JPH0611554A - Ｓｑｕｉｄ磁束計 - Google Patents
Ｓｑｕｉｄ磁束計Info
- Publication number
- JPH0611554A JPH0611554A JP4170539A JP17053992A JPH0611554A JP H0611554 A JPH0611554 A JP H0611554A JP 4170539 A JP4170539 A JP 4170539A JP 17053992 A JP17053992 A JP 17053992A JP H0611554 A JPH0611554 A JP H0611554A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- vacuum container
- cryogenic
- magnetic flux
- tip
- Prior art date
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- Pending
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- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
- Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Measurement And Recording Of Electrical Phenomena And Electrical Characteristics Of The Living Body (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 極低温冷凍機に組付けられたピックアップコ
イルの位置推定作業を不要にする。 【構成】 真空容器先部１ｆに断熱層１ｇを介してピッ
クアップコイル２ｂを保持し、真空容器先部１ｆを真空
容器基部１ｂに連結するに当ってピックアップコイル２
ｂと最終冷却ステージ１ｅとの間にバネ性を有するサー
マルアンカ２ｃを介在させる。
イルの位置推定作業を不要にする。 【構成】 真空容器先部１ｆに断熱層１ｇを介してピッ
クアップコイル２ｂを保持し、真空容器先部１ｆを真空
容器基部１ｂに連結するに当ってピックアップコイル２
ｂと最終冷却ステージ１ｅとの間にバネ性を有するサー
マルアンカ２ｃを介在させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＳＱＵＩＤ磁束計に関
し、さらに詳細にいえば、極低温レベルで超伝導状態と
なる超伝導量子干渉素子（Superconducting Quantum In
terference Device 、以下、ＳＱＵＩＤと略称する）お
よび磁束入力回路を含むＳＱＵＩＤ磁束計を極低温冷凍
機で冷却して動作させる場合に好適なＳＱＵＩＤ磁束計
に関する。
し、さらに詳細にいえば、極低温レベルで超伝導状態と
なる超伝導量子干渉素子（Superconducting Quantum In
terference Device 、以下、ＳＱＵＩＤと略称する）お
よび磁束入力回路を含むＳＱＵＩＤ磁束計を極低温冷凍
機で冷却して動作させる場合に好適なＳＱＵＩＤ磁束計
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、超伝導デバイスの１つとして
ジョセフソン効果を利用したＳＱＵＩＤが知られてい
る。このＳＱＵＩＤに超伝導ピックアップコイルを有す
る磁束入力回路を接続することにより、例えば、生体内
に流れる微小電流に伴なう磁界や生体内の微小磁性体か
らの磁界等、極めて微弱な磁束を測定できるＳＱＵＩＤ
磁束計を得ることができる。
ジョセフソン効果を利用したＳＱＵＩＤが知られてい
る。このＳＱＵＩＤに超伝導ピックアップコイルを有す
る磁束入力回路を接続することにより、例えば、生体内
に流れる微小電流に伴なう磁界や生体内の微小磁性体か
らの磁界等、極めて微弱な磁束を測定できるＳＱＵＩＤ
磁束計を得ることができる。
【０００３】このＳＱＵＩＤ磁束計を極低温レベル、つ
まりＳＱＵＩＤおよび超伝導コイルが超伝導状態に転移
する温度レベルにまで冷却する方法として、低温保持容
器（クライオスタット）内に液体ヘリウムを蓄え、液体
ヘリウムにＳＱＵＩＤ磁束計を浸漬する方法がある。
尚、この方法を冷凍機を用いて採用する場合には、低温
保持容器内に寒冷発生用の冷凍機の冷却器を挿入して、
低温保持容器内で蒸発したヘリウムガスを冷凍機により
凝縮液化させることが行なわれる。
まりＳＱＵＩＤおよび超伝導コイルが超伝導状態に転移
する温度レベルにまで冷却する方法として、低温保持容
器（クライオスタット）内に液体ヘリウムを蓄え、液体
ヘリウムにＳＱＵＩＤ磁束計を浸漬する方法がある。
尚、この方法を冷凍機を用いて採用する場合には、低温
保持容器内に寒冷発生用の冷凍機の冷却器を挿入して、
低温保持容器内で蒸発したヘリウムガスを冷凍機により
凝縮液化させることが行なわれる。
【０００４】この方法を採用した場合には、ＳＱＵＩＤ
磁束計を液体ヘリウムに浸漬するので、ＳＱＵＩＤ磁束
計を全体にわたって安定してかつ短時間で冷却すること
ができる。しかし、その反面、ＳＱＵＩＤ磁束計の冷却
のために低温保持容器内にヘリウムを介在させるため、
冷却システムが大型化し、操作性も悪くなる。この点を
考慮して、ＳＱＵＩＤ磁束計を冷凍機の冷却器に直接伝
熱可能に接触させて極低温レベルまで冷却する方法が注
目されている（例えば、特開平２−３０２６８０号公報
参照）。
磁束計を液体ヘリウムに浸漬するので、ＳＱＵＩＤ磁束
計を全体にわたって安定してかつ短時間で冷却すること
ができる。しかし、その反面、ＳＱＵＩＤ磁束計の冷却
のために低温保持容器内にヘリウムを介在させるため、
冷却システムが大型化し、操作性も悪くなる。この点を
考慮して、ＳＱＵＩＤ磁束計を冷凍機の冷却器に直接伝
熱可能に接触させて極低温レベルまで冷却する方法が注
目されている（例えば、特開平２−３０２６８０号公報
参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ＳＱＵＩＤ磁束計を冷
凍機の冷却器に直接伝熱可能に接触させて極低温レベル
まで冷却する方法を採用した場合には、外部雰囲気から
の熱がＳＱＵＩＤ磁束計に伝達されないようにするため
に、冷却器、ＳＱＵＩＤ磁束計等を真空容器内に収容
し、しかも真空容器内にさらに輻射シールドを配置する
構成が一般的に採用される。したがって、実際の組付け
作業においては、冷却器に対してピックアップコイルを
含む磁束入力回路およびＳＱＵＩＤを組付けた後に、こ
れらを包囲するように真空容器を組付けることになる。
凍機の冷却器に直接伝熱可能に接触させて極低温レベル
まで冷却する方法を採用した場合には、外部雰囲気から
の熱がＳＱＵＩＤ磁束計に伝達されないようにするため
に、冷却器、ＳＱＵＩＤ磁束計等を真空容器内に収容
し、しかも真空容器内にさらに輻射シールドを配置する
構成が一般的に採用される。したがって、実際の組付け
作業においては、冷却器に対してピックアップコイルを
含む磁束入力回路およびＳＱＵＩＤを組付けた後に、こ
れらを包囲するように真空容器を組付けることになる。
【０００６】この結果、ＳＱＵＩＤに対するピックアッ
プコイルの相対位置、即ち、冷却器に対するピックアッ
プコイルの相対位置は正確に定められることになるが、
真空容器に対する相対位置は、真空容器自体の寸法誤
差、真空容器装着部の寸法誤差等に起因して正確には定
まらないことになる。ところで、ＳＱＵＩＤ磁束計にお
いては真空容器に対するピックアップコイルの相対位置
が正確に定まらなければ、例えば、測定対象となる生体
等に対するピックアップコイルの正確な相対位置を得る
ことができず、ひいては、相対位置誤差に起因して生体
磁束測定信号に基づいて得られる解析結果が大きな誤差
を含むことになってしまう。
プコイルの相対位置、即ち、冷却器に対するピックアッ
プコイルの相対位置は正確に定められることになるが、
真空容器に対する相対位置は、真空容器自体の寸法誤
差、真空容器装着部の寸法誤差等に起因して正確には定
まらないことになる。ところで、ＳＱＵＩＤ磁束計にお
いては真空容器に対するピックアップコイルの相対位置
が正確に定まらなければ、例えば、測定対象となる生体
等に対するピックアップコイルの正確な相対位置を得る
ことができず、ひいては、相対位置誤差に起因して生体
磁束測定信号に基づいて得られる解析結果が大きな誤差
を含むことになってしまう。
【０００７】したがって、従来は、上記のようにして組
付けが完了した後に、真空容器の外部から外部コイルを
用いて磁場をかけ、この磁場をＳＱＵＩＤ磁束計により
検出することにより真空容器内のピックアップコイルの
相対位置を推定している。この結果、組付け完了後にピ
ックアップコイルの相対位置を推定するために、冷凍機
を動作させて極低温レベルを得る作業、極低温レベルが
得られた後に外部コイルによりかけられた磁場を検出す
る作業等が必要になってしまうという不都合がある。
付けが完了した後に、真空容器の外部から外部コイルを
用いて磁場をかけ、この磁場をＳＱＵＩＤ磁束計により
検出することにより真空容器内のピックアップコイルの
相対位置を推定している。この結果、組付け完了後にピ
ックアップコイルの相対位置を推定するために、冷凍機
を動作させて極低温レベルを得る作業、極低温レベルが
得られた後に外部コイルによりかけられた磁場を検出す
る作業等が必要になってしまうという不都合がある。
【０００８】
【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、真空容器に対するピックアップコイルの
相対位置を正確に規定することができるＳＱＵＩＤ磁束
計を提供することを目的としている。
たものであり、真空容器に対するピックアップコイルの
相対位置を正確に規定することができるＳＱＵＩＤ磁束
計を提供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの、請求項１のＳＱＵＩＤ磁束計は、極低温冷凍機の
極低温ステージに熱的に接続された状態でＳＱＵＩＤが
配置されてあるとともに、極低温ステージおよびＳＱＵ
ＩＤを包囲する真空容器が配置されてあり、真空容器の
内部所定位置に断熱層を介して磁束入力回路の外部磁束
検出コイルが配置されてあるとともに、極低温ステージ
と外部磁束検出コイルとの間に、所定のバネ定数を有す
るとともに、高い熱伝導率を有し、かつ極低温レベルで
も超伝導状態にならないサーマルアンカを介在させてあ
る。
めの、請求項１のＳＱＵＩＤ磁束計は、極低温冷凍機の
極低温ステージに熱的に接続された状態でＳＱＵＩＤが
配置されてあるとともに、極低温ステージおよびＳＱＵ
ＩＤを包囲する真空容器が配置されてあり、真空容器の
内部所定位置に断熱層を介して磁束入力回路の外部磁束
検出コイルが配置されてあるとともに、極低温ステージ
と外部磁束検出コイルとの間に、所定のバネ定数を有す
るとともに、高い熱伝導率を有し、かつ極低温レベルで
も超伝導状態にならないサーマルアンカを介在させてあ
る。
【００１０】
【作用】請求項１のＳＱＵＩＤ磁束計であれば、真空容
器の内部所定位置に断熱層を介して外部磁束検出コイル
を配置するのであるから、真空容器に対する外部磁束検
出コイルの相対位置を正確に設定でき、組付け完了後に
外部コイルを用いて磁場を発生させて発生磁場を測定す
ることによる外部磁束検出コイルの相対位置推定作業を
不要にできる。また、外部磁束検出コイルと極低温ステ
ージとの相対位置が変化することになるのであるが、両
者間に介在されるサーマルアンカが所定のバネ定数を有
しているのであるから、相対位置のばらつきをサーマル
アンカにより吸収して外部磁束検出コイルと極低温ステ
ージとの良好な熱結合を達成できる。即ち、外部磁束検
出コイルの位置を組付け完了時点において何ら特別な作
業を行なうことなく把握でき、しかも外部磁束検出コイ
ルと極低温ステージとの良好な熱結合を達成できる。
器の内部所定位置に断熱層を介して外部磁束検出コイル
を配置するのであるから、真空容器に対する外部磁束検
出コイルの相対位置を正確に設定でき、組付け完了後に
外部コイルを用いて磁場を発生させて発生磁場を測定す
ることによる外部磁束検出コイルの相対位置推定作業を
不要にできる。また、外部磁束検出コイルと極低温ステ
ージとの相対位置が変化することになるのであるが、両
者間に介在されるサーマルアンカが所定のバネ定数を有
しているのであるから、相対位置のばらつきをサーマル
アンカにより吸収して外部磁束検出コイルと極低温ステ
ージとの良好な熱結合を達成できる。即ち、外部磁束検
出コイルの位置を組付け完了時点において何ら特別な作
業を行なうことなく把握でき、しかも外部磁束検出コイ
ルと極低温ステージとの良好な熱結合を達成できる。
【００１１】
【実施例】以下、実施例を示す添付図面によって詳細に
説明する。図１はこの発明のＳＱＵＩＤ磁束計の一実施
例を概略的に示す分解縦断面図であり、極低温冷凍機１
の第１冷却ステージ１ａに真空容器基部１ｂを設けてあ
る。そして、第１冷却ステージ１ａに支持される第２冷
却ステージ１ｃに輻射シールド１ｄを設けてある。さら
に、第２冷却ステージ１ｃに支持される最終冷却ステー
ジ１ｅにＳＱＵＩＤ２ａを直接接触させた状態で配置し
てあるとともに、最終冷却ステージ１ｅにサーマルアン
カ２ｃを支持してある。また、１ｆは真空容器先部であ
り、断熱層１ｇを介してピックアップコイル２ｂを所定
位置に保持している。上記真空容器基部１ｂと真空容器
先部１ｆとは一体的に連結されることにより各冷却ステ
ージ、ＳＱＵＩＤ２ａおよびピックアップコイル２ｂを
収容する真空容器を構成する。
説明する。図１はこの発明のＳＱＵＩＤ磁束計の一実施
例を概略的に示す分解縦断面図であり、極低温冷凍機１
の第１冷却ステージ１ａに真空容器基部１ｂを設けてあ
る。そして、第１冷却ステージ１ａに支持される第２冷
却ステージ１ｃに輻射シールド１ｄを設けてある。さら
に、第２冷却ステージ１ｃに支持される最終冷却ステー
ジ１ｅにＳＱＵＩＤ２ａを直接接触させた状態で配置し
てあるとともに、最終冷却ステージ１ｅにサーマルアン
カ２ｃを支持してある。また、１ｆは真空容器先部であ
り、断熱層１ｇを介してピックアップコイル２ｂを所定
位置に保持している。上記真空容器基部１ｂと真空容器
先部１ｆとは一体的に連結されることにより各冷却ステ
ージ、ＳＱＵＩＤ２ａおよびピックアップコイル２ｂを
収容する真空容器を構成する。
【００１２】上記サーマルアンカ２ｃは、例えば、図２
に示すように、銅等の極細線をメッシュ状に編み、所定
幅の帯状に形成し、両端部に係合部を一体的に設けてな
るものであり、所定位置を折返し状に折曲げた状態で最
終冷却ステージ１ｅとピックアップコイル２ｂとの間に
介挿することにより、サーマルアンカ自体のバネ性及び
ボルト止めにより両者間の良好な熱結合を達成できる。
に示すように、銅等の極細線をメッシュ状に編み、所定
幅の帯状に形成し、両端部に係合部を一体的に設けてな
るものであり、所定位置を折返し状に折曲げた状態で最
終冷却ステージ１ｅとピックアップコイル２ｂとの間に
介挿することにより、サーマルアンカ自体のバネ性及び
ボルト止めにより両者間の良好な熱結合を達成できる。
【００１３】上記断熱層１ｇは、例えば、ビニルのメッ
シュを巻回してなるものであり、任意のサイズの間隙に
介在させることによりピックアップコイル２ｂを安定に
保持できる。即ち、図３に示すように、真空容器先部１
ｆの内部に熱伝導率が著しく低い材質からなる支持枠１
ｈを一体的に設けておき、支持枠１ｈで形成される内部
空間に断熱層１ｇを介してピックアップコイル２ｂを安
定に保持できる。また、ピックアップコイル２ｂを断熱
層１ｇを介して保持しているのであるから、ピックアッ
プコイル２ｂを包囲する輻射シールドは不要になる。も
ちろん、断熱層１ｇを包囲する状態で輻射シールドを設
けてもよい。
シュを巻回してなるものであり、任意のサイズの間隙に
介在させることによりピックアップコイル２ｂを安定に
保持できる。即ち、図３に示すように、真空容器先部１
ｆの内部に熱伝導率が著しく低い材質からなる支持枠１
ｈを一体的に設けておき、支持枠１ｈで形成される内部
空間に断熱層１ｇを介してピックアップコイル２ｂを安
定に保持できる。また、ピックアップコイル２ｂを断熱
層１ｇを介して保持しているのであるから、ピックアッ
プコイル２ｂを包囲する輻射シールドは不要になる。も
ちろん、断熱層１ｇを包囲する状態で輻射シールドを設
けてもよい。
【００１４】以上の構成のＳＱＵＩＤ磁束計であれば、
真空容器先部１ｆに断熱層１ｇを介してピックアップコ
イル２ｂを保持させ、この状態で真空容器先部１ｆを真
空容器基部１ｂに機密的に連結することにより、サーマ
ルアンカ２ｃを介して最終冷却ステージ１ｅとピックア
ップコイル２ｂとの良好な熱結合を達成でき、しかもサ
ーマルアンカ２ｃのバネ性によりピックアップコイル２
ｃが真空容器先部１ｆの上底に圧接されるので、真空容
器先部１ｆに対する正確な位置決めを達成できる。
真空容器先部１ｆに断熱層１ｇを介してピックアップコ
イル２ｂを保持させ、この状態で真空容器先部１ｆを真
空容器基部１ｂに機密的に連結することにより、サーマ
ルアンカ２ｃを介して最終冷却ステージ１ｅとピックア
ップコイル２ｂとの良好な熱結合を達成でき、しかもサ
ーマルアンカ２ｃのバネ性によりピックアップコイル２
ｃが真空容器先部１ｆの上底に圧接されるので、真空容
器先部１ｆに対する正確な位置決めを達成できる。
【００１５】したがって、その後は、外部コイル等を用
いてピックアップコイル２ｂの位置を推定する作業を行
なうことなく（この作業を行なうためには冷凍機を動作
させて超伝導転移温度を得ることが必要である）、組付
け時に得られているピックアップコイル２ｂの位置情報
に基づいて正確な生体磁場等の計測を行なうことができ
る。
いてピックアップコイル２ｂの位置を推定する作業を行
なうことなく（この作業を行なうためには冷凍機を動作
させて超伝導転移温度を得ることが必要である）、組付
け時に得られているピックアップコイル２ｂの位置情報
に基づいて正確な生体磁場等の計測を行なうことができ
る。
【００１６】図４はＳＱＵＩＤ磁束計を多チャンネル化
した場合におけるピックアップコイル２ｂの保持状態を
示す横断面図であり、真空容器先部１ｆの内部を複数の
小領域に区画できる保持枠１ｊを用い、保持枠１ｊによ
り区画された各小領域に断熱層１ｇを介してピックアッ
プコイル２ｂを保持している。もちろん、各ピックアッ
プコイル２ｂに対応するＳＱＵＩＤ２ａは最終冷却ステ
ージ１ｅに直接接触された状態で配置されてある。ま
た、各ピックアップコイル２ｂに対応してサーマルアン
カ２ｃが設けられている。
した場合におけるピックアップコイル２ｂの保持状態を
示す横断面図であり、真空容器先部１ｆの内部を複数の
小領域に区画できる保持枠１ｊを用い、保持枠１ｊによ
り区画された各小領域に断熱層１ｇを介してピックアッ
プコイル２ｂを保持している。もちろん、各ピックアッ
プコイル２ｂに対応するＳＱＵＩＤ２ａは最終冷却ステ
ージ１ｅに直接接触された状態で配置されてある。ま
た、各ピックアップコイル２ｂに対応してサーマルアン
カ２ｃが設けられている。
【００１７】したがって、この場合にも、各ピックアッ
プコイル２ｂの位置推定が不要になり、超伝導転移温度
まで冷却するだけで直ちに測定対象磁場の計測を行なう
ことができる。尚、この発明は上記の実施例に限定され
るものではなく、例えば、サーマルアンカ２ｃとして銅
以外の材質からなるもの、メッシュ構成以外の構成のも
の等を採用することが可能であるほか、断熱層１ｇとし
て他の材質によるメッシュ構成のもの、発泡材などを採
用することが可能であり、その他、この発明の要旨を変
更しない範囲内において種々の設計変更を施すことが可
能である。
プコイル２ｂの位置推定が不要になり、超伝導転移温度
まで冷却するだけで直ちに測定対象磁場の計測を行なう
ことができる。尚、この発明は上記の実施例に限定され
るものではなく、例えば、サーマルアンカ２ｃとして銅
以外の材質からなるもの、メッシュ構成以外の構成のも
の等を採用することが可能であるほか、断熱層１ｇとし
て他の材質によるメッシュ構成のもの、発泡材などを採
用することが可能であり、その他、この発明の要旨を変
更しない範囲内において種々の設計変更を施すことが可
能である。
【００１８】
【発明の効果】以上のように請求項１の発明は、ＳＱＵ
ＩＤから離れた位置に配置されるピックアップコイル
の、真空容器に対する相対位置を正確に設定できるとと
もに、ピックアップコイルと最終冷却ステージとの良好
な熱結合を達成でき、ピックアップコイルの位置推定作
業を不要にできるという特有の効果を奏する。
ＩＤから離れた位置に配置されるピックアップコイル
の、真空容器に対する相対位置を正確に設定できるとと
もに、ピックアップコイルと最終冷却ステージとの良好
な熱結合を達成でき、ピックアップコイルの位置推定作
業を不要にできるという特有の効果を奏する。
【図１】この発明のＳＱＵＩＤ磁束計の一実施例を概略
的に示す分解縦断面図である。
的に示す分解縦断面図である。
【図２】サーマルアンカの一例の具体的構成を示す正面
図である。
図である。
【図３】真空容器先部に１チャンネル分のピックアップ
コイルを保持した状態を示す横断面図である。
コイルを保持した状態を示す横断面図である。
【図４】真空容器先部に多チャンネル分のピックアップ
コイルを保持した状態を示す横断面図である。
コイルを保持した状態を示す横断面図である。
１ 極低温冷凍機 １ｂ 真空容器基部 １ｆ 真空容器先部 １ｇ 断熱層 １ｅ 最終冷却ステージ ２ａ ＳＱＵＩＤ ２ｂ ピックアップコイル ２ｃ サーマルアンカ
Claims (1)
- 【請求項１】 極低温レベルで超伝導状態となる超伝導
量子干渉素子（２ａ）および磁束入力回路（２ｂ）を含
み、超伝導量子干渉素子（２ａ）および磁束入力回路
（２ｂ）が極低温冷凍機（１）により冷却されるＳＱＵ
ＩＤ磁束計であって、極低温冷凍機（１）の極低温ステ
ージ（１ｅ）に熱的に接続された状態で超伝導量子干渉
素子（２ａ）が配置されてあるとともに、極低温ステー
ジ（１ｅ）および超伝導量子干渉素子（２ａ）を包囲す
る真空容器（１ｂ）（１ｆ）が配置されてあり、真空容
器（１ｆ）の内部所定位置に断熱層（１ｇ）を介して磁
束入力回路（２ｂ）の外部磁束検出コイル（２ｂ）が配
置されてあるとともに、極低温ステージ（１ｅ）と外部
磁束検出コイル（２ｂ）との間に、所定のバネ定数を有
するとともに、高い熱伝導率を有し、かつ極低温レベル
でも超伝導状態にならないサーマルアンカ（２ｃ）を介
在させてあることを特徴とするＳＱＵＩＤ磁束計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4170539A JPH0611554A (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | Ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4170539A JPH0611554A (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | Ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611554A true JPH0611554A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=15906786
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4170539A Pending JPH0611554A (ja) | 1992-06-29 | 1992-06-29 | Ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611554A (ja) |
-
1992
- 1992-06-29 JP JP4170539A patent/JPH0611554A/ja active Pending
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