JPH06112760A - 捩り水晶振動子 - Google Patents
捩り水晶振動子Info
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- JPH06112760A JPH06112760A JP25645092A JP25645092A JPH06112760A JP H06112760 A JPH06112760 A JP H06112760A JP 25645092 A JP25645092 A JP 25645092A JP 25645092 A JP25645092 A JP 25645092A JP H06112760 A JPH06112760 A JP H06112760A
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- JP
- Japan
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- grooves
- groove
- tuning fork
- crystal vibrator
- electrode
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
- H03H2003/0414—Resonance frequency
- H03H2003/0492—Resonance frequency during the manufacture of a tuning-fork
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 音叉腕に溝を設け、等価直列抵抗Ｒ1 の小さ
い、小型捩り水晶振動子を提供することにある。 【構成】 長さ、幅ｘ0 を有する音叉腕に長さ方向に一
対の溝を設け、この溝の中に励振電極を配置して形成す
ることにより、一対の溝が対向する面の間に電界がで
き、電気機械効率がよくなる。
い、小型捩り水晶振動子を提供することにある。 【構成】 長さ、幅ｘ0 を有する音叉腕に長さ方向に一
対の溝を設け、この溝の中に励振電極を配置して形成す
ることにより、一対の溝が対向する面の間に電界がで
き、電気機械効率がよくなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、捩り水晶振動子の形状
と励振電極構成に関する。特に、小型化、耐衝撃性、低
廉化の要求の強い腕時計、ポケットベル、ＩＣカードや
移動体無線等の基準信号源として最適な捩り水晶振動子
に関する。
と励振電極構成に関する。特に、小型化、耐衝撃性、低
廉化の要求の強い腕時計、ポケットベル、ＩＣカードや
移動体無線等の基準信号源として最適な捩り水晶振動子
に関する。
【０００２】
【従来の技術】周波数が２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚの
水晶振動子は、音叉形状した屈曲水晶振動子と縦水晶振
動子が用いられてきた。
水晶振動子は、音叉形状した屈曲水晶振動子と縦水晶振
動子が用いられてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来か
ら使用されている音叉型屈曲水晶振動子は高調波モード
を使用するため、電極形成が複雑で、リード線等の支持
による振動エネルギー損失が多く、その結果、等価直列
抵抗Ｒ1 が上昇するなどの課題が成されていた。一方、
縦水晶振動子は、周波数が振動腕の長さに反比例するた
めに、６００ｋＨｚ以下の振動子を実現しようとする
と、自ずからサイズが大きくなり、小型化できないとい
う課題が残されていた。このようなことから、周波数が
２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚで、しかも、超小型で零温
度係数を有し、等価直列抵抗Ｒ1 の小さい、化学的エッ
チング加工が容易な水晶振動子が所望されていた。
ら使用されている音叉型屈曲水晶振動子は高調波モード
を使用するため、電極形成が複雑で、リード線等の支持
による振動エネルギー損失が多く、その結果、等価直列
抵抗Ｒ1 が上昇するなどの課題が成されていた。一方、
縦水晶振動子は、周波数が振動腕の長さに反比例するた
めに、６００ｋＨｚ以下の振動子を実現しようとする
と、自ずからサイズが大きくなり、小型化できないとい
う課題が残されていた。このようなことから、周波数が
２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚで、しかも、超小型で零温
度係数を有し、等価直列抵抗Ｒ1 の小さい、化学的エッ
チング加工が容易な水晶振動子が所望されていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、以下の方法で
従来の課題を解決するものである。すなわち、捩り振動
モードで振動する音叉形状水晶振動子で、音叉腕の長手
方向に溝を設けることにより課題を解決している。
従来の課題を解決するものである。すなわち、捩り振動
モードで振動する音叉形状水晶振動子で、音叉腕の長手
方向に溝を設けることにより課題を解決している。
【０００５】
【作用】このように、本発明は捩り水晶振動子で、しか
も、音叉腕の長手方向に溝を設けることにより、幅方向
に負荷質量を有するので、低周波数で、Ｒ1 の小さい超
小型捩り水晶振動子が化学的エッチング法によって得ら
れる。
も、音叉腕の長手方向に溝を設けることにより、幅方向
に負荷質量を有するので、低周波数で、Ｒ1 の小さい超
小型捩り水晶振動子が化学的エッチング法によって得ら
れる。
【０００６】
【実施例】次に、本発明を実施例に基づいて具体的に述
べる。図１は、本発明の音叉型捩り水晶振動子の形状と
励振電極構成を示す。図２は、本発明の音叉型捩り水晶
振動子の音叉上部から見た断面図である。音叉型捩り水
晶振動子１は音叉腕２、３と音叉基部１０から構成され
ている。そして、音叉腕２にはエッチング法によって溝
４と溝５が形成されている。図２に示すように、対向の
裏面にも厚みに対して対称の位置に溝が設けられてい
る。一方、音叉腕３にも音叉腕２と同様に溝６と７が設
けられている。又、音叉腕２の溝４と５には励振電極９
と８が異極となるように配置され、音叉基部１０を介し
てそれぞれ溝６と７に配置された励振電極に接続されて
いる。図２に示すように、厚みに対して対称となる裏面
の溝にも励振電極が配置されている。このとき、厚みに
対して異極となるように励振電極は配置される。この振
動子はｙ”軸（機械軸であるｙ軸の座標回転後の結晶
軸）方向に電界を有し、ｙ軸方向に電界成分を持つカッ
ト角（φ、θ）で形成される。
べる。図１は、本発明の音叉型捩り水晶振動子の形状と
励振電極構成を示す。図２は、本発明の音叉型捩り水晶
振動子の音叉上部から見た断面図である。音叉型捩り水
晶振動子１は音叉腕２、３と音叉基部１０から構成され
ている。そして、音叉腕２にはエッチング法によって溝
４と溝５が形成されている。図２に示すように、対向の
裏面にも厚みに対して対称の位置に溝が設けられてい
る。一方、音叉腕３にも音叉腕２と同様に溝６と７が設
けられている。又、音叉腕２の溝４と５には励振電極９
と８が異極となるように配置され、音叉基部１０を介し
てそれぞれ溝６と７に配置された励振電極に接続されて
いる。図２に示すように、厚みに対して対称となる裏面
の溝にも励振電極が配置されている。このとき、厚みに
対して異極となるように励振電極は配置される。この振
動子はｙ”軸（機械軸であるｙ軸の座標回転後の結晶
軸）方向に電界を有し、ｙ軸方向に電界成分を持つカッ
ト角（φ、θ）で形成される。
【０００７】このような溝を有する音叉型捩り水晶振動
子を形成することにより、励振電極８、９間に電圧を加
えると、溝４に設けた励振電極９のうち溝５に近い面９
ａと、溝５に設けた励振電極８のうち溝４に近い面８ａ
との間に電界ができ、従来の同一平面に設けた２個の励
振電極に比べ、電気機械変換効率が良くなるので、等価
直列抵抗Ｒ1 の小さい、Ｑ値の高い、しかも２００ｋＨ
ｚ〜６００ｋＨｚと低周波数で、小型の捩り水晶振動子
が得られる。
子を形成することにより、励振電極８、９間に電圧を加
えると、溝４に設けた励振電極９のうち溝５に近い面９
ａと、溝５に設けた励振電極８のうち溝４に近い面８ａ
との間に電界ができ、従来の同一平面に設けた２個の励
振電極に比べ、電気機械変換効率が良くなるので、等価
直列抵抗Ｒ1 の小さい、Ｑ値の高い、しかも２００ｋＨ
ｚ〜６００ｋＨｚと低周波数で、小型の捩り水晶振動子
が得られる。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の音叉型捩り
水晶振動子は次の著しい効果を有する。 （１）音叉腕の長さ方向に溝を設け、この溝の中に励振
電極を配置することにより、等価直列抵抗Ｒ1 の小さ
い、Ｑ値の高い音叉型捩り水晶振動子が得られる。 （２）化学的エッチング法によって容易に形成できるの
で、小型化、薄型化ができる。同時に、１枚のウエハ上
に多数個の振動子を一度にバッチ処理できるので、低廉
化が可能である。 （３）音叉腕に溝を設け、音叉腕の幅端部に負荷質量効
果を持たせることにより、２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ
の低周波数の捩り水晶振動子を小型サイズで実現でき
る。 （４）音叉形状に加工されるので、リード線等の外部支
持による振動エネルギー損失が小さくなり、耐衝撃性に
優れた捩り水晶振動子か得られる。
水晶振動子は次の著しい効果を有する。 （１）音叉腕の長さ方向に溝を設け、この溝の中に励振
電極を配置することにより、等価直列抵抗Ｒ1 の小さ
い、Ｑ値の高い音叉型捩り水晶振動子が得られる。 （２）化学的エッチング法によって容易に形成できるの
で、小型化、薄型化ができる。同時に、１枚のウエハ上
に多数個の振動子を一度にバッチ処理できるので、低廉
化が可能である。 （３）音叉腕に溝を設け、音叉腕の幅端部に負荷質量効
果を持たせることにより、２００ｋＨｚ〜６００ｋＨｚ
の低周波数の捩り水晶振動子を小型サイズで実現でき
る。 （４）音叉形状に加工されるので、リード線等の外部支
持による振動エネルギー損失が小さくなり、耐衝撃性に
優れた捩り水晶振動子か得られる。
【図１】本発明の音叉型捩り水晶振動子の形状と励振電
極構成を示す。
極構成を示す。
【図２】本発明の音叉型捩り水晶振動子の音叉上部から
見た断面図である。
見た断面図である。
１ 音叉型捩り水晶振動子 ２、３ 音叉腕 ４、５、６、７ 溝 ８、８ａ、９、９ａ 励振電極 １０ 音叉基部 ｘ’ 座標回転後の電気軸 ｙ” 座標回転後の機械軸 ｚ’ 座標回転後の光軸
Claims (1)
- 【請求項１】 捩り振動モードで振動する音叉形状水晶
振動子で、各音叉腕の長手方向に一対の溝を設け、前記
溝の面のうち少なくとも一対の溝が対向する面に励振電
極を設けたことを特徴とする捩り水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25645092A JPH06112760A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 捩り水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25645092A JPH06112760A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 捩り水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06112760A true JPH06112760A (ja) | 1994-04-22 |
Family
ID=17292822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25645092A Pending JPH06112760A (ja) | 1992-09-25 | 1992-09-25 | 捩り水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06112760A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1992
- 1992-09-25 JP JP25645092A patent/JPH06112760A/ja active Pending
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