６と、電極層１６の上に設けられるとと
もにニッケルよりなる被覆層１７とで被って水晶振動子
を構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、容器の内部に水晶振動
子片を収納して容器を封着した水晶振動子に関する。
子片を収納して容器を封着した水晶振動子に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板等の表面にはんだ付けする
水晶振動子においては、プリント基板上での実装高さの
低いことが要求される。
水晶振動子においては、プリント基板上での実装高さの
低いことが要求される。
【０００３】このようなことから、図３に示す水晶振動
子が用いられる。
子が用いられる。
【０００４】図のように、上体１と下体２とで構成され
るとともにアルミナ系のセラミックスやガラス，水晶等
で形成される容器３内に水晶振動子片４が収納される。
水晶振動子片４は、図４に示すように円板形の水晶片５
の両主面に電極６ａ，６ｂを貼着し、夫々の電極６ａ，
６ｂから相互に反対方向へ向かってリード７ａ，７ｂを
貼着したものである。水晶振動子片４としては、このほ
か図５（ａ），（ｂ）に示すように水晶片５を略矩形に
したものもある。水晶振動子片４の両端は、保持具とし
てのリードフレーム８ａ，８ｂに支持され、リードフレ
ーム８ａ，８ｂは上体１と下体２との間に挟まれて容器
３内に支持される。上体１と下体２とは、容器３内に水
晶振動子片４を収納した状態でシール材９を介して突き
合せ、４００℃以上の熱を数分間加えて相互に封着され
る。シール材９としては、低温ガラスが用いられる。リ
ード７ａとリードフレーム８ａとは導電性接着剤１０ａ
を介して接続され、リード７ｂとリードフレーム８ｂと
は導電性接着剤１０ｂを介して接続される。リードフレ
ーム８ａ，８ｂの端部は容器３の下面まで導かれ、外部
端子１１ａ，１１ｂを構成する。このほか、リード部７
ａ，７ｂが反対方向ではなく同一方向へ導出される場合
もある。
るとともにアルミナ系のセラミックスやガラス，水晶等
で形成される容器３内に水晶振動子片４が収納される。
水晶振動子片４は、図４に示すように円板形の水晶片５
の両主面に電極６ａ，６ｂを貼着し、夫々の電極６ａ，
６ｂから相互に反対方向へ向かってリード７ａ，７ｂを
貼着したものである。水晶振動子片４としては、このほ
か図５（ａ），（ｂ）に示すように水晶片５を略矩形に
したものもある。水晶振動子片４の両端は、保持具とし
てのリードフレーム８ａ，８ｂに支持され、リードフレ
ーム８ａ，８ｂは上体１と下体２との間に挟まれて容器
３内に支持される。上体１と下体２とは、容器３内に水
晶振動子片４を収納した状態でシール材９を介して突き
合せ、４００℃以上の熱を数分間加えて相互に封着され
る。シール材９としては、低温ガラスが用いられる。リ
ード７ａとリードフレーム８ａとは導電性接着剤１０ａ
を介して接続され、リード７ｂとリードフレーム８ｂと
は導電性接着剤１０ｂを介して接続される。リードフレ
ーム８ａ，８ｂの端部は容器３の下面まで導かれ、外部
端子１１ａ，１１ｂを構成する。このほか、リード部７
ａ，７ｂが反対方向ではなく同一方向へ導出される場合
もある。
【０００５】図３，図５（ｂ）のＡ部の拡大図を図６に
示す。図中、１３は水晶片５との接合性が良いニッケル
（Ｎｉ）からなる下地メッキ層、１４は銀（Ａｇ）から
なる電極層である。なお、リード部７ａも同一構成であ
る。
示す。図中、１３は水晶片５との接合性が良いニッケル
（Ｎｉ）からなる下地メッキ層、１４は銀（Ａｇ）から
なる電極層である。なお、リード部７ａも同一構成であ
る。
【０００６】これらの電極等を形成する方法としては、
例えば真空容器内において、まずＮｉを加熱して水晶片
の所定の面上に蒸着せしめて下地メッキ層を形成し、次
にＡｇだけを加熱して蒸着せしめて所定の厚さの電極層
を形成する方法が用いられる。
例えば真空容器内において、まずＮｉを加熱して水晶片
の所定の面上に蒸着せしめて下地メッキ層を形成し、次
にＡｇだけを加熱して蒸着せしめて所定の厚さの電極層
を形成する方法が用いられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記のよう
に上体と下体との封着の過程で４００℃以上の温度が数
分間以上にわたって加えられるため、この過程で容器内
の水晶振動子片の電極やリード部も封着部と同程度の温
度まで昇温し、導電性接着剤や低融点ガラスに含まれる
ガスが放出し露出している電極表面の銀と反応し封着の
前後で周波数が大きく変化してしまう。また、Ａｇが気
化して電極層が消耗し、電極層が薄くなって通電不良に
よる不発信が生じたり、それ程に電極層が薄くならなく
ても厚さが変わる（薄くなる）ため、水晶振動子片の発
振周波数が大きく変動（高くなる）して、しまうという
問題がある。
に上体と下体との封着の過程で４００℃以上の温度が数
分間以上にわたって加えられるため、この過程で容器内
の水晶振動子片の電極やリード部も封着部と同程度の温
度まで昇温し、導電性接着剤や低融点ガラスに含まれる
ガスが放出し露出している電極表面の銀と反応し封着の
前後で周波数が大きく変化してしまう。また、Ａｇが気
化して電極層が消耗し、電極層が薄くなって通電不良に
よる不発信が生じたり、それ程に電極層が薄くならなく
ても厚さが変わる（薄くなる）ため、水晶振動子片の発
振周波数が大きく変動（高くなる）して、しまうという
問題がある。
【０００８】一方、電極層の気化消耗を見込んで予めそ
の分だけ厚くＡｇを蒸着形成しておくこともできるが、
上体と下体とをシール材で封止する際の電極層からのＡ
ｇの気化消耗量を一定値とすることが困難であるため、
封着後の水晶振動子ごとの発振周波数の個々の変動差が
大きく、調整可能な範囲を越えたり、または発振周波数
精度の良い水晶振動子を安定して生産するうえで問題が
ある。
の分だけ厚くＡｇを蒸着形成しておくこともできるが、
上体と下体とをシール材で封止する際の電極層からのＡ
ｇの気化消耗量を一定値とすることが困難であるため、
封着後の水晶振動子ごとの発振周波数の個々の変動差が
大きく、調整可能な範囲を越えたり、または発振周波数
精度の良い水晶振動子を安定して生産するうえで問題が
ある。
【０００９】一方、実開平２−４１５１０に示すよう
に、下地メッキ層にＣｒを用いるとともに電極層にＡｇ
又はＡｕを用い、被覆層としてＮｉを用いてもよいが、
少なくとも３種類の金属膜を形成しなければならず、膜
を形成するための設備が煩雑になる。
に、下地メッキ層にＣｒを用いるとともに電極層にＡｇ
又はＡｕを用い、被覆層としてＮｉを用いてもよいが、
少なくとも３種類の金属膜を形成しなければならず、膜
を形成するための設備が煩雑になる。
【００１０】そこで本発明は、斯かる課題を解決した水
晶振動子を提供することを目的とする。
晶振動子を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成するた
めの本発明の構成は、水晶片の表面に少なくとも一対の
電極とリード部とを設けた水晶振動子片を、容器内に収
納するとともに容器を高温で封着し、リード部と容器外
に設けた外部端子とを導電性接着剤を介して接続した水
晶振動子において、電極およびリード部を、ニッケルか
らなる下地メッキ層と、該下地メッキ層の上に設けられ
るとともに銀又は金からなる電極層と、電極層の上に設
けられるとともにニッケルよりなる被覆層とで被って形
成したことを特徴とする。
めの本発明の構成は、水晶片の表面に少なくとも一対の
電極とリード部とを設けた水晶振動子片を、容器内に収
納するとともに容器を高温で封着し、リード部と容器外
に設けた外部端子とを導電性接着剤を介して接続した水
晶振動子において、電極およびリード部を、ニッケルか
らなる下地メッキ層と、該下地メッキ層の上に設けられ
るとともに銀又は金からなる電極層と、電極層の上に設
けられるとともにニッケルよりなる被覆層とで被って形
成したことを特徴とする。
【００１２】
【作用】電極層を被う被覆層を設けたことから、導電性
接着剤のガスが直接に銀又は金と反応することはなく、
封止の前後での周波数の変化が少ない。また、電極層が
蒸発することはないので、電極層が薄くなって通電不良
による不発信を生じることもない。
接着剤のガスが直接に銀又は金と反応することはなく、
封止の前後での周波数の変化が少ない。また、電極層が
蒸発することはないので、電極層が薄くなって通電不良
による不発信を生じることもない。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて
詳細に説明する。なお、本実施例は従来の水晶振動子の
一部を改良したものなので、従来と同一部分には同一符
号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
詳細に説明する。なお、本実施例は従来の水晶振動子の
一部を改良したものなので、従来と同一部分には同一符
号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
【００１４】本発明による水晶振動子の実施例を、図１
（ａ），（ｂ）に基づいて説明する。図１は図６と対応
するものである。
（ａ），（ｂ）に基づいて説明する。図１は図６と対応
するものである。
【００１５】図のように、水晶片５の主面上の所定の位
置に、従来と同様のニッケルからなる下地メッキ層１２
が薄く形成され、その上に銀からなる電極層１６が所定
の厚さで形成される。そして、電極層１６の上に更にニ
ッケルからなる被覆層１７を薄く形成し、電極層１６が
被覆層１７によって覆われている。本実施例では下地メ
ッキ層１２の厚さが５０〜５００Åとされ、電極層１６
の厚さが５００〜３０００Åとされ、被覆層１７の厚さ
が１０〜３００Åとされる。
置に、従来と同様のニッケルからなる下地メッキ層１２
が薄く形成され、その上に銀からなる電極層１６が所定
の厚さで形成される。そして、電極層１６の上に更にニ
ッケルからなる被覆層１７を薄く形成し、電極層１６が
被覆層１７によって覆われている。本実施例では下地メ
ッキ層１２の厚さが５０〜５００Åとされ、電極層１６
の厚さが５００〜３０００Åとされ、被覆層１７の厚さ
が１０〜３００Åとされる。
【００１６】リード部での電極層１６とリードフレーム
８ａとを接続する部分では、図１（ｂ）に示すように、
電極層１６が露出され、接続が可能となっている。
８ａとを接続する部分では、図１（ｂ）に示すように、
電極層１６が露出され、接続が可能となっている。
【００１７】次に、斯かる水晶振動子の作用を説明す
る。電極層１６が被覆層１７によって覆われしかも被覆
層１７は酸化膜を生じるＮｉで形成されるので、封着過
程における電極層１６中のＡｇの気化が防止される。こ
のため、導電性接着剤から発生するガスとＡｇとが反応
することはない。ゆえに、水晶振動子が発生する周波数
の封着の前後での変化が従来よりも少ない。従来の水晶
振動子と本発明による水晶振動子とにおける封止の前後
での周波数の変化を調べてみたところ、従来のＮｉを下
地メッキ層としてＡｇを電極層としたものの周波数の変
化は平均して±１００ｐｐｍ以上であり、これに更にＮ
ｉからなる被覆層を設けた本発明の水晶振動子の周波数
の変化は平均して±１０ｐｐｍ以下であった。
る。電極層１６が被覆層１７によって覆われしかも被覆
層１７は酸化膜を生じるＮｉで形成されるので、封着過
程における電極層１６中のＡｇの気化が防止される。こ
のため、導電性接着剤から発生するガスとＡｇとが反応
することはない。ゆえに、水晶振動子が発生する周波数
の封着の前後での変化が従来よりも少ない。従来の水晶
振動子と本発明による水晶振動子とにおける封止の前後
での周波数の変化を調べてみたところ、従来のＮｉを下
地メッキ層としてＡｇを電極層としたものの周波数の変
化は平均して±１００ｐｐｍ以上であり、これに更にＮ
ｉからなる被覆層を設けた本発明の水晶振動子の周波数
の変化は平均して±１０ｐｐｍ以下であった。
【００１８】また、このようにＡｇが蒸発しないことか
ら、従来のように水晶振動子が不発信になるようなこと
はなくなった。Ａｇが蒸発して電極６ａとリード部７ａ
の一部がなくなった従来の水晶振動子片４を図２（ｂ）
に示し、電極層１６の上に被覆層１７が形成されて電極
層１６の蒸発することがない本発明に係る水晶振動子片
４を図２（ａ）に示す。
ら、従来のように水晶振動子が不発信になるようなこと
はなくなった。Ａｇが蒸発して電極６ａとリード部７ａ
の一部がなくなった従来の水晶振動子片４を図２（ｂ）
に示し、電極層１６の上に被覆層１７が形成されて電極
層１６の蒸発することがない本発明に係る水晶振動子片
４を図２（ａ）に示す。
【００１９】なお、本実施例では電極層としてＡｇを用
いた場合について示したが、Ａｕを用いてもよい。この
ほか、下地メッキ層と電極層との間や電極層と被覆層と
の間にニッケル（Ｎｉ）と銀（Ａｇ）又は金（Ａｕ）か
らなる混合層を設けても前記と同様の結果を得ることが
できる。
いた場合について示したが、Ａｕを用いてもよい。この
ほか、下地メッキ層と電極層との間や電極層と被覆層と
の間にニッケル（Ｎｉ）と銀（Ａｇ）又は金（Ａｕ）か
らなる混合層を設けても前記と同様の結果を得ることが
できる。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明からわかるように、本発明に
よる水晶振動子によれば電極層を被う被覆層を設けたの
で、電極層としてのＡｇやＡｕが上体と下体との封着の
際に蒸発した導電性接着剤のガスと反応するようなこと
はなく、従って封着の前後での水晶振動子の周波数の変
化を小さくすることができる。
よる水晶振動子によれば電極層を被う被覆層を設けたの
で、電極層としてのＡｇやＡｕが上体と下体との封着の
際に蒸発した導電性接着剤のガスと反応するようなこと
はなく、従って封着の前後での水晶振動子の周波数の変
化を小さくすることができる。
【００２１】また、電極層が蒸発することがなくなるの
で、水晶振動子が発信しなくなるというようなことがな
い。
で、水晶振動子が発信しなくなるというようなことがな
い。
【００２２】更に、下地メッキ層と被覆層が共にＮｉで
あることから、３層の構成であっても設備の煩雑化が防
止でき、生産効率が高い。しかも、従来の二種類の金属
層形成用の設備がそのまま使用できる。
あることから、３層の構成であっても設備の煩雑化が防
止でき、生産効率が高い。しかも、従来の二種類の金属
層形成用の設備がそのまま使用できる。
【図１】本発明による水晶振動子に係り、図１（ａ）は
水晶振動子片の部分断面図、図１（ｂ）はリード部とリ
ードフレームとの接続部を示す断面図。
水晶振動子片の部分断面図、図１（ｂ）はリード部とリ
ードフレームとの接続部を示す断面図。
【図２】本発明による水晶振動子に係り、図２（ａ）は
本発明に係る水晶振動子の作用説明図、図２（ｂ）は従
来の水晶振動子の作用説明図。
本発明に係る水晶振動子の作用説明図、図２（ｂ）は従
来の水晶振動子の作用説明図。
【図３】従来の水晶振動子の構成図。
【図４】従来の水晶振動子片の平面図。
【図５】従来の水晶振動子片に係り、図５（ａ）は平面
図、図５（ｂ）は正面図。
図、図５（ｂ）は正面図。
【図６】従来の水晶振動子片に係り、図３，図５（ｂ）
におけるＡ部の拡大断面図。
におけるＡ部の拡大断面図。
１…上体 ２…下体 ３…容器 ４…水晶振動子片 ５…水晶片 ６ａ，６ｂ…電極 ７ａ，７ｂ…リード部 １０ａ，１０ｂ…導電性接着剤 １１ａ，１１ｂ…外部端子 １２…下地メッキ層 １６…電極層 １７…被覆層
Claims (1)
- 【請求項１】 水晶片の表面に少なくとも一対の電極と
リード部とを設けた水晶振動子片を、容器内に収納する
とともに容器を高温で封着し、リード部と容器外に設け
た外部端子とを導電性接着剤を介して接続した水晶振動
子において、 電極およびリード部を、ニッケルからなる下地メッキ層
と、該下地メッキ層の上に設けられるとともに銀又は金
からなる電極層と、電極層の上に設けられるとともにニ
ッケルよりなる被覆層とで被って形成したことを特徴と
する水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25515292A JPH06112758A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25515292A JPH06112758A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06112758A true JPH06112758A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17274800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25515292A Pending JPH06112758A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06112758A (ja) |
-
1992
- 1992-09-25 JP JP25515292A patent/JPH06112758A/ja active Pending
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